JPS63302194A

JPS63302194A - 吸い込み室を持つ２軸真空ポンプ

Info

Publication number: JPS63302194A
Application number: JP63115014A
Authority: JP
Inventors: ハンス−ペーテル・ベルゲス; ハルトムート・クリーン; ウオルフガング・ライエル; ラルフ・シユテツフェンス
Original assignee: Leybold Heraeus GmbH
Current assignee: Balzers und Leybold Deutschland Holding AG
Priority date: 1987-05-15
Filing date: 1988-05-13
Publication date: 1988-12-09
Also published as: EP0290662A1; EP0409287B1; DE3785192D1; EP0409287A1; JPH10192U; EP0290662B1; US4940398A

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】〔産業上の利用分野〕本発明は、少なくとも１つの吸込み室と、この又はそれ
ぞれの吸込み室にある回転子対と、この又はこれらの吸
込み室を区画する軸受蓋と、側方空間にあって２つの歯
車から成る同期化伝動装置とを持ち、軸のうち一方の軸
の一端が駆動機械と接続している２軸真空ポンプに関す
る。

〔従来の技術〕

この種の２軸真空ポンプはドイツ連邦共和国特許出願公
開第３１４７８２４号明細書から公知である。軸は作動
位置において水平であるので、特にポンプが多段に構成
されている場合は、この種のポンプには比較的大きい全
長又は比較的大きい設置面積が必要である。さらに、組
立て及び保守作業が困難である。なぜならばこれらの作
業は通常ポンプの作動位置において行なわれなければな
らないからである。

本発明は特に、すべての回転子対が爪型（ノーセイ（ｎ
ｏｒｔｈｅｙ）輪郭）の回転ピストンを備えている、冒
頭に挙げた種類の２軸真空ポンプに関する。他の形状の
回転子（ルーツ輪郭、ねじ輪郭又はこれらすべての輪郭
の任意の組合せ）を持つ２軸真空ポンプにも、本発明は
使用可能である。

〔発明が解決しようとする課題〕

本発明の基礎になっている課題は、比較的小ぢんまりし
た、小さい設置面積しか必要とせずカッ組立テ及ヒ保守
に好ましい、冒頭に挙げた種類の２軸真空ポンプを提供
することである。

〔課題を解決するための手段〕

本発明によればこの課題は、真空ポンプの軸が垂直に配
置され、同期化伝動装置と、回転子のうち一方の回転子
を駆動機械と接続する手段とを持つ側方空間が下側の回
転子対の下に配置されていることによって解決される。

このようにして構成された２軸真空ポンプは、比較的小
さい設置面積しか必要としない。さらに、垂直な軸配置
のために組立て及び保守作業が簡単に実施できる。ポン
プが水冷される場合は、完全な冷却水流出が非常に簡単
である。

２軸真空ポンプの好ましい実施例では、ポンプの入口が
最上ポンプ段の上に配置されておりかつ水平な接続フラ
ンジを持つ垂直な接続管片として構成されている。さら
に、ポンプの出口は最下ポンプ段の下にある。このよう
な実施例には先ず、垂直に輸送するころがりピストンポ
ンプと簡単に組み合わせることができるという利点があ
る。さらに、垂直に配置された軸のためにポンプ段の内
部にあり得る凝縮水が下方へ流れかつポンプの出口から
流出するので、長い間にわたって凝縮水の有害な作用が
生じない。

専用のバラストガス供給を省くことができる。

さらに、洗浄液を入口へ導入することにより、障害にな
る内張りを除去するためにポンプを洗浄することができ
る。特別の手段なしに、洗浄液は重力により出口を通っ
てポンプから出ることができる。これは特に、爪型回転
ピストン（ノーセイ輪郭）を持つ真空ポンプに適用され
る。この種のポンプでは、流入口及び流出口が軸受蓋の
端面にあるので、接続通路からの液体の流出も保証され
る。最後に、前に接続されているルーツポンプも一緒に
洗浄過程に入れることができる。

〔実施例〕

本発明のそれ以外の特徴及び詳細を、第１図ないし第４
図に示した実施例により説明する。

第１図に示した実施例は、２つの軸２及び３並びに３つ
の回転子対４，５または６，７また１、ｔ８ｔ９を持つ
３段真空ポンプ１である。回転子の軸線方向長さは吸込
み側から吐出側へ小さくなる。

回転ピストンは爪型（第２図参照）であり、吸込み室１
．１，１２．１３内で回転し、これらの吸込み室は軸受
蓋１４ないし１７及びハウジング環１８ないし２０によ
り形成される。

軸２，３は垂直に配置されている。これは、ポンプハウ
ジングのそばに配置された駆動機械２２にも適用される
。下側軸受蓋！７の下において軸２．３は同じ直径の歯
車２３＊２４を備えており、これらの歯車は回転子対４
，５又は６，７又は８，９の運動の同期化のために役立
つ。駆動機械２２も下側に歯車２５を持っている。駆動
装置の接続は別の歯＋１４２６により行なわれ、この歯
ｉｐは歯車２４及び２５とかみ合っている。

