JPS63282607A - 帯状物体の幅測定装置 - Google Patents

帯状物体の幅測定装置

Info

Publication number
JPS63282607A
JPS63282607A JP11730087A JP11730087A JPS63282607A JP S63282607 A JPS63282607 A JP S63282607A JP 11730087 A JP11730087 A JP 11730087A JP 11730087 A JP11730087 A JP 11730087A JP S63282607 A JPS63282607 A JP S63282607A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
width
strip
plate
belt
shaped object
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP11730087A
Other languages
English (en)
Inventor
Hitoshi Aizawa
相澤 均
Takashi Hirose
隆 広瀬
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
JFE Steel Corp
Anritsu Corp
Original Assignee
Anritsu Corp
Kawasaki Steel Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Anritsu Corp, Kawasaki Steel Corp filed Critical Anritsu Corp
Priority to JP11730087A priority Critical patent/JPS63282607A/ja
Publication of JPS63282607A publication Critical patent/JPS63282607A/ja
Pending legal-status Critical Current

Links

Landscapes

  • Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 【産業上の利用分野】
本発明は、帯状物体の幅測定ti置に係り、特に、鋼帯
、紙、フィルム等の帯状物体の幅測定をする際に用いる
のに好適な、帯状物体の幅測定装置に関する。
【従来の技術】
鉄鋼業における、連Vt焼鈍炉、圧延機、メッキ設備な
どのプロセスラインやスリッターラインなどの精整設備
においては、生産、加工対象である銅帯製品の品質を向
上させる上で、該銅帯の幅測定の精度が重要な要素とな
る。 前記鋼帯の如き帯状物体の幅測定に関する技術には、従
来から種々のものがあり、その一つに第5図に示される
ような幅測定Vt置を用い、光源8及び光電センサ10
/’1.、IOBで帯状物体例えば板材12の端部を検
出するようにした技術がある。 即ら、この技術においては、板材12の各端部(板材端
部)14A、14Bのいずれがが前記光電センサIOA
、10Bの82幅方向外側にあれば、光源8からの光が
照(ト)されなくなって該光電センサIOA、10Bの
いずれかがオフとなるので、オフとなった光電センサは
り一一ボモータ16により外側に移動され、オンになっ
た位置で停止する。 なお、図中17は、光電センサ10A、10BのイS号
を増幅して各サーボモータを駆動するためのサーボ増幅
器である。 上記のようにして左右の各光電センサIOA、10Bを
移動させて、常に板材端部14△、1/IBに追従させ
、該光電センサIOA、10Bの各位置を位置検出器1
8で検出する。そして、検出位置に基づき板幅演算器1
9で板材12の板幅を求める。この場合、位置検出器1
8上における、各光電センサIOA、10Bの各原点2
OA、20Bから現在位置までの各距離を各々ΔL1、
ΔL2とする。又、各原点2OA、2’OB間の距離を
予めLoに設定しておく。 以上のような前提で前記板幅演算器19により、次式(
1)を用いて前記板材12の板幅Bが、又、減算器21
で次式(2)を用いて板幅偏差ΔBが求められる。 B=Lo−、ΣΔL i    −(1)+−1,1 ΔB−B−Ls      ・・・(2)但し、LSは
、基準板幅設定2!i23で設定される基準板幅設定値
である。 [発明が解決しようとする問題点l しかしながら、前記従来の技術では、板幅の異なる材料
を続いて測定する場合、圧延機のように高速で処理する
ラインで板幅変化が時間的に短い間に生ずる場合、ある
