JPS63288409A - 複合型磁気ヘッドの製造方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 （産業上の利用分野） 本発明は磁気記録再生装置、特に、ビデオテープレコー
ダ、回転型デジタルオーディオチーブレコーダ等の高密
度記録再生用磁気ヘッドとして好適な複合型磁気ヘッド
の製造方法に関する。

（従来例とその問題点） 磁気記録再生装置の高性能化、超小型化を実現するため
に、例えば磁気テープ等の記録媒体に高抗磁力を有する
メタルテープが広く使用されているが、一方ではこのよ
うな高抗磁力を有する磁気テープに用いる磁気ヘッドの
研究開発が進められている。

このような磁気ヘッドには、高飽和磁束密度の金属系磁
性材と高周波特性に優れた酸化物系磁性材とを組合せて
磁気コア本体とした、いわゆる複合型磁気ヘッドが実現
化されている。

第１３図は従来の複合型磁気ヘッドの磁気コア本体１０
を示す斜視図である。図中、１１．１２は磁気コア半体
で、例えばセンダスト（登録商標）、アモルファス、パ
ーマロイ等の金属系磁性材１３゜１４の両面を例えばＭ
ｎ−Ｚｎフェライト、Ｎｉ−Ｚｎフェライト等の酸化物
系磁性材１５゜１６及び１７．１８にて夫々挟持する如
く一体に接合して構成してなり、その対向する突合せ而
１１ａ、１２ａの少なくとも一方、例えば図示のように
突合せ面１１ａ側に巻線窓１９を形成すると共に、これ
等一対の磁気コア半体１１．１２を例えばＳｉＯ２等の
ギャップ材を介して突合せ一体に接合して、磁気ギャッ
プ２０を形成している。

２２．２３はテープ摺動面２１上の磁気ギャップ２０の
幅を所定のトラック幅に規制するためのトラック幅唄制
用溝であり、磁気ギャップ２０の両側に夫々形成され、
周溝２２．２３内にモールドガラス２４．２５を溶融充
填している。

然して、前記酸化物系磁性材と金属系磁性材とはその熱
膨張係数が大きく異なり、酸化物系磁性材の平面上に金
属系磁性膜を形成すると、この金属系磁性膜が非常に剥
離しやすいため、前記複合型磁気ヘッド１０では、予め
トラック幅厚にラップした金属系磁性材からなる１ｉｌ
Ｂ！１３．１４を用いるようにしているが、金属系磁性
材をトラック幅厚さにラップする作業が非常に面倒であ
るばかりか、この薄板１３．１４は非常に薄いためもろ
くて壊れ易く、生産性が悪いものであった。又、磁気ギ
ャップ２０両側に夫々トラック幅規制用溝２２．２３を
形成するようにしているため、トラック幅の精度があま
りよくなく、また、溝入れ加工時に誤ってプレートが薄
板１３．１４に接触すると、同部位の薄板１３．１４が
飛んでしまう虞れもある等生産性が悪いものがあった。

このため、図示しないが、酸化物系磁性材からなる一対
の磁気コア半体の突合せ部に金属系磁性膜を形成し、こ
の一対の磁気コア半体を突合せて磁気ギャップを形成す
ると共に、この磁気ギャップの両側にモールドガラスを
溶融充填した複合型磁気ヘッドが一部提供されているが
、これらはいずれも、酸化物系磁性材からなるブロック
にＶ溝を形成し、このＶ溝に金属系磁性膜を形成するよ
うにしているため、同Ｖ溝加工作業が非常に面倒で口産
性が悪い等の問題点があった。

（問題点を解決すめための手段） 本発明は上記問題点を解決するためになされたものであ
り、結晶化ガラス又はセラミックからなる非磁性基板上
に金属系磁性膜を薄膜形成手段により形成する工程、酸
化物系磁性材からなるブロックに複数の溝を形成し、こ
の溝内にモールドガラスを溶融充填する工程、前記モー
ルドガラスを充填したブロックを基準面に対して平行な
切断線に沿って切断し、複合基板を得る工程、前記金属
系磁性膜を形成した非磁性基板と複合基板とを接台用ガ
ラスを介して交互に積層し、一体に接合して積層ブロッ
クを得る工程、前記積層ブロックを基準面に対して垂直
で、モールドガラスを充填した溝の中心線を通る切断線
に沿って切断し、一対の磁気コア半体ブロックを得る工
程、前記一対の磁気コア半体ブロックをその突合せ部に
ギャップ材を介して且つ前記金属系磁性膜同志、複合基
板同志及び非磁性基板同志が対向するようにして突合せ
一体に接合して磁気コアブロックを得る工程、前記磁気
コアブロックを金属系磁性膜に対して平行な切断線に沿
って切断し、磁、気コア本体を得る工程とからなること
を特徴とする複合型磁気ヘッドの製造方法を提供するも
のである。

