JPH01192541A - 熱線反射透明板及びその製造方法 - Google Patents
熱線反射透明板及びその製造方法Info
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- JPH01192541A JPH01192541A JP63018199A JP1819988A JPH01192541A JP H01192541 A JPH01192541 A JP H01192541A JP 63018199 A JP63018199 A JP 63018199A JP 1819988 A JP1819988 A JP 1819988A JP H01192541 A JPH01192541 A JP H01192541A
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- HBMJWWWQQXIZIP-UHFFFAOYSA-N silicon carbide Chemical compound [Si+]#[C-] HBMJWWWQQXIZIP-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims abstract description 26
- 229910010271 silicon carbide Inorganic materials 0.000 claims abstract description 26
- XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N Silicon Chemical group [Si] XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims abstract description 21
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Landscapes
- Laminated Bodies (AREA)
- Surface Treatment Of Glass (AREA)
- Physical Vapour Deposition (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
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Description
【発明の詳細な説明】
EM業上の利用分野]
本発明は有色熱線反射透明板、特に、可視光線透過率が
比較的高く、美しい外観色を呈すると#もに、太陽輻射
エネルギーを効果的に遮断する建築用もしくは自動車用
の熱線反射透明板及びその製造方法に関する。
比較的高く、美しい外観色を呈すると#もに、太陽輻射
エネルギーを効果的に遮断する建築用もしくは自動車用
の熱線反射透明板及びその製造方法に関する。
[従来の技術]
従来、この種の熱線反射透明板としては特公昭47−1
4820号に記載されているように、炭化物、又は窒化
物の少なくとも1つの被膜をガラス板に付着したものが
知られている。これらの炭化物、又は窒化物の少な(と
も1つの物質をガラス板の表面に形成するには、通常炭
化物、又は窒化物をターゲットとした高周波スパッタ法
で行われ、特に大型のターゲットを用いる場合にはター
ゲットが電導性が小なため直流スパッタ法で行うのは困
難であった。
4820号に記載されているように、炭化物、又は窒化
物の少なくとも1つの被膜をガラス板に付着したものが
知られている。これらの炭化物、又は窒化物の少な(と
も1つの物質をガラス板の表面に形成するには、通常炭
化物、又は窒化物をターゲットとした高周波スパッタ法
で行われ、特に大型のターゲットを用いる場合にはター
ゲットが電導性が小なため直流スパッタ法で行うのは困
難であった。
[発明の解決しようとする課題]
しかしながら炭化物又は窒化物の少なくとも1つの被膜
をガラス板に付着した熱線反射ガラスは機械的強度や化
学的耐久性があるが、該被膜中に含まれる自由電子の数
が少ないため、熱線反射性能が劣る欠点があったり、大
きなガラス板に大型のターゲットを用いて被膜を形成す
るには高周波スバ、り法を用いなければならず、大容量
の高周波電源を必要としたり、またガラス数個からのい
わゆる逆スパツタ現象によって、破膜の形成が著しく低
下し、安定した被膜の形成が難しいという欠点があった
。
をガラス板に付着した熱線反射ガラスは機械的強度や化
学的耐久性があるが、該被膜中に含まれる自由電子の数
が少ないため、熱線反射性能が劣る欠点があったり、大
きなガラス板に大型のターゲットを用いて被膜を形成す
るには高周波スバ、り法を用いなければならず、大容量
の高周波電源を必要としたり、またガラス数個からのい
わゆる逆スパツタ現象によって、破膜の形成が著しく低
下し、安定した被膜の形成が難しいという欠点があった
。
[課題を解決するための手段]
本発明は前記欠点を解決するためになされたものであっ
て、本発明は透明板と該透明板上に形成された炭化珪素
膜とからなる熱線反射透明板にお厚味で、且つ1.0重
量%乃至10重量%の遊離した珪素原子を含有すること
を特徴とする熱線反射透明板である。
て、本発明は透明板と該透明板上に形成された炭化珪素
膜とからなる熱線反射透明板にお厚味で、且つ1.0重
量%乃至10重量%の遊離した珪素原子を含有すること
を特徴とする熱線反射透明板である。
本発明において、透明板としては屈折率が1゜3乃至1
.8のガラス板、または合成樹脂板が用いられる。また
、本発明に係る熱線反射透明板は遊離した珪素原子を含
有する炭化珪素板をターゲットとして直流スパッタリン
グをすることにより透明板上に炭化珪素膜を形成して成
し遂げることができる。
.8のガラス板、または合成樹脂板が用いられる。また
、本発明に係る熱線反射透明板は遊離した珪素原子を含
有する炭化珪素板をターゲットとして直流スパッタリン
