JPS6339998Y2 - - Google Patents

Description

【考案の詳細な説明】 本考案は半導体デイバイスのような被測定物を
供給する単独シユートから複数本一組の組シユー
トに性能、良否別に分類したり、逆に組シユート
内に貯蔵された被測定物を単独シユートに供給す
るICハンドラの分岐・合流装置に関する。

従来のこの種の分岐・合流装置は第９図示のよ
うに単独シユート１に揺動用シユート５の一端部
を枢着し、この揺動用シユート５の自由端を複数
本のシユート２ａ〜２ｄを一組とする組シユート
２への接続端とする構成になつている。このよう
な装置においては、被測定物（主にデイバイスを
対象にしているので以下デイバイスと記す）を揺
動用シユート５から組シユート２へ、逆に組シユ
ート２から揺動用シユート５へ供給する場合、デ
イバイスが臨接の組シユート２に接触しないこ
と、揺動用シユート５と単独シユート１とのなす
角度θが小さいことなどが要求される。また、デ
イバイスは小型のものから大型のもの迄多種類あ
り、小型のものはともかく大型のものになると組
シユート２相互の間隔が大きくなり、その結果揺
動用シユート５の全長も長くなり欠点があり、
また、揺動用シユート５が長くなると揺動用シユ
ート５の重量が大きくなつて俊敏な動作が望めな
くなり、デイバイスの流れに対応できなくなつた
り、停止時の衝撃力が過大となり、揺動用シユー
ト５の枢着部分が破損する欠点があつた。

本考案はかかる従来例の欠点に鑑みてなされた
もので、その目的とするところは、揺動用シユー
トを中央部分で折曲可能な揺動用基部シユートと
揺動用接続シユートとを枢着して構成することに
より上記の欠点を改良したICハンドラの分岐・
合流装置を提供するにある。

以下図面について本考案の一実施例を説明す
る。

第１図は本考案に係るICハンドラの一例を示
す正面図、第２図はその左側面図、第３図は同じ
くその右側面図である。まず、その構成を説明す
ると、架台上には供給部１０と測定部１１とを設
置し、さらに架台の前面に分類部１２と収納部１
３とを配設してあり、測定部１１と分類部１２を
円弧シユート１４により接続してある。２２は供
給部１０の供給アーム、２５はデイバイスを収納
したマガジン、２３はこのマガジン２５より供給
されたデイバイスを個別化する個別化装置、２４
は加熱室である。

第４図ａ〜ｄは本考案装置の一実施例を分類部
に適用した場合の構成と動作を説明するための平
面図、第５図は第４図ａの方向矢視図、第６図
は第４図ａの−線断面図、第７図は第４図ａ
の−線断面図、第８図は本考案装置の一実施
例の外観斜視図である。

第４図〜第８図において、１は単独シユート、
２は複数本のシユート２ａ〜２ｄを一組とする組
シユートで、その間に揺動用基部シユート３と揺
動用接続シユート４とを枢着してなる揺動用シユ
ート５が配設してある。単独シユート１と揺動用
基部シユート３は回動自在に枢着されており、揺
動用接続シユート４の自由端は組シユート２への
接続端となつている。この揺動用シユート５に略
平行に配設されている駆動レバー６の一端部を枢
支軸６ａによりベース１６に枢着してある。この
駆動レバー６の２箇所にそれぞれ一対の接続レバ
ー７ａ，７ｂの一端部を枢支軸７₁により枢着し、
この一対の接続レバー７ａ，７ｂの他端部と揺動
用接続シユート４の２箇所とを枢支軸７₂により
枢着せしめてリンク機構を形成している。

駆動レバー６の上方にシリンダ取付レバー８を
配設し、このシリンダ取付レバー８をいずれか一
方の接続レバー７ｂに回動軸１８により枢着して
ある。９ａ，９ｂは一対の駆動シリンダで、シリ
ンダロツド１７ａ，１７ｂはそれぞれシリンダ取
付レバー８の両端部に取付軸１９ａ，１９ｂによ
り枢着し、駆動シリンダ９ａ，９ｂの端部はそれ
ぞれ取付金具１５ａ，１５ｂを介してベース１６
に固着してある。ここでシリンダ取付レバー８を
回動軸１８とシリンダロツド１７ａの取付軸１９
ａ迄の長さと、同じく回動軸１８とシリンダロツ
ド１７ｂの取付軸１９ｂ迄の長さとの比は本実施
例の場合、約２：１となつている。

