JPH06102558B2 - 色ガラス板 - Google Patents

色ガラス板

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JPH06102558B2 JP62131283A JP13128387A JPH06102558B2 JP H06102558 B2 JPH06102558 B2 JP H06102558B2 JP 62131283 A JP62131283 A JP 62131283A JP 13128387 A JP13128387 A JP 13128387A JP H06102558 B2 JPH06102558 B2 JP H06102558B2
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Description

【発明の詳細な説明】 ［産業上の利用分野］ 本発明は、ガラス基体表面にTiN膜とTi膜、Cr膜とを必
須膜として少なくとも積層し、該積層をガラス表面側か
らTiN膜、その上にTiおよび／またはCr膜とし、ガラス
面側の一方からみて反射色がゴールド色系であって可視
光線透過率が40％以下、ことに20％以下と低い色ガラス
板に関し、建築用板ガラスあるいは装飾用板ガラス等に
広く用いることができるものである。
［従来の技術］ 従来、黄金色の色合いを呈する板ガラスとしては、例え
ば基板上に金を単層コーティングしたもの、銀、銅の膜
厚あるいは膜質を調整して多層コーティングしたもの、
さらには例えば特開昭60−43481号公報にはスパッタリ
ング法およびその装置について記載され、スパッタリン
グ装置の真空槽内でターゲットからスパッターされたス
パッター粒子を高周波プラズマ中に通して励起させてTi
N膜等を形成することが開示されており、また特開昭60
−187671号公報には反応スパッタリング法による積層被
膜の形成方法について記載され、酸化チタン層形成用の
第１の金属チタンターゲットと酸化チタン層形成用の第
２の金属チタンターゲットとを順次同一真空槽内に配設
し、ArとO2とN2との混合ガスの雰囲気下で反応スパッタ
リングさせて、基体上に酸化チタン層と窒化チタン層と
の積層被膜を形成させることが開示されている等が知ら
れ、他にTiN膜あるいはその組合せとしては、例えば特
公昭47−14820号公報には輻射エネルギー遮断ガラスに
ついて記載され、単に高周波スパッター法のみでTiN膜
をガラス基板上に被膜した際には緑色を呈することが開
示されている。
［発明が解決しようとする問題点］ 前述したように従来、ガラス板面上にTiN膜を形成し、
金色反射色を得るためには、単にTiN膜のみであれば、
例えば、高周波プラズマ励起用コイルまたはリングを基
板とターゲット間に挿入する等付帯設備を必要とし、ま
たTiO2膜とTiN膜との三層膜であれば、例えばターゲッ
トを３枚も並列にセットし、しかもAr、O2、N2の混合ガ
スを使用する必要がある等、いずれも複雑な設備および
手法とならざるを得ないものであり、より密着性のある
ものとは必ずしもいえないものである。
［問題点を解決するための手段］ 本発明は、従来のかかる欠点に鑑みてなしたものであっ
て、特定のTi、Crの金属膜とTiN膜を先ずTiN膜、その上
にTi、Crの金属膜と組み合わせて少なくとも成膜するこ
とによりなる、ガラス面側の一方からみてその反射色が
ゴールド色系を呈する低い可視光線透過率を有する色ガ
ラス板を提供するものである。
すなわち、本発明は、多層膜を有する色ガラス板におい
て、該多層膜のうちTiN膜とTiおよび／またはCr膜を必
須膜として少なくとも有し、該必須膜がガラス表面側か
らガラス面に直接または酸化物膜を介してTiN膜、次い
でTiおよび／またはCr膜と順次積層し、TiまたはCr膜あ
るいは酸化物膜を最外膜としてなり、ガラス面側の一方
からみてその反射色がゴールド色系の色合いであり、可
視光線透過率が40％以下であることを特徴とする色ガラ
ス板を提供するものである。
ここで、TiN膜とTiおよび／またはCr膜を必須膜とした
のは、透明または半透明等のガラス板において、通常の
スパッタリング法でTiN膜を少なくとも成膜し、一方か
らみてゴールド色系の色合いを出すためには、TiN膜とT
i膜および／またはCr膜とを先ずTiN膜、次いでTi膜およ
び／またはCr膜と順次成膜する必要があるものであり、
ことにガラス表面とTi膜および／またはCr膜の間に該Ti