グをすることにより透明板上に炭化珪素膜を形成して成
し遂げることができる。
ここでターゲットしては10重量%乃至20重量%の遊
離した珪素原子を含佇する炭化珪素板が用いられる。タ
ーゲットに1.0重量%乃至10重量%の遊離した珪素
原子を用いることにより、形成される炭化珪素膜にはほ
ぼ1.0重量%乃至10重量%の遊離珪素原子が含有さ
れるようになる。
離した珪素原子を含佇する炭化珪素板が用いられる。タ
ーゲットに1.0重量%乃至10重量%の遊離した珪素
原子を用いることにより、形成される炭化珪素膜にはほ
ぼ1.0重量%乃至10重量%の遊離珪素原子が含有さ
れるようになる。
[作 用コ
本発明によれば炭化珪素膜に遊離した珪素原子を1.0
重量%乃至10重量%を含むため、自由電子の数が増大
し、熱線反射機能を高めることができ、しかも被膜の機
械的強度、及び化学的耐久性を保つことができる。被膜
中の遊離した珪素原子が1.0重量%以上になると熱線
反射機能の向上が小さく、また10重量%以上になると
被膜の耐久性が劣るようになる。
重量%乃至10重量%を含むため、自由電子の数が増大
し、熱線反射機能を高めることができ、しかも被膜の機
械的強度、及び化学的耐久性を保つことができる。被膜
中の遊離した珪素原子が1.0重量%以上になると熱線
反射機能の向上が小さく、また10重量%以上になると
被膜の耐久性が劣るようになる。
また、被膜形成の際ターゲットとして遊離した珪素原子
を含む炭化珪素板を用いることができるために、ターゲ
ットの電気抵抗率を1Ω・cllよりも低くできるので
、直流スパッタ法により安定した被膜の形成ができる。
を含む炭化珪素板を用いることができるために、ターゲ
ットの電気抵抗率を1Ω・cllよりも低くできるので
、直流スパッタ法により安定した被膜の形成ができる。
[実 施 例コ
炭化珪素ターゲy)として、炭化珪素とカーボンから成
る成形体を原料として約1650℃に加熱しながら珪素
を注入して合成するいわゆるシリコン注入法で合成した
ものを用いた。化学分析によれば遊離の珪素は18%で
あり電気抵抗率は0゜5Ω・C嘗であった。
る成形体を原料として約1650℃に加熱しながら珪素
を注入して合成するいわゆるシリコン注入法で合成した
ものを用いた。化学分析によれば遊離の珪素は18%で
あり電気抵抗率は0゜5Ω・C嘗であった。
清浄にされた21■厚の板ガラス基板を真空槽内に入れ
、タライオポンプで5X10−3Paまで真空に引いた
後Arガスを導入し0.3Paに圧力を調節した。前記
した炭化珪素ターゲットを、ガラス基板に対向する位置
にある陰極にセットした。
、タライオポンプで5X10−3Paまで真空に引いた
後Arガスを導入し0.3Paに圧力を調節した。前記
した炭化珪素ターゲットを、ガラス基板に対向する位置
にある陰極にセットした。
陰極に接続されている直流電源より電力を投入しスパッ
タリングを生起させた。2人の電流値にセットし、約5
分間維持した。その後電流値を0゜65Aにセットし、
ターゲットとガラス基板の間にあるシャッターを開いて
ガラス基板に薄膜を付着せしめた。2分経過後シャッタ
ーを閉じ膜付けを終了した。膜付は中の陰極の電位は一
406Vであった。
タリングを生起させた。2人の電流値にセットし、約5
分間維持した。その後電流値を0゜65Aにセットし、
ターゲットとガラス基板の間にあるシャッターを開いて
ガラス基板に薄膜を付着せしめた。2分経過後シャッタ
ーを閉じ膜付けを終了した。膜付は中の陰極の電位は一
406Vであった。
この試料(1)を大気中に取り出し表面粗さ計にて薄膜
の厚みを測定したところ570Aであった。この試料(
1)の可視光透過率とガラス面側での可視光反射率を測
定したところそれぞれ31゜7%および38.6%であ
った。そのガラス面側からの色調はCIE1978の規
定によるLゝ、3−X、 b%色空間においてL”=
68.3、a≠=−0,7、bX=29.3であり美し
いゴールド色を呈していた。この試料(1)の380n
mから1800nmの波長範囲での分光反射率を第1図
に曲線(10)で示した。この膜は1規定の塩酸および
1規定の回外ソーダ溶液に6時間放置しても実質上前記
光学特性に変化はなかった。膜中に含まれる遊離の珪素
の量をX線光電子分光解析により求めたところ約5重量
%であった。
の厚みを測定したところ570Aであった。この試料(
1)の可視光透過率とガラス面側での可視光反射率を測
定したところそれぞれ31゜7%および38.6%であ
った。そのガラス面側からの色調はCIE1978の規
定によるLゝ、3−X、 b%色空間においてL”=
68.3、a≠=−0,7、bX=29.3であり美し
いゴールド色を呈していた。この試料(1)の380n
mから1800nmの波長範囲での分光反射率を第1図
に曲線(10)で示した。この膜は1規定の塩酸および
1規定の回外ソーダ溶液に6時間放置しても実質上前記
光学特性に変化はなかった。膜中に含まれる遊離の珪素
の量をX線光電子分光解析により求めたところ約5重量
%であった。
なお、比較例として第1図の曲線(11)に島周波スパ
ッタにより実施例のものと同一厚みで従来の遊離した珪
素原子をもたない炭化珪素膜を形成した熱線反射ガラス
の分光反射率を示した。
ッタにより実施例のものと同一厚みで従来の遊離した珪
素原子をもたない炭化珪素膜を形成した熱線反射ガラス
の分光反射率を示した。
次に前記と同様の炭化珪素ターゲットを用い、前記した
と同一の手順で投入する電流もしくはスパッタ時間を変
えることにより、異なる膜厚の炭化珪素膜付着ガラスの
試料2〜4を作成した。試料1〜4の光学特性を第1表
に示し、膜厚の変化による色相の変化の様子を第2図の
CIEのL≠+ a”+ 1)’色空間に示した。
と同一の手順で投入する電流もしくはスパッタ時間を変
えることにより、異なる膜厚の炭化珪素膜付着ガラスの
試料2〜4を作成した。試料1〜4の光学特性を第1表
に示し、膜厚の変化による色相の変化の様子を第2図の
