JPS63317942A - 光記録媒体 - Google Patents

光記録媒体

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JPS63317942A
JPS63317942A JP62153028A JP15302887A JPS63317942A JP S63317942 A JPS63317942 A JP S63317942A JP 62153028 A JP62153028 A JP 62153028A JP 15302887 A JP15302887 A JP 15302887A JP S63317942 A JPS63317942 A JP S63317942A
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肇 宇都宮
Kenji Uchiyama
内山 謙治
Hideki Ishizaki
石崎 秀樹
Masaru Takayama
勝 高山
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 ■ 発明の背景 技術分野 本発明は、レーザー光等の熱および光を用いて情報の記
録、再生を行う光磁気記録媒体等の光記録媒体に関する
先行技術とその問題点 光記録媒体の一つとして、光磁気メモリ用の媒体がある
光磁気メモリの記録媒体としては、 MnB1.MnAILGe、MnSb。
MnCuB1.  GdFe、  TbFe。
GdCo、  PtCo、  TbCo。
TbFeCo、  GdFeCo。
TbFeO3、GdIG、  GdTbFe。
GdTbFeCoB1.  CoFe2 04等の材料
が知られている。 これらは、真空蒸着法やスパッタリ
ング法等の方法で、プラスチックやガラス等の透明基板
上に薄膜として形成される。 これらの光磁気記録媒体
に共通している特性としては、 磁化容易軸が膜面に垂直方向にあり、 さらに、カー効果やファラデー効果が大きいという点を
あげることができる。
このような媒体に要求されることは、 第1に、キューリ一点が100〜200℃程度で、補償
点が室温付近であること、 第2に、ノイズとなる結晶粒界などの欠陥が比較的少な
いこと、 第3に、比較的大面積にわたって磁気的、機緘的に均一
な膜が得られることがあげられる。
このような要求に答え、上記材料のなかて、近年、希土
類−遷移金属の非晶質垂直磁性薄膜が大きな注目を集め
ている。
しかし、このような希土類−遷移金属非晶質薄膜からな
る光磁気記録媒体において、磁性薄膜層は大気に接した
まま保存されると、大気中の酸素や水により希土類が選
択的に腐食あるいは酸化されてしまい、情報の記録、再
生が不可能となる。
そこで、一般には、前記磁性薄膜層の基板側ないし基板
反対側表面に保護層を設けた構成を有するものが多く研
究されている。
従来、このような防湿性等の耐食性付与のための保護層
としては、−酸化ケイ素、二酸化ケイ素、窒化アルミ、
窒化ケイ素、硫化亜鉛等の無機系の真空蒸着膜や樹脂膜
等を設ける試み(特開昭58−80142号等)が開示
されている。 しかし、これらは、いずれも未だ耐食性
あるいは膜と基板との密着性の点で満足できるものでは
ない。
また、一定の組成を有する無機ガラスを保護層に用いた
場合においても、媒体の耐久性、特に水分透過の防止、
接着性の向上環の改善がみられる旨の開示かなされてい
る(特開昭59−52443号公報、同第60−177
449号公報)。
また、特開昭60−145525号にはSi3N4と5
in2との混合膜を保護層として用いる旨の提案がなさ
れている。
しかしながら、光磁気記録媒体の耐久性および耐食性に
対する要求は厳しく、これらのものではその効果は十分
とはいえず、また記録の際の感度および再生の際のC/
N比の点でも満足のいくものではない。
なお、このような問題は、いわゆる相転移タイプの記録
層を有する光記録媒体でも同様である。
■ 発明の目的 本発明の目的は、記録層の劣化が防止され、耐食性、耐
久性に優れ、記録、再生特性も良好な光記録媒体を提供
することにある。
■ 発明の開示 このような目的は、以下の本発明によって達成される。
すなわち、本発明の第1の発明は、基板上に記録層を有
し、基板と記録層との間および/または記録層の上に保