上側軸受Ｎ１４及び下側軸受蓋１７に軸２，３がころが
り軸受２７を介して支持されている。上側軸受蓋１４は
、水平に配置された接続フランジ２８を備えており、こ
の接続フランジはポンプの入口２９を形成している。流
入通路３１＆、を端面（開口３２）において第１段の吸
込み室１１へ開口している。第１段の端面に配置された
流出口は３３で示されており、接続通路３４へ通じてい
る。軸受蓋１５にある接続通路３４は第２段の流入口３
５と接続している。軸受ｆｉ１６も同じように形成され
ている。最下（第３の）ポンプ段の下に出口３６があり
、この出口は下側軸受蓋１７の端面の流出口３７と接続
している。

ポンプハウジング及び駆動機械から成る装置の下に、共
通の軸槽４１により形成された、油を含有する空間４０
が設けられている。この軸槽４１の中へ、軸２と結合さ
れた油ポンプ４２が突き出ている。この油ポンプから、
図示してない潤滑剤通路がポンプの個所（軸受、歯車２
３ないし２６のかみ合い部、止め輪など）へ延びており
、これらの個所は油潤滑を必要とする。

図示した３段２軸真空ポンプの実施例は水冷される。そ
のために軸受蓋１４及び１７に冷却水通路４３及び４４
が設けられている。冷却水入口及び出口は４５及び４６
で示されている。冷却水人口４５は通路系４３．４４の
最下位置に配置されているので、簡単な冷却水流出が可
能であり、完全な排出が保証される。

第３図は本発明による２段２軸真空ポンプの縦断面を示
している。駆！１２１機械２２はポンプの下に配置され
ている。この駆動機械の軸５１は軸２の軸線方向延長部
を形成している。駆動機械軸５１及びポンプ軸２は一体
に構成されるのが好ましい。駆動機械２２は水冷され、
そのために２重壁ハウジング５２を備えている。それに
より形成された冷却通路５３はポンプハウジングの冷却
系４３ないし４６に接続されている。

そのために必要な接続管路が５４及び５５で示されてい
る。駆動機械２２と下側軸受蓋１７との間に同期化歯車
２３．２４及び油空間４０があり、この油空間へ油ポン
プ４２が突き出ている。油ポンプ４２は駆動軸３と連結
されている。

第３図による実施例は、ポンプハウジング及び駆動機械
が軸線方向に前後に並んでいるにも拘らず、小さい全高
しか持たない。なぜならばポンプ及び駆動機械は共通の
軸を持ちかつ水冷のだめに駆動機械が冷却送風機を必要
としないからである。専用の駆動機械軸受も省略できる
。

冷却水入口は駆動機械ハウジング５２においてできるだ
け下に配置されているので、冷却水入口を簡単に冷却水
出口として使用することができる。冷却系全体の完全な
排出が保証される。

第４図による実施例は、そばに駆動機械２２が配置され
ている１段２軸真空ポンプであ・る。

この配置には、ベルト駆動装置又は鎖駆動装置（後者が
図示されている）を使用することができるという利点が
ある。そのために真空ポンプの軸３及び駆ｍ機械２２の
軸５Ｉは歯車５６及び５７を備えておりかつ図示してな
い鎖を介して互いに結合されている。この解決策の利点
は、回転数の差（例えば５０又は６０ヘルツの駆動機械
）を簡単に補償することができることに存する。さらに
、この種の駆動装置は一層良好な減衰の利点を持ってい
る。

さらに、第４ｒＭは軸受蓋１４における軸２，３の支持
部の構成に関する特徴を示している。軸２．３の上端と
、はぼ円筒状のはめ合い片６１１６２が結合されており
、これらのはめ合い片は端面に壷状体６３を持っている
。軸端自体又は回転子の端部もこの壷状体６３を備える
ことができる。壷状に形成されたそれぞれの空間内へ上
方から円筒状端部６５が突き出ており、この端部はハウ
ジング蓋６６に取り付けられている。軸受２７の内側輪
は固定端部６５に支持され、外側輪は壷状体に支持され
ている。円筒状はめ合い片６１．６２は、これらのはめ
合い片を包囲する軸受蓋１４の壁と共に間隙密封片を形
成し、この間隙密封片を例えば（溝の中にあるピストン
環を持つ）ラビリンス密封片６７として構成することが
できる。それによって、通常油のない吸込み室からの軸
受空間の効果的な分離が保証される。