（実施例） 第１図（ａ　）は本発明になる製造方法によって製造さ
れた複合型磁気ヘッドの磁気コア本体３０を示す斜視図
であり、第２図は第１図に示す磁気コア本体３０の磁気
ギャップ近傍におけるテープ摺動面の一部拡大平面図で
ある。第１図及び第２図において３１及び３１′は磁気
コア半体で、例金属系磁性膜３３．３３＝を後述する酸
化物系磁性材と略同等の耐摩耗特性を有する結晶化ガラ
ス又はセラミックからなる非磁性材３２．３２−と、例
えば、１ｙｌｎ−７ｎフエライト等からなる酸化物系磁
性材３４．３４′とにより挟持して構成したものであり
、その対向する突合せ面３１ａ　、　３１ａ　＝の少な
くとも一方、例えば、図示のように突合せ面３１ａ側に
巻線溝３５を形成すると共に、これら一対の磁気コア半
体３１，３１−を、例えば、ＳｉＯ２等のギャップ材を
介して金属系磁性膜３３．３３−同志、酸化物系磁性材
３４．３４−同志及び非磁性材３２．３２′同志が互い
に対向するように突合せ、一体に接合することにより磁
気ギャップ３６を有する磁気コア本体３０を構成してい
る。３７．３７′は前記磁気コア半体３１゜３１′の酸
化物系磁性材３４．３４−の突合せ部に形成した磁気コ
ア本体３０のテープ摺動面３８上の主磁路を金属系磁性
膜で形成するためのトラック幅規制用の溝で、例えば高
融点のモールドガラス３９．３９−を充填している。４
０は前記磁気コア半体３１．３１−を一体に接合するた
めに巻線溝３５の一部に溶融充填した接着ガラスである
。

上述のように、本発明になる複合型磁気ヘッドによれば
、テープ摺動面３８上にｎ出するモールドガラス３９．
３９−の面積は従来の磁気コア本体１０の半分となり、
しかも磁気ギャップ３６を挾んで対称位置関係にバラン
スよく配設されていること、非磁性材３２．３２−の摩
耗特性は酸化物系磁性材３４．３４−に近いものを容易
に選択出来ること等から耐摩耗性に優れ、かつ、偏摩耗
の少ない複合型磁気ヘッドを可能としている。

次に、第１図に示した磁気コア本体３０の製造方法につ
いて説明する。

第３図〜第１１図は第１図に示す磁気コア本体３０の製
造方法の主要工程の概略説明図である。

図中、第１図に示す磁気コア本体３０に使用されている
同−材料及び同一構成要素には同一符号を付し、説明を
省略する。

第１の工程は第３図（ａ　）に示す様に、結晶化ガラス
又はセラミック等からなる板状の非磁性材３２を複数枚
用意し、これらの非磁性材３２の両面を鏡面に研磨した
のち、同図（ｂ）に示すように研磨面の一面、あるいは
同図（Ｃ）に示すように、研磨面の両面に、例えばセン
ダスト、アモルファス等からなる金属系磁性Ｉ！Ｉ３３
をスパッタリング、蒸着、イオンブレーティング等の薄
板形成手段により形成する。この時、金属系磁性膜３３
を形成した非磁性材３２の厚さをｔとする。これらの非
磁性材３２はこの時使用される金属系磁性１１１３３の
熱膨張係数と略同一で、後述する酸化物系磁性膜３４と
略同等の耐摩耗特性を有する非磁性材の中から選択され
るものである。