護層を有する光記録媒体において、前記保護層が、ケイ
素と、2価の金属元素の1種以上と、酸素および窒素と
を含有し、さらにイツトリウム、ランタノイド元素およ
びアクチノイド元素のうちの1種以上とを含有すること
を特徴とする光記録媒体である。
また、第2の発明は、基板上に記録層を有し、基板と記
録層との間および/または記録層の上に保護層を有する
光記録媒体において、前記保護層がケイ素と、2価の金
属元素の1種以上と、アルミニウムおよび/またはホウ
素と、酸素および窒素とを含有し、さらにイツトリウム
、ランタノイド元素およびアクチノイド元素のうちの1
種以上を含有することを特徴とする光記録媒体である。
■ 発明の具体的構成 以下、本発明の具、体的構成について詳細に説明する。
本発明の光記録媒体のうち、光磁気記録媒体の一実施例
が第1図に示される。
第1図において、本発明の光磁気記録媒体1は、基板2
上に、保護層31を有し、その上に記録層としての磁性
薄膜層4を有し、その上に基板裏面側保護層35が設け
られる。
このような本発明の保護層31は、ケイ素と、2価の金
属元素の1種以上と、酸素と、窒素と、イツトリウム、
ランタノイド元素およびアクチノイド元素のうちの1種
以上とを含有する。
また、本発明の第2の発明では、保護層31中にさらに
アルミニウムおよび/またはホウ素を含有する。
このような各元素を含有させることによって、きわめて
良好な耐久性と耐食性とが発揮され、記録、再生特性も
優れたものとなる。
また、この場合、これら各必須元素の1つでも欠けたと
きには、本発明の効果は実現しない。
本発明において2価の金属元素(以下M2という)は、
Ba、Ca、Mg、Zn、Pb。
Sr等の1種以上が挙げられ、なかでも特にBa、Ca
、Srの1〜3種を用いるのが好ましい。 これら2種
以上のM2を用いる場合、それぞれの量比は任意である
本発明においてはケイ素、2価の金属元素(M2)の1
種類以上、あるいはこれにアルミニウムおよび/または
ホウ素を加えたものの中の、ケイ素の原子比St/(S
i+u2+Axおよび/またはB)が0.3〜0.9、
特に0.3〜0.8であることが好ましい。
S i / (S i +M2+’A1および/または
B)が0.3未満であると、耐食性の点で不利となり、
0.9をこえると安定性の点で不利となるからである。
また、酸素および窒素中の酸素の原子比0/(0+N)
は0.4〜0.8、特に0.5〜0.8であることが好
ましい。
0/(0+N)が0.4未満となると、耐食性の点で不
利となり、0.8をこえると電磁変換特性および耐久性
の点で不利となるからである。
本発明においては、金属または半金属元素としてさらに
アルミニウムおよび/またはホウ素を含有してもよく、
アルミニウムおよび/またはホウ素を含有することによ
って耐食性がさらに向上する。
この場合、ホウ素および/またはアルミニウムのケイ素
に対する原子比(Bおよび/またはA 11 ) / 
S iは1.0以下、特に0.1〜1.0、より好まし
くは0.3〜1.0であることが好ましい。
(Bおよび/またはAfi)/Siが1.0をこえると
、耐食性、耐久性、膜の均一性の点で不利となる。 た
だし、0.1未満では添加の実効がない。
BとAILとを含有させる場合、互いの量比は任意であ
る。
なお、保護層中の各元素の含有量は、オージェ、ESC
A%SIMS%LAMMA等によって測定すればよい。
このような場合、ケイ素、アルミニウムおよび/または
ホウ素、2価の金属(M2)の1種類以上は通常酸化物
および窒化物の形で含有され、ガラス質を形成する。
上記のガラス質中において、上記の各元素は、以下のよ
うに含有される。゛ まずStは、通常Siの酸化物(通常、5iO2)およ
びSiの窒化物(通常、5i3N4)、として含有され
る。 ま た、2価の金属は通常酸化物(通常、BaO
CaO,MgO,ZnO,PbO,SrO等M2O)な
どとして含有される。
さらにAnおよび/またはBが含有される場合は通常酸
化物(通常、Au203゜B203)や窒化物(通常、
AR,N、BN)として含有される。 すなわち、化学
量論組成で示すならば、5i02とM2Oとに加え、S
 13 N4 、 A1203. A1.N、 B20
3およびBNの1種以上が含有されるものである。
