JPS63303359A - プリント配線板の保護フイルム剥離装置 - Google Patents
プリント配線板の保護フイルム剥離装置Info
- Publication number
- JPS63303359A JPS63303359A JP13952787A JP13952787A JPS63303359A JP S63303359 A JPS63303359 A JP S63303359A JP 13952787 A JP13952787 A JP 13952787A JP 13952787 A JP13952787 A JP 13952787A JP S63303359 A JPS63303359 A JP S63303359A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- wiring board
- printed wiring
- protective film
- film
- endless belt
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 230000001681 protective effect Effects 0.000 title claims abstract description 32
- 239000007921 spray Substances 0.000 claims abstract description 20
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims abstract description 19
- 238000010030 laminating Methods 0.000 claims abstract description 5
- 239000012530 fluid Substances 0.000 claims description 9
- 238000005507 spraying Methods 0.000 claims description 4
- 230000008961 swelling Effects 0.000 claims description 3
- 229920005989 resin Polymers 0.000 abstract description 3
- 239000011347 resin Substances 0.000 abstract description 3
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 abstract 1
- 238000000576 coating method Methods 0.000 abstract 1
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 11
- RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N Copper Chemical group [Cu] RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 10
- 238000000034 method Methods 0.000 description 8
- 239000011889 copper foil Substances 0.000 description 7
- 239000000463 material Substances 0.000 description 5
- 239000002023 wood Substances 0.000 description 5
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 4
- 229920006267 polyester film Polymers 0.000 description 4
- 229910052802 copper Inorganic materials 0.000 description 3
- 239000010949 copper Substances 0.000 description 3
- 229920002120 photoresistant polymer Polymers 0.000 description 3
- 238000012546 transfer Methods 0.000 description 3
- 239000004698 Polyethylene Substances 0.000 description 2
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- 230000005611 electricity Effects 0.000 description 2
