JP2653789B2 - 誘電体共振器材料の製造方法 - Google Patents
誘電体共振器材料の製造方法Info
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- JP2653789B2 JP2653789B2 JP62132203A JP13220387A JP2653789B2 JP 2653789 B2 JP2653789 B2 JP 2653789B2 JP 62132203 A JP62132203 A JP 62132203A JP 13220387 A JP13220387 A JP 13220387A JP 2653789 B2 JP2653789 B2 JP 2653789B2
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Description
【発明の詳細な説明】 ［産業上の利用分野］ 本発明は例えばマイクロ波用の誘電体共振器材料を製
造する方法に関する。
造する方法に関する。
［従来の技術］ マイクロ波用の誘電体共振器材料にはＱ値の高いもの
が望まれている。このような材料として、Bax,Sry,Ca
（１−ｘ−ｙ）（Zrz,Ti1−ｚ）O3系のセラミックス
（但し、０≦x,y≦1,0≦ｚ≦１）があるが、この系のセ
ラミックスはＱ値が4000（4GHz）程度であり、現状の乾
式法ではＱ値の向上に限界がある。
が望まれている。このような材料として、Bax,Sry,Ca
（１−ｘ−ｙ）（Zrz,Ti1−ｚ）O3系のセラミックス
（但し、０≦x,y≦1,0≦ｚ≦１）があるが、この系のセ
ラミックスはＱ値が4000（4GHz）程度であり、現状の乾
式法ではＱ値の向上に限界がある。
［発明が解決しようとする問題点］ 本発明は上記の実情に鑑みてなされたもので、比較的
低い温度での焼成が可能で、かつ組織が緻密で、しかも
Ｑ値の優れたＭ（Zr,Ti）O3系のセラミックス（ＭはBa,
Sr,Ca）を製造する方法を提供することを目的とするも
のである。
低い温度での焼成が可能で、かつ組織が緻密で、しかも
Ｑ値の優れたＭ（Zr,Ti）O3系のセラミックス（ＭはBa,
Sr,Ca）を製造する方法を提供することを目的とするも
のである。
［問題点を解決するための手段］ 本発明はBaxSryCa（１−ｘ−ｙ）（ZrzTi1−ｚ）O3系
のセラミックスを製造するに際し、先ず第１工程とし
て、ジルコニウム以外の少なくとも一成分の必要量の一
部とジルコニウム溶液の適量との混合液（水溶液又はア
ルコール溶液）を作り、これと沈殿形成液とを混合して
共沈体を形成し、乾燥後700℃〜1300℃で仮焼する。
のセラミックスを製造するに際し、先ず第１工程とし
て、ジルコニウム以外の少なくとも一成分の必要量の一
部とジルコニウム溶液の適量との混合液（水溶液又はア
ルコール溶液）を作り、これと沈殿形成液とを混合して
共沈体を形成し、乾燥後700℃〜1300℃で仮焼する。
次に第２工程として、この仮焼物と目的とする組成物
の残りの構成成分の化合物とを混合して700℃〜1300℃
で仮焼する。
の残りの構成成分の化合物とを混合して700℃〜1300℃
で仮焼する。
そして、第３の工程として得られた仮焼粉末を成形し
て、700℃〜1600℃で焼成する。
て、700℃〜1600℃で焼成する。
第１工程で用いられるジルコニウム溶液（水溶液又は
アルコール溶液）を作成するための化合物としては、オ
キシ塩化ジルコニウム，オキシ硝酸ジルコニウム，塩化
ジルコニウム，硝酸ジルコニウム及び金属ジルコニウム
等が挙げられる。
アルコール溶液）を作成するための化合物としては、オ
キシ塩化ジルコニウム，オキシ硝酸ジルコニウム，塩化
ジルコニウム，硝酸ジルコニウム及び金属ジルコニウム
等が挙げられる。
沈殿形成液作成のための試薬としては、例えばアンモ