これらの化合物は、その組成において上記の化学量論的
な組成比をはずれていてもよい。
そして、本発明において最終的に保護層中には、Siの
酸化物(S i 02換算)対Siの窒化物(Si3N
4換算)のモル比が50対50〜90対10程度である
さらにAI!、および/またはBが含有される場合は、
Si、AJZおよびBの酸化物の総計(S i 02 
、 A IL203およびB2O3換算)対Si、Aj
2およびBの窒化物の総計(Si3N4.A2Nおよび
BN換算)のモル比が50対50〜90対10程度であ
る。
この場合、化学量論組成で示したときのAl1,03と
B2O3との量比や、5i3N4とAfiNとBNとの
量比は任意である。
本発明においては1価の金属元素Li。
Na、に、Rb、Cs、Fr、好ましくはLi、Na、
Kが通常酸化物の形で、例えばLi2O,Na、、o、
に20.Rb2O。
Cs2O,Fr20等として含有されていてもよい。 
これら1価の金属の酸化物の含有量は全体の10wt%
以下とする。
このような保護層は、通常非晶質状態にある。
また、本発明の保護層は、上記非晶質に、イツトリウム
、ランタノイド元素およびアクチノイド元素のうちの1
種以上が含有される。
これらのうちでは、特にイツトリウムおよびランタノイ
ド元素のうちの1種類以上が含有されるのが好ましい。
これらを含有することによって、記録感度やC/N比が
より良好なものになる。
そして、特にイツトリウム(Y)、ランタン(La)、
セリウム(Ce)、プラセオジム(Pr)、ネオジム(
Nd)、プロメチウム(Pm)、サマリウム(S m 
)およびユーロピウム(Eu)からなる群から選ばれた
元素の1種以上が含有されると、より一層好ましい結果
が得られる。 このとき、記録感度、C/N比等の記録
、再生特性のみならず、耐久性、耐食性等の面でもより
良好な結果が得られるからである。
これら、イツトリウム、ランタノイド元素およびアクチ
ノイド元素の1種以上(以下これらをRとする)は、保
護層中にて上記非晶質と混合含有されるものであるが、
元素単体あるいは化合物いずれかの形で含有されてもよ
い。 化合物として含有される場合は、通常酸化物の形
で含有されることが好ましい。
このような場合、記録、再生特性とともに耐食性や耐久
性を向上させるためには、」−記Rは、元素単体、ある
いは部分酸化物の形で含有されるのが好ましい。 これ
は、これら各元素が保護層中で酸素トラップの役割をし
、耐久性の向上に寄与するからである。
また、イツトリウム、ランタノイド元素およびアクチノ
イド元素の1種以上の含有量は、ケイ素、2価の金属の
1種以上、あるいはこれにアルミニウムおよび/または
ホウ素を加えたものに対し、2〜250 at%より好
ましくは2〜212at%である。 これは2at%未
満であると本発明の効果が無く、250 at%をこえ
るとC/N比の低下を生ずるからである。
なお、上記のイツトリウム、ランタノイド元素およびア
クチノイド元素は一般に各元素の化学量論組成酸化物(
一般にY2O2、La2O3等のR2O3、ただし、C
eはCe02)に対し、酸素量が90%以下の単体また
は酸化物として含有されることが好ましい。
このような保護層は、通常非晶質状態にある。
また、このような保護層は、各種気相成膜法、例えば、
スパッタ法、蒸着法、イオンブレーティング法、プラズ
マCVD、光CVD。
等により設層される。 特にスパッタ法を用いることが
好ましく、この場合設層されるべき組成に対応するター
ゲットを用いるスパッタ法、2種以上の異なる組成から
なるターゲットを用いた多元スパッタ法、あるいは酸素
、窒素を用いる反応性スパッタ法等によって形成される
そして、特に、上記ガラス貿と、イツトリウム、ランタ
ノイド元素、およびアクチノイド元素のうちの1種以上
をターゲットとして用いる2元スパッタ法を用いること
が好ましい。
そして、このような保護層の厚さは、 300〜3000人、特に500〜2000人とするこ
とが好ましい。
この値が300人未満であると、耐候性が悪く、また3
000人をこえると、感度が低下する。
また、保護層中の不純物として、成膜雰囲気中に存在す
るAr、N2等が入ってもよい。
その他、F e203 、 Cuo、 Cr 203、
Mn0X、Coo、Nip、As2O3等が全体の1.
