JP2548488Y2 - Ｉｃ試験装置 - Google Patents
Ｉｃ試験装置Info
- Publication number
- JP2548488Y2 JP2548488Y2 JP10574190U JP10574190U JP2548488Y2 JP 2548488 Y2 JP2548488 Y2 JP 2548488Y2 JP 10574190 U JP10574190 U JP 10574190U JP 10574190 U JP10574190 U JP 10574190U JP 2548488 Y2 JP2548488 Y2 JP 2548488Y2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- storage track
- track rail
- guide
- lane
- under test
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
Landscapes
- Testing Of Individual Semiconductor Devices (AREA)
- Testing Or Measuring Of Semiconductors Or The Like (AREA)
Description
【考案の詳細な説明】 「産業上の利用分野」 この考案はICを試験するIC試験装置に関する。
「従来の技術」 第３図にIC試験装置のIC搬送通路の形態を示す。
図中１はICを収納したIC収納マガジンを示す。このIC
収納マガジン１は試験装置の上と下の２個所に設けられ
る。
収納マガジン１は試験装置の上と下の２個所に設けられ
る。
上側のIC収納マガジン１は被試験IC2Aを収納し、被試
験IC2Aを順次テストヘッド３に送り出す。
験IC2Aを順次テストヘッド３に送り出す。
これに対し、下側に設けたIC収納マガジン１はテスト
ヘッド３で試験され、良否が判定されて良品と、不良品
に仕分けされた試験済IC2Bを収納する。
ヘッド３で試験され、良否が判定されて良品と、不良品
に仕分けされた試験済IC2Bを収納する。
テストヘッド３の部分とその上流側には恒温槽４が設
けられ、この恒温槽４によってテストヘッド３に送り込
む被試験IC2Aに熱ストレスを与える。つまり恒温槽４は
例えば−30℃〜＋125℃の範囲の温度を設定することが
でき、高温試験、低温試験何れも行なえるように構成さ
れる。
けられ、この恒温槽４によってテストヘッド３に送り込
む被試験IC2Aに熱ストレスを与える。つまり恒温槽４は
例えば−30℃〜＋125℃の範囲の温度を設定することが
でき、高温試験、低温試験何れも行なえるように構成さ
れる。
恒温槽４の内部には垂直面内で傾斜したストレージト
ラックレール100と、被試験IC2Aの向を垂直面内で傾斜
した向から、垂直面内の向に転換するトランスファレー
ル200とが設けられる。
ラックレール100と、被試験IC2Aの向を垂直面内で傾斜
した向から、垂直面内の向に転換するトランスファレー
ル200とが設けられる。
ストレージトラックレール100は、複数のICガイドレ
ーンＡ及びＢを具備し、この複数ICガイドレーンに被試
験IC2Aを多数収納し、テストヘッド３に送り出すまでの
時間（恒温槽４に入ってからテストヘッド３に送り出す
までの時間）を長く採れるようにするために設けられ
る。
ーンＡ及びＢを具備し、この複数ICガイドレーンに被試
験IC2Aを多数収納し、テストヘッド３に送り出すまでの
時間（恒温槽４に入ってからテストヘッド３に送り出す
までの時間）を長く採れるようにするために設けられ
る。
第２図にその詳細構造を示す。ストレージトラックレ
ール100は例えばアルミの比較的厚みの大きい板に凹溝
状のICガイドレーンＡ及びＢが互いに平行して形成され
て構成される。
ール100は例えばアルミの比較的厚みの大きい板に凹溝
状のICガイドレーンＡ及びＢが互いに平行して形成され
て構成される。
ICガイドレーンＡ及びＢは図示するように実線で示す
レーンＡと、点線で示すレーンＢとを有する。
レーンＡと、点線で示すレーンＢとを有する。
実線で示すレーンＡの相互のピッチPAと点線で示すレ
ーンＢの配列ピッチPBはPA＝PBに設定され、これら配列
