JPH07249602A - 剥膜装置における搬送方法 - Google Patents
剥膜装置における搬送方法Info
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- JPH07249602A JPH07249602A JP6562194A JP6562194A JPH07249602A JP H07249602 A JPH07249602 A JP H07249602A JP 6562194 A JP6562194 A JP 6562194A JP 6562194 A JP6562194 A JP 6562194A JP H07249602 A JPH07249602 A JP H07249602A
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- Rollers For Roller Conveyors For Transfer (AREA)
- Cleaning And De-Greasing Of Metallic Materials By Chemical Methods (AREA)
- ing And Chemical Polishing (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 膨潤化装置１１から剥膜装置１２へ搬送する
際、ローラ１５に膨潤化した不要薄膜２２が付着しない
ような搬送方法を提供することを目的とする。 【構成】 ローラ１５を容器１９に満たされた液体３０
に一部が浸るように配置するか、ローラ１５を多孔質の
材料で形成し、中心の導孔２８から液体３０を圧入する
ことにより、ローラ１５の小穴からローラ１５の表面に
液体３０を滲み出させるか、ローラ１５の下に補助ロー
ラ２９を介在し、この補助ローラ２９を液体３０に浸す
かして、ローラ１５の表面に水膜３１を形成して被洗浄
物１４を搬送する。この結果、ローラ１５の表面に不要
薄膜２２が付着することはない。
際、ローラ１５に膨潤化した不要薄膜２２が付着しない
ような搬送方法を提供することを目的とする。 【構成】 ローラ１５を容器１９に満たされた液体３０
に一部が浸るように配置するか、ローラ１５を多孔質の
材料で形成し、中心の導孔２８から液体３０を圧入する
ことにより、ローラ１５の小穴からローラ１５の表面に
液体３０を滲み出させるか、ローラ１５の下に補助ロー
ラ２９を介在し、この補助ローラ２９を液体３０に浸す
かして、ローラ１５の表面に水膜３１を形成して被洗浄
物１４を搬送する。この結果、ローラ１５の表面に不要
薄膜２２が付着することはない。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、ＩＣ素子用基板、電極
板などのマスクエッチング後に、不要なマスキング材
（レジスト）などの薄膜を除去するための剥膜装置にお
ける搬送方法に関するものである。
板などのマスクエッチング後に、不要なマスキング材
（レジスト）などの薄膜を除去するための剥膜装置にお
ける搬送方法に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】ＩＣ素子用リード端子は、１枚の基板上
に多数のリード端子を写真印刷などの方法で一度にマス
キング材を印刷し、マスキング材の印刷されていない部
分を剥離装置により除去して形成される。一般に、不要
なマスキング材を被洗浄物１４である基板から除去し、
洗浄するには、図５に示すような膨潤化装置１１、剥膜
装置１２、洗浄装置１３からなる一連の装置が用いられ
る。この場合において、従来より、特開昭２−２１９２
２８号公報記載のように、被洗浄物１４である基板の一
端部に吊り孔をあけておき、洗浄の際に１個ずつリフト
に吊り下げてマスキング材の除去と洗浄の処理をする方
法がある。
に多数のリード端子を写真印刷などの方法で一度にマス
キング材を印刷し、マスキング材の印刷されていない部
分を剥離装置により除去して形成される。一般に、不要
なマスキング材を被洗浄物１４である基板から除去し、
洗浄するには、図５に示すような膨潤化装置１１、剥膜
装置１２、洗浄装置１３からなる一連の装置が用いられ