Owt%程度以下含有されてもよい。
本発明において記録層として用いる磁性薄膜層4は、変
調された熱ビームあるいは変調された磁界により、情報
が磁気的に記録されるものであり、記録情報は磁気−光
変換して再生するものである。
このような磁性薄膜層4の材質としては、Gd、Tb等
の希土類金属と好ましくはFe、Co等の遷移金属の合
金をスパッタ、蒸着法等により、非晶質膜として形成し
たものである。
この場合、FaとCoの総合有量は、65〜85at%
であることが好ましい。
そして、残部は実質的に希土類金属、特にGdおよび/
またはTbである。
そして、その好適例としては、T b F eCo、G
dFeCo、GdTbFeCo等がある。
なお、これら磁性薄膜層中には10at%以下の範囲で
Cr、Al2.Ti、Pt、Si。
Mo、  Mn、  V、  Ni、  Cu、  Z
n、  Ge。
Au等が含有されてもよい。
また、希土類元素として10”at%以下の範囲でSc
、Y、La、Ce、Pr、Nd、Pm。
3m% Eu、  Dy、  Ho、  Er、  T
m、  Yb。
Lu等を含有してもよい。
このような磁性薄膜層の厚さは、通常、100〜100
00A程度である。
この他記録層の材質としては、いわゆる相転移タイプの
ものとして、例えば、 T e −S e 、  T e −S e −S n
 、 T e −Ge、Te−Tn、Te−3n、Te
−Ge −5b−3,Te−Ge−As−3i、Te 
−3i、 Te−Ge−31−3b、 Te−Ge −
Bi、Te−Ge−In−Ga、Te−3t −B 1
−T11.、  Te−Ge−B i −I n−3゜
Te−As−Ge−3b、Te−Ge−3e −5,T
e−Ge−3e、Te−As−Ge −Ga、Te−G
e−3−In% 5e−Ge −Tl1% 5e−Te
−As、  5e−Ge−T I!、−3b、5e−G
e−Bi、5e−3(以上、特公昭54−41902号
、特許第1004835号など) TeOX (特開昭58−54338号、特許第974
257号記載のTe酸化物中に分散されたTe)、 T e O,+ P b O,(特許第974258号
)、 Tea、+VOX (特許第974257号)、その他
、Te−Tl1、Te−Tl−3i、5e−Zn−3b
、Te−3e−Ga。
TeNX等のTe、Seを主体とするカルコゲン系 Ge−3n、5i−3n等の非晶質−結晶質転移を生じ
る合金 Ag−Zn、Ag−Al−Cu、Cu−An等の結晶構
造変化によって色変化を生じる合金、In−3b等の結
晶粒径の変化を生じる合金などがある。
このような記録層は、蒸着法、スパッタ法、イオンブレ
ーティング法等のドライコーティング方式等を用いて設
層すればよい。 そしてその設層厚さは20nm〜1戸
程度とされる。
基板2は、ガラスないし樹脂製であり、好ましい樹脂材
質としては、アクリル樹脂、ポリカーボネート樹脂、エ
ポキシ樹脂、ポリメチルペンテン樹脂などがあげられる
これらの樹脂のうち、耐久性、特にソリなどに対する耐
性等の点でポリカーボネート樹脂が好ましい。
この場合のポリカーボネート樹脂としては、脂肪族ポリ
カーボネート、芳香族−脂肪族ポリカーボネート、芳香
族ポリカーボネートのいずれであってもよいが、特に芳
香族ポリカーボネート樹脂であることが好ましい。 こ
れらのうちでは融点、結晶性、とり扱い等の点でビスフ
ェノールがらのポリカーボネート樹脂が好ましい。 中
でもビスフェノールAタイプのポリカーボネート樹脂は
最も好ましく用いられる。
また、ポリカーボネート樹脂の数平均分子量は1.10
,000〜15,000程度であることか好ましい。
このような基板2の830 nmの屈折率は通常1.5
5〜1.59程度である。
なお、記録は基板2をとおして行うのて、書き込みない
し読み出し光に対する透過率は86%以上とする。
このようなディスク耽基板の磁性薄膜層形成面には、ト
ラッキング用の溝が形成されてもよい。
溝の深さは、λ/ 8 n程度、特に^/ 6 n〜λ
/1zn(ここに、nは基板の屈折率である)とされる
。 また、溝の巾は、0.4〜2.0−程度とされる。
また、アドレス用のピットが形成されていてもよい。
そして、通常、この溝の凹部に位置する磁性薄膜層を記
録トラック部として、書き込み光および読み出し光を基
板裏面側から照射することが好ましい。
このように構成することにより、書き込み感度と読み出
しのC/N比が向上し、しかもトラッキングの制御信号
は大きくなる。
また、その他の基板の形状として、テープ、ドラム等と
してもよい。
本発明においては磁性薄膜層4の上に基板裏面側保護層
35を設けてもよい。
このような、基板裏面側保護層35の材質としては、ガ
ラス質のものであれば特に制限はなく、保護層31と同
様な材質を用いてもよい。
この場合、好ましい保護層材質としては、特願昭61−
300859号、同61−302275号、同61−3
03224号、同61−307300号、同61−31
3614号、同61−313615号、同61−314
949号、同6m−314948号、同61−3137
20等が開示されている。 このとき、耐久性、耐食性
はより優れたものとなる。
また、この基板裏面側保護層35は、前記の保護層31
と同材質にすることもできる。 なお、場合によっては
必要に応じ、保護層31を前記と異なる組成とし、基板
裏面側保護層35のみを前記のSiと、M2と、AI!