いは板の蛇行速麿が早い場合などに、応答性上の問題か
ら誤差が生じ、al11定精度上の信頼性に欠けること
がある。これは、いずれの場合も板と板の端の位置の変
化が速いため、サーボ系の応答上の制約から光電センサ
10△、10Bがその板材端部に追従し切れず、追従し
切れない分だけ誤差となって現われるからである。 従って、板端位置が安定した定常部又はオフラインにお
ける精度は、例えば実測上±0.4inが1すられるが
、非定常時における精度は保訂されろものではない。 前記従来の技術の問題点を解消すべく、前記光電センサ
IOA、10Bの機械的な追従機構による応答性の問題
に対して改良を加えた技術に、第6図に示されるように
イメージセンサを用いて板幅を測定するようにした測定
方式が考えられる。 即ちこの測定方式においては、固定した距mt 1−0
を隔てて2台のイメージセンサカメラ22A、22Bを
配置し、各々のカメラ22A、22Bの視野W内におけ
る板材端部14A、14Bのエツジ位置までの距離Δ1
1、Δ(2を検出づる。このようにして板幅Bは次式(
3)で、板幅−差ΔBは前出(2)で求められる。 前記測定方式の長所としては、電子操作式であることか
ら応答性が高く、又、幅分解能を高く取れることである
。例えば、視野400u+に対し、4096bitの素
子を用いた場合、分解能は=0゜1111となる。 しかしながら、前記測定方式においては、第7図に示さ
れるように、板材12及び板材端部14A、14Bのエ
ツジ位置が、測定面までの基準高さHlあるいは各カメ
ラ22A、22Bの光軸中心24の位置のいずれかに存
在するときにしか高精度な測定をすることができない、
ばたつきや形状不良及び板厚の違いなどでパスラインが
lIると誤差を生ずる。即ち、この誤差は、第7図に示
されるように、パスラインがΔh変UJL、板材端部1
4Aのエツジ位8が光軸中心よりΔJ21外側にある場
合、誤差εは次式(4)で表される。 なお、図中符号S1がパスライン変動後の板幅投影点で
ある。 ε−へ11・(Δh / (H−Δ11))=(Δh/
H)・Δβ1 ・・・・・・・・・(4)(4)式によ
れば、例えば板幅B=800〜1600 IIl、蛇行
代を±100m5とするとイメージセンサカメラの視野
Wは、次式(5)の如<500aa+となる。 W= (1600−800/2)+100=500  
       ・・・・・・・・・(5)この場合、基
準高ざH=500mm、板厚安化Δ11t=1mm、ば
たつきΔhP=±3IllI111形状不良Δhg−±
2ffiI11と勺ると、各変動の総計がΔh=6II
II11(八H=1+3+2−6>となる。そして、板
材端部14A、14Bの光軸中心24からのずれΔl−
=100mn+とすると、誤差εは(4)式から1.2
mm[ε= (61500) ・100=1゜2)とな
る。 このような誤差εを消去するには基準高さト1→■、変
動Δh→0、エツジ位置までの距離ΔJ21→Oに覆れ
ばよい。しかしながら、前記り準高さHを高く−づるの
は設備上のυ1約、光軸合t!などの調整上の困難性か
ら実現し難い。又、パスラインの変動Δhについては、
ばたつきが支持ロールて。 抑制可能であるが、板厚変化、形状不良は避けIいとい
う問題がある。 上記の如6問題に対し、第7図に示スJ:うに、13*
板幅設定鼎23で設定された暴準板幅設定値Lsに応じ
て、予め駆動回路25でパルスモータ26A、26Bを
駆動させて各イメージセンサカメラ22A、22Bを移
動させ、できるだけ光軸中心24で測定しようとする方
法が考えられる。 しかしながら、この方法においても、板継部での板幅の
急変、設定板幅と実測板幅の差の大きい場合や板が蛇行
した場合には、誤差を避けられるものではない。 又、前記問題に対し、本願出願人は、既に特開昭61−
148305で、上記ばたつきゃ板厚変動があっても正
確<K 1走行板の板幅の測定が可能な幅測定装置を提
案している。この測定装置によれば、上記問題を解決し
て充分正確な幅測定が司能であるが、長さ標準板や光距
離計を使用りる関係から装置格成が複雑になるという欠
点がある。 (発明の目的1 本発明は、前記従来の問題点を解消するべくなされたも
のであって、常に陽像手段の光軸中心で幅計測を行える
ため帯状物体のパスラインの変動に影響されずに精度よ
く幅測定できる帯状物体の幅測定装2を提供することを
目的とする。 [問題点を解決するための手段] 本発明は、走行する帯状物体幅方向の各両端部を’M像
して、該帯状物体幅方向両端のエツジ位置を検出するた
めの2台の1ltl像手段と、該2台の踊像手段を前記
帯状物体の幅方向へ個別に移動可能な移動機構と、前記