２０ａ，２０ｂは一対のストツパブロツクで、
ベース１６に固着してあり、駆動シリンダ９ａ，
９ｂのストロークを規制している。２１ａ，２１
ｂはストツパリングで各シリンダロツド１７ａ，
１７ｂの先端部に取付けてあり、各ストツパブロ
ツク２０ａ，２０ｂに当接停止する役目を果して
いる。なお、単独シユート１、揺動用シユート５
及び組シユート２はいずれもデイバイスの形状に
適合したレール溝（図示せず）を有しており、こ
のレール溝内をデイバイスが滑落して行くもので
ある。

次に本考案に係るICハンドラとその分岐・合
流装置の作用を説明する。第１図において、ま
ず、供給部１０の供給アーム２２が傾動してデイ
バイスを収納したマガジン２５を傾斜保持し、デ
イバイスを滑落させ、個別化装置２３でデイバイ
スを個別化し、１個ずつ加熱室２４に供給貯蔵す
る。加熱室２４内で測定温度迄加熱されたデイバ
イスは、加熱室２４の下流側に設けられた別の個
別化装置（図示せず）で再度個別化され、１個ず
つ測定部１１へ供給される。測定部１１では供給
されたデイバイスを瞬時に測定し、その性能、良
否を判定し、円弧シユート１４を介して分類部１
２へ送り込む。分類部１２では、測定部１１より
出された指令に基づいて揺動用シユート５が回動
し、指令された組シユート２の１つのシユートに
接続されることになる。

第４図ａは揺動用シユート５が組シユート２の
１つのシユート２ａに接続された状態を示してい
る。即ち、測定部１１より出された指令に基づい
てシリンダロツド１７ａ，１７ｂが共に引き込む
と、図中上方のストツパブロツク２０ａにストツ
パリング２１ａ，２１ｂが当接し、かつ、駆動レ
バー６も上方のストツパブロツク２０ａ側に回動
停止する。この変位量に合せて接続レバー７ａ，
７ｂが移動し、図中右方の接続レバー７ａの方が
大きく動くことになり、この移動量の差だけ揺動
用接続シユート４が傾動することになる。これと
同時に揺動用基部シユート３は揺動用接続シユー
ト４に枢着してあるので、揺動用基部シユート３
も揺動用接続シユート４に引張られて回動し、単
独シユート１に対してある角度α₁だけ傾くことに
なる。また、この時右側の接続レバー７ａの方が
左側の接続レバー７ｂの移動量よりも大きいの
で、揺動用接続シユート４は揺動用基部シユート
３よりさらに大きく回動され、揺動用基部シユー
ト３に対してα₂だけさらに回動されることにな
る。

なお、揺動用シユート５が本考案のように揺動
用基部シユート３と揺動用接続シユート４を枢着
した構成ではなく従来の一本物の揺動用シユート
の場合はO₁からP₁を直接結ぶことになり、その
角度α₃は揺動用基部シユート３の角度α₁に比べて
かなり大きくなる。この角度α₃が過大な時、デイ
バイスは単独シユート１と揺動用シユート５との
枢着部分で曲り切れず、詰つてしまうことになる
ので、既述の如く、余り大きくできないものであ
る。従つて大型のデイバイスを通す場合は必然的
に揺動用シユート５の全長が長くなつてしまうも
のである。

第４図ｂ〜ｄは揺動用シユート５を組シユート
２のシユート２ｂ〜２ｄにそれぞれ接続した場合
で、いずれの場合も単独シユート１に対する揺動
用基部シユート３の回動に比べて揺動用接続シユ
ート４の方が大きく回動し、単独シユート１と揺
動用基部シユート３とのなす角度β₁，γ₁，δ₁より
大きなβ₂，γ₂，δ₂なる角度を揺動用基部シユート
３と揺動用接続シユート４との間で形成する。し
かしながらいずれの場合でも、O₁とP₂，P₃また
はP₄とを直接結ぶ場合に生ずる角度β₃，γ₃，δ₃よ
り単独シユート１と揺動用基部シユート３とのな
す角度β₁，γ₁，δ₁が小さいものである。このよう
に、分類部１２においては測定部１１の測定結果
に基づく指令に従つて揺動用シユート５が揺動
し、組シユート２のいずれかのシユートに接続
し、測定ずみのデイバイスを所定の収納部１３へ
送り込むことになるのである。