ピッチPAとPBは下流側に設けたトランファレール200に
形成したレーン201の配列ピッチPCに等しくPA＝PB＝PC
に設定される。
ーンＢの配列ピッチPBはPA＝PBに設定され、これら配列
ピッチPAとPBは下流側に設けたトランファレール200に
形成したレーン201の配列ピッチPCに等しくPA＝PB＝PC
に設定される。
つまり例えば１本のIC収納マガジン１から流れ出した
被試験IC2Aは分配機構300において例えば８列のレール
に分配される。
被試験IC2Aは分配機構300において例えば８列のレール
に分配される。
８列のレールに分配された被試験IC2Aは例えばストレ
ージトラックレール100に形成したＡレーンに流し込ま
れる。このときＡレーンはトランスファレール200のレ
ーン201からずれた位置にあるものとし、このとき、レ
ーンＡの下流端はシャッタ機構によって塞がれ被試験IC
2Aが流れ出すのを阻止している。
ージトラックレール100に形成したＡレーンに流し込ま
れる。このときＡレーンはトランスファレール200のレ
ーン201からずれた位置にあるものとし、このとき、レ
ーンＡの下流端はシャッタ機構によって塞がれ被試験IC
2Aが流れ出すのを阻止している。
ストレージトラックレール100の全てのレーンＡが被
試験IC2Aで満杯になるとストレージトラックレール100
はレーンＡ及びＢの配列方向にPA/2ピッチ移動される。
よってこのときレーンＡが下流側のトランスファレール
200に形成したレーン201の位置と合致し、レーンＡに格
納した被試験IC2Aを１個ずつトランスファレール200に
供給する。
試験IC2Aで満杯になるとストレージトラックレール100
はレーンＡ及びＢの配列方向にPA/2ピッチ移動される。
よってこのときレーンＡが下流側のトランスファレール
200に形成したレーン201の位置と合致し、レーンＡに格
納した被試験IC2Aを１個ずつトランスファレール200に
供給する。
トランスファレール200はストレージトラックレール1
00から各列毎に１個ずつ被試験IC2Aを受取ると回動動作
して被試験ICを斜めの姿勢から垂直に立った姿勢に転換
し、テストヘッド３に被試験IC2Aを送り込む。
00から各列毎に１個ずつ被試験IC2Aを受取ると回動動作
して被試験ICを斜めの姿勢から垂直に立った姿勢に転換
し、テストヘッド３に被試験IC2Aを送り込む。
各レーンＡから１個ずつ被試験IC2Aを送り出している
間に他方のレーンＢにIC収納マガジン１から被試験IC2A
を送り込む。
間に他方のレーンＢにIC収納マガジン１から被試験IC2A
を送り込む。
このようにしてレーンＡに格納した被試験IC2Aが無く
なるまでの間、他方のレーンＢに格納した被試験IC2Aを
恒温槽４の内部に滞留させ、恒温槽４の内部に滞留して
いる時間を長くして被試験IC2Aに充分な熱ストレスを与
えるようにしている。
なるまでの間、他方のレーンＢに格納した被試験IC2Aを
恒温槽４の内部に滞留させ、恒温槽４の内部に滞留して
いる時間を長くして被試験IC2Aに充分な熱ストレスを与
えるようにしている。
ストレージトラックレール100を往復動させるために
ストレージトラックレール100は恒温槽４の内部におい
てガイドレール104によって往復動できるように支持さ
れる。更に恒温槽４の外部にシリンダのような駆動装置
102が設けられ、この駆動装置102とストレージトラック
レール100との間をシャフト103で連結し、駆動装置102
の動作によってストレージトラックレール100を往動さ
せている。
ストレージトラックレール100は恒温槽４の内部におい
てガイドレール104によって往復動できるように支持さ
れる。更に恒温槽４の外部にシリンダのような駆動装置
102が設けられ、この駆動装置102とストレージトラック
レール100との間をシャフト103で連結し、駆動装置102
の動作によってストレージトラックレール100を往動さ
せている。
ここで従来はシャフト103はストレージトラックレー
ル100の端部Ｘに連結される。
ル100の端部Ｘに連結される。
一方トランスファレール200は恒温槽４内において、
レール201の配列方向の中央部分に軸受202が設けられ、