、および/またはBと、Rと、0と、Nとを含有する組
成としてもよい。
また、このような基板裏面側保護層35の形成方法は、
保護層31の方法に準じて行なえばよく、その膜厚は3
00〜3000人程度、特に500〜2000人とする
ことか好ましい。
また、通常、基板裏面側保護層35上には、有機保護コ
ート層5が設けられる。
有機保護コート層5の材質としては、通常、公知の種々
の有機系の物質を用いればよい。
より好ましくは、放射線硬化型化合物を電子線、紫外線
等の放射線で硬化させたものを用いるのがよい。
用いる放射線硬化型化合物としては、イオン化エネルギ
ーに感応し、ラジカル重合性を示す不飽和二重結合を有
ずアクリル酸、メタクリル酸、あるいはそれらのエステ
ル化合物のようなアクリル系二重結合、ジアリルフタレ
ートのようなアリル系二重結合、マレイン酸、マレイン
酸誘導体等の不飽和二重結合等の放射線照射による架橋
あるいは重合乾燥する基を分子中に含有または導入した
モノマー、オリゴマーおよびポリマー等を挙げることが
できる。
放射線硬化型モノマーとしては、分子量2000未満の
化合物が、オリゴマーとしては分子量2000〜100
00のものが用いられる。
これらはスチレン、エヂルアクリレート、エチレングリ
コールジアクリレート、エチレングリコールジメタクリ
レート、ジエヂレングリコールジアクリレート、ジエヂ
レンク′リコールメタクリレート、1.6−ヘキサンゲ
リコールシアクリレート、1.6−ヘキサンダリコール
ジメタクリレート等も挙げられるが、特に好ましいもの
としては、ベンタエリスリトールテトラアクリレート(
メタクリレート)、ペンタエリスリトールアクリレート
(メタクリレ−日、トリメチロールプロパントリアクリ
レート(メタクリレート)、トリメチロールプロパンジ
アクリレート(メタクリレート)、多官能オリゴエステ
ルアクリレート(アロニックスM− 7100、M−5400,M−5500,M−5700
、M−6250%M−6500,M−8030、M−8
060,M−8100等、東亜合成)、ウレタンエラス
トマーにツボラン4040)のアクリル変性体、あるい
はこれらのものにC0OH等の官能基が導入されたもの
、フェノールエチレンオキシド付加物のアクリレート(
メタクリレート)、下記一般式で示されるペンタエリス
リトール縮合環にアクリル基(メタクリル基)またはε
−カプロラクトン−アクリル基のついた化合物、 1)   (CH2=CHCOOCH2)3−CCH2
0H(特殊アクリレートA) 2)   (CH2=CHCOOCH2)3−CCH2
0H3(特殊アクリレートB) 3)   (CH2=CHCO(OC3Hs)n−OC
H2)3−CCH2CH3(特殊アクリレートC) (特殊アクリレートD) (特殊アクリレートE) ■ CH2CH2C00C)m=C)(2 (特殊アクリレートF) 式中、m=1、a=2、b=4の化合物(以下、特殊ペ
ンタエリスリトール縮合物Aという)、 m==1、a=3、b=3の化合物(以下、特殊ペンタ
エリスリトール縮合物Bという)、m=1、a=6、b
=oの化合物(以下、特殊ペンタエリスリトール縮合物
Cという)、m=2、a=6、b=oの化合物(以下、
特殊ペンタエリスリトール縮合物りという)、および下
記式一般式で示される特殊アクリレート類等が挙げられ
る。
(n中16)       (特殊アクリレートG)8
)  CH2=CHCOO(CH2CH20)4  C
0CR=CH2(特殊アクリレートH) CH2CH2C00CH=CH2 (特殊アクリレートI) (特殊アクリレートJ) A;アクリノ4、   x:多価アルコールY:多塩基
酸     (特殊アクリレートK)12)   A(
−M−N−)−M−AAニアクリル酸、  M:2価ア
ルコールN:2塩基酸     (特殊アクリレートし
)また、放射線硬化型オリゴマーとしては、下記一般式
で示される多官能オリゴエステルアクリレートやウレタ
ンエラストマーのアクリル変性体、あるいはこれらのも
のにC0OH等の官能基が導入されたもの等が挙げられ
る。
(式中R1、R2:アルキル、n:整数)また、熱可塑
性樹脂を放射線感応変性することによって得られる放射
線硬化型化合物を用いてもよい。
