JPH0463079U - - Google Patents

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JPH0463079U
JPH0463079U JP10574190U JP10574190U JPH0463079U JP H0463079 U JPH0463079 U JP H0463079U JP 10574190 U JP10574190 U JP 10574190U JP 10574190 U JP10574190 U JP 10574190U JP H0463079 U JPH0463079 U JP H0463079U
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  • Testing Of Individual Semiconductor Devices (AREA)
  • Testing Or Measuring Of Semiconductors Or The Like (AREA)

Description

【図面の簡単な説明】
第１図はこの考案によるＩＣ試験装置の一実施
例を示す断面図、第２図は従来の技術を説明する
ための断面図、第３図はＩＣ試験装置におけるＩ
Ｃ搬送通路の形態を説明するための側面図である
。 ４……恒温槽、１００……ストレージトラツク
レール、Ａ，Ｂ……レーン、１０２……駆動装置
、１０３……シヤフト、２００……トランスフア
レール、２０１……レーン、２０２……軸受。

Claims (1)

  1. 【実用新案登録請求の範囲】 Ａ 金属板に互に平行する複数のＩＣガイドレー
    ンが形成され、恒温槽の内部においてこのＩＣガ
    イドレーンの配列方向に往復動できるように支持
    されたストレージトラツクレールと、このストレ
    ージトラツクレールの下流側に設けられ、上記Ｉ
    Ｃガイドレーンの配列方向の中央に軸支点を持ち
    ストレージトラツクレールから与えられるＩＣの
    姿勢を変換するために回動自在に設けられたトラ
    ンスフアレールとを具備したＩＣ試験装置におい
    て、 Ｂ 恒温槽の外部から上記ストレージトラツクレ
    ールを往復動させる力を伝達するシヤフトを熱膨
    張係数が小さい材質で形成すると共に、このシヤ
    フトの先端を上記ＩＣガイドレーンの配列方向の
    中央に連結したことを特徴とするＩＣ試験装置。
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