JPS63297246A - 色ガラス板 - Google Patents

色ガラス板

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JPS63297246A JP62131283A JP13128387A JPS63297246A JP S63297246 A JPS63297246 A JP S63297246A JP 62131283 A JP62131283 A JP 62131283A JP 13128387 A JP13128387 A JP 13128387A JP S63297246 A JPS63297246 A JP S63297246A
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 ［産業上の利用分野］ 本発明は、ガラス基体表面にＴｉＮ膜とＴｉ１ｌｉ、Ｃ
ｒ膜とを必須として積層し、一方からみてコールド色系
であって可視光線透過率が４０％以下、ことに２０ｚ以
下と低い色ガラス板に関し、建築用板ガラスあるいは装
飾用板ガラス等に広く用いることができるものである。
［従来の技術］ 従来、黄金色の色合いを呈する板ガラスとじては、例え
ば基板上に金を単層コーティングしたもの、銀、銅の膜
厚あるいは膜質を調整して多層コーティングしたもの、
さらには例えば特開昭６０−４３４８１号公報にはスパ
ッタリング法およびその装置について記載され、スパッ
タリング装置の真空槽内でターゲットからスパッターさ
れたスパッター粒子を高周波プラズマ中に通して励起さ
せてＴｉＮ膜等を形成することが開示されており、また
特開昭６０−１８７６７１号公報には反応スパッタリン
グ法による積層被膜の形成方法について記載され、酸化
チタン層形成用の第１の金属チタンターゲットと窒化チ
タン層形成用の第２の金属チタンターゲットとを順次同
一真空槽内に配設し、Ａｒと０２とＮ２との混合ガスの
雰囲気下で反応スパッタリングさせて、基体上に酸化チ
タン層と窒化チタン層との積層被膜を形成させることが
開示されている等が知られ、他にＴｉＮ膜あるいはその
組合せとしては、例えば特公昭４７−１４８２０号公報
には輻射エネルギー遮断ガラスについて記載され、単に
高周波スパッター法のみでＴｉＮ　Ｉｌｌをガラス基板
上に被膜した際には緑色を呈することが開示されている
。
［発明が解決しようとする問題点］ 前述したように従来、ガラス板面上にＴｉＮ膜を形成し
、金色反射色を得るためには、単にＴｉＮ膜のみであれ
ば、例えば、高周波プラズマ励起用コイルまたはリング
を基板とターゲット間に挿入する等付帯設備を必要とし
、またＴｉＯ２膜とＴｉＮ膜との三層膜であれば、例え
ばターゲットを３枚も並列にセットし、しかもＡｒ、０
２　、Ｎ２の混合ガスを使用する必要がある等、いずれ
も複雑な設備および手法とならざるを得ないものであり
、より密着性のあるものとは必ずしもいえないものであ
る。
［問題点を解決するための手段］ 本発明は、従来のかかる欠点に鑑みてなしたものであっ
て、特定のＴｉ、Ｃｒの金属膜とＴｉＮ膜を組合せて少
なくとも成膜することによりなるコールド色系の低い可
視光線透過率を有する色ガラス板を提供するものである
。
すなわち、本発明は、多層膜を有する色ガラス板におい
て、該多層膜のうちＴｉＮ膜とＴｉおよび／またはＣｒ
膜を必須膜として少なくとも有し一方からみてコールド
色系の色合いであり、可視光線透過率が４０Ｘ以下であ
ることを特徴とする色ガラス板を提供するものである。
ここで、ＴｉＮ膜とＴｉおよび／またはＣｒ膜を必須膜
としたのは、透明または半透明等のガラス板において、
通常のスパッタリング法でＴｉＮ膜を少なくとも成膜し
、一方からみてコールド色系の色合いを出すためには、
