JP3969743B2 - 低反射薄膜基板 - Google Patents
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Description
この発明は、低反射薄膜基板に関するものである。さらに詳しくは、この発明は、遮光性と光反射防止性を有する光学薄膜に係わる分野、たとえば液晶パネル用カラーフィルター基板の製造に特に有用なブラックマトリックス、あるいはプロジェクターの製造に有用なプロジェクター枠等に用いられる低反射金属・合金系薄膜基板に関するものである。
背景技術
カラー液晶パネルは、情報機器の表示装置等において広範囲にわたって利用されており、近年の情報化社会の進展に伴い、ますます大画面で、高い精細を目指した開発が繰り広げられている。
このようなカラー液晶パネルにおいては、画面のコントラストを上げたり、発色効果を高めて表示画像を鮮明化するために、赤(R)、緑(G)、青(B)の各カラーフィルター画素間には、反射性が少なく、遮光性が良好なブラックマトリックスが配設されている。
従来、このブラックマトリックスは、例えばクロム等の金属ターゲットをスパッタリングして、金属層等を積層した低反射薄膜基板を、公知のフォトリソグラフィ技術を用いたエッチングによるパターニングを行うことで製造されている。このような積層低反射薄膜基板として、酸化クロム層とクロム金属層を積層したものが知られてもいる。
この場合、多層に積層し光干渉により反射率を抑え、一方積層の中に反射率が高く透過性が少ないクロム金属層を含むことから光遮蔽機能を有するものである。
また、ブラックマトリックスについては、表示パネルへの顔や背景の映り込みを極力押さえて画像を見やすくするために低反射化し、同時にパネル内部のバックライトからの光が透過すると色調がはっきりしなくなるために光学濃度を一定水準以上に保つことが求められている。
この観点からも、反射率が低く、一定の光学濃度を保つ低反射薄膜基板を製造するために、クロム金属の含まれた材料をターゲットとしてスパッタリング成膜することが代表的な技術として従来から知られ、利用されている。
しかしながら、一般的に六価以外の原子価をもつクロムは毒性は少ないものの、六価の原子価をもつクロムは人体への毒性が強く、環境を汚染するという問題があり、世論を鑑みて最近は、液晶パネルの製造工程においてクロム金属の使用を自粛する機運にあり、クロム成分を含まない低反射薄膜基板が求められている。
しかもまた、公知の低反射クロム薄膜は、極小反射率が0.5%以下(波長は600nm近辺)、光学濃度は4.0以上あるものの、波長が400〜700nm(可視光のほぼ全域)における平均反射率(例えば波長が1nm間隔ごとの反射率を合算し、測定点数で割って得た値)は1.5%以上で、最大反射率は5%を超えているのが現状である。なお、この反射率はオリンパス光学工業(株)製の顕微分光OSP−SP200を用い、アルミ薄膜をリファレンスとして測定して確認したものであり、ガラス面からの反射率は含んでいない。
一般に、極小反射率が0.5%以下で、最大反射率が5%を超えるときの低反射薄膜基板は、反射色に、最大反射率を示す波長の影響が出てしまう。実際、たとえば、波長が400〜700nmの範囲において、最大反射率を示す波長が、短波長側の400nm(付近)にある時は反射色に青紫色が強調され、長波長側の700nm(付近)にあるときは反射色に赤色が強調されてしまう。
このような低反射薄膜基板をプロジェクター枠として使用する場合は、スクリーンに映し出される枠も青紫色か赤色を帯びてしまうという欠点がある。
また、低反射薄膜基板として樹脂を用いることも提案されているが、この樹脂の場合には無機材料と比較すると耐光性や耐熱性の点で劣るので、強力光源によって光学特性が著しく劣化するという問題がある。
このため、最近では、上記クロム基板の場合のような環境上の問題がなく、しかも、可視光のほぼ全域において反射率が低く、耐光性にも優れた低反射薄膜基板の実現が求められていた。
発明の開示