る。この場合において、従来より、特開昭２−２１９２
２８号公報記載のように、被洗浄物１４である基板の一
端部に吊り孔をあけておき、洗浄の際に１個ずつリフト
に吊り下げてマスキング材の除去と洗浄の処理をする方
法がある。
【０００３】この方法は、被洗浄物１４である基板が垂
直に吊り下げられるので、装置が小型化でき、また、マ
スキング材の除去効果にも優れている。しかし、被洗浄
物１４を１個ずつリフトに吊り下げたり、外したりする
作業を必要とするので、作業が面倒になり、また、装置
も複雑になる。そこで、図５に示すように、搬送装置と
してのローラ１５の上に被洗浄物１４を載せたままで、
不要薄膜２２の除去ができれば、作業が簡単で装置も簡
略化できる。
直に吊り下げられるので、装置が小型化でき、また、マ
スキング材の除去効果にも優れている。しかし、被洗浄
物１４を１個ずつリフトに吊り下げたり、外したりする
作業を必要とするので、作業が面倒になり、また、装置
も複雑になる。そこで、図５に示すように、搬送装置と
してのローラ１５の上に被洗浄物１４を載せたままで、
不要薄膜２２の除去ができれば、作業が簡単で装置も簡
略化できる。
【０００４】この図５の装置をさらに詳しく説明する
と、被洗浄物１４がローラ１５に載せられて膨潤化装置
１１に運ばれてきて容器１６内の４０〜１２０度の膨潤
液１７に浸される。膨潤液１７は、フィルタ内蔵の収納
タンクを経てポンプで循環している。マスキング材の膨
潤になった被洗浄物１４は、常温に戻すために再び複数
このローラ１５により所定距離だけ搬送されて剥膜装置
１２に運ばれる。この剥膜装置１２の内部を一定時間で
移動中に、剥膜用上部ノズル２０と剥膜用下部ノズル２
１により上下から液体を噴射して膨潤化したマスキング
材を剥離除去する。剥膜用の液体は、フィルタ内蔵の収
納タンクを経てマスキング材が除かれ、ポンプで循環す
る。不要薄膜２２の除去された被洗浄物１４は、洗浄装
置１３に運ばれて洗浄用上部ノズル２４と洗浄用下部ノ
ズル２５からの真水などの洗浄液で洗浄して取り出され
る。
と、被洗浄物１４がローラ１５に載せられて膨潤化装置
１１に運ばれてきて容器１６内の４０〜１２０度の膨潤
液１７に浸される。膨潤液１７は、フィルタ内蔵の収納
タンクを経てポンプで循環している。マスキング材の膨
潤になった被洗浄物１４は、常温に戻すために再び複数
このローラ１５により所定距離だけ搬送されて剥膜装置
１２に運ばれる。この剥膜装置１２の内部を一定時間で
移動中に、剥膜用上部ノズル２０と剥膜用下部ノズル２
１により上下から液体を噴射して膨潤化したマスキング
材を剥離除去する。剥膜用の液体は、フィルタ内蔵の収
納タンクを経てマスキング材が除かれ、ポンプで循環す
る。不要薄膜２２の除去された被洗浄物１４は、洗浄装
置１３に運ばれて洗浄用上部ノズル２４と洗浄用下部ノ
ズル２５からの真水などの洗浄液で洗浄して取り出され
る。
【０００５】「発明が解決しようとする課題」このような
装置は、以下のような問題点があった。図５のように、
高温の膨潤化装置１１から常温の剥膜装置１２へ移る際
に、送りローラ１８で送り出された被洗浄物１４の温度
を常温に下げるため、所定距離を有するローラ１５で搬
送するが、膨潤化装置１１で被洗浄物１４の両面の不要
薄膜２２が膨潤化されてその一部が、図６に示すよう
に、ローラ１５の外周に付着する。すると、ローラ１５
の外周径が次第に大きくなるばかりか、いびつになった
り、中央部分だけ大きくなったりする。また、送りロー
ラ１８の送り速度とローラ１５の搬送速度は同期するよ
うに設計されているが、ローラ１５の外周径が次第に大
きくなったり、いびつになったり、中央部分だけ大きく
なったりすると、送りローラ１８とローラ１５との間、
隣合うローラ１５、１５の間の送り速度にずれが生じて
被洗浄物１４の膨潤化した不要薄膜２２により不必要な
摩擦が働き、剥膜装置１２に到達する前に剥離が生じ
る。
装置は、以下のような問題点があった。図５のように、
高温の膨潤化装置１１から常温の剥膜装置１２へ移る際
に、送りローラ１８で送り出された被洗浄物１４の温度
を常温に下げるため、所定距離を有するローラ１５で搬
送するが、膨潤化装置１１で被洗浄物１４の両面の不要