ＴｉＮ膜とＴｉ膜および／またはＣｒ膜とを順次成膜す
る必要があるものであり、ことにガラス表面とＴｉ膜お
よび／またはＣｒ膜の間にＴｉＮ　ＷＡを介在さすこと
によってＴｉ膜および／またはＣｒ膜の付着性をより向
上させ、耐久性はもとより耐摩耗性も十分満足でき得る
ものとなるものである。
なお、機械的性質とともに耐酸性、耐アルカリ性等化学
的性質をより有するものとするにはＴｉＯ２膜等を例え
ば最外膜としてＴｉ膜面上に成膜することが好ましいも
のである また、可視光線透過率を４０％以下としたのは、４０％
を超える可視光線透過率を得ようとすると膜厚が薄くな
りすぎ、例えば不均一の膜厚となって色ムラならびに耐
久性等にも悪い影響を与えるものとなるものであり、そ
の膜厚の透過率への影響度はＴｉ膜および／またはＣｒ
膜の方が大きいものであり、そのコントロールはＴｉ膜
および／またはＣｒ膜で行う方がよいものである。より
好ましい可視光線透過率は２０％以下、最もよいのは１
０％前後である。
さらに、ＴｉＮ膜をスパッタリングする際の雰囲気につ
いては、ＡｒとＮ２のガス混合比を７０／３０〜９８／
２の範囲とするのがよく、この時Ｈ２を約５％程度添加
するとＴｉＮ膜の膜色がさらに良化するものである。
なおまた、ガラス板の色調は当然多少色ガラス板に影響
を与えるのであるが、ガラス板の厚みはほとんど色調に
は影響せず、むしろＴｉＮ膜等の膜厚によって変化し、
ガラス面側からみた反射色調であるコールド色系の色合
いも変化しやすいものである。
［作用］ 前述したとおり、本発明の色ガラス板は、通常のスパッ
タリングでＴｉＮ　１１ＩとＴｉ膜および／またはＣｒ
膜を必須膜として組合せて、一方からみてコールド色系
の色合いができ、可視光線透過率も４０Ｚ以下、むしろ
不透明に近いものとなり、すなわち分光特性においても
５００〜７００ｎｍ範囲付近における反射率曲線も長波
長側にかけて急激に立ち上がっていて、金膜をスパッタ
リング成膜した際の分光特性に近いものとなってコール
ド色系の色合いを呈すものとなるものである。
特に単板でガラス面側を目視する方向に取付は使用した
際、あざやかなコールド色系を呈し、その色合いも種々
とり得るものとなるので内外装材として広く建築、店装
、装飾用等に採用され得るものであり、採用した際の耐
久性も十分に兼備えたものとなるものである。
また通常のスパッタリングで割合簡単に成膜し得るので
経済的にも好ましいものである。
［実施例］ 以下に本発明の一実施例について説明する。
実施例１ 大きさ６００×６００１１Ｉ、厚さ３ｍｍの板ガラスを
中性洗剤、水すすぎ、イソプロピルアルコールで順次洗
浄し、乾燥した後、ＤＣマグネトロン反応スパッタリン
グ装置の真空槽内に９９．９％以上の純度を有するＴｉ
ターゲットと対向してセットする。つぎに前記槽内を５
Ｘ　１０　　Ｔｏｒｒ以下に脱気した後、ＡｒとＮ２の
混合比が、８０／２０〜９０／１０の混合ガスを前記槽
内に導入して真空度を約３Ｘ　ＩＱ　　Ｔｏｒｒに保持
し、約８人／ｓｅｅの成膜速度で約３００人のＴｉＮ膜
層を板ガラス表面に形成し、さらに続いて真空を維持し
つつＮ２ガスに替えてＡｒガスを導入して雰囲気を置換
し、真空度が約３Ｘ　１０　　Ｔｏｒｒにおいて、約９
人／ｓｅｃの成膜速度で約９００人のＴｉ膜層を形成し
た。
得られた色ガラス板は、ガラス面側からみてコールド色
系を呈し、その分光特性は第１図に示すようになり、可
視光線透過率はほぼゼロとなり不透明となった。
実施例２ 大きさ８００Ｘ８０＋ａ膳　、厚さ３ｍｍの板ガラスを
実施例１と同様にして準備し、ＲＦ反応スパッタリング
装置の真空槽内にセットし、実施例１同様に脱気してＡ
ｒとＮ２の混合比が７０／３０〜９５１５の混合ガスを