このような放射線硬化性樹脂の具体例としては、ラジカ
ル重合性を有する不飽和二重結合を示すアクリル酸、メ
タクリル酸、あるいはそれらのエステル化合物のような
アクリル系二重結合、ジアリルフタレートのようなアリ
ル系二重結合、マレイン酸、マレイン酸誘導体等の不飽
和結合等の、放射線照射による架橋あるいは重合する基
を熱可塑性樹脂の分子中に含有、または導入した樹脂で
ある。
放射線硬化性樹脂に変性できる熱可塑性樹脂の例として
は、塩化ビニル系共重合体、飽和ポリニスルチル樹脂、
ポリビニルアルコール系樹脂、エポキシ系樹脂、フェノ
キシ系樹脂、繊維素誘導体等を挙げることができる。
その他、放射線感応変性に用いることのてきる樹脂とし
ては、多官能ポリエステル樹脂、ポリエーテルエステル
樹脂、ポリビニルピロリドン樹脂および誘導体(pvp
オレフィン共重合体)、ポリアミド樹脂、ポリイミド樹
脂、フェノール樹脂、スピロアセタール樹脂、水酸基を
含有するアクリルエステルおよびメタクリルエステルを
重合成分として少くとも一種含むアクリル系樹脂等も有
効である。
このような放射線硬化型化合物の有機保護コート層5の
膜厚は0.1〜30μm、より好ましくは1〜10μm
である。
この膜厚が0.1μm未満になると、一様な膜を形成で
きず、湿度が高い雰囲気中での防湿効果が十分でなく、
磁性薄膜層4の耐久性が向上しない。 また、30μm
をこえると、樹脂膜の硬化の際に伴う収縮により記録媒
体の反りや保護膜中のクラックが生じ、実用に耐えない
このような塗膜は、通常、スピンコード、クラビア塗布
、スプレーコート、ディッピング等、種々の公知の方法
を組み合わせて設層ずればよい。 この時の塗膜の設層
条件は、塗膜組成の混合物の粘度、目的とする塗膜厚さ
等を考慮して適宜決定すればよい。
このような塗膜を硬化させて保護層とするには、電子線
、紫外線等の放射線を塗膜に照射すればよい。
電子線を用いる場合、放射線特性としては、加速電圧1
00〜750KV、好ましくは150〜300KVの放
射線加速器を用い、吸収線量を0.5〜20メガラツト
になるように照射するのが好都合である。
一方、紫外線を用いる場合には、前述したような放射線
硬化型化合物の中には、通常、光重合増感剤が加えられ
る。
この光重合増感剤としては、従来公知のものでよく、例
えばベンゾインメチルエーテル、ベンゾインエチルエー
テル、α−メチルベンゾイン、α−クロルデオキシベン
ゾイン等のベンゾイン系、ベンゾフェノン、アセトフェ
ノン、ビスジアルキルアミノヘンソフェノン等のケトン
類、アントラキノン、フエナントラキノン等のキノン類
、ベンジルジスルフィド、テトラメヂルチウラムモノス
ルフィド等のスルフィド類等を挙げることができる。 
光重合増感剤は樹脂固形分に対し、0.1〜10重量%
の範囲が望ましい。
そして、このような光重合増感剤と放射線硬化型化合物
を含有する塗膜を紫外線によって硬化させるには、公知
の種々の方法に従えばよい。
たとえば、キセノン放電管、水素放電管などの紫外線電
球等を用いればよい。
このような有機保護コート層5の上には、通常接着剤層
6を介して保護板7が設けられる。
すなわち、前記の基板2の裏面(磁性薄膜層4を設けて
いない側の面)側からのみ記録・再生を行う、いわゆる
片面記録の場合には、この保護板7を用いる。
このような保護板7の樹脂材質は特別に透明性等を要求
されることはなく、種々の樹脂、例えば、ポリエチレン
、ポリ塩化ビニル、ポリスチレン、ポリプロピレン、ポ
リビニルアルコール、メタクリル樹脂、ポリアミド、ポ
リ塩化ビニリデン、ポリカーボネート、ポリアセタール
、ふフ素樹脂等の各種熱可塑性樹脂、フェノール樹脂、
ユリア樹脂、不飽和ポリエステル樹脂、ポリウレタン、
アルキド樹脂、メラミン樹脂、エポキシ樹脂、ケイ素樹
脂等の各種熱可塑性樹脂等が使用可能である。
なお、ガラス、セラミック等の各種無機材質を保護板7
として用いてもよい。
このものの形状、寸法等は上記の基板2のそれとほぼ同
様とされる。
このような保護板7は、前述したように接着剤層6を介
して接着される。 接着剤層は、通常、ホットメルト樹
脂等の接着剤であって、この膜厚は1〜100μm程度
とされる。
他方、上記の保護板7を用いる代りに、上記の磁性薄膜