薄膜２２が膨潤化されてその一部が、図６に示すよう
に、ローラ１５の外周に付着する。すると、ローラ１５
の外周径が次第に大きくなるばかりか、いびつになった
り、中央部分だけ大きくなったりする。また、送りロー
ラ１８の送り速度とローラ１５の搬送速度は同期するよ
うに設計されているが、ローラ１５の外周径が次第に大
きくなったり、いびつになったり、中央部分だけ大きく
なったりすると、送りローラ１８とローラ１５との間、
隣合うローラ１５、１５の間の送り速度にずれが生じて
被洗浄物１４の膨潤化した不要薄膜２２により不必要な
摩擦が働き、剥膜装置１２に到達する前に剥離が生じ
る。
【０００６】送りローラ１８、ローラ１５は、被洗浄物
１４の保護のため、軟質材でできているため、寸法精度
に限界があり、ローラ１５に周速の違いが生ずると、最
近の被洗浄物１４の構成が極めて細かで、かつ、厚さが
薄くなってきていることから、被洗浄物１４が破損して
不良品になるという問題もあった。
１４の保護のため、軟質材でできているため、寸法精度
に限界があり、ローラ１５に周速の違いが生ずると、最
近の被洗浄物１４の構成が極めて細かで、かつ、厚さが
薄くなってきていることから、被洗浄物１４が破損して
不良品になるという問題もあった。
【０００７】本発明は、膨潤化装置１１から剥膜装置１
２へ搬送する際、ローラ１５に膨潤化した不要薄膜２２
が付着しないような搬送方法を提供することを目的とす
る。
２へ搬送する際、ローラ１５に膨潤化した不要薄膜２２
が付着しないような搬送方法を提供することを目的とす
る。
【０００８】
【課題を解決するための手段】本発明は、被洗浄物１４
の不要薄膜２２を膨潤化してローラ１５により搬送する
装置において、前記ローラ１５を容器１９に満たされた
液体３０に一部が浸るように配置するか、前記ローラ１
５を多孔質の材料で形成し、中心に導孔２８を穿設し
て、この導孔２８から液体３０を圧入することにより、
ローラ１５の小穴からローラ１５の表面に液体３０を滲
み出させるか、前記ローラ１５の下に補助ローラ２９を
介在し、この補助ローラ２９を液体３０に浸すかして、
前記ローラ１５の表面に水膜３１を形成して被洗浄物１
４を搬送するようにしたことを特徴とする剥膜装置にお
ける搬送方法である。
の不要薄膜２２を膨潤化してローラ１５により搬送する
装置において、前記ローラ１５を容器１９に満たされた
液体３０に一部が浸るように配置するか、前記ローラ１
５を多孔質の材料で形成し、中心に導孔２８を穿設し
て、この導孔２８から液体３０を圧入することにより、
ローラ１５の小穴からローラ１５の表面に液体３０を滲
み出させるか、前記ローラ１５の下に補助ローラ２９を
介在し、この補助ローラ２９を液体３０に浸すかして、
前記ローラ１５の表面に水膜３１を形成して被洗浄物１
４を搬送するようにしたことを特徴とする剥膜装置にお
ける搬送方法である。
【０００９】
【作用】被洗浄物１４の膨潤化された不要薄膜２２の一
部が、ローラ１５の外周に付着しようとしても、ローラ
１５の表面に常時水膜３１が形成されるので、不要薄膜
２２が付着することはない。また、ローラ１５を多孔質
の材料で形成し、中心の導孔２８から液体３０を圧入
し、ローラ１５の小穴からローラ１５の表面に液体３０
が滲み出させて水膜３１を形成するようにした場合に
は、膨潤化した不要薄膜２２の一部が被洗浄物１４から
剥離してローラ１５に巻きつこうとしても水滴とともに
液体３０に落下し、液体３０を汚さない。
部が、ローラ１５の外周に付着しようとしても、ローラ
１５の表面に常時水膜３１が形成されるので、不要薄膜
２２が付着することはない。また、ローラ１５を多孔質
の材料で形成し、中心の導孔２８から液体３０を圧入
し、ローラ１５の小穴からローラ１５の表面に液体３０
が滲み出させて水膜３１を形成するようにした場合に
は、膨潤化した不要薄膜２２の一部が被洗浄物１４から
剥離してローラ１５に巻きつこうとしても水滴とともに
液体３０に落下し、液体３０を汚さない。
【００１０】
【実施例】以下、本発明の実施例を図面に基づき説明す
る。第１実施例を示す図１および図２において、１５
は、搬送装置としてのローラで、このローラ１５は、所
定の距離に所定の間隔で複数個並べて設けられている。