2台の撮像手段毎の光軸中心位置及び前記検出されたエ
ツジ位置間の差を口出づる第1の演算器と、算出差が零
になるよう前記層像手段を移動させるべく、前記移i1
’JJ機構を制御するυj御手段と、前記2台の撮像手
段間の距離を検出する手段と、算出された前記光軸中心
位置及び前記エツジ位置間の差、並びに検出された前記
藏像手段間の距離に基づき、前記帯状物体の幅を筒用す
る第2の演筒器と、を備えたことにより、前記目的を達
成したものである。 (作用] 本発明においては、帯状物体の幅測定!!ii置におい
て、走行9る帯状物体幅方向の各両端を2台の層像手段
で搬像して該両端のエツジ位置を検出し、前記2台の1
il(iQ手段の光軸中心及び前記検出されたエツジ位
置間の差を0出し、算出された差が零となるように前記
陽像手段を移動させると共に、前記2台の撮像手段間の
距離を検出し、算出された前記光軸中心位置及び前記エ
ツジ位置間の差、並びに検出された前記l1Il像手段
間の距離に基づき、前記帯状物体の幅を算出する。 従って、常に光軸中心で帯状物体の幅測定ができるため
、該帯状物体のパスライン変動に影7!されずに精度良
く幅測定ができる。このため、帯状物体の板厚t!囲が
広い場合、形状不良がある場合、ばたつきが生じた場合
、板継主部で板幅が急変した場合、あるいは蛇行した場
合であっても精度の良い幅測定が可能となる。又、帯状
物体の回縁手段で搬像して幅測定を行っているため、例
えば前記従来の光電センサを用いた技術に比べ、高速ス
キャニングが可能となり、例えば圧延機等高速プロセス
における製品幅の高精度測定が可能となる。 又、同じく、帯状物体と陽像手段や該帯状物体に測定光
を照射する光源との間隔を広く取れるため、該帯状物体
破断等が生じても前記1il1像手段や光源の破に1を
起し難くなる。これにより、装置の信頼性が向上すると
共に、保守点検に要する時開及び経費を削減することが
できる。 なお、本発明は陽像手段の光軸中心を常に帯状物体端部
のエツジ位置に追従させるようにした技術である。これ
に対し、前記従来の特開昭61−148305で示され
た測定装置では、長ざ標tI(扱を用い、エツジ位d検
出装首の?JJ野から板材端部のエツジが外れないよう
にする技術である。従って、問題を解決する手段の構成
が異なるものといえる。
【実施例] 以下、図面を参照して本発明に係る帯状物体の幅測定装
置の実施例を詳細に説明する。 この実/Ii!例は第1図に示されるような構成の幅測
定装置である。この幅測定装置には、帯状物体例えば板
材12に光源8より光が照射されてJ5す、該板材12
はイメージセンサカメラ22A、22Bで藏像される。 該イメージセンサカメラ22A、22Bは一定の視野W
を持つものであり、所定の移動機構28A、28Bで移
動可能とされている。 そして、前記イメージセンサカメラ22A、22Bの位
置ΔL1、ΔL2は位置検出器18で検出される。前記
イメージセンサカメラ22A、22Bで検出した信号出
力は第2の減算器30A、30Bに入力される。該減p
器30A、30Bは、入りされた信号出力を用いて、イ
メージセンサカメラ22A、22Bが常に光軸中心24
・で板材端部14を検出するよう設定器32に設定され
た設定値(本実施例においては視野Wの1/2)との差
をFA mして、前記板材端部14のエツジ位置と光軸
中心間の各ずれΔぶ1、Δ(2を得るものである。 前記移動機構28A、28Bには、1ナーボモータ、あ
るいはパルスモータを駆動手段として用いることができ
る。又、該移動m4’428A、28Bには、前記減算
器30A、30Bの出力信号に基づき駆動信号を出力す
る像幅器34の信号が入力されるようになっている。 なお、この実施例に係る幅測定装置の構成部分のうち前
出第1図〜第4図に示した幅測定a置と共通する部分に
ついては同様の番号を付して詳細な説明は略す。 以下、実施例の作用を説明する。 実施例における幅測定装置の各イメージセンサカメラ2
2A、22Bは、常に視野W側に板材端部14△、14
Bがはいるように設定器32で位置設定されている。こ
の位置設定は初期設定と考えることができる。 そして、前記イメージセンナカメラ22A、22Bの検
出出力から前記設定器32で設定された値(1/2W)
を減0シ、光軸中心24がら板材端部14A、14Bの
エツジ位置までの距離Δ℃1、Δぶ2を算出する。算出
された距離Δ℃1、ΔJ2zの信号を各増幅器34A、
34Bで増幅し、増幅された信号で移動機構28A、2
8Bを駆動し、各イメージセンサカメラ22A、22[
3の光軸中心が板44端部14A、14Bのエツジ位置
と一致するように移動させる。即ち前記距離Δぶ1、Δ
