JPS63298242A - 感光性樹脂層の形成法 - Google Patents
感光性樹脂層の形成法Info
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- JPS63298242A JPS63298242A JP62133677A JP13367787A JPS63298242A JP S63298242 A JPS63298242 A JP S63298242A JP 62133677 A JP62133677 A JP 62133677A JP 13367787 A JP13367787 A JP 13367787A JP S63298242 A JPS63298242 A JP S63298242A
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Classifications
-
- G—PHYSICS
- G03—PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
- G03F—PHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR
- G03F7/00—Photomechanical, e.g. photolithographic, production of textured or patterned surfaces, e.g. printing surfaces; Materials therefor, e.g. comprising photoresists; Apparatus specially adapted therefor
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Optical Filters (AREA)
- Photosensitive Polymer And Photoresist Processing (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は、カラーフィルター等に用いられる有機顔料が
分散されて成る感光性樹脂屑の形成法に関する。
分散されて成る感光性樹脂屑の形成法に関する。
近年、液晶表示装置において、表示される画像のカラー
化に対する関心が高まっており、そのための１つの方法
として平行な一対の透明電極間に液晶材料を封入し、透
明電極上または下に赤・青・緑のいずれか１色から選ば
れた色を順次設ける゛方法が提案されている。微細な領
域を色相の異なる２種または３゛種以上の色を着色する
にはさまざまな方式が提案されている。
化に対する関心が高まっており、そのための１つの方法
として平行な一対の透明電極間に液晶材料を封入し、透
明電極上または下に赤・青・緑のいずれか１色から選ば
れた色を順次設ける゛方法が提案されている。微細な領
域を色相の異なる２種または３゛種以上の色を着色する
にはさまざまな方式が提案されている。
例えば、光の散乱による光透過率の低下を抑えられる所
定粒径分布を有する顔料を樹脂中に分散させた感光性樹
脂組成物を用いて着色画像を形成する方式が有る。この
ような感光性樹脂組成物を用い、写真製版法により形成
した着色画像は、旧来から行なわれてきた感光性樹脂を
用いて写真製版法により被染色層を形成したのち、該被
染色層を染料を用いて所定の色に染色する染色法による
。
定粒径分布を有する顔料を樹脂中に分散させた感光性樹
脂組成物を用いて着色画像を形成する方式が有る。この
ような感光性樹脂組成物を用い、写真製版法により形成
した着色画像は、旧来から行なわれてきた感光性樹脂を
用いて写真製版法により被染色層を形成したのち、該被
染色層を染料を用いて所定の色に染色する染色法による
。
着色画像と比゛ベニ捏上では染色工程が省けるので、価
格・信頼性の面からも有利である。
格・信頼性の面からも有利である。
しかしながら、１μ以下、特に５００八以下の粒径を有
する有機顔料を分散させた感光性樹脂を基板に塗布し、
所定の条件でパターン露光し、現像して製版してカラー
フィルター等を得ようとすると非画線部に微粒子が残存
し、非画線領域の微粒子が残存し、非画線領域の微粒子
残存部分が着色し、非画線部の透過率が低下せしめられ
る。
する有機顔料を分散させた感光性樹脂を基板に塗布し、
所定の条件でパターン露光し、現像して製版してカラー
フィルター等を得ようとすると非画線部に微粒子が残存
し、非画線領域の微粒子が残存し、非画線領域の微粒子
残存部分が着色し、非画線部の透過率が低下せしめられ