層4、保護層31、基板裏面側保護層35、有機保護コ
ート層5等を有する基板をさらに1セツト用いて、陶磁
性薄膜層を内側にして対向させて、接着剤層6を用いて
貼り合せて、内基板の裏面側から書き込みを行なう、い
わゆる両面記録タイプとしてもよい。 さ らに、これ
らの基板2や保護板7の裏面(磁性薄膜層4を設けてい
ない側の面)には各種保護服としてのコーティングを行
うことが好ましい。
コーティングの材質としては、前述した有機保護コート
層5の材質と同様なものとしてもよい。
■ 発明の効果 本発明の光記録媒体は、記録感度およびC/N比等の記
録、再生特性がきわめて良好であるそして耐久性、耐食
性もきわめて良好である。
■ 発明の具体的実施例 以下、本発明の実施例を挙げ、本発明をさらに詳細に説
明する。
[実施例1] 直径13cm、厚さ1.2mmのビスフェノールA系の
光デイスクグレードポリカーボネート樹脂からなる基板
2上に、各種酸化物お足び窒化物と、イツトリウム、ラ
ンタノイド元素およびアクチノイド元素とをターゲット
として用い、酸素および窒素を含む雰囲気下で反応性の
多元スパッタリングを行い、ガラス質の保護層31を設
層した。 設層に際しては、各ターゲットのスパッタレ
ートを制御して、各酸化物および各窒化物のスパッタレ
ート(wt%)が各化合物の化学量論組成に換算して、
下記表1に示されるようになるようにスパッタリングを
行った。
保護層組成について、オージェ分光分析を行い、保護層
中のR/Mと、S i / Nと、0/(0+N)を算
出して表1に示す。 なお、MはSiと2価の金属M2
とAfiおよび/またはBと、アルカリ金属Mlとの総
計である。 また、Rはイツトリウム、ランタノイド元
素およびアクチノイド元素である。 膜厚は各サンプル
につき全て800人とした。
このような保護層の上に25at%Tb。
63at%Fe、7at%Co、5at%Ti合金薄膜
を、スパッタリングによって厚さ800人に設層し、磁
性薄膜層4とした。
なお、ターゲットは、FeターゲットにTb、Co、T
iチップをのせたものを用いた。
この磁性薄膜層4上に、さらに、表1に示されるNO1
9における保護層31の組成の基板裏面側保護層35を
800人に設層した。
この基板裏面側保護層35の上に、下記の放射線硬化型
化合物を含む塗布組成物を有機保護コート層5として、
スピンコードで設層した。
(塗布組成物) 多官能オリゴエステルアクリレート 100重量部 光増感剤            5重量部このような
塗布組成物を設層後、紫外線を15sec照射し架橋硬
化させ、硬化膜とし耽 このようにして、下記表1に示されるような種々のサン
プルを作製した。
これについて下記の特性を測定した。
(1)耐久性 ビートサイクルテスト・・・lEC−1−38(−10
℃〜60℃、90%RH) 上記加速試験にてバーストエラーが2倍となる時間を測
定した。 この条件の場合主に膜のパクリ、クラック等
がバーストエラーの増加に寄与していた。
(2)耐食性 高温高湿(80℃、80%RH)保存テスト上記加速試
験にてバーストエラーが2倍となる時間を測定した。 
この条件の場合主に孔食(ピンホール)の発生がバース
トエラーの増加に寄与していた。
(3)C/N比 下記の条件にてC/N比を測定した。
線速           4 m / S e c搬
送周波数        1.0MHz分解能    
       30KHzビデオバンド巾      
 100Hz記録パワー(830nm)   3〜6m
W再生パワー(830nm)      1mW結果を
表1.2に示す。
なお、このような効果は、相転移型のTe−Ge、Te
aX、Te−3e等の記録層でも同様に実現した。
以上の結果より本発明の効果は明らかである。
【図面の簡単な説明】
第1図は、本発明の1例を示す光磁気記録媒体の断面図
である。 符号の説明 1・・・光磁気記録媒体、 2・・・基板 31・・・保護層、 35・・・基板裏面側保護層、 4・・・磁性薄膜層、 5・・・有機保護コート層、 6・・・接着剤層、 7・・・保護板 F I G、 1

Claims (1)

  1. 【特許請求の範囲】 (1)基板上に記録層を有し、基板と記録層との間およ