これらのローラ１５は、比較的浅い容器１９に満たされ
た液体３０に一部が浸るように配置され、ローラ１５の
回転により表面に常時水膜３１が形成されるようになっ
ている。
る。第１実施例を示す図１および図２において、１５
は、搬送装置としてのローラで、このローラ１５は、所
定の距離に所定の間隔で複数個並べて設けられている。
これらのローラ１５は、比較的浅い容器１９に満たされ
た液体３０に一部が浸るように配置され、ローラ１５の
回転により表面に常時水膜３１が形成されるようになっ
ている。
【００１１】前記液体３０には、水が用いられるが、特
定の溶剤を用いることもできる。前記容器１９の外周囲
には、溢れ出た液体３０の受け皿２３が設けられ、この
受け皿２３は、フィルタ２６を介して清浄にしてポンプ
２７により再び容器１９へ戻される。
定の溶剤を用いることもできる。前記容器１９の外周囲
には、溢れ出た液体３０の受け皿２３が設けられ、この
受け皿２３は、フィルタ２６を介して清浄にしてポンプ
２７により再び容器１９へ戻される。
【００１２】以上のような構成によるを説明する。膨潤
化装置１１でマスキング材（レジスト）である不要薄膜
２２の膨潤化された被洗浄物１４が、図１のように、ロ
ーラ１５によりつぎの剥膜装置１２に搬送される。この
搬送のとき、ローラ１５は、容器１９の液体３０に一部
が浸された状態にあるので、ローラ１５の回転により液
体３０がローラ１５の表面に付着しながら回転し、図２
に示すように、液体３０の水膜３１がローラ１５の外周
全体にできる。
化装置１１でマスキング材（レジスト）である不要薄膜
２２の膨潤化された被洗浄物１４が、図１のように、ロ
ーラ１５によりつぎの剥膜装置１２に搬送される。この
搬送のとき、ローラ１５は、容器１９の液体３０に一部
が浸された状態にあるので、ローラ１５の回転により液
体３０がローラ１５の表面に付着しながら回転し、図２
に示すように、液体３０の水膜３１がローラ１５の外周
全体にできる。
【００１３】被洗浄物１４は、ローラ１５との間に前記
水膜３１を介在しつつ搬送されるので、膨潤化した不要
薄膜２２の一部が被洗浄物１４から剥離してローラ１５
に巻きつこうとしても巻きつくことなく液体３０内に浮
遊する。次段以下のローラ１５においても同様にして不
要薄膜２２の一部が被洗浄物１４から剥離してローラ１
５に巻きつこうとしても巻きつくことなく搬送される。
水膜３１を介在しつつ搬送されるので、膨潤化した不要
薄膜２２の一部が被洗浄物１４から剥離してローラ１５
に巻きつこうとしても巻きつくことなく液体３０内に浮
遊する。次段以下のローラ１５においても同様にして不
要薄膜２２の一部が被洗浄物１４から剥離してローラ１
５に巻きつこうとしても巻きつくことなく搬送される。
【００１４】第１実施例では、ローラ１５を容器１９の
液体３０に一部が浸された状態にし、ローラ１５の回転
により液体３０がローラ１５の表面に付着しながら回転
し、液体３０の水膜３１ができるようにしたが、これに
限られるものではない。図３に示す本発明の第２実施例
では、ローラ１５を多孔質の材料で形成し、中心に導孔
２８を穿設して、この導孔２８から液体３０を圧入する
ことにより、ローラ１５の小穴からローラ１５の表面に
液体３０が滲み出て、水膜３１が形成されるようにした
ものである。このように形成することにより、膨潤化し
た不要薄膜２２の一部が被洗浄物１４から剥離してロー
ラ１５に巻きつこうとしても巻きつくことなく、水滴と
ともに液体３０に落下する。この例では、ローラ１５が
容器１９内の液体３０に浸されていないので、剥離浮遊
している不要薄膜２２が他のローラ１５に悪影響を与え
ることが全くない。
液体３０に一部が浸された状態にし、ローラ１５の回転
により液体３０がローラ１５の表面に付着しながら回転
し、液体３０の水膜３１ができるようにしたが、これに
限られるものではない。図３に示す本発明の第２実施例
では、ローラ１５を多孔質の材料で形成し、中心に導孔
２８を穿設して、この導孔２８から液体３０を圧入する
ことにより、ローラ１５の小穴からローラ１５の表面に
液体３０が滲み出て、水膜３１が形成されるようにした
ものである。このように形成することにより、膨潤化し
た不要薄膜２２の一部が被洗浄物１４から剥離してロー