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 2
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 2
- 239000005001 laminate film Substances 0.000 description 2
- 239000007788 liquid Substances 0.000 description 2
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 2
- -1 polyethylene Polymers 0.000 description 2
- 229920000573 polyethylene Polymers 0.000 description 2
- 239000011342 resin composition Substances 0.000 description 2
- 230000003068 static effect Effects 0.000 description 2
- KXGFMDJXCMQABM-UHFFFAOYSA-N 2-methoxy-6-methylphenol Chemical compound [CH]OC1=CC=CC([CH])=C1O KXGFMDJXCMQABM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000004593 Epoxy Substances 0.000 description 1
- LFQSCWFLJHTTHZ-UHFFFAOYSA-N Ethanol Chemical compound CCO LFQSCWFLJHTTHZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000007796 conventional method Methods 0.000 description 1
- 230000007547 defect Effects 0.000 description 1
- 230000002950 deficient Effects 0.000 description 1
- 230000000994 depressogenic effect Effects 0.000 description 1
- 238000011161 development Methods 0.000 description 1
- 229920001971 elastomer Polymers 0.000 description 1
- 239000003822 epoxy resin Substances 0.000 description 1
- 239000000835 fiber Substances 0.000 description 1
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 1
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 1
- 229920001568 phenolic resin Polymers 0.000 description 1
- 239000005011 phenolic resin Substances 0.000 description 1
- 229920000647 polyepoxide Polymers 0.000 description 1
- 229920001721 polyimide Polymers 0.000 description 1
- 238000007639 printing Methods 0.000 description 1
- 238000012545 processing Methods 0.000 description 1
- 239000005060 rubber Substances 0.000 description 1
- 229920003002 synthetic resin Polymers 0.000 description 1
- 239000000057 synthetic resin Substances 0.000 description 1
Landscapes
- Photosensitive Polymer And Photoresist Processing (AREA)
- Manufacturing Of Printed Circuit Boards (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
産業上の利用分野
