JPS63291305A - 誘電体共振器材料の製造方法 - Google Patents
誘電体共振器材料の製造方法Info
- Publication number
- JPS63291305A JPS63291305A JP62125372A JP12537287A JPS63291305A JP S63291305 A JPS63291305 A JP S63291305A JP 62125372 A JP62125372 A JP 62125372A JP 12537287 A JP12537287 A JP 12537287A JP S63291305 A JPS63291305 A JP S63291305A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- powder
- component
- solution
- calcined
- mixed solution
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- 239000000463 material Substances 0.000 title claims abstract description 13
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 title claims description 6
- 239000000843 powder Substances 0.000 claims abstract description 32
- 239000000243 solution Substances 0.000 claims abstract description 17
- 239000000919 ceramic Substances 0.000 claims abstract description 14
- 239000000203 mixture Substances 0.000 claims abstract description 10
- 239000011259 mixed solution Substances 0.000 claims abstract description 9
- 238000000034 method Methods 0.000 claims abstract description 6
- 238000002156 mixing Methods 0.000 claims abstract description 3
- 229910052758 niobium Inorganic materials 0.000 claims description 6
- 238000001354 calcination Methods 0.000 claims description 5
- 238000010304 firing Methods 0.000 claims description 4
- 239000002244 precipitate Substances 0.000 claims description 3
- 238000001035 drying Methods 0.000 claims description 2
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 claims 1
- 229910052788 barium Inorganic materials 0.000 abstract description 4
- 238000005245 sintering Methods 0.000 abstract description 4
- 229910052726 zirconium Inorganic materials 0.000 abstract description 2
- 239000002245 particle Substances 0.000 description 7
- 239000010955 niobium Substances 0.000 description 6
- 239000007864 aqueous solution Substances 0.000 description 4
- 239000011701 zinc Substances 0.000 description 4
- JIAARYAFYJHUJI-UHFFFAOYSA-L zinc dichloride Chemical compound [Cl-].[Cl-].[Zn+2] JIAARYAFYJHUJI-UHFFFAOYSA-L 0.000 description 4
- MUBZPKHOEPUJKR-UHFFFAOYSA-N Oxalic acid Chemical compound OC(=O)C(O)=O MUBZPKHOEPUJKR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 239000002994 raw material Substances 0.000 description 3