この軸受202の部分で軸203が203Aと203Bに２分割されて
軸支され、これら２分割された軸203Aと203Bが別々に恒
温槽４の外部に導出され回転型シリンダ204A,204Bによ
って互に同期して回動操作される。
レール201の配列方向の中央部分に軸受202が設けられ、
この軸受202の部分で軸203が203Aと203Bに２分割されて
軸支され、これら２分割された軸203Aと203Bが別々に恒
温槽４の外部に導出され回転型シリンダ204A,204Bによ
って互に同期して回動操作される。
「考案が解決しようとする課題」 従来の構造において、ストレージトラックレール100
の熱膨張の基準点Ｎはシャフト103と駆動装置102との連
結点とされる。またトランスファレール200の熱膨張の
基準点は軸受202の位置Ｍとなる。
の熱膨張の基準点Ｎはシャフト103と駆動装置102との連
結点とされる。またトランスファレール200の熱膨張の
基準点は軸受202の位置Ｍとなる。
恒温槽４の温度が変わると、ストレージトラックレー
ル100及びシャフト103が熱膨張し、この熱膨張によって
Ｎ点を基準にレーンＡとＢを＋Ｘ方向に移動させる。
ル100及びシャフト103が熱膨張し、この熱膨張によって
Ｎ点を基準にレーンＡとＢを＋Ｘ方向に移動させる。
これに対しトランスファレール200ではＭ点を基準に
＋Ｘ方向及び−Ｘ方向にレーン201を移動させる。
＋Ｘ方向及び−Ｘ方向にレーン201を移動させる。
この結果ストレージトラックレール100及びシャフト1
03の熱膨張によるレーンＡとＢの移動に対し、トランス
ファレール200のレーン201の位置の移動はＭ点を中心に
左半部では全く逆の動きとなり、レーンＡ及びＢの軸芯
と、レーン201の軸芯がずれてしまうことになる。この
ためにストレージトラックレール100からトランスファ
レール200に被試験IC2Aが渡るとき、被試験IC2Aが引掛
る事故が起きるおそれがある。
03の熱膨張によるレーンＡとＢの移動に対し、トランス
ファレール200のレーン201の位置の移動はＭ点を中心に
左半部では全く逆の動きとなり、レーンＡ及びＢの軸芯
と、レーン201の軸芯がずれてしまうことになる。この
ためにストレージトラックレール100からトランスファ
レール200に被試験IC2Aが渡るとき、被試験IC2Aが引掛
る事故が起きるおそれがある。
またＭ点を中心に右半部においてもレーンＡとＢ及び
レーン201の熱膨張に伴なう移動方向は一致するが、基
準点までの距離か異なるため移動量に差が生じる。よっ
て右半部においてもレーンＡ及びＢとレーン201との間
に芯ズレが生じる欠点がある。
レーン201の熱膨張に伴なう移動方向は一致するが、基
準点までの距離か異なるため移動量に差が生じる。よっ
て右半部においてもレーンＡ及びＢとレーン201との間
に芯ズレが生じる欠点がある。
この考案の目的はストレージトラックレーンのレーン
とトランスファレールのレーンとが芯ズレを生じること
のないIC試験装置を提供しようとするものである。
とトランスファレールのレーンとが芯ズレを生じること
のないIC試験装置を提供しようとするものである。
「課題を解決するための手段」 この考案のIC試験装置は、恒温槽内に、被試験ICに熱
ストレスを与え、垂直面内で傾斜したストレージトラッ
クレールと、そのストレージトラックレールよりの被試
験ICの姿勢を転換してテストヘッドへ送り込むトランス
ファレールとが設けられ、 上記ストレージトラックレールには被試験ICを上方か
ら下方へ滑走させる複数の第1ICガイドレーンが互いに
平行に配列形成され、 上記トランスファーレルは上記ストレージトラックレ
ールの下流に位置し、その長手方向は上記第1ICガイド
レーンの配列方向とほぼ平行とされ、上記トランスファ
レールにはその長手方向と直角方向の第2ICガイドレー
ンの複数が配列形成され、 上記第2ICガイドレーンの配列ピッチは、上記第1ICガ
イドレーンの配列ピッチより大であり、 上記トランスファレールはその長手方向の中央部を軸
支点として、上記姿勢変換のために回転自在とされ、 上記ストレージトラックレールは上記第1ICガイドレ
ーンの配列方向に往復動できるように支持され、 上記第1ICガイドレーン中の複数から上記複数の第2IC