導入し、真空度を３　Ｘ　１０　　Ｔｏｒｒに保持し、
約８人／ｓｅｃの成膜速度で約４０人のＴｉＮ膜層を板
ガラス表面に形成し、つづいて真空を維持しつつＮ２ガ
スに替えてＡｒガスを導入して雰囲気を置換し、真空度
が約３Ｘ　１０　　Ｔｏｒｒにおイテ、約９人／ｓｅｅ
の成膜速度で約４００人のＴｉｌｌｌ層を形成する。さ
らに続いてＡｒと０２の混合比を約５０１５０とした混
合ガスを導入し、約３×１０Ｔｏｒｒの真空度の下で反
応性スパッタリングを行い、約１．５人／ｓｅｅ程度の
成膜速度で約２００人のＴｉＯ２膜層を形成した。
得られた色ガラス板は、実施例１と同様にガラス面側か
らみてコールド色系を呈し、その分光特性は第２図に示
すようになり、可視光線透過率は最大的７ｚで平均約５
ｚ程度であった。
実施例３ 前述の実施例２と同様に成膜し、約３００人のＴｉＮ膜
層をガラス表面に形成し、つぎにそのＴｉＮ膜層の上に
約３００人のＴｉ膜層を、さらにその上に約８００人の
ＴｉＯ２膜層を形成し、得られた色ガラス板は実施例１
．２と同様にガラス板面側からみてコールド色系を呈し
、その分光特性は第３図に示すようになり、実施例２と
可視光線透過率がほぼ同程度となって、反射率はやや高
いものとなった。
さらに実施例１〜３および他の実施例の色ガラス板の膜
構成と反射色の色合いを表１に示す。
表１ 比較例１ 実施例１と同様にして、板ガラスを準備してＲＦスパッ
タリング装置の真空槽内に、Ａｕターゲットと対向して
セットし、脱気してＡｒガスを保持し、スパッターパワ
ー２００Ｗ、スパッタ一時間数分間を行い、約２０００
人のＡｕＪＩｔ！ｉを成膜した。
得られた色ガラス板は、ゴールド色を呈するものの、そ
の分光特性は第４図に示すように本発明の実施例とは異
なるものであった。
比較例２ 実施例と同様にして板ガラスを準備し、ＤＣマグネトロ
ンスパッタリング装置の真空槽内に、実施例１と同一の
Ｔｉターゲットと対向してセットし、実施例と同様に脱
気後、ＡｒとＮ２の混合比を約５０１５０程度の混合ガ
スを導入し、３×１０Ｔｏｒｒの真空度に保持し、約３
００人のＴｉＮ層を形成した。
得られた色ガラス板は、ゴールド色を呈しておらず、そ
の分光特性は、第４図に示すようになった。なお、Ａｒ
とＮ２の混合比を種々変えてもゴールド色は得られなか
った。
［発明の効果］ 以上前述したように、本発明は通常のスパッタリングで
ＴｉＮ膜のみでは得られない一方からみてコールド色系
の色合いを、通常のスパッタリングでＴｉＮ膜とＴｉ１
ｌおよび／またはＣｒ膜を必須膜として成膜し、可視光
線透過率を４０′１以下、ことに２０％以下としたので
、特異な光学特性を有する色ガラスとして建築用あるい
は装飾用に広く提供することができるものである。
【図面の簡単な説明】
第１図ないし第３図は本発明の色ガラス板の分光特性図
、第４図は比較例として従来の色ガラス板の分光特性図
である。 Ｒ・・・ガラス両面からの反射率曲線　Ｔ・・・透過率
曲線Ｒ゛・・・膜面側からの反射率曲線 特許出願人　　セントラル硝子株式会社悄１図 第３区 波長（／Ｌ岬 第２図 波長（ｐ−＃） ＠４図 波長（ＪＬ匍

Claims (1)

    【特許請求の範囲】
  1. 多層膜を有する色ガラス板において、該多層膜のうちＴ
    ｉＮ膜とＴｉおよび／またはＣｒ膜を必須膜として少な
    くとも有し、一方からみてコールド色系の色合いであり
    、可視光線透過率が４０％以下であることを特徴とする
    色ガラス板。
JP62131283A 1987-05-29 1987-05-29 色ガラス板 Expired - Lifetime JPH06102558B2 (ja)

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