- QTBSBXVTEAMEQO-UHFFFAOYSA-N Acetic acid Chemical compound CC(O)=O QTBSBXVTEAMEQO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- QGZKDVFQNNGYKY-UHFFFAOYSA-N Ammonia Chemical compound N QGZKDVFQNNGYKY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- DSAJWYNOEDNPEQ-UHFFFAOYSA-N barium atom Chemical compound [Ba] DSAJWYNOEDNPEQ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- WDIHJSXYQDMJHN-UHFFFAOYSA-L barium chloride Chemical compound [Cl-].[Cl-].[Ba+2] WDIHJSXYQDMJHN-UHFFFAOYSA-L 0.000 description 2
- 229910001626 barium chloride Inorganic materials 0.000 description 2
- IWOUKMZUPDVPGQ-UHFFFAOYSA-N barium nitrate Chemical compound [Ba+2].[O-][N+]([O-])=O.[O-][N+]([O-])=O IWOUKMZUPDVPGQ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000003153 chemical reaction reagent Substances 0.000 description 2
- 229910052715 tantalum Inorganic materials 0.000 description 2
- -1 tantalum alkoxide Chemical class 0.000 description 2
- 239000011592 zinc chloride Substances 0.000 description 2
- 235000005074 zinc chloride Nutrition 0.000 description 2
- ONDPHDOFVYQSGI-UHFFFAOYSA-N zinc nitrate Chemical compound [Zn+2].[O-][N+]([O-])=O.[O-][N+]([O-])=O ONDPHDOFVYQSGI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- ATRRKUHOCOJYRX-UHFFFAOYSA-N Ammonium bicarbonate Chemical compound [NH4+].OC([O-])=O ATRRKUHOCOJYRX-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- VHUUQVKOLVNVRT-UHFFFAOYSA-N Ammonium hydroxide Chemical compound [NH4+].[OH-] VHUUQVKOLVNVRT-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910019704 Nb2O Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910002370 SrTiO3 Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910052776 Thorium Inorganic materials 0.000 description 1
- ZOIORXHNWRGPMV-UHFFFAOYSA-N acetic acid;zinc Chemical compound [Zn].CC(O)=O.CC(O)=O ZOIORXHNWRGPMV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000005054 agglomeration Methods 0.000 description 1
- 230000002776 aggregation Effects 0.000 description 1
- 230000001476 alcoholic effect Effects 0.000 description 1
- 239000003513 alkali Substances 0.000 description 1
- 150000001412 amines Chemical class 0.000 description 1
- 229910021529 ammonia Inorganic materials 0.000 description 1
- 235000012501 ammonium carbonate Nutrition 0.000 description 1
- 239000001099 ammonium carbonate Substances 0.000 description 1
- 235000011114 ammonium hydroxide Nutrition 0.000 description 1
- VBIXEXWLHSRNKB-UHFFFAOYSA-N ammonium oxalate Chemical compound [NH4+].[NH4+].[O-]C(=O)C([O-])=O VBIXEXWLHSRNKB-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052785 arsenic Inorganic materials 0.000 description 1