第５図は第４図について述べたような支持装置を拡大し
て示している。軸受空間からの潤滑剤の流出を防止する
ために、軸受輪２７の上に、回転する１１６８が設けら
れており、この環は軸受空間を外部に対してほぼ完全に
閉鎖する。さらに、遠心作用が生ずる。環６８に達する
潤滑剤は外部へ、従って軸受空間へ戻される。

同じように構成された第６図による支持装置では、軸受
２７の上に軸密封環６９が設けられており、この密封環
が軸受空間を閉鎖する。軸密＠４６８の密封唇片は軸２
，３の静止の際に端部６５に接触している。軸が回転す
ると、密封唇片が軸端部６５から離れるので、密封片は
接触なしの状態になる。

【図面の簡単な説明】

第１図はポンプハウジング及び駆動機械が並置されてい
る、本発明による多段ポンプの断面図、第２図は回転子
対の断面図、第３図はポンプハウジング及び駆動機械が
軸線方向に前後に配置されている、本発明による多段ポ
ンプの断面図、第４図は特別の軸受構想を持つ、本発明
による１段ポンプの断面図、第５図及び第６図は上側軸
端用の好ましい軸受の断面図である。ｌ・・・真空ポンプ、２．３・・・軸、８，９・・・回
転子対、２２・・・駆動機械、２３＋２４・・・同期化
伝動装置

Claims

【特許請求の範囲】１　少なくとも１つの吸込み室と、この又はそれぞれの
吸込み室にある回転子対と、この又はこれらの吸込み室
を区画する軸受蓋と、側方空間にあって２つの歯車から
成る同期化伝動装置とを持ち、軸のうち一方の軸の一端
が駆動機械と接続している２軸真空ポンプにおいて、真
空ポンプ（１）の軸（２、３）が垂直に配置され、同期
化伝動装置（２３、２４）と、軸（２、３）のうち一方
の軸の一端を駆動機械（２２）と接続する手段とを持つ
側方空間が下側の回転子対（８、９）の下に配置されていることを特徴とする２軸
真空ポンプ。２　ポンプ（１）の入口（２９）が最上ポンプ段の上に
配置され、ポンプの出口（３６）が最下ポンプ段の下に
あることを特徴とする、請求項１に記載のポンプ。３　ポンプ（１）の入口（２９）が、水平の接続フラン
ジ（２８）を持つ垂直な接続管片として構成されている
ことを特徴とする、請求項２に記載のポンプ。４　駆動機械（２２）がポンプ（１）のそばに、この駆
動機械の駆動軸（５１）が垂直に向けられるように、配
置されていることを特徴とする、請求項１、２又は３の
うち１つに記載のポンプ。５　駆動機械（２２）の駆動軸（５１）に歯車（２５）
を持つ同期化伝動装置の歯車（２３、２４）が同じ面内
に配置され、駆動装置の接続を行なうために別の歯車（
２６）が設けられていることを特徴とする、請求項４に
記載のポンプ。６　駆動機械（２２）の軸（５１）がベルト、歯付きベ
ルト又は鎖駆動装置を介してポンプ（１）の軸（２、３
）のうちの一方と接続されていることを特徴とする、請
求項４に記載のポンプ。７　駆動機械（２２）がポンプ（１）の下に配置されて
いることを特徴とする、請求項１、２又は３のうち１つ
に記載のポンプ。８　駆動機械（２２）の軸（５１）及びポンプ（１）の
軸（２、３）のうちの一方が互いに同軸的に配置されて
いることを特徴とする、請求項７に記載のポンプ。９　ポンプの軸（２、３）のうちの一方及び駆動機械（
２２）の軸（５１）が一体に構成されていることを特徴
とする、請求項８に記載のポンプ。１０　ポンプ（１）及び駆動機械（２２）が水冷されか
つつながっている冷却系を持っていることを特徴とする
、請求項７ないし９のうち１つに記載のポンプ。１１　最下ポンプ段の下に、油を含有する空間（４０）
があり、この空間へ、両方の軸（２、３）のうち一方の
軸の下端に配置された油ポンプ（４２）が突き出ていることを特徴とする、請求項１な
いし１０のうち１つに記載のポンプ。１２　軸（２、３）の上端が壷状に形成され、軸受（２
７）が壷状体（６３）の内壁及びその中に突き出ている
、ハウジングに固定された端部（６５）に支持されてい
ることを特徴とする、請求項１ないし１１のうち１つに
記載のポンプ。１３　壷状体（６３）が軸自体により又は軸（２、３）
の端部に取り付けられたはめ合い片（６１、６２）によ
り形成され、これらのはめ合い片の外面がこの外面を包
囲する上側軸受蓋（１４）と共に間隙密封片、ラビリン
ス密封片又は同じような密封片を形成することを特徴と
する、請求項１２に記載のポンプ。１４　軸密封環（６９）が壷状軸受空間の閉鎖部を形成
することを特徴とする、請求項１２又は１３に記載のポ
ンプ。