上記課題を解決するために、この発明は、透明ガラス基板上に、NiとFeとの合金、NiとMoとの合金、NiとWとの合金、およびNiとCuとの合金のうちのいずれかをターゲット材料とし、真空成膜装置内において不活性ガス、酸素または酸化炭素ガスの少なくとも1種以上のガス雰囲気下でスパッタリングにより薄膜が多層成膜されており、可視光域において極小反射率が0.12%以下、光学濃度が4.1以上であることを特徴とする低反射薄膜基板を提供する。
つまり、この発明によって低反射薄膜基板は、製造工程においてクロム系金属を用いずに得られるばかりでなく、光学濃度や反射率等の特性もクロム系金属を用いて成膜したときの特性と比較して何ら遜色がなく、さらに、可視光の広い波長にわたって反射率が低く、分光反射率曲線の形状は広範囲に平坦化した結果をも得られている。
【図面の簡単な説明】
第1図は、この発明の低反射薄膜基板を例示した2層構造の断面概要図である。
第2図は、低反射薄膜基板における光の波長と反射率の関係を例示した図であり、曲線Aは、実施例1の低反射ニッケル−鉄合金薄膜基板であり、曲線Bは比較のための低反射クロム薄膜によるものである。
第3図は、この発明の低反射薄膜基板を例示した3層構造の断面概要図である。
第4図は、低反射薄膜基板における光の波長と反射率の関係を例示した図であり、曲線Cは、実施例2の低反射ニッケル−モリブデン合金薄膜基板であり、曲線Dは実施例3の低反射ニッケル−タングステン合金薄膜基板によるものである。
第5図は、低反射薄膜基板における光の波長と反射率の関係を例示した図であり、曲線Eは、実施例4の低反射ニッケル−銅合金薄膜基板によるものである。
発明を実施するための最良の形態
この発明の値反射薄膜基板は、上記のとおり、これまでの薄膜としては全くしられていない光学特性をもつ低反射薄膜基板であることを本質的な特徴としている。しかも、クロム成分を一切含まない。
この発明の低反射薄膜基板は、低反射クロム薄膜基板と同様に、多層に積層し、たとえば2〜7層程度とする。この場合、各層の膜厚が適宜に選択される。
スパッタリングは、いわゆる反応性スパッタとして実施することができ、アルゴン等の希ガスを含めた窒素等の不活性ガス、酸素ガス、CO、CO2等の酸化炭素ガスがそのための雰囲気の代表例として示される。
ターゲット材としては、Ni−Fe、Ni−Mo、Ni−W、Ni−Cuの合金が例示され、これらのターゲット材が促進的添加成分として、Cu、Ti、Zr、Snの1種以上を含んでいてもよい場合のスパッタリングでは、2層のスパッタ成膜の場合で、第1層(透明ガラス基板上):30〜60nm、第2層:70〜160nm、また、3層のスパッタ成膜で、第1層:1〜60nm、第2層:20〜80nm、第3層:80〜150nmとすることがそれぞれ考慮される。
以下、実施例を示し、さらに詳しくこの発明について説明する。もちろん、この発明は以下の実施の形態によって限定されるものではない。
実施例
実施例1
透明基板として、透明ガラス基板(コーニング社製の薄板ガラス1737材)を用い、洗浄して清浄表面を得た後、この透明ガラス基板を、バッチ式反応性スパッタリング装置のニッケル(80wt%)−鉄(20wt%)合金から成るスパッタリングターゲットに対向するように装着した。
2.0×10-6Torr以下になるまで排気を行い、次いで、窒素ガス360sccmと酸素ガス40sccmを導入し、その雰囲気中においてスパッタ電力5kwで7.5分間のスパッタリングを行い、添付の第1図に示したように透明ガラス基板(3)上に成膜した。また基板の加熱は行わなかった。前記のニッケル−鉄合金をターゲットとするこの反応性ガススパッタリングによって第1層(1)を透明ガラス基板(3)上に膜厚44nmで成膜した。
続いて、アルゴンガス200sccmを導入し、成膜圧力1.7±0.3mTorrの雰囲気中で、基板を加熱をしないで、スパッタ電力5kwで約12分間のスパッタリングを行った。前記のニッケル−鉄合金をターゲットとするこの反応性ガススパッタリングによって第2層(2)を第1層(1)上に膜厚110nmで成膜した。
得られた2層構造の低反射薄膜基板(4)の膜厚は約154nmであった。光学濃度は4.3であり遮光性に優れたものであった。