る。
例えば、微噴霧ノズルを用いて物理的な圧力を与えつつ
現像してもなおもわずかな顔料微粒子が非画線部に残存
し、顔料微粒子が付着していない基板の透過率を１００
％とした場合、非画線部の顔料のボトム透過率部で９８
％前後になる。これを浸漬法により現像すると非画線部
の透過率が８５％以下となり甚しい着色が認められる。
現像してもなおもわずかな顔料微粒子が非画線部に残存
し、顔料微粒子が付着していない基板の透過率を１００
％とした場合、非画線部の顔料のボトム透過率部で９８
％前後になる。これを浸漬法により現像すると非画線部
の透過率が８５％以下となり甚しい着色が認められる。
これらの状況を走査型電子顕微鏡を用いて観察した結果
は第１図に示すようなものであった。この図において１
は基板２上に形成された着色画線部であり、ここには多
数の顔料微粒子３が感光性樹脂４中に分散され基板２に
付着している。一方非画線部５にも１μ以下特に５００
八以下のわずかな顔料微粒子３が残存し、感光性樹脂４
を介して基板２に付着している。
は第１図に示すようなものであった。この図において１
は基板２上に形成された着色画線部であり、ここには多
数の顔料微粒子３が感光性樹脂４中に分散され基板２に
付着している。一方非画線部５にも１μ以下特に５００
八以下のわずかな顔料微粒子３が残存し、感光性樹脂４
を介して基板２に付着している。
このように基板に付着している非画線部微粒子は比較的
弱い力で吸着しているので物理的に除去する方法、たと
えば現像後柔かな布で佛拭したり、更には指で軽く擦る
簡単な方法が考えられる。
弱い力で吸着しているので物理的に除去する方法、たと
えば現像後柔かな布で佛拭したり、更には指で軽く擦る
簡単な方法が考えられる。
しかしながら、カラーフィルター等の様に微細なパター
ンにおいてはすべての領域内の非画線部の微粒子を完全
に佛拭することは不可能に近い。
ンにおいてはすべての領域内の非画線部の微粒子を完全
に佛拭することは不可能に近い。
又量産性、信頼性の面からも、このような除去法は不十
分であった。
分であった。
かくて本発明は顔料微粒子を含む感光性樹脂を基板」二
に塗布し、感光性樹脂層を形成してパターン焼付、現像
する方法において、非画線部に顔料微粒子を残存せしめ
ることなく、高精度に効率的に感光性樹脂製版しうる方
法を提供することを目的とするもの゛であって、本発明
者の研究、実験によれば、現像した後、紫外線−オゾン
処理又は酸素プラズマ処理することによりかかる目的が
達成されることが見出されたのである。
に塗布し、感光性樹脂層を形成してパターン焼付、現像
する方法において、非画線部に顔料微粒子を残存せしめ
ることなく、高精度に効率的に感光性樹脂製版しうる方
法を提供することを目的とするもの゛であって、本発明
者の研究、実験によれば、現像した後、紫外線−オゾン
処理又は酸素プラズマ処理することによりかかる目的が
達成されることが見出されたのである。
従って、本発明は一粒径１μ以下の有機顔料の微粒子が
分散せしめられた感光性樹脂組成物を基板上に塗布して
感光性樹脂層を形成し、パターンの焼付けを行ない現像
することからなる方法において、現像した後紫外線−オ
ゾン処理又は酸素プラズマ処理することを特徴とする感
光性樹脂層の形成法を提供するものである。
分散せしめられた感光性樹脂組成物を基板上に塗布して
感光性樹脂層を形成し、パターンの焼付けを行ない現像
することからなる方法において、現像した後紫外線−オ
ゾン処理又は酸素プラズマ処理することを特徴とする感
光性樹脂層の形成法を提供するものである。
本発明について詳しく説明する。
まず有機顔料微粒子を分散させた感光性樹脂組成物を調
製する。
製する。
感光性樹脂材料としてはゼラチン、カゼイン、グリユー
などの動物性タンパク質を用いうるが、特にポリビニル
アルコール（ＰＶＡ）等の合成水溶性高分子化合物が好
ましく、かかる材料にジアゾ化合物、ビスアジド化合物
、スチルバゾリウム化合物等の微量の光架橋剤を組合わ
せ、これに有機顔料を加え、水とよく混合してえられる
。特に、水溶性の感光性樹脂組成物が好んで用いられる
。
などの動物性タンパク質を用いうるが、特にポリビニル
アルコール（ＰＶＡ）等の合成水溶性高分子化合物が好
ましく、かかる材料にジアゾ化合物、ビスアジド化合物
、スチルバゾリウム化合物等の微量の光架橋剤を組合わ
せ、これに有機顔料を加え、水とよく混合してえられる
。特に、水溶性の感光性樹脂組成物が好んで用いられる
。
有機顔料としては１μ以下、特に５００Å以下の粒径を
有する市販の有機顔料が用いられ、１種又は２種以上の