ぶ2が零になるように制御する。但し、この際には系の
ハンチングを防止するため、ヒステリシス特性を付加し
て制御を考慮することも必要となる。 前記の如き操作により、前記各カメラ22A、22Bの
各光軸中心24が各板材端部14A、14Bのエツジ位
置に復帰するまでの間において、板幅測定精度を補償す
るため、前記距離Δ℃1、Δ12を考慮して次式(6)
により板幅B@0出する。この場合の板幅偏差ΔBは先
の(2)式により算出する。 ここで、(6)式中の固定距離Loは、実施例の場合、
各イメージセンサカメラ22A、22Bが移動する際の
基準となる位置検出器18上の原点2OA、2013間
の固定距離である。なお、(6)式中の原点2OA、2
0Bから現在位置までの距離ΔLiについて、実施例に
おいては、位置検出器18の出力信号を用いているが、
前記移動l11M?+ 28 A 、 28 Bにパル
スモータを用いた場合、該パルスモータのパルス数から
前記距離ΔLiを算出することもできる。 次に、本発明を実施した実機装置のイメージセンサカメ
ラ22A、22Bを含む検出部付近の構成例を第2図乃
至第3図に示す。第2図は同装置の正面図であり、第3
図はR】j装Klの側面図である。 本装置は以下のような仕様で構成されている。 即ち、測定対象は冷延鋼板、板幅は800〜1300 
n、板厚は0.2〜1.2mn、パスラインの窃動は垂
直が±3 u、角面が±1°、蛇行Mは±10On、ラ
イン速度ハ2001/m1lIlfa人テある。 又、図において、符号36は各イメージしンリカメラ2
2A、22Bやその補機を保i するためのカバー、3
8は1狛記イメージセンナカメラ22A、22Bからの
入出力信号を伝えるリード線を中継するための、例えば
多数の端子台を右する中継ボックス、40は装置全体を
支えるための架台、42はU礎である。又、符号STは
各イメージセンサカメラ22A、22Bの移動ストロー
クである。 以上のような構成の装置で板幅を測定した、測定板幅の
偏差の例を第4図に示す。図に33いては、オフライン
で±0.2mmの精度が、一方、オンラインでも同様の
結果が得られている。従って従来オフラインで±0.4
11程度の精度であったことを考慮すれば飛躍的に精度
が向上したといえる。 このことからも本発明が有用であるといえる。 なお、前記実施例においては、銀像手段としCイメージ
センサカメラを例示したが、本発明を実fM 7するた
めの陽像手段はこれに限定されず、二[ツジ位置が検出
できる1iLl像手段であれば他の手段、例えばテレビ
カメラ等を用いることが′Cさる。又、帯状物体は、冷
延鋼板に限定されず、他の帯状物体、例えば紙、フィル
ム等を含むことができる。 又、前記実施例においては第1図乃至第3図に示される
ような構成の幅測定装置に本発明を適用した場合につい
て例示したが、本発明の適用範囲はこれに限定されず、
他の幅測定装置に本発明を適用して実施することが可能
でる。 【発明の効果] 以上説明した通り、本発明によれば、常にVA像手段の
光軸中心で幅測定ができるため、帯状物体のパスライン
変動に影V3されずに精度良く該帯状物体の幅が測定で
きる。従って前記帯状物体の厚みの範囲が広い場合、形
状不良がある場合、ばたつきが生じた場合ヤ板継主部で
蛇行が1じた揚台にも精度のよい幅測定が可能となる等
の優れたりJ果が得られる。
【図面の簡単な説明】
第1図は本発明の実施例である幅測定装置の仝体構成を
示す、一部ブロック線図を含む断面図、第2図は本発明
を適用した実機装置のイメージセンサカメラを含む検出
部付近の構成例を承り正面図、第3図は同側面図、第4
図は前記実施例による検出結果の例を示ず線図、第5図
は従来の光′市センサで板幅を検出する幅81q定装首
の構成を示°ヅ、一部ブロック線図を含む断面図、第6
図はイメージセンサカメラを用いる幅測定装置の比較例
を承り、一部ブロック線図を含む断面図、第7図は前記
装置の幅方向端部測定状態の例をホロ2 i”411g
i面図、第8図はイメージセンサカメラを用いる幅測定
装置の他の比較例を示す、一部ブロック線図を含む断面
図である。 8・・・光源、         12・・・板材、1
4A、14B・・・板材の端部、 15・・・基準板幅設定器、 18・・・位置検出器、     19・・・板幅演F
5器、20A、20B・・・原点、 21・・・1lIii算器、 22A、22B・・・イメージセンサカメラ、23・・
・基準板幅設定器、 24・・・光軸中心、 26A、26B・・・パルスモータ、 28A、28B・・・移動機構、 30A、30B・・・第2の減算器、 32・・・設定器、 34A、34B・・・増幅器。