- ITHZDDVSAWDQPZ-UHFFFAOYSA-L barium acetate Chemical compound [Ba+2].CC([O-])=O.CC([O-])=O ITHZDDVSAWDQPZ-UHFFFAOYSA-L 0.000 description 1
- ISFLYIRWQDJPDR-UHFFFAOYSA-L barium chlorate Chemical compound [Ba+2].[O-]Cl(=O)=O.[O-]Cl(=O)=O ISFLYIRWQDJPDR-UHFFFAOYSA-L 0.000 description 1
- OOULUYZFLXDWDQ-UHFFFAOYSA-L barium perchlorate Chemical compound [Ba+2].[O-]Cl(=O)(=O)=O.[O-]Cl(=O)(=O)=O OOULUYZFLXDWDQ-UHFFFAOYSA-L 0.000 description 1
- 229910021523 barium zirconate Inorganic materials 0.000 description 1
- XDFCIPNJCBUZJN-UHFFFAOYSA-N barium(2+) Chemical compound [Ba+2] XDFCIPNJCBUZJN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052793 cadmium Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000003518 caustics Substances 0.000 description 1
- 229910010293 ceramic material Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910052804 chromium Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000000052 comparative effect Effects 0.000 description 1
- 239000000470 constituent Substances 0.000 description 1
- 238000007796 conventional method Methods 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-M hydroxide Chemical compound [OH-] XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 1
- 229910052742 iron Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910052748 manganese Inorganic materials 0.000 description 1
- IJCCNPITMWRYRC-UHFFFAOYSA-N methanolate;niobium(5+) Chemical compound [Nb+5].[O-]C.[O-]C.[O-]C.[O-]C.[O-]C IJCCNPITMWRYRC-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052750 molybdenum Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910052759 nickel Inorganic materials 0.000 description 1
- GUCVJGMIXFAOAE-UHFFFAOYSA-N niobium atom Chemical compound [Nb] GUCVJGMIXFAOAE-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 235000006408 oxalic acid Nutrition 0.000 description 1
- YHBDIEWMOMLKOO-UHFFFAOYSA-I pentachloroniobium Chemical compound Cl[Nb](Cl)(Cl)(Cl)Cl YHBDIEWMOMLKOO-UHFFFAOYSA-I 0.000 description 1
- MCJGNVYPOGVAJF-UHFFFAOYSA-N quinolin-8-ol Chemical compound C1=CN=C2C(O)=CC=CC2=C1 MCJGNVYPOGVAJF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- LMHHRCOWPQNFTF-UHFFFAOYSA-N s-propan-2-yl azepane-1-carbothioate Chemical compound CC(C)SC(=O)N1CCCCCC1 LMHHRCOWPQNFTF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000003746 solid phase reaction Methods 0.000 description 1