本発明は、木で膨潤させて剥離する保護フィルムを積層
してなるプリン(・配線板、殊にフレキシブルプリント
配線板から、前記保護フィルムを自動的に剥離するため
の装置に関するものである。
してなるプリン(・配線板、殊にフレキシブルプリント
配線板から、前記保護フィルムを自動的に剥離するため
の装置に関するものである。
従来の技術
ポリエステルフィルムなどのベースフィルム上に感光性
樹脂組成物を層状に塗布、乾燥し、さらにその上からポ
リエチレンフィルムなどのフィル1、を積層したラミネ
ートフィルムは、一般にドライフィルムと称され、プリ
ント配線板製造用に広く使用されている。その使用にあ
たっては、才ずドライフィルムからポリエチレンフィル
ムを剥離して感光性樹脂層を銅張基板の銅面に貼り付け
、パターンマスクをベースフィルム上に当てて露光し、
ついでベースフィルムを剥離して現像する。
樹脂組成物を層状に塗布、乾燥し、さらにその上からポ
リエチレンフィルムなどのフィル1、を積層したラミネ
ートフィルムは、一般にドライフィルムと称され、プリ
ント配線板製造用に広く使用されている。その使用にあ
たっては、才ずドライフィルムからポリエチレンフィル
ムを剥離して感光性樹脂層を銅張基板の銅面に貼り付け
、パターンマスクをベースフィルム上に当てて露光し、
ついでベースフィルムを剥離して現像する。
しかしながら、ベースフィルムを剥離するには通常は手
作業で剥離せざるを得す、工程を自動化することができ
ないこと、また剥離時に静電気によりレジスト屑が基板
表面にイ・1着し、不良の原因となることなどの問題点
があった。
作業で剥離せざるを得す、工程を自動化することができ
ないこと、また剥離時に静電気によりレジスト屑が基板
表面にイ・1着し、不良の原因となることなどの問題点
があった。
そこでこの点を解決すべく、本出願人は、ポリエステル
フィルムなどの支持フィルト1−に感光性樹脂組成物を
層状に塗布、乾燥し、さらにそのヒからポリニルアルコ
ール(PVA)フィルムを積層したラミネートフィルム
を開発している(特開1眉5E1178348号公報参
照)。以下このラミネートフィルムをPVAタイプ−ド
ライフィルムと称することにする。
フィルムなどの支持フィルト1−に感光性樹脂組成物を
層状に塗布、乾燥し、さらにそのヒからポリニルアルコ
ール(PVA)フィルムを積層したラミネートフィルム
を開発している(特開1眉5E1178348号公報参
照)。以下このラミネートフィルムをPVAタイプ−ド
ライフィルムと称することにする。
PVAタイプ−ドライフィルムを用いてプリント配線板
を製造するにあたっては、まずこのpvAタイプ−ドラ
イフィルムからポリエステルフィルムを剥離して感光性
樹脂層を銅張基板の銅面に貼す付け、パターンマスクを
PVAフィルム上に置いて露光し、ついでPVAフィル
ムを水により膨潤させて剥離除去する。
を製造するにあたっては、まずこのpvAタイプ−ドラ
イフィルムからポリエステルフィルムを剥離して感光性
樹脂層を銅張基板の銅面に貼す付け、パターンマスクを
PVAフィルム上に置いて露光し、ついでPVAフィル
ムを水により膨潤させて剥離除去する。
この方式は、剥離時に静電気の発生がないので、従来法
のような不良率が低減できること、PVAフィルムの厚
さを薄くできる−し、透明性がすぐれているので、解像
力を一ヒげることができること、露光後のPVAフィル
ムの除去が自動的に行えることなどの点で有利である。
のような不良率が低減できること、PVAフィルムの厚
さを薄くできる−し、透明性がすぐれているので、解像
力を一ヒげることができること、露光後のPVAフィル
ムの除去が自動的に行えることなどの点で有利である。
ところで、露光後のPVAフィルムの除去を自動化する
ために、本出願人は特願昭57−86899号(特開昭
58−204590号公報)および特願昭58−167
20号(特開昭59−142551号公報)として、フ
ォトレジスト基板の処理装置につき特許出願を行ってい
る。
ために、本出願人は特願昭57−86899号(特開昭
58−204590号公報)および特願昭58−167
20号(特開昭59−142551号公報)として、フ
ォトレジスト基板の処理装置につき特許出願を行ってい
る。
すなわち、適当間隔を置いて設けた上下2列の回転ロー
ラの間を、表面が保護フィルム(PVAフィルム)で被
覆されたフォトレジスト基板を搬送する間に、搬送面の
上下に配置したノズル群から水を吹きつけて該保護フィ
ルムを剥離除去するにあたり、特開昭58−20459
0号公報においては、下列回転ローラの表面に液体噴出
用小孔を設け、特開昭59−142551号においては
、下列回転ローラの表面に液体噴出用小孔を設け、」一
方何ノズル群は主としてフォトレジスト基板の表面に噴
射するノズルと、主として回転ローラの表面に噴射する
ノズルとから構成している。