ラ１５に巻きつこうとしても巻きつくことなく、水滴と
ともに液体３０に落下する。この例では、ローラ１５が
容器１９内の液体３０に浸されていないので、剥離浮遊
している不要薄膜２２が他のローラ１５に悪影響を与え
ることが全くない。
【００１５】図４に示す本発明の第３実施例では、ロー
ラ１５の下に補助ローラ２９を介在し、この補助ローラ
２９を液体３０に浸してローラ１５の表面に水膜３１を
形成するようにしたものである。このように形成するこ
とにより、膨潤化した不要薄膜２２の一部が被洗浄物１
４から剥離してローラ１５に巻きつこうとしても巻きつ
くことなく、液体３０に落下する。この例では、ローラ
１５が直接容器１９内の液体３０に浸されていないの
で、剥離浮遊している不要薄膜２２が他のローラ１５に
悪影響を与えることがない。
ラ１５の下に補助ローラ２９を介在し、この補助ローラ
２９を液体３０に浸してローラ１５の表面に水膜３１を
形成するようにしたものである。このように形成するこ
とにより、膨潤化した不要薄膜２２の一部が被洗浄物１
４から剥離してローラ１５に巻きつこうとしても巻きつ
くことなく、液体３０に落下する。この例では、ローラ
１５が直接容器１９内の液体３０に浸されていないの
で、剥離浮遊している不要薄膜２２が他のローラ１５に
悪影響を与えることがない。
【００１６】
（１）被洗浄物１４の膨潤化された不要薄膜２２の一部
が、ローラ１５の外周に付着しようとしても、ローラ１
５の表面に常時水膜３１が形成されて付着することがな
い。そのため、ローラ１５の外周径が大きくなったり、
歪になったりせず、常に正常な搬送ができる。また、不
必要な摩擦による不要薄膜２２の剥離がなくなる。
が、ローラ１５の外周に付着しようとしても、ローラ１
５の表面に常時水膜３１が形成されて付着することがな
い。そのため、ローラ１５の外周径が大きくなったり、
歪になったりせず、常に正常な搬送ができる。また、不
必要な摩擦による不要薄膜２２の剥離がなくなる。
【００１７】（２）ローラ１５に周速の違いが生じない
ので、極めて細かで、かつ、厚さの薄い被洗浄物１４で
あっても、破損して不良品になるということがない。
ので、極めて細かで、かつ、厚さの薄い被洗浄物１４で
あっても、破損して不良品になるということがない。
【００１８】（３）ローラ１５を多孔質の材料で形成
し、中心の導孔２８から液体３０を圧入し、ローラ１５
の小穴からローラ１５の表面に液体３０が滲み出させて
水膜３１を形成するようにした場合、またはローラ１５
の下に補助ローラ２９を介在し、この補助ローラ２９を
液体３０に浸してローラ１５の表面に水膜３１を形成し
て被洗浄物１４を搬送するようにした場合には、膨潤化
した不要薄膜２２の一部が被洗浄物１４から剥離してロ
ーラ１５に巻きつこうとしても水滴とともに液体３０に
落下し、液体３０を汚さないので、剥離浮遊している不
要薄膜２２が他のローラ１５に悪影響を与えることが全
くない。
し、中心の導孔２８から液体３０を圧入し、ローラ１５
の小穴からローラ１５の表面に液体３０が滲み出させて
水膜３１を形成するようにした場合、またはローラ１５
の下に補助ローラ２９を介在し、この補助ローラ２９を
液体３０に浸してローラ１５の表面に水膜３１を形成し
て被洗浄物１４を搬送するようにした場合には、膨潤化
した不要薄膜２２の一部が被洗浄物１４から剥離してロ
ーラ１５に巻きつこうとしても水滴とともに液体３０に
落下し、液体３０を汚さないので、剥離浮遊している不
要薄膜２２が他のローラ１５に悪影響を与えることが全
くない。
【図１】本発明による剥膜装置における搬送方法の第１
実施例を示す説明図である。
実施例を示す説明図である。
【図２】図１の要部の拡大図である。
【図３】本発明の第２実施例を示す説明図である。
【図４】本発明の第３実施例を示す説明図である。
【図５】従来の剥膜装置の説明図である。
【図６】図５の要部の拡大図である。
１１…膨潤化装置、１２…剥膜装置、１３…洗浄装置、
１４…被洗浄物、１５…搬送装置としてのローラ、１６
…容器、１７…膨潤液、１８…送りローラ、１９…容
器、２０…剥膜用上部ノズル、２１…剥膜用下部ノズ
ル、２２…不要薄膜、２３…受け皿、２４…洗浄用上部
