JPS6110708A - 測定用カメラを使用した寸法測定装置 - Google Patents
測定用カメラを使用した寸法測定装置Info
- Publication number
- JPS6110708A JPS6110708A JP13145184A JP13145184A JPS6110708A JP S6110708 A JPS6110708 A JP S6110708A JP 13145184 A JP13145184 A JP 13145184A JP 13145184 A JP13145184 A JP 13145184A JP S6110708 A JPS6110708 A JP S6110708A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- measured
- camera
- distance
- measuring
- width
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
- G01B11/00—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques
- G01B11/02—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring length, width or thickness
- G01B11/022—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring length, width or thickness by means of tv-camera scanning
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
- G01B11/00—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques
- G01B11/02—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring length, width or thickness
- G01B11/04—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring length, width or thickness specially adapted for measuring length or width of objects while moving
- G01B11/046—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring length, width or thickness specially adapted for measuring length or width of objects while moving for measuring width
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〈産業上の利用分野〉
この発明は、たとえばイメージセンサー、ポジションセ
ンサー等の光電変換素子からなるセンサーを内蔵する測
定用カメラを使用して、被測定物の幅や長さ等を非接触
で計測する寸法測定装置に関する。
ンサー等の光電変換素子からなるセンサーを内蔵する測
定用カメラを使用して、被測定物の幅や長さ等を非接触
で計測する寸法測定装置に関する。
〈従来技術〉
従来、この種の寸法測定装置としては第４図に示すよう
なものがある。この寸法測定装置は、図示しない取付台
に固定した測定用カメラ１の下方の視野内を、テーブル
ローラ２により搬送されてくる被測定物３を通過させ、
被測定物３が上記視野内を通過する開に、測定用カメラ
１のイメージセンサ−上にレンズによって被測定物３の
像を結ばせて、上記測定用カメラ１のレンズから光軸方
向一定距離Ｈにある基準線Ｒ上の被測定物３の寸法を検
出し得るようにしている。
なものがある。この寸法測定装置は、図示しない取付台
に固定した測定用カメラ１の下方の視野内を、テーブル
ローラ２により搬送されてくる被測定物３を通過させ、
被測定物３が上記視野内を通過する開に、測定用カメラ
１のイメージセンサ−上にレンズによって被測定物３の
像を結ばせて、上記測定用カメラ１のレンズから光軸方
向一定距離Ｈにある基準線Ｒ上の被測定物３の寸法を検
出し得るようにしている。