- 238000003756 stirring Methods 0.000 description 1
- OEIMLTQPLAGXMX-UHFFFAOYSA-I tantalum(v) chloride Chemical compound Cl[Ta](Cl)(Cl)(Cl)Cl OEIMLTQPLAGXMX-UHFFFAOYSA-I 0.000 description 1
- 229910052718 tin Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910052719 titanium Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910052721 tungsten Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000005406 washing Methods 0.000 description 1
- 239000004246 zinc acetate Substances 0.000 description 1
- NWONKYPBYAMBJT-UHFFFAOYSA-L zinc sulfate Chemical compound [Zn+2].[O-]S([O-])(=O)=O NWONKYPBYAMBJT-UHFFFAOYSA-L 0.000 description 1
- 229960001763 zinc sulfate Drugs 0.000 description 1
- 229910000368 zinc sulfate Inorganic materials 0.000 description 1
Landscapes
- Compositions Of Oxide Ceramics (AREA)
- Inorganic Insulating Materials (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
［産業上の利用分野］
本発明はマイクロ波用の誘電体共振器材料を製造する方
法に関するものである。
法に関するものである。
［従来技術］
マイクロ波用の誘電体共振器材料にはＱ値の高いものが
要求されるが、衛星通信等においては特に高いＱ値が要
求される。
要求されるが、衛星通信等においては特に高いＱ値が要
求される。
Ｑ値の高い材料としてＢ ａ （Ｚ ｎ １／３ Ｎ
ｂ ｘ７３Ｔａ−）Ｏ系セラミックス（但し０≦×（１
ｘ）／３ ３ ≦１．０）がある。
ｂ ｘ７３Ｔａ−）Ｏ系セラミックス（但し０≦×（１
ｘ）／３ ３ ≦１．０）がある。
このセラミック材料は一般に、Ｂ ａ Ｃ０３、ＺｎＯ
，Ｎｂ２０５ 、Ｔａ２０５を主成分とする混合粉末を
焼成することにより製造されているが、難焼結性で、期
待される高誘電率およびＱ値が得られていない。
，Ｎｂ２０５ 、Ｔａ２０５を主成分とする混合粉末を
焼成することにより製造されているが、難焼結性で、期
待される高誘電率およびＱ値が得られていない。
Ｅ本発明が解決しようとする問題点］
本発明は上記の実情に鑑み、組織が緻密で、誘電率およ
びＱ値が向上されたＢａ （Ｚｎ１７３ Ｎｂｘ／３
Ｔ ａ （１−ｘ）／３ ） ０３系セラミックスを製
造する方法を提供することを目的とするものである。
びＱ値が向上されたＢａ （Ｚｎ１７３ Ｎｂｘ／３
Ｔ ａ （１−ｘ）／３ ） ０３系セラミックスを製
造する方法を提供することを目的とするものである。
［問題点を解決するための手段］
本発明はＢａ（Ｚｎ１／３Ｎｂｘ／３Ｔａ（１−ｘ）／
３）０３系セラミックスを製造するに際し、先ず第１工
程として、Ｚｎ以外の少くとも１成分とＺｎの溶液との
混合液、Ｂａ以外の少くとも１成分とＢａの溶液との混
合液およびＮｂ以外の少くとも１成分とＮｂとの混合液
のいずれかを作り、該混合液と沈澱形成液とを混合して
共沈体を形成し、乾燥後、７００℃〜１３００℃で仮焼
する。
３）０３系セラミックスを製造するに際し、先ず第１工
程として、Ｚｎ以外の少くとも１成分とＺｎの溶液との
混合液、Ｂａ以外の少くとも１成分とＢａの溶液との混
合液およびＮｂ以外の少くとも１成分とＮｂとの混合液
のいずれかを作り、該混合液と沈澱形成液とを混合して
共沈体を形成し、乾燥後、７００℃〜１３００℃で仮焼
する。
次に第２工程として、得られた仮焼物の粉末と、目的と
するペロブスカイト組成の残りの成分の粉末を混合して
７００℃〜１３００℃で仮焼する。
するペロブスカイト組成の残りの成分の粉末を混合して
７００℃〜１３００℃で仮焼する。
そして第３工程として、得られた仮焼物の粉末を成形し
て１２００℃〜１７００℃で焼成する。
て１２００℃〜１７００℃で焼成する。
第１工程において、Ｂａ溶液、Ｚｎ溶液、Ｎｂ溶液およ
びＴａ溶液としては、塩化バリウム、塩素酸バリウム、
過塩素酸バリウム、硝酸バリウム、酢酸バリウム、バリ
ウムエチレート、バリウムイソプロピレート、塩化亜鉛
、硫酸亜鉛、硝酸亜鉛、酢酸亜鉛、塩化ニオビウム、ニ
オブメトキシド、ニオビウムエチレート、塩化タンタル
、タンタルアルコキシド等の水溶液またはアルコール溶
液が用いられ得る。
びＴａ溶液としては、塩化バリウム、塩素酸バリウム、
過塩素酸バリウム、硝酸バリウム、酢酸バリウム、バリ
ウムエチレート、バリウムイソプロピレート、塩化亜鉛