第２の工程は、例えば、Ｍｎ−Ｚｎフェライトからなる
ブロック状の酸化物系磁性材３４を用意しく第４図）、
この酸化物系磁性材３４の一面３４ｂに第５図に示すよ
うな磁気コア半体３’７．３１′の幅Ｗの略２倍等しい
ピッチで基準面３４ａに対して垂直な溝３７を形成する
。

第３の工程は第６図に示す様に、第２の工程で形成した
満３７の中に耐摩耗特性に優れた高融点のモールドガラ
ス３９を溶融充填したのち、余分なモールドガラスを研
磨等により除去する。

第４の工程は酸化物系磁性材３４を基準面３４ａに対し
て平行な切断線５０に沿ってピッチを切断し複合基板５
１を得る。（第７図） 第５図の工程は、第１の工程で金属系磁性膜３３を形成
した非磁性材３２と前記複合基板５１とを接合用ガラス
を介して交互に積層し、加圧及び加熱することにより一
体に接合し積層ブロック５２を得る。（第８図） 第６の工程は第５の工程で得られた積層ブロック５２を
溝３７の中心線を通るピッチＷなる切断線５３に沿って
切断することによりブロック状の一対の磁気コア半体３
１．３１−等を得る。（第９図） 第７の工程は第６の工程で得られた一対の磁気コア半体
３１．３１−の対向する切断面のうちモールドガラス３
７側を突合せ面３１８．３１８　′とし、この突合せ面
３１ａ、３１ａ−の少なくとも一方、例えば、第１０図
に示すように一方の磁気コア半体３１の突合せ面３１ａ
の長手方向に巻線溝３５を形成すると共に、該両突合せ
而３１８゜３１８′を鏡面に研磨する。

第８の工程は記突合せ面３１ａ　、３１ａ−間に、例え
ば５ｉ０２等のギャップ材料を介して金属系磁性膜３３
．３３′が互いに対向するように突合せ接着ガラス４０
等を用いて一体に接合したのち、金属系磁性１！３３．
３３−に平行な切断線５４に沿って切断すると、先端研
磨前の第１図に示す磁気コア本体３０を得ることが出来
る。

次に、第１図及び第２図に示す磁気コア本体３０におい
て、磁気ギャップ３６がアジマス角θを有する場合の製
造方法について説明する。

前記実施例の製造工程と概略同様な工程であるので同一
構成要素には同一符号を付し異なる点のみを説明する。

第１２図（ａ）〜（Ｃ）は第１図及び第２図に示す磁気
コア本体３０がアジマス角θを有する場合の製造工程を
説明するための図であり、以下同図を用いて説明する。

前記第２の工程における酸化物系磁性材３４の面３４ｂ
に磁気コア半体３１．３１−の幅Ｗの略２倍に等しいピ
ッチで、かつ、基準面３４ａの垂線６０に対してθなる
傾斜角を有するように溝３７を形成する。

前記第４の工程において、第１２図（ｂ　）に示す様に
、酸化物系磁性材３４を基準面３４ａに対して平行で金
属系磁性［１３３を形成した非磁性材３２の厚さｔと略
同じピッチを有する切断［１５０に沿って切断し、複合
基板５１を得ると共にこれらの複合基板５１の内、第１
２図（ｂ）に示すように、奇数（又は偶数）番目の複合
基板５１を金属系磁性膜３３を形成した非磁性材３２と
入れ替え、接合用ガラスを介して積層し、溝３７が切断
線５３に沿って一直線に並んだ積層ブロック５２を得る
。

以下前記第６〜第８の工程によってアジマス角θを有す
る磁気コア本体３０を得ることが出来る。

（発明の効果） 本発明の製造方法によれば、熱膨張係数を金属系磁性膜
に合せた非磁性基板上に前記金属系磁性膜を形成するこ
とができるため、熱応力による金属系磁性膜の剥離や磁
気特性の劣化を生じることはない。また、酸化物系磁性
材からなるブロック上にトラック幅規制用溝となる溝を
あらかじめ形成し、この溝内にモールドガラスを溶融充
填したため、個々の磁気ヘッドについてトラック幅規制
用溝の加工が不要となり、トラック幅精度が向上すると
共にモールドガラスとして高融点ガラスの使用が可能と
なり、耐摩耗特性に優れ、信頼性の高い複合型磁気ヘッ
ドの提供を可能とするものである。