Claims (1)

    【特許請求の範囲】
  1. (1)走行する帯状物体幅方向の各両端部を撮像して、
    該帯状物体幅方向両端のエッジ位置を検出するための2
    台の撮像手段と、 該2台の撮像手段を前記帯状物体の幅方向へ個別に移動
    可能な移動機構と、 前記2台の撮像手段毎の光軸中心位置及び前記検出され
    たエッジ位置間の差を算出する第1の演算器と、 算出差が零になるよう前記撮像手段を移動させるべく、
    前記移動機構を制御する制御手段と、前記2台の撮像手
    段間の距離を検出する手段と、算出された前記光軸中心
    位置及び前記エッジ位置間の差、並びに検出された前記
    撮像手段間の距離に基づき、前記帯状物体の幅を算出す
    る第2の演算器と、を備えたことを特徴とする帯状物体
    の幅測定装置。
JP11730087A 1987-05-14 1987-05-14 帯状物体の幅測定装置 Pending JPS63282607A (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP11730087A JPS63282607A (ja) 1987-05-14 1987-05-14 帯状物体の幅測定装置

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP11730087A JPS63282607A (ja) 1987-05-14 1987-05-14 帯状物体の幅測定装置

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JPS63282607A true JPS63282607A (ja) 1988-11-18

Family

ID=14708339

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP11730087A Pending JPS63282607A (ja) 1987-05-14 1987-05-14 帯状物体の幅測定装置

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JPS63282607A (ja)

Cited By (10)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
EP0483362A1 (en) * 1990-04-26 1992-05-06 Reliance Electric Limited System for measuring length of sheet
JPH04364405A (ja) * 1991-06-11 1992-12-16 Nkk Corp シート寸法測定装置
JPH05332728A (ja) * 1992-05-29 1993-12-14 Kawasaki Steel Corp 帯状材の位置検出装置
KR20000074247A (ko) * 1999-05-19 2000-12-15 이구택 씨씨디 카메라의 기울임을 이용한 피측정체의 폭 측정방법
JP2002188907A (ja) * 2000-10-03 2002-07-05 Nkk Corp 薄板形状制御装置及び鍍金薄板製造方法
KR20040042137A (ko) * 2002-11-13 2004-05-20 한국타이어 주식회사 시트부재의 폭 측정장치
JP2007285867A (ja) * 2006-04-17 2007-11-01 Yokogawa Electric Corp シート端検出装置
TWI614480B (zh) * 2016-12-05 2018-02-11 光學膜幅寬線上測量裝置及測量方法
WO2018150586A1 (ja) * 2017-02-20 2018-08-23 Primetals Technologies Japan株式会社 板エッジ検出装置及び板エッジ検出方法
CN117146714A (zh) * 2023-11-01 2023-12-01 深圳市玻尔智造科技有限公司 分条机幅宽自动量测系统

Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS61155803A (ja) * 1984-12-28 1986-07-15 Toshiba Corp 幅測定装置

Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS61155803A (ja) * 1984-12-28 1986-07-15 Toshiba Corp 幅測定装置

Cited By (13)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
EP0483362A1 (en) * 1990-04-26 1992-05-06 Reliance Electric Limited System for measuring length of sheet
JPH04364405A (ja) * 1991-06-11 1992-12-16 Nkk Corp シート寸法測定装置
JPH05332728A (ja) * 1992-05-29 1993-12-14 Kawasaki Steel Corp 帯状材の位置検出装置
KR20000074247A (ko) * 1999-05-19 2000-12-15 이구택 씨씨디 카메라의 기울임을 이용한 피측정체의 폭 측정방법
JP2002188907A (ja) * 2000-10-03 2002-07-05 Nkk Corp 薄板形状制御装置及び鍍金薄板製造方法
KR20040042137A (ko) * 2002-11-13 2004-05-20 한국타이어 주식회사 시트부재의 폭 측정장치
JP2007285867A (ja) * 2006-04-17 2007-11-01 Yokogawa Electric Corp シート端検出装置
TWI614480B (zh) * 2016-12-05 2018-02-11 光學膜幅寬線上測量裝置及測量方法
WO2018150586A1 (ja) * 2017-02-20 2018-08-23 Primetals Technologies Japan株式会社 板エッジ検出装置及び板エッジ検出方法
CN110337578A (zh) * 2017-02-20 2019-10-15 普锐特冶金技术日本有限公司 板边缘检测装置以及板边缘检测方法
JPWO2018150586A1 (ja) * 2017-02-20 2019-11-21 Primetals Technologies Japan株式会社 板エッジ検出装置及び板エッジ検出方法
US20190370995A1 (en) * 2017-02-20 2019-12-05 Primetals Technologies Japan, Ltd. Strip edge detection device and strip edge detection method
CN117146714A (zh) * 2023-11-01 2023-12-01 深圳市玻尔智造科技有限公司 分条机幅宽自动量测系统

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US9335145B2 (en) Apparatus and method for measuring the thickness of a measurement object
JPS63282607A (ja) 帯状物体の幅測定装置
JPS62293105A (ja) ロ−ル間隙の測定および調整方法および装置
KR102518930B1 (ko) 시트 두께 측정 장치
US5701178A (en) Non-damaging flatness and thickness gauge for glass
US20100236310A1 (en) Edge flatness monitoring
US4139890A (en) Bar gauge plotting and display system
JPS6211105A (ja) 光学的計測法及びその装置
EP0481496B1 (en) Process and apparatus for measuring sizes of steel sections
JPS61254812A (ja) 非磁性体シ−ト厚さ連続測定装置
JP2002257506A (ja) 非接触膜厚測定装置
JP2718754B2 (ja) 基板の検査方法と検査装置
JPH01136009A (ja) 非接触式膜厚測定器
JP2000205829A (ja) 走間材厚み測定方法
JPH0684241A (ja) ガイドローラのフランジ間寸法の測定方法及びその装置
JP2000065535A (ja) 厚さ測定装置および方法
JPS5875005A (ja) 板厚測定方法および装置
JPH05223559A (ja) 導電材表面の膜厚測定装置
JPH06331345A (ja) 帯状体形状測定装置
JP2675662B2 (ja) 自動板厚測定装置
JP2000221089A (ja) 長尺体の張力分布測定装置、長尺体の張力制御装置、及び磁気記録媒体の製造装置
JPH03218404A (ja) 板材の形状測定方法および装置
JPH05265559A (ja) 材料非接触検査装置の位置制御方法
JPH0227230A (ja) 圧延機の板形状検出値補正方法
KR19980041064U (ko) 쌍롤형 박판제조 장치의 롤갭 자동 측정장치