ラの間を、表面が保護フィルム(PVAフィルム)で被
覆されたフォトレジスト基板を搬送する間に、搬送面の
上下に配置したノズル群から水を吹きつけて該保護フィ
ルムを剥離除去するにあたり、特開昭58−20459
0号公報においては、下列回転ローラの表面に液体噴出
用小孔を設け、特開昭59−142551号においては
、下列回転ローラの表面に液体噴出用小孔を設け、」一
方何ノズル群は主としてフォトレジスト基板の表面に噴
射するノズルと、主として回転ローラの表面に噴射する
ノズルとから構成している。
このような構成を採用することにより、上下2列の回転
ローラ間をPVAタイプ−ドライフィルムがラミネーI
・された銅張基板が走行する間に、その上下両面が水で
濡らされて表面の保護フィルムであるPVAフィルムが
膨潤して剥離するのである。
ローラ間をPVAタイプ−ドライフィルムがラミネーI
・された銅張基板が走行する間に、その上下両面が水で
濡らされて表面の保護フィルムであるPVAフィルムが
膨潤して剥離するのである。
発明が解決しようとする問題点
しかしながら、上記特開昭58−204590号公報お
よび特開昭59−142551号公報に開示の保護フィ
ルム剥離除去手段は、銅張基板が紙フェノール樹脂、ガ
ラスエポキシ樹脂等から製造される基板の厚みが1mm
程度のいわゆるリジッド(rigid 、硬質の)基板
である場合は何ら問題を生じないが、ポリイミドフィル
ム、ポリエステルフィルム、ガラスエポキシフィルムな
どをベースフィルムとし、その片面ないしは両面に銅箔
(電解銅箔または圧延銅箔)を貼り合せた基板の厚みが
0.1mm程度以下のフレキシブル配線板用基板である
場合は、これが可撓性に富み、自己保持性に欠けるため
、回転ローラと回転ローラとの間隙にフレキシブル配線
板の先端が落ち込んで、円滑に走行しないという問題に
直面する。
よび特開昭59−142551号公報に開示の保護フィ
ルム剥離除去手段は、銅張基板が紙フェノール樹脂、ガ
ラスエポキシ樹脂等から製造される基板の厚みが1mm
程度のいわゆるリジッド(rigid 、硬質の)基板
である場合は何ら問題を生じないが、ポリイミドフィル
ム、ポリエステルフィルム、ガラスエポキシフィルムな
どをベースフィルムとし、その片面ないしは両面に銅箔
(電解銅箔または圧延銅箔)を貼り合せた基板の厚みが
0.1mm程度以下のフレキシブル配線板用基板である
場合は、これが可撓性に富み、自己保持性に欠けるため
、回転ローラと回転ローラとの間隙にフレキシブル配線
板の先端が落ち込んで、円滑に走行しないという問題に
直面する。
本発明は、プリント配線板としてたとえフレキシブル配
線板を用いた場合にあっても、該配線板から円滑に保護
フィルム(PVAフィルム)を剥離除去することのでき
る装置を提供することを目的とするものである。
線板を用いた場合にあっても、該配線板から円滑に保護
フィルム(PVAフィルム)を剥離除去することのでき
る装置を提供することを目的とするものである。
問題点を解決するための手段
本発明のプリント配線板の保護フィルム剥離装置は、
水で膨潤させて剥離する保護フィルム(F)を積層して
なるプリント配線板(P)から、前記保護フィルム(F
)を剥離するための装置であって、 空隙(1a)を多数有し、かつプリント配線板(P)を
走行させるための無端ベルト(1)、核無端ベルト(1
)の配線板走行面(1A)の上方および下方に配設され
、かっこの配線板走行面(1A)の表裏両面に向けて水
を噴射するための上方側スプレーノズル群(2)とT
方何スプレーノズル群(3)、および、 無端ベルト(1)の配線板走行面(1A)の終端に続く
反転面(1B)に近接して配設され、かっこの反転面(
1B)に向けて流体を噴射するための流体噴出ノズル(
4) から構成されてなるものである。
なるプリント配線板(P)から、前記保護フィルム(F
)を剥離するための装置であって、 空隙(1a)を多数有し、かつプリント配線板(P)を
走行させるための無端ベルト(1)、核無端ベルト(1
)の配線板走行面(1A)の上方および下方に配設され
、かっこの配線板走行面(1A)の表裏両面に向けて水
を噴射するための上方側スプレーノズル群(2)とT
方何スプレーノズル群(3)、および、 無端ベルト(1)の配線板走行面(1A)の終端に続く
反転面(1B)に近接して配設され、かっこの反転面(
1B)に向けて流体を噴射するための流体噴出ノズル(
4) から構成されてなるものである。
本発明に適用できるプリント配線板(P)としては、水
で膨潤させて剥離する保護フィルムを積層してなるプリ
ント配線板があげられる。保護フィルム(F)の典型例
はPVAフィルムである。
で膨潤させて剥離する保護フィルムを積層してなるプリ
ント配線板があげられる。保護フィルム(F)の典型例
はPVAフィルムである。
このようなプリント配線板(P)としては、■フレキシ
ブル配線板、つまり、基材の厚みが約0.03〜0.1
3mm程度のフィルムなどをベースフィルムとし、その
片面ないしは両面に銅箔(電解銅箔または圧延銅箔)を
貼り合せたフレキシブル配線板用基板番乙「従来の技術
」の項で述べたようなPVAタイプ−ドライフィルムを
ラミネート後、露光したもの、■通常のプリント配線板
、つまり、基材の厚みが約1〜1.5mm程度のリジッ
ド基板にPVAタイプ−ドライフィルムをラミネート後
、露光したもの、のいずれも用いられるが、■の場合は
他の剥離手段によっても円滑な剥離が可能であるので、
■の場合に本発明が特に有用である。
ブル配線板、つまり、基材の厚みが約0.03〜0.1
3mm程度のフィルムなどをベースフィルムとし、その
片面ないしは両面に銅箔(電解銅箔または圧延銅箔)を
貼り合せたフレキシブル配線板用基板番乙「従来の技術
」の項で述べたようなPVAタイプ−ドライフィルムを
ラミネート後、露光したもの、■通常のプリント配線板
、つまり、基材の厚みが約1〜1.5mm程度のリジッ
ド基板にPVAタイプ−ドライフィルムをラミネート後
、露光したもの、のいずれも用いられるが、■の場合は
他の剥離手段によっても円滑な剥離が可能であるので、
■の場合に本発明が特に有用である。
本発明の装置の詳細については、「実施例」の項で説明
する。
する。
作 用
無端ベルト(1)の配線板走行面(1A)の一端に供給
された露光後のプリント配線板(P)は、配線板走行面
(1A)の他端に向けて走行するが、その走行中に上方
側スプレーノズル群(2)および下方側スプレーノズル
群(3)から噴射された水を浴びる。
された露光後のプリント配線板(P)は、配線板走行面
(1A)の他端に向けて走行するが、その走行中に上方
側スプレーノズル群(2)および下方側スプレーノズル
群(3)から噴射された水を浴びる。
プリント配線板(P)表面の保護フィルム(F)は、木
で濡れて膨潤して剥離し、配線板走行面(1A)の途中
で間隙(1a)から落下するか、反転面(1B)に至っ
てから流体噴出ノズル(4)から木またはエヤを吹きつ
けられることにより落下する。
で濡れて膨潤して剥離し、配線板走行面(1A)の途中
で間隙(1a)から落下するか、反転面(1B)に至っ
てから流体噴出ノズル(4)から木またはエヤを吹きつ
けられることにより落下する。
一方、保護フィルム(F)が剥落したプリント配線板(
P)は、配線板走行面(1A)を通過した後、装置外に
取り出され、次工程である現像工程に供される。
P)は、配線板走行面(1A)を通過した後、装置外に
取り出され、次工程である現像工程に供される。
実 施 例
次に実施例をあげて本発明をさらに説明する。
実施例1
第1図は本発明の装置の一例を示した模式説明図である
。第2〜5図は無端ベルト(1)の例を示した部分斜視
図である。
。第2〜5図は無端ベルト(1)の例を示した部分斜視
図である。
(1)は無端ベルトであり、駆動ロール(5)、従動ロ
ール(6)により走行する。(7)はガイドロールであ
る。
ール(6)により走行する。(7)はガイドロールであ
る。
無端ベルト(1)は、たとえば第2〜4図に示したよう
なメツシュ状(第2図)、すのこ状(第3図)、穿孔状
(第4図)の形状を有し、多数の空隙(1a)を有する
。材質は特に限定はなく、金属、繊維、合成樹脂、ゴム
等から適宜選択される。
なメツシュ状(第2図)、すのこ状(第3図)、穿孔状
(第4図)の形状を有し、多数の空隙(1a)を有する
。材質は特に限定はなく、金属、繊維、合成樹脂、ゴム
等から適宜選択される。
なお無端ベルト(1)は、第2〜4図のように空隙(1
a)を有するだけでなく、その表面がプリント配線板(
P)と点接触するように形成することが望ましい。
a)を有するだけでなく、その表面がプリント配線板(
P)と点接触するように形成することが望ましい。
無端ベルト(1)の表面がプリント配線板(P)と点接
触するようにするには、第5図に示したように、無端ベ
ルト(1)の表面にプリント配線板(P)密着防1ト川
の小突起(1b)を適当間隔をおいて設ければよい。そ
のほか1図示は省略したが、波状にHs曲した線材で作
製したメツシュ状の無端ベルト(1)を用いても、同様
に点接触が図られる。
触するようにするには、第5図に示したように、無端ベ
ルト(1)の表面にプリント配線板(P)密着防1ト川
の小突起(1b)を適当間隔をおいて設ければよい。そ
のほか1図示は省略したが、波状にHs曲した線材で作
製したメツシュ状の無端ベルト(1)を用いても、同様
に点接触が図られる。
(1A)は無端ベル) (1)の配線板走行面、(1B
)は該配線板走行面(1A)の終端に続く反転面である
。
)は該配線板走行面(1A)の終端に続く反転面である
。
(2)は上方側スプレーノズル群、(3)は下方側スプ
レーノズル群であって、それぞれ無端ベルト(1)の配
線板走行面(1A)の1一方およびF方に配設されてい
る。これらのスジ1/−ノズル群(2)、(3)は、配
線板走行面(1A)を走行するプリント配線板(P)の
表裏両面に向けて水を噴射するためのものである。
レーノズル群であって、それぞれ無端ベルト(1)の配
線板走行面(1A)の1一方およびF方に配設されてい
る。これらのスジ1/−ノズル群(2)、(3)は、配
線板走行面(1A)を走行するプリント配線板(P)の
表裏両面に向けて水を噴射するためのものである。
スプレーノズル群(2)、(3)は、無端ベルト(1)
の真トまたは真下に設置することもでき1す るが、刺め」一方または斜め下方に設けてもよい。
の真トまたは真下に設置することもでき1す るが、刺め」一方または斜め下方に設けてもよい。
特にド方何スプレーノズル群(3)は、剥落した保護フ
ィルム(F)がノズルを覆うことを防11−するために
、無端ベルト(])の斜め下方側に設置し、無端ベルト
(1)の配線板走行面(1A)の裏面に向けて斜め−1
一方に水を噴射するようにするのが望ましい。
ィルム(F)がノズルを覆うことを防11−するために
、無端ベルト(])の斜め下方側に設置し、無端ベルト
(1)の配線板走行面(1A)の裏面に向けて斜め−1
一方に水を噴射するようにするのが望ましい。
(4)は原体噴出ノズルであり、前記反転面(1B)に
向けて水、エヤなどの流体を噴射するためのものである
。
向けて水、エヤなどの流体を噴射するためのものである
。
(8)は配線板取山川コンベヤであり、配線板走行面(
1A)の終端側延長方向に設けられる。配線板取出用コ
ンベヤ(8)としては、ロール、ベルトなどがあげられ
る。
1A)の終端側延長方向に設けられる。配線板取出用コ
ンベヤ(8)としては、ロール、ベルトなどがあげられ
る。
(9)、(9)は2枚のカイト板であり、無端ベルト(
1)のF方に斜傾して設けである。このガイド板(9)
は、剥落した保護フィルム(F)を1個所に集めるだめ
のものである。
1)のF方に斜傾して設けである。このガイド板(9)
は、剥落した保護フィルム(F)を1個所に集めるだめ
のものである。
(10)は剥落フィルム取出用部材であり、前記ガイド
板(9)のさらに下方に設けである。このr?lt材(
10)は、コンベヤベルト5あるいは金網、多孔板など
からなる。
板(9)のさらに下方に設けである。このr?lt材(
10)は、コンベヤベルト5あるいは金網、多孔板など
からなる。
()j)はポンプであり、保護フィルム(F)の1す即
用に使用した後の木を再びスプレーノズル群(2)、(
3)または流体噴11)ノズル(4)に循環使用するた
めのものである。
用に使用した後の木を再びスプレーノズル群(2)、(
3)または流体噴11)ノズル(4)に循環使用するた
めのものである。
次に上述の装置を用いてプリント配線板(P)の保護フ
ィルム(F)の剥離を行ったときの状態を、−上述の「
作用」の項の記載と重複するところもあるが、再度説明
する。
ィルム(F)の剥離を行ったときの状態を、−上述の「
作用」の項の記載と重複するところもあるが、再度説明
する。
無端ベルト(1)は駆動ロー1しく5)および従動ロー
ル(6)の回転により走行し、配線板走行面(1A)の
一端に供給された露光後のプリント配線板(P)は、配
線板走行面(1A)の他端に向けて走行する。
ル(6)の回転により走行し、配線板走行面(1A)の
一端に供給された露光後のプリント配線板(P)は、配
線板走行面(1A)の他端に向けて走行する。
配線板走行面(1A)を走行中のプリント配線板(P)
には、に山側スプレーノズル群(2)および下方側スプ
レーノズル群(3)により上下方向から水が噴射される
。
には、に山側スプレーノズル群(2)および下方側スプ
レーノズル群(3)により上下方向から水が噴射される
。
プリント配線板(P)表面の保護フィルム(F)は、木
で濡れて膨潤して剥離し、その−・部は無端ベルト(1
)の間隙(1a)から水と共にド方に落丁する。また他
の一部は無端ベル)(1)1−を配線板走行面(1A)
の終端まで走行し、ついで反転面(1B)に至るが、こ
こで流体噴出ノズル(4)から水またはエヤな吹きつけ
られることにより、反転面(1B)から分離され、落下
する。
で濡れて膨潤して剥離し、その−・部は無端ベルト(1
)の間隙(1a)から水と共にド方に落丁する。また他
の一部は無端ベル)(1)1−を配線板走行面(1A)
の終端まで走行し、ついで反転面(1B)に至るが、こ
こで流体噴出ノズル(4)から水またはエヤな吹きつけ
られることにより、反転面(1B)から分離され、落下
する。
一方、保護フィルム(F)が剥落したプリン)・配線板
(P)は、配線板走行面(1A)を通過した後、配線板
走行面(1A)の終端側延長方向に設けた配線板取出用
コンベヤ(8)に乗り移って装置外に走行し、次工程で
ある現像工程に供される。
(P)は、配線板走行面(1A)を通過した後、配線板
走行面(1A)の終端側延長方向に設けた配線板取出用
コンベヤ(8)に乗り移って装置外に走行し、次工程で
ある現像工程に供される。
また、剥落した保護フィルム(F)は、ガイド板(9)
を経て、剥落フィルム取出用コンベヤ(10)により取
り出され、処理される。
を経て、剥落フィルム取出用コンベヤ(10)により取
り出され、処理される。
実施例2
第6図は本発明の装置の他の一例を示した模式説明図で
ある。
ある。
実施例1では無端ベルト(1)は1条で構成したが、こ
の実施例では無端ベルト(])を前段側と後段側の2条
に分割しである。
の実施例では無端ベルト(])を前段側と後段側の2条
に分割しである。
第2図中、(12)は前段側無端ベルト(1)から後段
側無端ベルト(1)への乗り継ぎを容易にするための乗
継ローラである。他の部相は実施例1の場合と同様であ
るので説明を省略する。
側無端ベルト(1)への乗り継ぎを容易にするための乗
継ローラである。他の部相は実施例1の場合と同様であ
るので説明を省略する。
発明の効果
本発明の装置を用いれば、プリント配線板としてたとえ
フレキシブル配線板を用いた場合にあっても、該配線板
から自動的にかつ円滑に保護フィルムを剥離除去するこ
とができる。
フレキシブル配線板を用いた場合にあっても、該配線板
から自動的にかつ円滑に保護フィルムを剥離除去するこ
とができる。
従って、現像工程に供する配線板に保護フィルトの剥離
不良に基〈トラブルを生ずるおそれがなく、信頼+1が
向上する。
不良に基〈トラブルを生ずるおそれがなく、信頼+1が
向上する。
4図面の簡?ltな説明
第1図は本発明の装置の一例を示した模式説明図である
。第2〜5図は無端ベルト(1)の例を示した部分斜視
図である。
。第2〜5図は無端ベルト(1)の例を示した部分斜視
図である。
第6図は本発明の装置の他の一例を示した模式説明図で
ある。
ある。
(1)・・・無端ベルト、(1a)・・・空隙、(1b
)・・・小突起、(1A)・・・配線板走行面、(1B
)・・・反転面、(2)・・・1−吉例スプレーノズル
群、(3)・・・下方側スプレーノズル群、(4)・・
・流体噴出ノズル、(5)・・・駆動ロール、(6)・
・・従動ロール、(7)・・・ガイトロール、(8)・
・・配線板取出用コンベヤ、(9)・・・ガイド板、(
10)・・・剥落フィルム取出用部材、(11)・・・
ポンプ、(12)・・・乗継ローラ、(P)・・・プリ
ント配線板、(F)・・・保護フィルム 第1図 第2図 第3図 第4図 第5図
)・・・小突起、(1A)・・・配線板走行面、(1B
)・・・反転面、(2)・・・1−吉例スプレーノズル
群、(3)・・・下方側スプレーノズル群、(4)・・
・流体噴出ノズル、(5)・・・駆動ロール、(6)・
・・従動ロール、(7)・・・ガイトロール、(8)・
・・配線板取出用コンベヤ、(9)・・・ガイド板、(
10)・・・剥落フィルム取出用部材、(11)・・・
ポンプ、(12)・・・乗継ローラ、(P)・・・プリ
ント配線板、(F)・・・保護フィルム 第1図 第2図 第3図 第4図 第5図
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 1、水で膨潤させて剥離する保護フィルム(F)を積層
してなるプリント配線板(P)から、前記保護フィルム
(F)を剥離するための装置であつて、 空隙(1a)を多数有し、かつプリント配線板(P)を
走行させるための無端ベルト(1)、該無端ベルト(1
)の配線板走行面(1A)の上方および下方に配設され
、かつこの配線板走行面(1A)の表裏両面に向けて水
を噴射するための上方側スプレーノズル群(2)と下方
側スプレーノズル群(3)、および、 無端ベルト(1)の配線板走行面(1A)の終端に続く
反転面(1B)に近接して配設され、かつこの反転面(
1B)に向けて流体を噴射するための流体噴出ノズル(
4) から構成されてなるプリント配線板の保護フィルム剥離
装置。 2、無端ベルト(1)の表面がプリント配線板(P)と
点接触するように形成されている特許請求の範囲第1項
記載の剥離装置。 3、無端ベルト(1)の表面にプリント配線板(P)密
着防止用の小突起(1b)を適当間隔をおいて設けるこ
とにより、無端ベルト(1)の表面がプリント配線板(
P)と点接触するように形成されている特許請求の範囲
第2項記載の剥離装置。 4、プリント配線板(P)がフレキシブルプリント配線
板である特許請求の範囲第1項記載の剥離装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP13952787A JPS63303359A (ja) | 1987-06-03 | 1987-06-03 | プリント配線板の保護フイルム剥離装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP13952787A JPS63303359A (ja) | 1987-06-03 | 1987-06-03 | プリント配線板の保護フイルム剥離装置 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS63303359A true JPS63303359A (ja) | 1988-12-09 |
Family
ID=15247361
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP13952787A Pending JPS63303359A (ja) | 1987-06-03 | 1987-06-03 | プリント配線板の保護フイルム剥離装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPS63303359A (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2014039928A1 (en) * | 2012-09-08 | 2014-03-13 | Skyworks Solutions, Inc. | Systems and methods related to ablation and cleaning during manufacture of radio-frequency modules |
-
1987
- 1987-06-03 JP JP13952787A patent/JPS63303359A/ja active Pending
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2014039928A1 (en) * | 2012-09-08 | 2014-03-13 | Skyworks Solutions, Inc. | Systems and methods related to ablation and cleaning during manufacture of radio-frequency modules |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US5059454A (en) | Method for making patterned thin film | |
JPH06171823A (ja) | ドライフィルムレジスト用保護フィルム除去装置 | |
JP3085451B2 (ja) | 製造ラインおよびそれによって製造される多層プリント配線基板 | |
JPS6131855B2 (ja) | ||
JPS63303359A (ja) | プリント配線板の保護フイルム剥離装置 | |
JP2003322976A (ja) | 液噴霧方法及びこれを用いた基板現像処理方法及び装置 | |
JP3732435B2 (ja) | 洗浄装置 | |
US4971894A (en) | Method and structure for preventing wet etchant penetration at the interface between a resist mask and an underlying metal layer | |
JP3885295B2 (ja) | 水切り装置 | |
JP3479636B2 (ja) | プリント配線基板材の搬送機構 | |
JP2003024865A (ja) | フィルム基板の湿式処理方法及び湿式処理装置 | |
JP3576467B2 (ja) | プリント配線基板材の搬送機構 | |
JPH04238352A (ja) | プリント配線板用フォトマスクフィルムの除塵洗浄装置 | |
JP4030604B2 (ja) | シャドウマスクの製造方法 | |
JPH07249602A (ja) | 剥膜装置における搬送方法 | |
JP2004063535A (ja) | 基板のエッチング方法 | |
JPH0331961Y2 (ja) | ||
JP2003243801A (ja) | 配線基板の製造方法及び製造装置 | |
JPH09130016A (ja) | 回路形成方法 | |
JP2023142608A (ja) | 被膜剥離装置および被膜剥離方法 | |
JP2920525B1 (ja) | 薄板材の液切り装置 | |
JPS5943750Y2 (ja) | 液切り装置 | |
JP4234956B2 (ja) | 配線板製造用の基材の現像処理後の処理方法 | |
JPS62104095A (ja) | プリント基板の製造装置 | |
JPS6237839B2 (ja) |