膜および／またはCr膜と少なくとも密着せしめTiN膜を
介在さすことによってTi膜および／またはCr膜の付着性
をより向上させ、耐久性はもとより耐摩耗性も十分満足
でき得るものとなるものである。
また、機械的性質とともに耐酸性、耐アルカリ性等化学
的性質をより有するものとするにはTiO2膜ならびにCr2O
3膜等の酸化物膜を最外膜としてTi膜面上に成膜するこ
とでなし得るものであり、最外膜としては前記Ti膜、Cr
膜あるいはTiO2膜ならびにCr2O3膜等の酸化物膜であ
る。またさらにガラス面と前記TiN膜の間には、TiN膜を
直接ガラス面に成膜するほかに、Ti膜またはCr膜等の酸
化物膜を介在させ成膜し、ガラス面側の一方からみてそ
の反射色がゴールド色系の色合いとするものができるも
のである。
また、可視光線透過率を40％以下としたのは、40％を超
える可視光線透過率を得ようとすると膜厚が薄くなりす
ぎ、例えば不均一の膜厚となって色ムラならびに耐久性
等にも悪い影響を与えるものとなるものであり、その膜
厚の透過率への影響度はTi膜および／またはCr膜は方が
大きいものであり、そのコントロールはTi膜および／ま
たはCr膜で行う方がよいものである。より好ましい可視
光線透過率は20％以下、最もよいのは10％前後である。
さらに、TiN膜をスパッタリングする際の雰囲気につい
ては、ArとN2のガス混合比を70/30〜98/2の範囲とする
のがよく、この時H2を約５％程度添加するとTiN膜の膜
色がさらに良化するものである。
なおまた、ガラス板の色調は当然多少色ガラス板に影響
を与えるのであるが、ガラス板の厚みはほとんど色調に
は影響せず、むしろTiN膜等の膜厚によって変化し、ガ
ラス面側からみた反射色調であるゴールド色系の色合い
も変化しやすいものである。
［作用］ 前述したとおり、本発明の色ガラス板は、通常のスパッ
タリングでTiN膜とTi膜および／またはCr膜を必須膜と
してガラス表面側から先ずTiN膜、次いでTi膜および／
またはCr膜と順次積層して組合せて、ガラス面側の一方
からみてその反射色がゴールド色系の色合いとすること
ができ、可視光線透過率も40％以下、むしろ不透明に近
いものとなり、すなわち分光特性においても500〜700nm
範囲付近における反射率曲線も長波長側にかけて急激に
立ち上がっていく、金膜をスパッタリング成膜した際の
分光特性に近いものとなってゴールド色系の色合いを呈
するものとなるものである。
特に単板でガラス面側を目視する方向に取付け使用した
際、あざやかなゴールド色系を呈し、その色合いも種々
とり得るものとなるので内外装材として広く建築、店
装、装飾用等に採用され得るものであり、採用した際の
耐久性も十分に兼備えたものとなるものである。
また通常のスパッタリングで割合簡単に成膜し得るので
経済的にも好ましいものである。
［実施例］ 以下に本発明の一実施例について説明する。
実施例１ 大きさ600×600mm2、厚さ3mmの板ガラスを中性洗剤、水
すすぎ、イソプロピルアルコールで順次洗浄し、乾燥し
た後、DCマグネトロン反応スパッタリング装置の真空槽
内に99.9％以上の純度を有するTiターゲットと対向して
セットする。つぎに前記槽内を５×10-5Torr以下に脱気
した後、ArとN2の混合比が、80/20〜90/10の混合ガスを
前記槽内に導入して真空度を約３×10-3Torrに保持し、
約８Å/secの成膜速度で約300ÅのTiN膜層を板ガラス表
面に形成し、さらに続いて真空を維持しつつN2ガスに替
えてArガスを導入して雰囲気を置換し、真空度が約３×
10-3Torrにおいて、約９Å/secの成膜速度で約900ÅのT
i膜層を形成した。
得られた色ガラス板は、ガラス面側からみてその反射色
がゴールド色系を呈し、その分光特性は第１図に示すよ
うになり、可視光線透過率はほぼゼロとなり不透明とな
った。
実施例２ 大きさ800×80mm2、厚さ3mmの板ガラスを実施例１と同
様にして準備し、RF反応スパッタリング装置の真空槽内
にセットし、実施例１同様に脱気してArとN2の混合比が
70/30〜95/5の混合ガスを導入し、真空度を３×10-3Tor
rに保持し、約８Å/secの成膜速度で約40ÅのTiN膜層を
板ガラス表面に形成し、つづいて真空を維持しつつN2ガ
スに替えてArガスを導入して雰囲気を置換し、真空度が
約３×10-3Torrにおいて、約９Å/secの成膜速度で約40
0ÅのTi膜層を形成する。さらに続いてArとO2の混合比
を約50/50とした混合ガスを導入し、約３×10-3Torrの