赤色顔料、緑色顔料、青色顔料等を重量で０．１〜５％
％含む、夫々の色に着色用の組成物がつくられる。
有する市販の有機顔料が用いられ、１種又は２種以上の
赤色顔料、緑色顔料、青色顔料等を重量で０．１〜５％
％含む、夫々の色に着色用の組成物がつくられる。
画線部を強固にするためには、露光を画像太りが生じな
い範囲で十分に照射し、加熱等により未架橋部分を完全
に架橋させる必要がある。また、感光性樹脂の基板への
密着性を向上させるためには、基板に表面処理し例えば
、シランカップラー塗布、ブライマー塗布等）を行なっ
たり或いは、感光性樹脂組成物中にシランカップラー等
の密着性向上剤を０，１〜１．０％添加する。
い範囲で十分に照射し、加熱等により未架橋部分を完全
に架橋させる必要がある。また、感光性樹脂の基板への
密着性を向上させるためには、基板に表面処理し例えば
、シランカップラー塗布、ブライマー塗布等）を行なっ
たり或いは、感光性樹脂組成物中にシランカップラー等
の密着性向上剤を０，１〜１．０％添加する。
かかる感光性樹脂組成物を適宜大きさのガラス板等の基
材に塗布して感光性樹脂層を形成した後パターン露光し
、ついで現像する。
材に塗布して感光性樹脂層を形成した後パターン露光し
、ついで現像する。
現像法は、所定現像液を用いて、浸漬法、スプレー法等
が適用し得るが、強い圧力を有する微噴霧ノズルを用“
いて物理的な圧力を与えつつ現像することにより、非画
線部の微粒子の多くも除去し得る。
が適用し得るが、強い圧力を有する微噴霧ノズルを用“
いて物理的な圧力を与えつつ現像することにより、非画
線部の微粒子の多くも除去し得る。
本発明では、現像後に紫外線で発生するオゾンまたは、
酸素プラズマを照射して、基板−Ｌの非画線部の１μ以
下特に５００Å以下の有機顔料微粒子を分解除去するの
である。
酸素プラズマを照射して、基板−Ｌの非画線部の１μ以
下特に５００Å以下の有機顔料微粒子を分解除去するの
である。
紫外線−オゾン処理は、紫外光によってイオン化、活性
化した有機物に、同時に酸素より発生したオゾンによっ
て酸化、分解させる。
化した有機物に、同時に酸素より発生したオゾンによっ
て酸化、分解させる。
また、酸素プラズマは、プラズマによって発生した酸素
活性種により、酸化、分解させるものである。
活性種により、酸化、分解させるものである。
これらの処理時間は、きわめて短時間でよく、いずれの
場合も数分以内である。
場合も数分以内である。
本発明を実施する場合、非画線部の微粒子のみならず、
画線部も、酸化・分解を受けるが、画線部の膜厚は、約
１μｍあるので、膜厚減少分は、数％にすぎず、例えば
フィルターについて、本発明の実施前後の色差Ｅｕ’ｖ
＊をとったところ各画素共５以内で、特に問題にならな
かった。
画線部も、酸化・分解を受けるが、画線部の膜厚は、約
１μｍあるので、膜厚減少分は、数％にすぎず、例えば
フィルターについて、本発明の実施前後の色差Ｅｕ’ｖ
＊をとったところ各画素共５以内で、特に問題にならな
かった。
このように現像後、紫外線−オゾン処理又は酸素プラズ
マ処理することによって、非画線部に残存付着している
粒径１μ以下、特に５００Ａ以下の角゛機顔料微粒子は
、酸化分解するのでごく簡単な方法で、短時間にかかる
微粒子を除去することができる。
マ処理することによって、非画線部に残存付着している
粒径１μ以下、特に５００Ａ以下の角゛機顔料微粒子は
、酸化分解するのでごく簡単な方法で、短時間にかかる
微粒子を除去することができる。
実施例１
１００＋＋ｓＸ １００ｍ＋ｓ厚さ１．１＋ａｍｔコー
ニング′ｆ＋、７０５９材からなるガラス基板を酸洗浄
、水洗、乾燥の後、表１に示す赤色有機顔料を分散して
成る感光性樹脂組成物をスピンナーで厚さ１μｍになる
様に回転塗布し、９０℃にて３０分間乾燥させた。
ニング′ｆ＋、７０５９材からなるガラス基板を酸洗浄
、水洗、乾燥の後、表１に示す赤色有機顔料を分散して
成る感光性樹脂組成物をスピンナーで厚さ１μｍになる
様に回転塗布し、９０℃にて３０分間乾燥させた。
モザイク配列からなるカラーフィルター用パターンマス
クを、超高圧水銀灯を用いたたアライナ−で４０５ｎｓ
で１３０ｉＪ／ｃ−照射し、水で１分間浸漬法による現
像し、水切りの後、１８０℃にて３０分間硬化′させた
。
クを、超高圧水銀灯を用いたたアライナ−で４０５ｎｓ
で１３０ｉＪ／ｃ−照射し、水で１分間浸漬法による現
像し、水切りの後、１８０℃にて３０分間硬化′させた
。
冷却後、１ｍＥ −Ｈ−Ｃ社ＵＶ１０３洗浄機ＰｈｏＬ
ｏｃｌｅａｎｅｒに１分間照射した。
ｏｃｌｅａｎｅｒに１分間照射した。