なお、ここでは分類部１２においてデイバイス
を分岐する場合について説明したが、逆にデイバ
イスを収容して加熱するレール溝（図示せず）が
複数条並設してある加熱室２４からデイバイスを
測定部１１に１個ずつ供給する場合、加熱室２４
の各レール溝に接続する組レールと揺動用シユー
トとを切換え接続してデイバイスを組シユートか
ら測定部に繋がる単独シユートへ滑落させること
にも適用でき、この場合は合流機能を発揮するこ
とになる。

上述のように本考案によれば、揺動用シユート
は、揺動用基部シユートと揺動用接続シユートと
を枢着した構成とし折曲することができるように
したので、大型のデイバイスのような被測定物を
通過させるために組シユート相互の間隔を広く
し、組シユートと接続する揺動用接続シユートの
自由端の移動量を大きくとつたとしても単独シユ
ートと揺動用基部シユートとのなす角度を１本物
の揺動用シユートを使用する従来の場合に比べて
非常に小さくすることができ、大型のデイバイス
のような被測定物の供給に適用する場合でも揺動
用シユートの全長を短くすることができ、揺動用
シユートの軽量化を図つて俊敏な動作を期すこと
ができ、被測定物の流れに対応できると共に停止
時の衝撃を軽減して揺動用シユートの枢着部の破
損を防止できる等の効果を奏する。

【図面の簡単な説明】

第１図は本考案に係るICハンドラの１例を示
す正面図、第２図はその左側面図、第３図は同じ
くその右側面図、第４図ａ〜ｄは本考案装置の一
実施例を分類部に適用した場合の構成と動作を説
明するための平面図、第５図は第４図ａの方向
矢視図、第６図は第４図ａの−線断面図、第
７図は第４図ａの−線断面図、第８図は本考
案装置の一実施例の外観斜視図、第９図は従来の
一例を示す平面図である。 １……単独シユート、２……組シユート、２ａ
〜２ｄ……シユート、３……揺動用基部シユー
ト、４……揺動用接続シユート、５……揺動用シ
ユート、６……駆動レバー、６ａ……枢支軸、７
ａ，７ｂ……接続レバー、７₁，７₂……枢支軸、
８……シリンダ取付レバー、９ａ，９ｂ……駆動
シリンダ、１０……供給部、１１……測定部、１
２……分類部、１３……収納部、１４……円弧シ
ユート、１５ａ，１５ｂ……取付金具、１６……
ベース、１７ａ，１７ｂ……シリンダロツド、１
８……回動軸、１９ａ，１９ｂ……取付軸、２０
ａ，２０ｂ……ストツパブロツク、２１ａ，２１
ｂ……ストツパリング、２２……供給アーム、２
３……個別化装置、２４……加熱室、２５……マ
ガジン。

Claims (1)

【実用新案登録請求の範囲】
1. 被測定物を供給する単独シユートから複数本一
   組の組シユートに、または組シユートから単独シ
   ユートに供給するICハンドラの分岐・合流装置
   において、組シユートと単独シユートとの間に、
   揺動用基部シユートと揺動用接続シユートとを枢
   着してなる揺動用シユートを設け、揺動用基部シ
   ユートと単独シユートを回動自在に枢着し、揺動
   用接続シユートの自由端を組シユートへの接続端
   とすると共に、一端部がベースに枢着された駆動
   レバーの２箇所にそれぞれ一対の接続レバーの一
   端部を枢着し、この一対の接続レバーの他端部と
   揺動用接続シユートの２箇所とをそれぞれ枢着せ
   しめ、いずれか一方の接続レバーにシリンダ取付
   レバーを枢着し、シリンダ取付レバーの両端部に
   一対の駆動シリンダを枢着してなるICハンドラ
   の分岐・合流装置。