また、この低反射薄膜基板の波長と反射率の関係は第2図の曲線Aに示される通りであり、可視光域(波長400〜700nm)における極小反射率は、波長が約600nmのときに0.05%以下、最大反射率は6.3%以下と極めて低かった。なお、反射率の測定にはオリンパス光学工業(株)製の顕微分光OSP−SP200を用い、アルミ薄膜をリファレンスとして測定したものであり、硝子面から反射率は含んでいない。以下の実施例についても同様である。
比較のために、クロム金属をスパッタリングターゲットとしたときに得られた低反射クロム薄膜基板の反射率曲線Bを第2図に併記する。
この発明による低反射薄膜基板は、第2図の曲線AおよびBの対比からも明らかなように、低反射クロム薄膜基板と比べると、極小反射率等の光学特性に関して何ら遜色がない。
尚、上記の第1層は導入ガスの種類や導入ガス流量比を適宜変化させることで多層構造にしても低反射薄膜基板が得られる。
ターゲット材料としては、上記実施例に示したニッケル−鉄合金のほかに、ニッケル−モリブデン(28wt%)、ニッケル−タングステン(19.1wt%)、銅やその他の元素を含むニッケル合金等も有用であることが同様にして確認された。
実施例2
ニッケル(72wt%)−モリブデン(28wt%)合金から成るスパッタリングターゲットを用い、実施例1と同様の透明ガラス基板とスパッタリング装置を用いて成膜を行った。
2.0×10-6Torr以下になるまで排気を行い、ついで、窒素ガス300rccmと酸素ガス100sccmを導入し、成膜圧力が約2.3mTorrの雰囲気中においてスパッタ電力7.0kwで615秒間のスパッタリングを行った。また基板温度は約200℃とした。前記のニッケル−モリブデン合金をターゲットとするこの反応性ガススパッタリングによって、添付の第3図に示したように第1層(11)を透明ガラス基板(3)上に膜厚41nmで成膜した。
続いて、アルゴンガス240sccm、窒素ガス160sccm、酸素ガス40sccmを導入し、成膜圧力が約3.3mTorrの雰囲気中においてスパッタ電力8.3kwで280秒間のスパッタリングを行った。前記のニッケル−モリブデン合金をターゲットとするこの反応性ガススパッタリングによって第2層(12)を第1層(11)上に膜厚41nmで成膜した。
引き続いて、窒素ガス200sccmを導入し、成膜圧力が約1.2mTorrの雰囲気中においてスパッタ電力8.3kwで1330秒間のスパッタリングを行った。前記のニッケル−モリブデン合金をターゲットとするこの反応性ガススパッタリングによって第3層(13)を第2層(12)上に膜厚115nmで成膜した。
尚、第3層(13)を作製するときに用いた窒素ガス200sccmの代わりにアルゴンガスや、アルゴンと窒素あるいは酸素との混合ガスを導入しても良い。得られた3層構造の低反射薄膜基板(14)の膜厚は197nm、光学濃度は4.1であり遮光性に優れたものであった。
また、この低反射薄膜基板の波長と反射率の関係は、第4図の曲線Cに示される通りであり、可視光域(波長400〜700nm)における極小反射率は波長が600nmのときに0.05%以下、最大反射率は4.7%と極めて低かった。
実施例3
ニッケル(80.9wt%)−タングステン(19.1wt%)合金から成るスパッタリングターゲットを用い実施例1と同様の透明ガラス基板とスパッタリング装置を用いて成膜を実施した。
2.0×10-6Torr以下になるまで排気を行い、ついで、窒素ガス340sccmと酸素ガス60sccmを導入し、成膜圧力が約2.3mTorrの雰囲気中においてスパッタ電力8.3kwで195秒間のスパッタリングを行った。また基板温度は約200℃とした。前記のニッケル−タングステン合金をターゲットとするこの反応性ガススパッタリングによって、添付の第4図に示したように第1層(11)を透明ガラス基板(3)上に膜厚17nmで成膜した。
続いて、アルゴンガス120sccm、窒素ガス240sccm、酸素ガス40sccmを導入し、成膜圧力が約2.5mTorrの雰囲気中においてスパッタ電力8.3kwで238秒間のスパッタリングを行った。前記のニッケル−タングステン合金をターゲットとするこの反応性ガススパッタリングによって第2層(12)を第1層(11)上に膜厚32nmで成膜した。