、硫酸亜鉛、硝酸亜鉛、酢酸亜鉛、塩化ニオビウム、ニ
オブメトキシド、ニオビウムエチレート、塩化タンタル
、タンタルアルコキシド等の水溶液またはアルコール溶
液が用いられ得る。
沈澱形成液作成のための試薬としては、アンモニア、炭
酸アンモニウム、苛性アルカリ、しゆう酸、しゆう酸ア
ンモニウム、アミン、オキシン等の有機試薬が用いられ
得る。
酸アンモニウム、苛性アルカリ、しゆう酸、しゆう酸ア
ンモニウム、アミン、オキシン等の有機試薬が用いられ
得る。
Ｂａと（Ｚｎ１／３Ｎｂｘ／３Ｔａ（１−ｘ）／３）と
のモル比は１．０ないしそれに近似した値とする。
のモル比は１．０ないしそれに近似した値とする。
しかして第１工程において、共沈体を仮焼することによ
り分散性のよいサブミクロン級の微細粉末が得られる。
り分散性のよいサブミクロン級の微細粉末が得られる。
第２工程では、上記仮焼物粉末と目的とするセラミック
組成を構成するに必要な残りの成分の粉末を混合し、仮
焼する。この残りの成分の粉末は、上記仮焼物粉末とほ
ぼ同じ粒度のものを用いることが望ましい。
組成を構成するに必要な残りの成分の粉末を混合し、仮
焼する。この残りの成分の粉末は、上記仮焼物粉末とほ
ぼ同じ粒度のものを用いることが望ましい。
なお、製造の工程において微量の焼結助剤を添加するこ
とができる。焼結助剤としては、Ｚｒ、Ｍｇ、Ｓｃ、Ｈ
ｆ、Ｔｈ、Ｗ、Ｎｂ、Ｔａ、Ｃｒ、Ｍｏ、Ｔｉ、Ｍｎ、
Ｆｅ、Ｃｏ、Ｎｉ、Ｃｄ、Ａρ、Ｓｎ、Ａｓ、Ｂｉ、Ｚ
ｎ、Ｓｒ等が用いられ得る。ＢａＺｒＯ３、ＢａＳｎＯ
３、ＳｒＴｉＯ３、Ｂ ａ Ｔ １０３等も用いられ得
る。
とができる。焼結助剤としては、Ｚｒ、Ｍｇ、Ｓｃ、Ｈ
ｆ、Ｔｈ、Ｗ、Ｎｂ、Ｔａ、Ｃｒ、Ｍｏ、Ｔｉ、Ｍｎ、
Ｆｅ、Ｃｏ、Ｎｉ、Ｃｄ、Ａρ、Ｓｎ、Ａｓ、Ｂｉ、Ｚ
ｎ、Ｓｒ等が用いられ得る。ＢａＺｒＯ３、ＢａＳｎＯ
３、ＳｒＴｉＯ３、Ｂ ａ Ｔ １０３等も用いられ得
る。
本発明の第１工程において、共沈体の仮焼温度は７００
℃より低いと凝集が生じ、１３００℃を越えると粉末粒
子が粗大化する。
℃より低いと凝集が生じ、１３００℃を越えると粉末粒
子が粗大化する。
また第２工程において、仮焼温度は、固相反応がほぼま
たは完全に完了する最低温度以上で、顕著な粒子成長が
生じない最高温度範囲内であることが必要で、７００℃
〜１３００℃が望ましい。
たは完全に完了する最低温度以上で、顕著な粒子成長が
生じない最高温度範囲内であることが必要で、７００℃
〜１３００℃が望ましい。
第３工程における焼成温度は、１２００℃より低いと全
体の焼結が不十分であり、１７００℃を越えると粒子が
粗大化したり、構成成分の揮発が起きる。
体の焼結が不十分であり、１７００℃を越えると粒子が
粗大化したり、構成成分の揮発が起きる。
なお、本発明のＢ ａ （Ｚ ｎ １／３ Ｎ ｂｘ／
３ Ｔ ａ （１−ｘ）／３ ）０３系セラミックスは
、Ｂ ａ （Ｚ ｎ １／３Ｎｂ２／３）０３とＢａ
（Ｚｎｌ／３ Ｔａ２／３ ） ０３の仮焼粉末を上記
第１および第２工程により作製し、これ等粉末を所望の
組成となるように配合して上記第３工程により焼成する
ことによっても得ることができる。
３ Ｔ ａ （１−ｘ）／３ ）０３系セラミックスは
、Ｂ ａ （Ｚ ｎ １／３Ｎｂ２／３）０３とＢａ
（Ｚｎｌ／３ Ｔａ２／３ ） ０３の仮焼粉末を上記
第１および第２工程により作製し、これ等粉末を所望の
組成となるように配合して上記第３工程により焼成する
ことによっても得ることができる。
［作用効果］
しかして本発明では、第１工程で極めて分散性のよいサ
ブミクロン級の変成原料粉末を得、これと他の原料粉末
を混合して目的とする組成物原料となし、これを焼成す
ることで、緻密で、誘電率およびＱ値の高いＢａ（Ｚｎ
１／３、Ｎｂｘ／３Ｔａ（１−ｘ）／３ ）０３系セラ
ミックスを得ることができ、誘電体共振器材料として好
適に使用することができる。
ブミクロン級の変成原料粉末を得、これと他の原料粉末
を混合して目的とする組成物原料となし、これを焼成す
ることで、緻密で、誘電率およびＱ値の高いＢａ（Ｚｎ
１／３、Ｎｂｘ／３Ｔａ（１−ｘ）／３ ）０３系セラ
ミックスを得ることができ、誘電体共振器材料として好
適に使用することができる。
［実施例］
塩化バリウム水溶液（１，６Ｊｌ／ｍｏｌ！濃度）８０
０ｃｃと、塩化亜鉛水溶液（１，８Ｊ）／ｍ。
０ｃｃと、塩化亜鉛水溶液（１，８Ｊ）／ｍ。
ｇ濃度）９００ｃｃとを混合した。この混合水溶液を、
６Ｎ−アンモニア水ｌｊｌ中にこれを攪拌しつつ徐々に
添加してＢａ２＋とＺｎ２＋の水酸化物共沈体を得た。
６Ｎ−アンモニア水ｌｊｌ中にこれを攪拌しつつ徐々に
添加してＢａ２＋とＺｎ２＋の水酸化物共沈体を得た。
これを洗浄、乾燥した後、１１００℃で仮焼してＢａＺ
ｎＯ２粉末を得た。粉末の平均粒径は０．３２μｍであ
った。
ｎＯ２粉末を得た。粉末の平均粒径は０．３２μｍであ
った。
上記により得られた粉末Ｌｏｇ （ＢａＺｎＯ□が０．
０４２６ｍｏ、Ｑ ）と、市販のＢ ａ ＣＯ３微粉末
１６．８１６ｇ （０，０８５２ｍｏｎ ＞、Ｎｂ２Ｏ
５微粉末９．０５９ｇ （０，０３４１ｍ。
０４２６ｍｏ、Ｑ ）と、市販のＢ ａ ＣＯ３微粉末
１６．８１６ｇ （０，０８５２ｍｏｎ ＞、Ｎｂ２Ｏ
５微粉末９．０５９ｇ （０，０３４１ｍ。
Ｊｌ ） 、Ｔ ａ２０５微粉末３．７６５ｇ （０，
００８５２ｍｏ、ｌ！ ）をボールミルで一昼夜混合し
た後、１０００℃で１時間仮焼してＢ ａ （Ｚ ｎ１
７３ Ｎ ｂ８／１５Ｔａ２／１５）０３粉末を得た。