ところが、この寸法測定装置では、測定用カメラ１から
被測定物３の表面３ａまでの距離が仮りに設定通りの一
定距離Ｈであれば、検出する寸法すなわち幅は真の幅Ｂ
。となって原理上誤差を生じないが、被測定物３の表面
３ａが第４図に示すように基準線Ｒより、高さｈだけ高
くなったとすると、検出される幅Ｂ、は、 Ｂ 、 ＝ −Ｂ、 ・・・（１）−一 となり、誤差が生じる。従来は、この誤差を小さくする
ために、ｈ／Ｈを小さく、すなわち、一定距離Ｈを大き
くしている。しかし、上記一定距離Ｈを大きくするのは
、光学レンズを使用しているため、レンズの歪やイメー
ジセンサ−の分解能の問題があり、限界がある。
被測定物３の表面３ａまでの距離が仮りに設定通りの一
定距離Ｈであれば、検出する寸法すなわち幅は真の幅Ｂ
。となって原理上誤差を生じないが、被測定物３の表面
３ａが第４図に示すように基準線Ｒより、高さｈだけ高
くなったとすると、検出される幅Ｂ、は、 Ｂ 、 ＝ −Ｂ、 ・・・（１）−一 となり、誤差が生じる。従来は、この誤差を小さくする
ために、ｈ／Ｈを小さく、すなわち、一定距離Ｈを大き
くしている。しかし、上記一定距離Ｈを大きくするのは
、光学レンズを使用しているため、レンズの歪やイメー
ジセンサ−の分解能の問題があり、限界がある。
また、第５図に示す寸法測定装置は、被測定物３の幅Ｂ
。が大きかったり、幅Ｂ０の変動が大きい場合に使用す
るもので、２台の測定用カメラ１゜１のイメージセンサ
−上に測定物３の両端部の像を夫々結像して寸法を測定
するものであるが、原理上、前述の誤差は避けられず、
検出される幅Ｂ１は、第５図において、 となる。
。が大きかったり、幅Ｂ０の変動が大きい場合に使用す
るもので、２台の測定用カメラ１゜１のイメージセンサ
−上に測定物３の両端部の像を夫々結像して寸法を測定
するものであるが、原理上、前述の誤差は避けられず、
検出される幅Ｂ１は、第５図において、 となる。
すなわち、従来の測定用カメラを使用した寸法測定装置
では、測定用カメラと被測定物の表面までの距離が一定
距離であれば、検出された寸法の精度は良いが、その距
離が被測定物の厚さの変動や上下動による変動等により
変化すると精度が悪くなるという欠点がある。
では、測定用カメラと被測定物の表面までの距離が一定
距離であれば、検出された寸法の精度は良いが、その距
離が被測定物の厚さの変動や上下動による変動等により
変化すると精度が悪くなるという欠点がある。
〈発明の目的〉
そこで、この発明の目的は、測定用カメラから被測定物
の表面までの距離が被測定物の厚さの変動等により変化
しても、被測定物の寸法を高精度に検出できる寸法測定
装置を提供することにある。
の表面までの距離が被測定物の厚さの変動等により変化
しても、被測定物の寸法を高精度に検出できる寸法測定
装置を提供することにある。
〈発明の構成〉
上記目的を達成するため、この発明の寸法測定装置は、
被測定物の像をレンズによって内蔵する光電変換素子列
上に結ばせて、上記レンズから一定距離にある基準線上
の上記被測定物の寸法を検出する測定用カメラと、上記
測定用カメラをそのレンズの光軸方向に沿って移動させ
る移動機構と、上記測定用カメラの移動距離を検出する
移動距離検出器と、上記測定用カメラの移動の前後にお
いて、上記測定用カメラから出力される被測定物の寸法
を表わす２つの信号と上記移動距離検出器から出力され
る測定用カメラの移動距離を表わす信号とから被測定物
の真の寸法を算出する演算装置とを備えることを特徴と
する。
被測定物の像をレンズによって内蔵する光電変換素子列
上に結ばせて、上記レンズから一定距離にある基準線上
の上記被測定物の寸法を検出する測定用カメラと、上記
測定用カメラをそのレンズの光軸方向に沿って移動させ
る移動機構と、上記測定用カメラの移動距離を検出する
移動距離検出器と、上記測定用カメラの移動の前後にお
いて、上記測定用カメラから出力される被測定物の寸法
を表わす２つの信号と上記移動距離検出器から出力され
る測定用カメラの移動距離を表わす信号とから被測定物
の真の寸法を算出する演算装置とを備えることを特徴と
する。
〈実施例〉
以下、この発明を図示の実施例により詳細に説明する。
第１図はこの実施例の原理図であり、１は図示しないイ
メージセンサ−を内蔵して上下動可能な測定用カメラ、
２はテーブルローラ、３は被測定物、Ｒは測定用カメラ
１の光軸Ｖと直交する基準線、Ｈは測定用カメラ１と基
準線Ｒとの間の予め定めた一定距離、ｂは被測定物３の
表面３ａの基準線Ｒからの距離、Ｂ、は被測定物３の検