CIEのL≠+ a”+ 1)’色空間に示した。
[発明の効果コ
以上のように、本発明によれば熱線反射透明体の炭化珪
素膜中に自由電子の数が増大し熱線反射機能を高めるこ
とができ、また炭化珪素膜の膜厚を変えることにより、
該層の両面での反射光の干渉により種々め色相の反射色
もつ熱線反射透明体を得ることができる。
素膜中に自由電子の数が増大し熱線反射機能を高めるこ
とができ、また炭化珪素膜の膜厚を変えることにより、
該層の両面での反射光の干渉により種々め色相の反射色
もつ熱線反射透明体を得ることができる。
しかもそれを実現するために、ターゲットとして、遊離
した珪素原子を含有する導電性のある炭化珪素板を用い
て直流スパッタリングをすることにより、建築用や自動
車用の大きな面積をもつ熱線反射ガラス板をも実現でき
る。
した珪素原子を含有する導電性のある炭化珪素板を用い
て直流スパッタリングをすることにより、建築用や自動
車用の大きな面積をもつ熱線反射ガラス板をも実現でき
る。
図面は本発明の実施例と比較例を示すものであって、第
1図は試料(1)と比較例の分光反射率特性を示し、第
2図は本発明の試料(1)乃至試料(4)の反射色変化
を示す図である。 10: 本発明の試料による分光反射率特性曲線 11:比較例による分光反射率特性曲線第1図 波長(nm)
1図は試料(1)と比較例の分光反射率特性を示し、第
2図は本発明の試料(1)乃至試料(4)の反射色変化
を示す図である。 10: 本発明の試料による分光反射率特性曲線 11:比較例による分光反射率特性曲線第1図 波長(nm)
Claims (2)
- (1)透明板と該透明板上に形成された炭化珪素膜とか
らなる熱線反射透明板において、該炭化珪素膜が400
Å乃至1500Åの厚味で、且つ1.0重量%乃至10
重量%の遊離した珪素原子を含有することを特徴とする
熱線反射透明板。 - (2)遊離した珪素原子を含有する炭化珪素板をターゲ
ットとして直流スパッタリングをすることにより透明板
上に炭化珪素膜を形成した熱線反射透明板の製造方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP63018199A JPH064309B2 (ja) | 1988-01-28 | 1988-01-28 | 熱線反射透明板及びその製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP63018199A JPH064309B2 (ja) | 1988-01-28 | 1988-01-28 | 熱線反射透明板及びその製造方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH01192541A true JPH01192541A (ja) | 1989-08-02 |
JPH064309B2 JPH064309B2 (ja) | 1994-01-19 |
Family
ID=11964964
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP63018199A Expired - Lifetime JPH064309B2 (ja) | 1988-01-28 | 1988-01-28 | 熱線反射透明板及びその製造方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH064309B2 (ja) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2000037251A1 (fr) * | 1998-12-22 | 2000-06-29 | Bridgestone Corporation | Structure stratifiee et son procede de fabrication |
US6800182B2 (en) | 1999-10-13 | 2004-10-05 | Asahi Glass Company, Limited | Sputtering target, process for its production and film forming method |
-
1988
- 1988-01-28 JP JP63018199A patent/JPH064309B2/ja not_active Expired - Lifetime
Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2000037251A1 (fr) * | 1998-12-22 | 2000-06-29 | Bridgestone Corporation | Structure stratifiee et son procede de fabrication |
US6562492B1 (en) | 1998-12-22 | 2003-05-13 | Bridgestone Corporation | Laminated structure, and manufacturing method thereof |
KR100496064B1 (ko) * | 1998-12-22 | 2005-06-17 | 가부시키가이샤 브리지스톤 | 적층구조체 및 그 제조방법 |
US6800182B2 (en) | 1999-10-13 | 2004-10-05 | Asahi Glass Company, Limited | Sputtering target, process for its production and film forming method |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JPH064309B2 (ja) | 1994-01-19 |
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