また従来のように金属系磁性膜が破壊される虞がなく、
歩留りの向上と、量産性の向上を図ることができる。

また本発明になる製造方法によれば、アジマス角を有す
る複合型磁気ヘッドの製造をも容易に可能とする特長を
有する。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明になる製造方法によって製造された複合
型磁気ヘッドの磁気コア本体を示す斜視図、第２図は第
１図に示す磁気コア本体の磁気ギャップ近傍におけるテ
ープ摺動面の一部拡大平面図、第３図〜第１１図は第１
図に示す磁気コア本体の製造方法を説明するための主要
工程の概略説明図、第１２図（ａ　）〜（Ｃ）は第１図
及び第２図に示す磁気コア本体３０がアジマス角θを有
する場合の製造工程を説明するための説明図、第１３図
は従来の複合型磁気ヘッドのコア本体を示す斜視図であ
る。 ３０・・・磁気コア本体、３１．３’ｌ”・・・磁気コ
ア半体、３２．３２−・・・非磁性材、３３．３３−・
・・金属系磁性膜、３４．３４−・・・酸化物系磁性材
、３４ａ・・・基準面、３４ｂ・・・溝加工面、３５・
・・巻線溝、３６・・・磁気ギャップ、３７．３７′・
・・溝、３８・・・テープ摺動面、３９．３９”・・・
モールドガラス、５１・・・複合基板、５２・・・積層
ブロック、６０・・・基準面に対する垂線。

Claims (2)

【特許請求の範囲】
1. （１）結晶化ガラス又はセラミックからなる非磁性基板
   上に金属磁性膜を薄膜形成手段により形成する工程、酸
   化物系磁性材からなるブロックに複数の溝を形成し、こ
   の溝内にモールドガラスを溶融充填する工程、前記モー
   ルドガラスを充填したブロックを、基準面に対して平行
   な切断線に沿って切断し、複合基板を得る工程、前記金
   属系磁性膜を形成した非磁性基板と複合基板とを接合用
   ガラスを介して交互に積層し、一体に接合して積層ブロ
   ックを得る工程、前記積層ブロックを、基準面に対して
   垂直で、モールドガラスを充填した溝の中心線を通る切
   断線に沿って切断し、一対の磁気コア半体ブロックを得
   る工程、前記一対の磁気コア半体ブロックをその突合せ
   部にギャップ材を介して且つ前記金属系磁性膜同志、複
   合基板同志及び非磁性基板同志が対向するようにして突
   合せ一体に接合して磁気コアブロックを得る工程、前記
   磁気コアブロックを金属系磁性膜に対して平行な切断線
   に沿って切断し、磁気コア本体を得る工程とからなるこ
   とを特徴とする複合型磁気ヘッドの製造方法。
2. （２）結晶化ガラス又は、セラミックからなる非磁性基
   板上に金属系磁性膜を薄膜形手段により形成する工程、
   酸化物系磁性材からなるブロックに、基準面に対してア
   ジマス角と等しい傾斜角を有する複数の溝を形成し、こ
   れらの溝内にモールドガラスを溶融充填する工程、前記
   モールドガラスを充填したブロックを、前記基準面に対
   して平行で且つ前記金属系磁性膜を形成した非磁性基板
   の厚さと略同一のピッチの切断線に沿って切断して複合
   基板を得ると共に、その奇数（又は、偶数）番目の複合
   基板を該金属系磁性膜を形成した非磁性基板と入れ替え
   、接合用ガラスを介して積層し、一体に接合積層ブロッ
   クを得る工程、前記積層ブロックを前記モールドガラス
   を充填した溝の中心線を通る切断線に沿って切断し、一
   対の磁気コア半体ブロックを得る工程、この一対の磁気
   コア半体ブロックを突合せ部にギャップ材を介して且つ
   前記金属系磁性膜同志、複合基板同志及び非磁性基板同
   志が互いに対向するように突合せ一体に接合して磁気コ
   アブロックを得る工程、前記第２のコアブロックを金属
   系磁性膜に対して平行な切断線に沿って切断し、磁気コ
   ア本体を得る工程とからなることを特徴とする複合型磁
   気ヘッドの製造方法。