更に表１に示す緑色、青色有機顔料を分散して成る感光
性樹脂組成物を前記条件と同様に塗布、乾燥し、それぞ
れ１画素のピッチ分マスクをずらし、それぞれ３００１
Ｊ／Ｃｄ、１００ｍＪ／ｃｄの露光量で照射、前記と同
様の条件で現像、硬化、紫外線−オゾン処理を行ない、
赤拳緑、青から成るカラーフィルターを得た。更に、未
加ニガラスを基準として、非画線部透過率を測定したと
ころ、４００〜７００ｎｏ＋において平坦な１００％を
示し、残留微粒子は認められなかった。このカラーフィ
ルターにＩＴＯ膜付を行ない、ポリイミド配向膜を塗布
、硬化させ、ラビング処理の後、ＴＦＴアレイを有する
電極基板と組み合わせ、液晶セルを作成し、液晶注入し
液晶表示装置を作成し、所定信号を印加したところ良好
な画像が得られた。
性樹脂組成物を前記条件と同様に塗布、乾燥し、それぞ
れ１画素のピッチ分マスクをずらし、それぞれ３００１
Ｊ／Ｃｄ、１００ｍＪ／ｃｄの露光量で照射、前記と同
様の条件で現像、硬化、紫外線−オゾン処理を行ない、
赤拳緑、青から成るカラーフィルターを得た。更に、未
加ニガラスを基準として、非画線部透過率を測定したと
ころ、４００〜７００ｎｏ＋において平坦な１００％を
示し、残留微粒子は認められなかった。このカラーフィ
ルターにＩＴＯ膜付を行ない、ポリイミド配向膜を塗布
、硬化させ、ラビング処理の後、ＴＦＴアレイを有する
電極基板と組み合わせ、液晶セルを作成し、液晶注入し
液晶表示装置を作成し、所定信号を印加したところ良好
な画像が得られた。
表１ 感光性樹脂組成物組成 （組成比の残りは水）実
施例２ 実施例１と同様にガラス基板上に表１に示す各色何機顔
料を分散して成る感光性樹脂組成物を塗布、露光、現像
、硬化を行なった。
施例２ 実施例１と同様にガラス基板上に表１に示す各色何機顔
料を分散して成る感光性樹脂組成物を塗布、露光、現像
、硬化を行なった。
この工程後、ＢＲＡＮＳＯＮ／Ｉ ＰＣ社プラズマアッ
シャ−４０００ＳＥＲＩＥＳを３０秒間照射した。
シャ−４０００ＳＥＲＩＥＳを３０秒間照射した。
カラーフィルター形成後、未加ニガラスを基板として、
非画線部透過率を測定したところ、４００〜７００ｎａ
において平坦な１００９６を示し、残留微粒子は認めら
れなかった。
非画線部透過率を測定したところ、４００〜７００ｎａ
において平坦な１００９６を示し、残留微粒子は認めら
れなかった。
更にこのカラーフィルターを用いて、実施例１と同様に
液晶表示装置を作成し、所定信号を印加したところ、良
好な画像が得られた。
液晶表示装置を作成し、所定信号を印加したところ、良
好な画像が得られた。
［発明の効果］
以上に詳記してきた様に、本発明によれば、感光性樹脂
製版時に残存する非画線部の有機顔料微粒子を簡単に短
時間で確実に除去して非画線部の透過率の低下を防止す
ることができる。
製版時に残存する非画線部の有機顔料微粒子を簡単に短
時間で確実に除去して非画線部の透過率の低下を防止す
ることができる。
また、カラーフィルターの様に塗布をくり返す場合、塗
布前に処理するので、ガラス面の吸着を機物も除去され
、感光性樹脂組成物のぬれ性改善などの派生的効果が得
られる。
布前に処理するので、ガラス面の吸着を機物も除去され
、感光性樹脂組成物のぬれ性改善などの派生的効果が得
られる。
かくて本発明は良好な感光性樹脂層を基板上に形成して
高精度に効率的にしかも確実に感光性樹脂製版しうる方
法を提供するものであり、誠に有効である。
高精度に効率的にしかも確実に感光性樹脂製版しうる方
法を提供するものであり、誠に有効である。
第１図は基板上に有機顔料が付着している様子を模式的
に示した説明図である。 １・・・着色画線部、２・・・基板、３・・・顔料微粒
子、４・・・感光性樹脂、５・・・非画線部。
に示した説明図である。 １・・・着色画線部、２・・・基板、３・・・顔料微粒
子、４・・・感光性樹脂、５・・・非画線部。
Claims (1)
- 粒径１μｍ以下の有機顔料の微粒子が分散せしめられた
感光性樹脂組成物を基板上に塗布して感光性樹脂層を形
成し、パターンの焼付けを行ない現像することからなる
方法において、現像した後、紫外線−オゾン処理又は酸
素プラズマ処理することを特徴とする感光性樹脂層の形