真空度の下で反応性スパッタリングを行い、約1.5Å/se
c程度の成膜速度で約200ÅのTiO2膜層を形成した。
得られた色ガラス板は、実施例１と同様にガラス面側か
らみてその反射色かゴールド色系を呈し、その分光特性
は第２図に示すようになり、可視光線透過率は最大約７
％で平均約５％程度であった。
実施例３ 前述の実施例２と同様に成膜し、約300ÅのTiN膜層をガ
ラス表面に形成し、つぎにそのTiN膜層の上に約300Åの
Ti膜層を、さらにその上に約800ÅのTiO2膜層を形成
し、得られた色ガラス板は実施例１、２と同様にガラス
板面側からみてその反射色がゴールド色系を呈し、その
分光特性は第３図に示すようになり、実施例２と可視光
線透過率がほぼ同程度となって、反射率はやや高いもの
となった。
さらに実施例１〜３および他の実施例の色ガラス板の膜
構成と反射色の色合いを表１に示す。
実施例４〜10 前述した各実施例と同様にして成膜し、表１に示すよう
に、TiN膜とTiおよび／またはCr膜を必須膜として少な
くとも有し、該必須膜がガラス表面側からTiN膜、次い
でTiおよび／またはCr膜と順次積層してなる多層膜を形
成した。
得られた色ガラス板は、前述の各実施例と同様の結果を
得、同様の作用効果を奏するものであった。
比較例１ 実施例１と同様にして、板ガラスを準備してRFスパッタ
リング装置の真空槽内に、Auターゲットと対向してセッ
トし、脱気してArガスを導入し、真空度を約３×10-3〜
５×10-5Torrに保持し、スパッターパワー200W、スパッ
ター時間数分間を行い、約2000ÅのAu膜層を成膜した。
得られた色ガラス板は、ゴールド色を呈するものの、そ
の分光特性は第４図に示すように本発明の実施例とは異
なるものであった。
比較例２ 実施例と同様にして板ガラスを準備し、DCマグネトロン
スパッタリング装置の真空槽内に、実施例１と同一のTi
ターゲットと対向してセットし、実施例と同様に脱気
後、ArとN2の混合比を約50/50程度の混合ガスを導入
し、３×10-3Torrの真空度に保持し、約300ÅのTiN層を
形成した。
得られた色ガラス板は、ゴールド色を呈しておらず、そ
の分光特性は、第４図に示すようになった。なお、Arと
N2の混合比を種々変えてもゴールド色は得られなかっ
た。
［発明の効果］ 以上前述したように、本発明は通常のスパッタリングで
TiN膜のみでは得られ難いガラス面側の一方からみてそ
の反射色がゴールド色系の色合いを、通常のスパッタリ
ングでTiN膜とTi膜および／またはCr膜を少なくとも必
須膜とし、ガラス表面側からTiN膜、次いでTi膜および
／またはCr膜と順次積層して成膜し、該積層膜の品位の
向上と、可視光線透過率を40％以下、ことに20％以下と
したので、特異な光学特性を有する色ガラスとして建築
用あるいは装飾用に広く提供することができるものであ
る。
【図面の簡単な説明】
第１図ないし第３図は本発明の色ガラス板の分光特性
図、第４図は比較例として従来の色ガラス板の分光特性
図である。 Ｒ……ガラス両面からの反射率曲線、Ｔ……透過率曲
線、Ｒ′……膜面側からの反射率曲線
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (56)参考文献 特開 昭58−69743（ＪＰ，Ａ) 特開 昭60−141647（ＪＰ，Ａ) 特開 昭59−31147（ＪＰ，Ａ) 特開 昭63−242948（ＪＰ，Ａ) 特開 昭63−159237（ＪＰ，Ａ)

Claims (1)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項１】多層膜を有する色ガラス板において、該多
    層膜のうちTiN膜とTiおよび／またはCr膜を必須膜とし
    て少なくとも有し、該必須膜がガラス表面側からガラス
    面に直接または酸化物膜を介してTiN膜、次いでTiおよ
    び／またはCr膜と順次積層し、TiまたはCr膜あるいは酸
    化物膜を最外膜としてなり、ガラス面側の一方からみて
    その反射色がゴールド色系の色合いであり、可視光線透
    過率が40％以下であることを特徴とする色ガラス板。
JP62131283A 1987-05-29 1987-05-29 色ガラス板 Expired - Lifetime JPH06102558B2 (ja)

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