ガイドレーンのそれぞれに被試験ICを同時に供給するこ
とができ、 上記ストレージトラックレールの上記第1ICガイドレ
ーンの配列方向における位置を変更して、被試験ICを上
記第2ICガイドレーンへ供給する上記第1ICガイドレーン
を選択的に変更できるようにされたIC試験装置におい
て、 恒温槽の外部から上記ストレージトラックレールを往
復動させる力を伝達するシャフトを熱膨張計数が小さい
材質で形成すると共に、このシャフトの先端を、上記ス
トレージトラックレールの上記第1ICガイドレーンの配
列方向における中央に連結した。
ストレスを与え、垂直面内で傾斜したストレージトラッ
クレールと、そのストレージトラックレールよりの被試
験ICの姿勢を転換してテストヘッドへ送り込むトランス
ファレールとが設けられ、 上記ストレージトラックレールには被試験ICを上方か
ら下方へ滑走させる複数の第1ICガイドレーンが互いに
平行に配列形成され、 上記トランスファーレルは上記ストレージトラックレ
ールの下流に位置し、その長手方向は上記第1ICガイド
レーンの配列方向とほぼ平行とされ、上記トランスファ
レールにはその長手方向と直角方向の第2ICガイドレー
ンの複数が配列形成され、 上記第2ICガイドレーンの配列ピッチは、上記第1ICガ
イドレーンの配列ピッチより大であり、 上記トランスファレールはその長手方向の中央部を軸
支点として、上記姿勢変換のために回転自在とされ、 上記ストレージトラックレールは上記第1ICガイドレ
ーンの配列方向に往復動できるように支持され、 上記第1ICガイドレーン中の複数から上記複数の第2IC
ガイドレーンのそれぞれに被試験ICを同時に供給するこ
とができ、 上記ストレージトラックレールの上記第1ICガイドレ
ーンの配列方向における位置を変更して、被試験ICを上
記第2ICガイドレーンへ供給する上記第1ICガイドレーン
を選択的に変更できるようにされたIC試験装置におい
て、 恒温槽の外部から上記ストレージトラックレールを往
復動させる力を伝達するシャフトを熱膨張計数が小さい
材質で形成すると共に、このシャフトの先端を、上記ス
トレージトラックレールの上記第1ICガイドレーンの配
列方向における中央に連結した。
よって被試験ICが引掛る事故が起き難いIC試験装置を
提供することができる。
提供することができる。
「実施例」 第１図にこの考案の一実施例を示す。第１図において
第２図と対応する部分には同一符号を付して示す。
第２図と対応する部分には同一符号を付して示す。
この考案においてはストレージトラックレール100と
駆動装置102との間を連結するシャフト103を例えばイン
バーのように熱膨張係数が小さい材料で形成すると共
に、シャフト103のストレージトラックレール100への連
結点をストレージトラックレール100に形成したレーン
Ａ及びＢの配列方向の中央位置Ｎに選定する。
駆動装置102との間を連結するシャフト103を例えばイン
バーのように熱膨張係数が小さい材料で形成すると共
に、シャフト103のストレージトラックレール100への連
結点をストレージトラックレール100に形成したレーン
Ａ及びＢの配列方向の中央位置Ｎに選定する。
このように構成することにより、ストレージトラック
レール100はＮ点を中心に＋Ｘ及び−Ｘ方向に熱膨張
し、トランファレール200の熱膨張の方向と一致する。
レール100はＮ点を中心に＋Ｘ及び−Ｘ方向に熱膨張
し、トランファレール200の熱膨張の方向と一致する。
然もシャフト103をインバーのような熱膨張係数の小
さい材料で形成するから熱膨張によってＮ点が移動する
ことはない。
さい材料で形成するから熱膨張によってＮ点が移動する
ことはない。
従ってストレージトラックレール100とトランスファ
レール200の材質を例えばアルミに統一しておくことに
よりＮ点及びＭ点を基準とする熱膨張による伸縮量を等
しくすることができる。
レール200の材質を例えばアルミに統一しておくことに
よりＮ点及びＭ点を基準とする熱膨張による伸縮量を等
しくすることができる。
「考案の効果」 以上説明したように、この考案によれば互いに異なる
機構によって支持されるレール相互の間において、熱膨
張によるレーンＡ及びＢと201の移動方向及び移動量を