ニア，炭酸アンモニウム，苛性アルカリ，しゅう酸，し
ゅう酸アンモニウムやアミン，オキシン等の有機試薬が
挙げられる。
ニア，炭酸アンモニウム，苛性アルカリ，しゅう酸，し
ゅう酸アンモニウムやアミン，オキシン等の有機試薬が
挙げられる。
ジルコニウム溶液に溶解する組成物の構成成分の種類
とその量は、構成成分の添加によって最終的に得られる
ジルコニア粉末の凝集を抑制し得られるもの、また、該
組成物に共通して含まれる成分であることが好ましい。
とその量は、構成成分の添加によって最終的に得られる
ジルコニア粉末の凝集を抑制し得られるもの、また、該
組成物に共通して含まれる成分であることが好ましい。
得られた共沈体の仮焼温度は、700℃〜1300℃であ
る。700℃より低いと凝集が顕著に起り、1300℃を越え
ると粒子が粗大化する傾向がある。
る。700℃より低いと凝集が顕著に起り、1300℃を越え
ると粒子が粗大化する傾向がある。
第２工程では、このようにして得られたものに、ジル
コニウム以外の構成成分の不足分を加えて混合する。勿
論、ジルコニアに添加した成分の不足分も補充する必要
がある。この場合、いずれの化合物粉末（主として酸化
物）の粒度はサブミクロン級のものを使用する。
コニウム以外の構成成分の不足分を加えて混合する。勿
論、ジルコニアに添加した成分の不足分も補充する必要
がある。この場合、いずれの化合物粉末（主として酸化
物）の粒度はサブミクロン級のものを使用する。
なお、MnO,MnO2,Cr2O3,C0O,NiO,SnO2,MgO,Ta2O5,PbO,
Nb2O5,WO3,La2O3,Sm2O3,Nd2O3,Bi2O3,Al2O3,SiO2などの
添加物は第２の工程で添加すれば良い。
Nb2O5,WO3,La2O3,Sm2O3,Nd2O3,Bi2O3,Al2O3,SiO2などの
添加物は第２の工程で添加すれば良い。
また、仮焼温度を上記のように、700℃〜1300℃に設
定すると、凝集の極めて少ないサブミクロン級の粉末
（変成ジルコニヤ粉末）を得られる。
定すると、凝集の極めて少ないサブミクロン級の粉末
（変成ジルコニヤ粉末）を得られる。
［作用効果］ しかして本発明では，分散性の良いサブミクロン級の
Ｍ（ＭはBa,Sr,Ca）（Zr,Ti）O3系粉末を作成し、この
粉末を用いて単なる乾式法によって混合して本来希望と
する組成物原料とすることで、比較的低い温度で焼成が
可能で、組織が緻密で、Ｑ値の優れたＭ（Zr,Ti）O3系
セラミックスを得ることができ、誘電体共振器材料とし
て好適に使用することができる。
Ｍ（ＭはBa,Sr,Ca）（Zr,Ti）O3系粉末を作成し、この
粉末を用いて単なる乾式法によって混合して本来希望と
する組成物原料とすることで、比較的低い温度で焼成が
可能で、組織が緻密で、Ｑ値の優れたＭ（Zr,Ti）O3系
セラミックスを得ることができ、誘電体共振器材料とし
て好適に使用することができる。
［実施例］ 以下、この発明に係る誘電体共振器材料の製造方法の
一実施例について説明する。
一実施例について説明する。
硝酸ストロンチウム水溶液（1.5/mol濃度）219ccと
オキシ硝酸ジルコニウム水溶液（1.2/mol濃度）175cc
とを混合した。この混合水溶液を、撹拌している6N−ア
ンモニア水１中に徐々に添加してSr2+とZr4+の水酸化
物共沈体を得た。これを洗浄，乾燥した後1000℃で１時
間仮焼してSrZrO3粉末を得た。
オキシ硝酸ジルコニウム水溶液（1.2/mol濃度）175cc
とを混合した。この混合水溶液を、撹拌している6N−ア
ンモニア水１中に徐々に添加してSr2+とZr4+の水酸化
物共沈体を得た。これを洗浄，乾燥した後1000℃で１時
間仮焼してSrZrO3粉末を得た。
上記により得た粉末10gと市販のBaCO33.158g、ZrO21.