成法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP13367787A JP2806928B2 (ja) | 1987-05-29 | 1987-05-29 | 感光性樹脂層の形成法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP13367787A JP2806928B2 (ja) | 1987-05-29 | 1987-05-29 | 感光性樹脂層の形成法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS63298242A true JPS63298242A (ja) | 1988-12-06 |
| JP2806928B2 JP2806928B2 (ja) | 1998-09-30 |
Family
ID=15110304
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP13367787A Expired - Lifetime JP2806928B2 (ja) | 1987-05-29 | 1987-05-29 | 感光性樹脂層の形成法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2806928B2 (ja) |
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH05224011A (ja) * | 1992-02-17 | 1993-09-03 | Canon Inc | カラーフィルターの製造方法 |
| JPH05224015A (ja) * | 1992-02-07 | 1993-09-03 | Canon Inc | カラーフィルターの製造方法 |
| US5279913A (en) * | 1991-01-21 | 1994-01-18 | U.S. Philips Corporation | Method of manufacturing a colour filter |
| US5482803A (en) * | 1992-02-07 | 1996-01-09 | Canon Kabushiki Kaisha | Process for preparing filter |
| US7222776B2 (en) | 1997-01-30 | 2007-05-29 | Ibiden Co., Ltd. | Printed wiring board and manufacturing method therefor |
| US7326503B2 (en) * | 2005-08-22 | 2008-02-05 | Micron Technology, Inc. | Process for color filter array residual pigment removal |
Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS58214151A (ja) * | 1982-06-07 | 1983-12-13 | Hitachi Ltd | 微細レジストパタ−ン形成の現像方法 |
| JPS60129707A (ja) * | 1983-12-16 | 1985-07-11 | Agency Of Ind Science & Technol | カラーフィルター，カラー液晶表示装置およびそれらの製造方法 |
| JPS61125131A (ja) * | 1984-11-22 | 1986-06-12 | Chlorine Eng Corp Ltd | 集積回路基板の洗浄および／または灰化方法 |
-
1987
- 1987-05-29 JP JP13367787A patent/JP2806928B2/ja not_active Expired - Lifetime
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| US7326503B2 (en) * | 2005-08-22 | 2008-02-05 | Micron Technology, Inc. | Process for color filter array residual pigment removal |
| US8129079B2 (en) | 2005-08-22 | 2012-03-06 | Aptina Imaging Corporation | Process for color filter array residual pigment removal |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP2806928B2 (ja) | 1998-09-30 |
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