一致させることができる。
機構によって支持されるレール相互の間において、熱膨
張によるレーンＡ及びＢと201の移動方向及び移動量を
一致させることができる。
この結果、恒温槽４内の温度を大きく変えても被試験
IC2Aが引掛る事故が起難いIC試験装置を提供することが
できIC試験装置の信頼性を向上できる実益が得られる。
IC2Aが引掛る事故が起難いIC試験装置を提供することが
できIC試験装置の信頼性を向上できる実益が得られる。
第１図はこの考案によるIC試験装置の一実施例を示す断
面図、第２図は従来の技術を説明するための断面図、第
３図はIC試験装置におけるIC搬送通路の形態を説明する
ための側面図である。 4:恒温槽、100:ストレージトラックレール、A,B:レー
ン、102:駆動装置、103:シャフト、200:トランスファレ
ール、201:レーン、202:軸受。
面図、第２図は従来の技術を説明するための断面図、第
３図はIC試験装置におけるIC搬送通路の形態を説明する
ための側面図である。 4:恒温槽、100:ストレージトラックレール、A,B:レー
ン、102:駆動装置、103:シャフト、200:トランスファレ
ール、201:レーン、202:軸受。
Claims (1)
- 【請求項１】A.恒温槽内に、被試験ICに熱ストレスを与
え、垂直面内で傾斜したストレージトラックレールと、
そのストレージトラックレールよりの被試験ICの姿勢を
転換してテストヘッドへ送り込むトランスファレールと
が設けられ、 上記ストレージトラックレールには被試験ICを上方から
下方へ滑走させる複数の第1ICガイドレーンが互いに平
行に配列形成され、 上記トランスファレールは上記ストレージトラックレー
ルの下流に位置し、その長手方向は上記第1ICガイドレ
ーンの配列方向とほぼ平行とされ、上記トランスファレ
ールにはその長手方向と直角方向の第2ICガイドレーン
の複数が配列形成され、 上記第2ICガイドレーンの配列ピッチは、上記第1ICガイ
ドレーンの配列ピッチより大であり、 上記トランスファレールはその長手方向の中央部を軸支
点として、上記姿勢変換のために回転自在とされ、 上記ストレージトラックレールは上記第1ICガイドレー
ンの配列方向に往復動できるように支持され、 上記第1ICガイドレーン中の複数から上記複数の第2ICガ
イドレーンのそれぞれに被試験ICを同時に供給すること
ができ、 上記ストレージトラックレールの上記第1ICガイドレー
ンの配列方向における位置を変更して、被試験ICを上記
第2ICガイドレーンへ供給する上記第1ICガイドレーンを
選択的に変更できるようにされたIC試験装置において、 B.恒温槽の外部から上記ストレージトラックレールを往
復動させる力を伝達するシャフトを熱膨張計数が小さい
材質で形成すると共に、このシャフトの先端を、上記ス
トレージトラックレールの上記第1ICガイドレーンの配
列方向における中央に連結したことを特徴とするIC試験
装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10574190U JP2548488Y2 (ja) | 1990-10-08 | 1990-10-08 | Ｉｃ試験装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10574190U JP2548488Y2 (ja) | 1990-10-08 | 1990-10-08 | Ｉｃ試験装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0463079U JPH0463079U (ja) | 1992-05-29 |
| JP2548488Y2 true JP2548488Y2 (ja) | 1997-09-24 |
Family
ID=31851553
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP10574190U Expired - Fee Related JP2548488Y2 (ja) | 1990-10-08 | 1990-10-08 | Ｉｃ試験装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2548488Y2 (ja) |