799g、TiO20.13gをボールミルで一昼夜混合した後、100
0℃で１時間仮焼してBa0.27Sr0.73（Zr0.973Ti0.027）O
3粉末を得た。その平均粒径は0.3μｍであった。
799g、TiO20.13gをボールミルで一昼夜混合した後、100
0℃で１時間仮焼してBa0.27Sr0.73（Zr0.973Ti0.027）O
3粉末を得た。その平均粒径は0.3μｍであった。
得られた粉末を1t/cm2で成形したタブレットを1250
℃,1275℃,1300℃,1325℃,1350℃にて１時間焼成した。
℃,1275℃,1300℃,1325℃,1350℃にて１時間焼成した。
［比較例］ 比較例として、市販のBaCO3,ZrO2,SrCO3,TiO2粉末を
上記組成になるように配合し、ボールミルで一昼夜配合
した後、1100℃で仮焼した。この平均粒径は1.2μｍで
あった。この後、実施例と同様の工程にて試料を作製し
た。
上記組成になるように配合し、ボールミルで一昼夜配合
した後、1100℃で仮焼した。この平均粒径は1.2μｍで
あった。この後、実施例と同様の工程にて試料を作製し
た。
図に示すように、本発明の方法では、従来の乾式法に
比べ低温で焼結でき嵩比重も5.6g/cm3と理論値に近い値
を示した。また、その時のＱ値は4GHzにおいて7000と高
い値を示した。
比べ低温で焼結でき嵩比重も5.6g/cm3と理論値に近い値
を示した。また、その時のＱ値は4GHzにおいて7000と高
い値を示した。
［発明の効果］ 以上述べたように本発明に係る誘電体共振器材料の製
造方法によれば、比較的低い温度で焼成でき、かつ組成
が緻密で、しかもＱ値の優れたＭ（Zr,Ti）O3系セラミ
ックスから成る誘電体共振器材料を提供することができ
る。
造方法によれば、比較的低い温度で焼成でき、かつ組成
が緻密で、しかもＱ値の優れたＭ（Zr,Ti）O3系セラミ
ックスから成る誘電体共振器材料を提供することができ
る。
図はこの発明の一実施例に係る誘電体共振器材料の製造
方法の効果を説明するための特性図である。
方法の効果を説明するための特性図である。
Claims (1)
- 【請求項１】BaxSryCa（１−ｘ−ｙ）（ZrzTi1−ｚ）O3
系セラミックス（但し、０≦ｘ、ｙ≦1,0≦ｚ≦１）か
ら成る誘電体共振器材料の製造方法において、 （ａ）ジルコニウム以外の少なくとも一成分の必要量の
一部とジルコニウム溶液の適量との混合液を作り、これ
と沈殿形成液とを混合して共沈体を形成し、乾燥後700
℃〜1300℃で仮焼する第１の工程、 （ｂ）この仮焼物と目的とする組成物の残りの構成成分
の化合物とを混合して700℃〜1300℃で仮焼する第２の
工程、 （ｃ）得られた仮焼粉体を成形して700℃〜1600℃で焼
成する第３の工程、 とよりなることを特徴とする誘電体共振器材料の製造方
法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP62132203A JP2653789B2 (ja) | 1987-05-28 | 1987-05-28 | 誘電体共振器材料の製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP62132203A JP2653789B2 (ja) | 1987-05-28 | 1987-05-28 | 誘電体共振器材料の製造方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS63298911A JPS63298911A (ja) | 1988-12-06 |
| JP2653789B2 true JP2653789B2 (ja) | 1997-09-17 |
Family
ID=15075803
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP62132203A Expired - Lifetime JP2653789B2 (ja) | 1987-05-28 | 1987-05-28 | 誘電体共振器材料の製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2653789B2 (ja) |
Families Citing this family (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP6266596B2 (ja) * | 2013-03-26 | 2018-01-24 | 日本碍子株式会社 | 誘電体磁器焼成体及び複合セラミックス構造体 |
| JP2015195342A (ja) * | 2014-03-28 | 2015-11-05 | Tdk株式会社 | 誘電体組成物および電子部品 |
Family Cites Families (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS61269805A (ja) * | 1985-05-23 | 1986-11-29 | 松下電器産業株式会社 | マイクロ波用誘電体磁器の製造法 |
| JP2617938B2 (ja) * | 1987-05-26 | 1997-06-11 | 株式会社デンソー | 誘電体共振器材料の製造方法 |
-
1987
- 1987-05-28 JP JP62132203A patent/JP2653789B2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS63298911A (ja) | 1988-12-06 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| EXPY | Cancellation because of completion of term |