ノズル、２５…洗浄用下部ノズル、２６…フィルタ、２
７…ポンプ、２８…導孔、２９…補助ローラ、３０…液
体、３１…水膜。
１４…被洗浄物、１５…搬送装置としてのローラ、１６
…容器、１７…膨潤液、１８…送りローラ、１９…容
器、２０…剥膜用上部ノズル、２１…剥膜用下部ノズ
ル、２２…不要薄膜、２３…受け皿、２４…洗浄用上部
ノズル、２５…洗浄用下部ノズル、２６…フィルタ、２
７…ポンプ、２８…導孔、２９…補助ローラ、３０…液
体、３１…水膜。
フロントページの続き (51)Int.Cl.6 識別記号 庁内整理番号 ＦＩ 技術表示箇所 Ｈ０１Ｌ 21/027
Claims (3)
- 【請求項１】 被洗浄物１４の不要薄膜２２を膨潤化し
てローラ１５により搬送する装置において、前記ローラ
１５を容器１９に満たされた液体３０に一部が浸るよう
に配置し、ローラ１５の表面に常時水膜３１を形成して
被洗浄物１４を搬送するようにしたことを特徴とする剥
膜装置における搬送方法。 - 【請求項２】 被洗浄物１４の不要薄膜２２を膨潤化し
てローラ１５により搬送する剥膜装置において、前記ロ
ーラ１５を多孔質の材料で形成し、中心に導孔２８を穿
設して、この導孔２８から液体３０を圧入することによ
り、ローラ１５の小穴からローラ１５の表面に液体３０
を滲み出させて、水膜３１を形成して被洗浄物１４を搬
送するようにしたことを特徴とする剥膜装置における搬
送方法。 - 【請求項３】 被洗浄物１４の不要薄膜２２を膨潤化し
てローラ１５により搬送する剥膜装置において、前記ロ
ーラ１５の下に補助ローラ２９を介在し、この補助ロー
ラ２９を液体３０に浸して前記ローラ１５の表面に水膜
３１を形成して被洗浄物１４を搬送するようにしたこと
を特徴とする剥膜装置における搬送方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6562194A JPH07249602A (ja) | 1994-03-09 | 1994-03-09 | 剥膜装置における搬送方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6562194A JPH07249602A (ja) | 1994-03-09 | 1994-03-09 | 剥膜装置における搬送方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH07249602A true JPH07249602A (ja) | 1995-09-26 |
Family
ID=13292287
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP6562194A Pending JPH07249602A (ja) | 1994-03-09 | 1994-03-09 | 剥膜装置における搬送方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH07249602A (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2002162516A (ja) * | 2000-11-28 | 2002-06-07 | Toppan Printing Co Ltd | カラーフィルタ基板の搬送ローラ |
| KR100864948B1 (ko) * | 2007-02-01 | 2008-10-23 | 세메스 주식회사 | 기판 이송 장치 |
| CN105346984A (zh) * | 2015-11-23 | 2016-02-24 | 中国汽车工业工程有限公司 | 自清洁滚床 |
| KR20160125182A (ko) * | 2015-04-21 | 2016-10-31 | 삼성전기주식회사 | 기판 이송장치 |
-
1994
- 1994-03-09 JP JP6562194A patent/JPH07249602A/ja active Pending
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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