    び/または記録層の上に保護層を有する光記録媒体にお
    いて、前記保護層が、ケイ素と、2価の金属元素の1種
    以上と、酸素および窒素とを含有し、さらにイットリウ
    ム、ランタノイド元素およびアクチノイド元素のうちの
    1種以上とを含有することを特徴とする光記録媒体。 (2)前記保護層中のイットリウム、ランタノイド元素
    およびアクチノイド元素の1種以上の含有量が、ケイ素
    と2価の金属元素の1種以上との統計に対し、2〜25
    0at%含有される特許請求の範囲第1項に記載の光記
    録媒体。 (3)前記保護層中のケイ素および2価の金属元素の1
    種以上中のケイ素の原子比が、 0.3〜0.9である特許請求の範囲第1項または第2
    項に記載の光記録媒体。 (4)前記保護層中の酸素および窒素中の酸素の原子比
    が、0.4〜0.8である特許請求の範囲第1項ないし
    第3項のいずれかに記載の光記録媒体。 (5)基板と記録層との間に保護層を有し、この保護層
    がケイ素と、2価の金属元素の1種以上と、酸素および
    窒素とを含有し、さらにイットリウム、ランタノイド元
    素およびアクチノイド元素のうちの1種以上とを含有す
    る特許請求の範囲第1項ないし第4項のいずれかに記載
    の光記録媒体。 (6)基板と記録層との間および記録層の上に保護層を
    有し、少なくとも基板と記録層との間の保護層が、ケイ
    素と、2価の金属元素の1種以上と、酸素および窒素と
    を含有し、さらにイットリウム、ランタノイド元素およ
    びアクチノイド元素のうちの1種以上とを含有する特許
    請求の範囲第1項ないし第5項のいずれかに記載の光記
    録媒体。 (7)基板上に記録層を有し、基板と記録層との間およ
    び/または記録層の上に保護層を有する光記録媒体にお
    いて、前記保護層がケイ素と、2価の金属元素の1種以
    上と、アルミニウムおよび/またはホウ素と、酸素およ
    び窒素とを含有し、さらにイットリウム、ランタノイド
    元素およびアクチノイド元素のうちの1種以上とを含有
    することを特徴とする光記録媒体。 (8)前記保護層中のイットリウム、ランタノイド元素
    およびアクチノイド元素のうちの1種以上の含有量が、
    ケイ素と、2価の金属元素の1種以上と、アルミニウム
    および/またはホウ素との総計に対し、2〜250at
    %含有される特許請求の範囲第7項に記載の光記録媒体
    。 (9)前記保護層中のケイ素と、2価の金属元素の1種
    以上と、アルミニウムおよび/またはホウ素中のケイ素
    の原子比が、0.3〜0.9である特許請求の範囲第7
    項にまたは第8項に記載の光記録媒体。 (10)前記保護層中のアルミニウムおよび/またはホ
    ウ素のケイ素に対する原子比が、1.5以下である特許
    請求の範囲第7項にないし第9項のいずれかに記載の光
    記録媒体。(11)前記保護層中の酸素および窒素中の
    酸素の原子比が、0.4〜0.8である特許請求の範囲
    第7項ないし第10項のいずれかに記載の光記録媒体。 (12)基板と記録層との間に保護層を有し、この保護
    層がケイ素と、2価の金属元素の1種以上と、アルミニ
    ウムおよび/またはホウ素と、酸素および窒素とを含有
    し、さらにイットリウム、ランタノイド元素およびアク
    チノイド元素のうちの1種以上とを含有する特許請求の
    範囲第7項ないし第11項のいずれかに記載の光記録媒
    体。 (13)基板と記録層との間および記録層の上に保護層
    を有し、少なくとも基板と記録層との間の保護層が、ケ
    イ素と、2価の金属元素の1種以上と、アルミニウムお
    よび/またはホウ素と、酸素および窒素とを含有し、さ
    らにイットリウム、ランタノイド元素およびアクチノイ
    ド元素のうちの1種以上とを含有する特許請求の範囲第
    7項ないし第12項のいずれかに記載の光記録媒体。
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