引き続いて、アルゴンガス200sccmを導入し、成膜圧力が約2.0mTorrの雰囲気中においてスパッタ電力8.3kwで400秒間のスパッタリングを行った。前記のニッケル−タングステン合金をターゲットとするこの反応性ガススパッタリングによって第3層(13)を第2層(12)上に膜厚100nmで成膜した。
得られた3層構造の低反射薄膜基板(14)の膜厚は149nm、光学濃度は4.2であり遮光性に優れたものであった。
また、この低反射薄膜基板の波長と反射率の関係は、第4図の曲線Dに示される通りであり、可視光域(波長400〜700nm)における極小反射率は波長が610nmのときに0.12%以下、最大反射率は6.88%と極めて低かった。
実施例4
ニッケル(55wt%)−銅(45wt%)合金から成るスパッタリングターゲットを用い実施例1と同様の透明ガラス基板とスパッタリング装置を用いて成膜を実施した。
2.0×10-6Torr以下になるまで排気を行い、ついで、窒素ガス240sccmと酸素ガス80sccm、及びアルゴンガス80sccmを導入し、成膜圧力が約2.5mTorrの雰囲気中においてスパッタ電力6.0kwで330秒間のスパッタリングを行った。また基板温度は約200℃とした。前記のニッケル−銅合金をターゲットとするこの反応性ガススパッタリングによって、添付の第1図に示したように第1層(1)を透明ガラス基板(3)上に膜厚45nmで成膜した。
続いて、アルゴンガス140sccm、窒素ガス60sccmを導入し、成膜圧力が約2.0mTorrの雰囲気中においてスパッタ電力8.3kwで550秒間のスパッタリングを行った。前記のニッケル−銅合金をターゲットとするこの反応性ガススパッタリングによって第2層(2)を第1層(1)上に膜厚140nmで成膜した。
得られた2層構造の低反射薄膜基板(4)の膜厚は185nm、光学濃度は4.1であり遮光性に優れたものであった。
また、この低反射薄膜基板の波長と反射率の関係は、第5図の曲線Eに示される通りであり、可視光域(波長400〜700nm)における極小反射率は波長が610nmのときに0.11%以下、最大反射率は6.06%と極めて低かった。
産業上の利用可能性
この発明により、カラー液晶パネルやプロジェクターの製造工程におけるクロム金属の使用を自粛する機運に合致した、クロム成分を含まず、また、光学濃度や反射率等の特性もクロム系金属を用いて成膜したときの特性と比較して遜色がない低反射薄膜基板が提供される。さらに、この低反射薄膜基板は、可視光の広い波長にわたって反射率が低く、分光反射率曲線の形状も広範囲に平坦化した結果を有していて、従来と同等の機能だけでなく、より高機能な薄膜基板としてその利用が期待される。
Claims (2)
- 透明ガラス基板上に、第1の層および第2の層の2層の薄膜がその順に成膜され、
第1の層および第2の層は、それぞれNiとFeの合金、NiとMoの合金、NiとWの合金、およびNiとCuの合金のいずれかを同じターゲット材料としてスパッタリングにより形成されたものであり、かつ、それぞれスパッタリングの際の、不活性ガス、酸素または酸化炭素ガスの少なくとも1種以上よりなる導入雰囲気ガス種を異ならせたことにより異なる光学的性質を有し、
第1の層の膜厚は30〜60nm、第2の層の膜厚は70〜160nmであり、
可視光域において極小反射率が0.12%以下、光学濃度が4.1以上であることを特徴とする低反射薄膜基板。 - 透明ガラス基板上に、第1の層、第2の層および第3の層がその順に成膜され、
第1の層、第2の層および第3の層は、それぞれNiとFeの合金、NiとMoの合金、NiとWの合金、およびNiとCuの合金のいずれかを同じターゲット材料としてスパッタリングにより形成されたものであり、かつ、それぞれスパッタリングの際の、不活性ガス、酸素または酸化炭素ガスの少なくとも1種以上よりなる導入雰囲気ガス種を異ならせたことにより異なる光学的性質を有し、
第1の層の膜厚は1〜60nm、第2の層の膜厚は20〜80nm、第3の層の膜厚は80〜150nmであり、
可視光域において極小反射率が0.12%以下、光学濃度が4.1以上であることを特徴とする低反射薄膜基板。
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