００８５２ｍｏ、ｌ！ ）をボールミルで一昼夜混合し
た後、１０００℃で１時間仮焼してＢ ａ （Ｚ ｎ１
７３ Ｎ ｂ８／１５Ｔａ２／１５）０３粉末を得た。
平均粒径は約０．４μｍであった。得られた粉末を１ｔ
／ｃＩｉＩで成形したタブレットを大気中で１４００’
Ｃで２時間焼成した。
／ｃＩｉＩで成形したタブレットを大気中で１４００’
Ｃで２時間焼成した。
得られたセラミックス焼結体の密度、９ＧＨｚにおける
誘電率およびＱ値を下表に示す。
誘電率およびＱ値を下表に示す。
［比較例］
市販のＢａｃＯ３、Ｚｎｏ、Ｎ ｂ’２０５ 、Ｔ ａ
２°５粉末をＢａ （Ｚｎｌ／３ ”８／１５ Ｔａ
２／１５）０３の組成となるように、Ｂ ａ ＣＯ３を
２５．２２４ｇ （０，１２７８ｍｏＪ）＞、ＺｎＯを
３．４６７ｇ （０，０４２６ｍｏＪ））、Ｎｂ２０５
を９゜０５９ｇ＜０．０３４１ｍｏＪ））、Ｔａ２０５
を３．７６５ｇ ＜０．００８５２ｍｏ、Ｇ ）を配合
し、ボールミルで一昼夜混合した後１２００℃で１時間
仮焼した。仮焼粉末の平均粒径は約１．２μｍであった
。
２°５粉末をＢａ （Ｚｎｌ／３ ”８／１５ Ｔａ
２／１５）０３の組成となるように、Ｂ ａ ＣＯ３を
２５．２２４ｇ （０，１２７８ｍｏＪ）＞、ＺｎＯを
３．４６７ｇ （０，０４２６ｍｏＪ））、Ｎｂ２０５
を９゜０５９ｇ＜０．０３４１ｍｏＪ））、Ｔａ２０５
を３．７６５ｇ ＜０．００８５２ｍｏ、Ｇ ）を配合
し、ボールミルで一昼夜混合した後１２００℃で１時間
仮焼した。仮焼粉末の平均粒径は約１．２μｍであった
。
この粉末をＩｔ／−で成形し、上記実施例と同じ条件下
で焼成した。
で焼成した。
得られたセラミックス焼結体の密度、誘電率、Ｑ値を下
表に併記する。
表に併記する。
このように本発明によるときは、従来法によるよりも緻
密で、高誘電率であり、特にＱ値が各段に高いＢａ（Ｚ
ｎ１／３Ｎｂｘ／３Ｔａ（１−ｘ）／３〉０３系セラミ
ックスを得ることができる。そして本発明で得られたセ
ラミックスは高いＱ値が要求される誘電体共振器用材料
として好適に用いられる。
密で、高誘電率であり、特にＱ値が各段に高いＢａ（Ｚ
ｎ１／３Ｎｂｘ／３Ｔａ（１−ｘ）／３〉０３系セラミ
ックスを得ることができる。そして本発明で得られたセ
ラミックスは高いＱ値が要求される誘電体共振器用材料
として好適に用いられる。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 誘電体共振器材料用のＢａ（Ｚｎ＿１＿／＿３Ｎｂ＿ｘ
＿／＿３Ｔａ＿（＿１＿−＿ｘ＿）＿／＿３）Ｏ＿３系
セラミックス（但し０≦Ｘ≦１）を製造する方法であつ
て （１）Ｚｎ以外の少なくとも１成分とＺｎの溶液との混
合液、Ｂａ以外の少くとも１成分とＢａの溶液との混合
液およびＮｂ以外の少くとも１成分とＮｂとの混合液の
いずれかを作り、該混合液と沈澱形成液とを混合して共
沈体を形成し、乾燥後、７００℃〜１３００℃で仮焼す
る第１工程、（２）得られた仮焼物の粉末と、目的とす
る組成の残りの成分の粉末を混合して７００℃〜１３０
０℃で仮焼する第２工程。 （３）得られた仮焼物の粉末を成形して１２００℃〜１
７００℃で焼成する第３工程、 とよりなることを特徴とする誘電体共振器材料の製造方
法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP62125372A JP2622545B2 (ja) | 1987-05-22 | 1987-05-22 | 誘電体共振器材料の製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP62125372A JP2622545B2 (ja) | 1987-05-22 | 1987-05-22 | 誘電体共振器材料の製造方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS63291305A true JPS63291305A (ja) | 1988-11-29 |
| JP2622545B2 JP2622545B2 (ja) | 1997-06-18 |
Family
ID=14908501
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP62125372A Expired - Lifetime JP2622545B2 (ja) | 1987-05-22 | 1987-05-22 | 誘電体共振器材料の製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2622545B2 (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS63292507A (ja) * | 1987-05-26 | 1988-11-29 | Nippon Denso Co Ltd | 誘電体共振器材料の製造方法 |
| WO1999033764A1 (fr) * | 1997-12-25 | 1999-07-08 | Sumitomo Special Metals Co., Ltd. | Composition de porcelaine dielectrique pour dispositifs electroniques |