-
1990
- 1990-10-08 JP JP10574190U patent/JP2548488Y2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0463079U (ja) | 1992-05-29 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| KR101304274B1 (ko) | 테스트 핸들러의 픽앤플레이스장치 | |
| KR101952059B1 (ko) | 다축 검사 스코프에 의한 산업용 가스 터빈 및 다른 발전 기계의 자동화된 광학적 검사를 위한 시스템 및 방법 | |
| CN100376901C (zh) | 电子部件试验装置及其试验方法 | |
| JP5466018B2 (ja) | デバイステストに使用する補強アセンブリ | |
| KR100901395B1 (ko) | 테스트 핸들러의 버퍼 트레이 피치를 조절하는 방법 및장치 | |
| KR950004375A (ko) | 기판 포토리소그라피 시스템에서의 실리콘 기판을 소성하고 냉각하기 위한 장치 및 그 방법 | |
| JP2548488Y2 (ja) | Ｉｃ試験装置 | |
| US20160061884A1 (en) | Contact structure for a test handler, test handler having the contact structure and method of testing integrated circuit devices using the test handler | |
| KR20090019984A (ko) | 버퍼 트레이의 피치 조절 장치 및 버퍼 트레이를 이용하여반도체 장치들을 이송하는 장치 | |
| TWI534435B (zh) | Electronic component testing equipment and its application of test classification equipment | |
| US7733374B2 (en) | Image pickup device and substrate mounting apparatus for an electronic part | |
| NO164644B (no) | Innretning for haandtering av byggedeler. | |
| JP2008209401A (ja) | 電気的被検体を接触させるための接点装置とそれに必要な方法 | |
| JP2541903Y2 (ja) | Ｉｃ試験装置 | |
| US6296434B1 (en) | Product supply unit with offset wheel axes for non-tilting horizontal product supports | |
| KR101034343B1 (ko) | 테스트 핸들러의 반도체 디바이스를 이송하는 멀티 가변형 픽커 장치 | |
| JP2624010B2 (ja) | Ｉｃデバイスの恒温槽内外移行装置 | |
| JP2705420B2 (ja) | 低温ハンドラの温度制御方法 | |
| JPH0717026Y2 (ja) | Ｉｃ試験装置 | |
| JPH0449121A (ja) | ワークへのシム供給方法 | |
| SU1354043A1 (ru) | Стенд дл теплотехнических и аэродинамических испытаний теплообменных поверхностей | |
| JPH0736897Y2 (ja) | 菓子などのならべかえ装置 | |
| US4499727A (en) | Hot gas engine | |
| KR200172738Y1 (ko) | 반도체 디바이스 테스트용 핸들러 | |
| KR20040111541A (ko) | 전자부품 시험장치 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |