JPH04238352A - プリント配線板用フォトマスクフィルムの除塵洗浄装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、プリント配線板の製造
工程に使用されるフォトマスクフィルムの除塵洗浄装置
に関する。

【０００２】

【従来の技術】従来より、プリント配線板の製造に際し
て、その回路パターンを形成するために、めっきレジス
トやエッチングレジストとして感光性フォトレジストフ
ィルムが使用され、その感光性フォトレジストフィルム
を使用してレジストパターンを形成するために、感光性
フォトレジストフィルムにフォトマスクフィルムを重ね
、紫外線等を照射して、感光しない箇所を現像液によっ
て溶解除去する方法が使用されている。

【０００３】上述のように使用されるフォトマスクフィ
ルムは、使用に先だってフィルム表面に付着している塵
埃等の付着物を除去しておく必要があり、さもなければ
適切なめっきレジストやエッチングレジストの形成が行
われず、回路欠陥を生じてしまう。特に、近年の電子機
器の小型・高機能化に使用されるプリント配線板におけ
る回路パターンの微細化・高信頼化により、一層の確実
性が要求されている。

【０００４】このため従来より、プリント配線板におけ
る製造工程には、フォトマスクフィルムの除塵を行う除
塵工程が含まれており、この除塵工程に組み込まれる除
塵装置は、従来一般に、除電バーと粘着ロールとを有し
、除電バーによりフォトマスクフィルム表面に帯電して
いる静電気の除電を行い、粘着ロールをフォトマスクフ
ィルム表面に接触させてその粘着力によりフォトマスク
フィルム表面から塵埃等を取り除くようになっている。

【０００５】

【発明が解決しようとする課題】しかし、上述の従来の
装置では、除塵作用によって粘着ロールにフォトマスク
フィルムに付着していた塵埃等が付着するために、次第
にこの粘着ロールの粘着力が低下して除塵効果が低下す
ることが避けられず、長時間の運転で除塵能力が著しく
低下することとなる。

【０００６】また、上述の除塵装置においては、粘着ロ
ールの粘着剤がフォトマスクフィルムに転移することも
あり、この転移した粘着剤によって、フォトマスクフィ
ルムに新たに別の塵埃等が付着し易くなったり、粘着剤
そのものが光を透過させずあるいは屈折させて必要とす
る回路パターンを形成する上で大きな障害となることも
ある。

【０００７】さらにまた、フォトマスクフィルムの表面
に付着している付着物は、静電気によって付着している
もののみならず、圧着されてフォトマスクフィルム表面
に固着しているものがあり、この圧着によるものは、従
来の装置で除去することができなかった。

【０００８】本発明は、フォトマスクフィルムに付着し
ている塵埃はもとより、圧着されて固着しているものを
除去でき、さらに粘着ロールの粘着力を低下させること
なくかつまた粘着剤の転移をも防ぐことができるフォト
マスクフィルムの除塵洗浄装置を提供することを目的と
する。

【０００９】

【課題を解決するための手段】本発明の装置は、静電気
除去エアをエアノズルからフォトマスクフィルムの表面
へ向けて吹き付け、フォトマスクフィルム表面に静電気
力によって付着している塵埃等の付着物を除去する静電
気除去エア吹き付け部と、前記静電気除去エア吹き付け
部の後段側に配置され、搬送されてくるフォトマスクフ
ィルムの表面に回転接合されてフォトマスクフィルム表
面に付着している付着物を粘着力により除去する粘着ロ
ールと、前記粘着ロールに摺接し、前記粘着ロールに付
着した付着物をこの粘着ロールの粘着力より強い粘着力
をもって転移させて除去する粘着ロールの清掃ロールと
、前記粘着ロールの後段側に配置され、搬送されてくる
フォトマスクフィルムの表面へ向けて付着物を溶解する
溶剤ノズルと、前記溶剤ノズルの後段側に配置され、搬
送されてくるフォトマスクフィルムの表面に接触し、フ
ォトマスクフィルムの表面に付着している付着物を拭き
取り除去するロールブラシと、前記ロールブラシの後段
側に配置され、フォトマスクフィルム表面に残存する溶
剤を除去する絞りローラとを有することを特徴とする。

【００１０】

【作用】本発明の構成によれば、フォトマスクフィルム
の表面に静電気によって付着した塵埃は静電気除去エア
吹き付け部からフォトマスクフィルム表面へ向けて吹き
付けられる静電気除去エアによって拭き飛ばされて除去
され、残余の付着している塵埃は粘着ロールにより粘着
除去され、さらにフォトマスクフィルム表面に圧着され
て固着している付着物や転移した粘着剤等は溶剤ノズル
からフォトマスクフィルム表面へ向けて噴射される溶剤
によって溶解され、ロールブラシによって拭き取られ、
そしてフォトマスクフィルム表面に残る溶剤は、その後
の絞りロールによって絞り取られる。また、粘着ロール
に付着した付着物は、粘着ロール清掃ロールによって転
移させられ、除去されるので、粘着ロールの粘着力が低
下することがなく、除塵効果は長時間にわたって維持さ
れる。

【００１１】

【実施例】以下に、本発明の一実施例を図面を用いて詳
細に述べる。図１は本発明によるプリント配線板用フォ
トマスクフィルムの除塵洗浄装置を示す。図１において
、符号１は洗浄装置の全体的なケーシングを示しており
、フォトマスクフィルムＦは、このケーシング１の図中
左側方向からケーシング内へ搬送されるようになってい
る。ケーシング１内には、そのフォトマスクフィルム搬
入側に静電気除去エア吹き付け部２が設けられている。 静電気除去エア吹き付け部１は、静電気除去エア発生部
３と、これから静電気除去エアを与えられる上下一対の
エアノズル４とを有し、エアノズル４から静電気除去エ
アを搬送中のフォトマスクフィルムＦの表裏両面へ向け
て吹き付け、静電気によりフォトマスクフィルムＦの表
面に付着している塵埃等の除去を行っている。

【００１２】静電気除去エア吹き付け部２の後段側、す
なわちフォトマスクフィルムＦの搬送先側には、粘着ロ
ール部５が配置されている。粘着ロール部５は、フォト
マスクフィルムＦの表裏両面に回転接合される上下一対
の粘着ロール６をフォトマスクフィルムＦの搬送方向に
複数組有し、フォトマスクフィルムＦに付着している塵
埃等を搬送過程において粘着ロール６へ転移させ除去す
るようになっている。また、粘着ロール部５には、粘着
ロール６の各々に摺接する粘着ロール製造ロール７が設
けられており、粘着ロール製造ロール７は、粘着ロール
６よりも強い粘着力を有する粘着ロールにより構成され
、粘着ロール６に付着した付着物を強い粘着力によって
転移させて除去し、粘着ロール６の清掃を行っている。

【００１３】粘着ロール部５の後段には、洗浄部８が設
けられている。洗浄部８は、溶剤供給ポンプ９から圧送
される付着物溶解用の溶剤（イソプロピルアルコール等
）を搬送されるフォトマスクフィルムＦの表面へ向けて
吹き付ける上下一対の複数段の溶剤噴射ノズル１０と、
各段の溶剤噴射ノズル１０の後段側に配置された上下一
対のロールブラシ１１とを有し、粘着ロール部５から搬
送されてくるフォトマスクフィルムＦの表裏両面へ各段
の溶剤噴射ノズル９から溶剤を吹き付け、各ロールブラ
シ１１によってフォトマスクフィルムＦの表裏両面のブ
ラッシングを行い、フォトマスクフィルムＦの表裏両面
に付着している付着物の拭き取り除去を行うようになっ
ている。これによって、フォトマスクフィルムＦに圧着
されて固着状態にある残存塵埃や、粘着ロール６から転
移した粘着剤は、溶剤噴射ノズル１０からの溶剤により
溶解されつつ、ロールブラシ１１により拭き取り除去さ
れる。

【００１４】洗浄部８の後段側には、上下一対の絞りロ
ーラ１２がフォトマスクフィルムＦの搬送方向に複数組
設けられている。絞りローラ１２は、吸液性を備えてい
てよく、洗浄部８から搬送されてくるフォトマスクフィ
ルムＦに残存している溶剤を絞り取り、除去するように
なっている。

【００１５】このような構成によって、フォトマスクフ
ィルムＦの表面に静電気により付着している塵埃等は、
静電気除去エア部２によって除去され、残余の塵埃等は
粘着ロール６によって粘着除去され、更に固着状態にあ
る塵埃や粘着ロール６から転移した粘着剤は、洗浄部８
で噴射される溶剤により溶解されつつロールブラシ１１
によって拭き取り除去され、残った溶剤も絞りローラ１
２により除去される。更に、粘着ローラ６に付着する塵
埃等は、粘着ロール清掃ロールによって常にその粘着力
を維持できる。

【００１６】

【発明の効果】以上に説明したように、本発明の装置に
よって、プリント配線板用フォトマスクフィルムの表面
に静電気によって付着している塵埃は静電気除去エア吹
き付け部によって除去され、残余の塵埃は粘着ロールに
より除去され、更にフォトマスクフィルム表面に固着状
態にある塵埃や粘着ロールから転移した粘着剤は溶剤ノ
ズルから噴射される溶剤によって溶解されると共に、ロ
ールブラシによって除去され、溶剤は絞りローラによっ
て除去されるので、フォトマスクフィルムに静電気によ
って付着した塵埃はもとより、圧着されて固着した付着
物までもが除去され、高品質のプリント配線板を製造す
ることができる。また、粘着ロールに付着した付着物は
、粘着ロールより粘着力の強い粘着ロール清掃ロールに
転移し除去されるので、粘着ロールはその粘着力を長時
間維持でき、これによりフォトマスクフィルムの除塵洗
浄工程が長時間運転可能となって、プリント配線板の生
産性が向上できる。

【図面の簡単な説明】

【図１】　　本発明の一実施例の要部を示す概略構成図
である。

【符号の説明】

１．ケーシング　　　　　　　　　　　　　　　　　　
　　　　２．静電気除去エア吹き付け部 ３．静電気発生部　　　　　　　　　　　　　　　　　
　　　４．エアノズル５．粘着ロール部　　　　　　　
　　　　　　　　　　　　　６．粘着ロール７．粘着ロ
ール清掃ロール　　　　　　　　　　　　８．洗浄部１
０．溶剤噴射ノズル　　　　　　　　　　　　　　　　
１１．ロールブラシ １２．絞りロール

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】　　プリント配線板の製造工程に用いられ
   るフォトマスクフィルムの除塵洗浄を行う装置において
   、静電気除去エアをエアノズルからフォトマスクフィル
   ムの表面へ向けて吹き付け、フォトマスクフィルム表面
   に静電気力によって付着している塵埃等の付着物を除去
   する静電気除去エア吹き付け部と、前記静電気除去エア
   吹き付け部の後段側に配置され、搬送されてくるフォト
   マスクフィルムの表面に回転接合されてフォトマスクフ
   ィルム表面に付着している付着物を粘着力により除去す
   る粘着ロールと、前記粘着ロールに摺接し、前記粘着ロ
   ールに付着した付着物をこの粘着ロールの粘着力より強
   い粘着力をもって転移させて除去する粘着ロールの清掃
   ロールと、　　前記粘着ロールの後段側に配置され、搬
   送されてくるフォトマスクフィルムの表面へ向けて付着
   物を溶解する溶剤ノズルと、前記溶剤ノズルの後段側に
   配置され、搬送されてくるフォトマスクフィルムの表面
   に接触し、フォトマスクフィルムの表面に付着している
   付着物を拭き取り除去するロールブラシと、前記ロール
   ブラシの後段側に配置され、フォトマスクフィルム表面
   に残存する溶剤を除去する絞りローラと、を有すること
   を特徴とするプリント配線板用フォトマスクフィルムの
   除塵洗浄装置。