| EP1130002A1 (en) * | 1998-06-22 | 2001-09-05 | Sumitomo Special Metals Company Limited | Method for producing dielectric porcelain composition for electronic device |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS61269805A (ja) * | 1985-05-23 | 1986-11-29 | 松下電器産業株式会社 | マイクロ波用誘電体磁器の製造法 |
-
1987
- 1987-05-22 JP JP62125372A patent/JP2622545B2/ja not_active Expired - Lifetime
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS61269805A (ja) * | 1985-05-23 | 1986-11-29 | 松下電器産業株式会社 | マイクロ波用誘電体磁器の製造法 |
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS63292507A (ja) * | 1987-05-26 | 1988-11-29 | Nippon Denso Co Ltd | 誘電体共振器材料の製造方法 |
| JP2663944B2 (ja) * | 1987-05-26 | 1997-10-15 | 株式会社デンソー | 誘電体共振器材料の製造方法 |
| WO1999033764A1 (fr) * | 1997-12-25 | 1999-07-08 | Sumitomo Special Metals Co., Ltd. | Composition de porcelaine dielectrique pour dispositifs electroniques |
| EP1130002A1 (en) * | 1998-06-22 | 2001-09-05 | Sumitomo Special Metals Company Limited | Method for producing dielectric porcelain composition for electronic device |
| EP1130002A4 (en) * | 1998-06-22 | 2004-04-28 | Sumitomo Spec Metals | METHOD FOR PRODUCING DIELECTRIC PORCELAIN COMPOSITIONS FOR ELECTRONIC COMPONENTS |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP2622545B2 (ja) | 1997-06-18 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JP2598786B2 (ja) | ペロブストカイト系機能性セラミツクの製造方法 | |
| JPS63291305A (ja) | 誘電体共振器材料の製造方法 | |
| JP2663944B2 (ja) | 誘電体共振器材料の製造方法 | |
| JPS6363511B2 (ja) | ||
| JP2653789B2 (ja) | 誘電体共振器材料の製造方法 | |
| JPS63291306A (ja) | 誘電体共振器材料の製造方法 | |
| JP2617938B2 (ja) | 誘電体共振器材料の製造方法 | |
| JP2617939B2 (ja) | 誘電体共振器材料の製造方法 | |
| JP2533305B2 (ja) | 誘電体共振器材料の製造方法 | |
| JPS6325223A (ja) | セラミツク原料粉末の製造方法 | |
| JPH0818867B2 (ja) | ジルコニウムを含むペロブスカイトセラミツクスの製造方法 | |
| JP3318396B2 (ja) | 高周波用誘電体磁器組成物 | |
| JP3330011B2 (ja) | 高周波用誘電体磁器組成物 | |
| JPS63285150A (ja) | ネオジウムを含む誘電体セラミックスの製造方法 | |
| JP2628596B2 (ja) | 誘電体共振器材料の製造方法 | |
| JPS63296319A (ja) | 軟磁性酸化物材料の製造方法 | |
| JPS63239125A (ja) | ジルコニウムを含むペロブスカイトセラミツクス粉末の製造方法 | |
| JPS63292506A (ja) | 誘電体共振器材料の製造方法 | |
| JPS6325263A (ja) | 高密度ｂｚｔ系強誘電体セラミツクの製造方法 | |
| JP2835253B2 (ja) | 高周波用誘電体磁器組成物および誘電体材料 | |
| JP2887244B2 (ja) | 高周波用誘電体磁器組成物 | |
| JPS6325264A (ja) | 高密度ｂｚｎ系強誘電体セラミツクの製造方法 | |
| JPS6325272A (ja) | 高密度ｐｓｚｎｔ系強誘電体セラミツクの製造方法 | |
| JPH0427166B2 (ja) | ||
| JPS63307109A (ja) | 圧電および誘電体セラミックス粉末の合成方法 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| EXPY | Cancellation because of completion of term |