出すべき真の幅であって、上記測定用カメラ１はそのレ
ンズから被測定物３の表面３ａまでの距離が仮に上記一
定距ｊｌｌＨであるとした場合に、イメージセンサ−上
に結ばれた像より、被測定物３の真の幅Ｂ０を検出し得
るようになっている。
メージセンサ−を内蔵して上下動可能な測定用カメラ、
２はテーブルローラ、３は被測定物、Ｒは測定用カメラ
１の光軸Ｖと直交する基準線、Ｈは測定用カメラ１と基
準線Ｒとの間の予め定めた一定距離、ｂは被測定物３の
表面３ａの基準線Ｒからの距離、Ｂ、は被測定物３の検
出すべき真の幅であって、上記測定用カメラ１はそのレ
ンズから被測定物３の表面３ａまでの距離が仮に上記一
定距ｊｌｌＨであるとした場合に、イメージセンサ−上
に結ばれた像より、被測定物３の真の幅Ｂ０を検出し得
るようになっている。
また、Ｂ、は被測定物３の表面３ａが第１図に示すよう
に基準線Ｒからｈの高さにあるとき、すなわち被測定物
３の表面３ａと測定用カメラ１との聞の距離が（Ｈ−ｈ
）のと鰺に測定用カメラ１が検出する被測定物３の見
かけ上の幅、Ｂ２は測定用カメラを破線で示すように距
離Ｈ１だけ下降させたときに測定用カメラ１が検出する
被測定物３の見かけ上の幅である。
に基準線Ｒからｈの高さにあるとき、すなわち被測定物
３の表面３ａと測定用カメラ１との聞の距離が（Ｈ−ｈ
）のと鰺に測定用カメラ１が検出する被測定物３の見
かけ上の幅、Ｂ２は測定用カメラを破線で示すように距
離Ｈ１だけ下降させたときに測定用カメラ１が検出する
被測定物３の見かけ上の幅である。
上記見かけ上の幅Ｂ＋ −８２は前述の（１）式と同様
に、 １−□ Ｈ となる。
に、 １−□ Ｈ となる。
上記（３）、（４）式より、ｈを消去すると、となる。
この（５）式に、見かけ上の幅Ｂ、、Ｂ２および測定用
カメラの昇降距離Ｈ１＋一定距離Ｈを代入すれば、真の
幅Ｂ。が算出できることになる。すなわち、この実施例
の原理は、測定用カメラ１を光軸■方向に移動させて、
２箇所で被測定物３の見かけ上の幅をＢ、、Ｂ２を検出
し、この２つの幅Ｂ、、Ｂ２と測定用カメラ１の昇降距
離Ｈ３とに基づいて、被測定物３の真の幅Ｂ、を算出し
、被測定物３の表面３ａが基準線Ｒの上になくても、被
測定物３の真の幅Ｂ。を正確に検出できるようにしたも
のである。なお、測定用カメラ１が距離Ｈ１だけ移動す
るのであるから、（５）式において、Ｂ、＝８２はあり
えない。
カメラの昇降距離Ｈ１＋一定距離Ｈを代入すれば、真の
幅Ｂ。が算出できることになる。すなわち、この実施例
の原理は、測定用カメラ１を光軸■方向に移動させて、
２箇所で被測定物３の見かけ上の幅をＢ、、Ｂ２を検出
し、この２つの幅Ｂ、、Ｂ２と測定用カメラ１の昇降距
離Ｈ３とに基づいて、被測定物３の真の幅Ｂ、を算出し
、被測定物３の表面３ａが基準線Ｒの上になくても、被
測定物３の真の幅Ｂ。を正確に検出できるようにしたも
のである。なお、測定用カメラ１が距離Ｈ１だけ移動す
るのであるから、（５）式において、Ｂ、＝８２はあり
えない。
第２図は上記実施例の具体的構成を示す図である。
第２図において、２はテーブルローラ、３は被測定物、
１１はテーブルローラ２および被測定物３を跨ぐ門型の
架台、１２は架台１１の水平部に固定した固定台、１４
は固定台１１にガイド軸受１５．１５によって鉛直に支
持されたガイド軸、１７は〃イド軸１４によって鉛直方
向に案内されて自在に昇降できる移動台、１は移動台１
７に固定された測定用カメラであって、上記ガイド軸１
４と移動台１７は測定用カメラ１をそのレンズの光軸■
の方向に沿って移動させる移動機構を構成する。
１１はテーブルローラ２および被測定物３を跨ぐ門型の
架台、１２は架台１１の水平部に固定した固定台、１４
は固定台１１にガイド軸受１５．１５によって鉛直に支
持されたガイド軸、１７は〃イド軸１４によって鉛直方
向に案内されて自在に昇降できる移動台、１は移動台１
７に固定された測定用カメラであって、上記ガイド軸１
４と移動台１７は測定用カメラ１をそのレンズの光軸■
の方向に沿って移動させる移動機構を構成する。
また、２１は固定台１２に固定され、移動台１７を上下
方向に駆動するアクチュエータとしてのエアシリング、
２２は移動台１７に設けたラック、２３は固定台１゛２
に設けられ、測定用カメラ１の移動距離を検出する移動
距離検出器の一例としてのポテンショメータ、２４はラ
ック２２と噛合して、移動台１７の直線運動を回転運動
に変換してボテンシＢメータ２３を動かすギヤー列であ
る。
方向に駆動するアクチュエータとしてのエアシリング、
２２は移動台１７に設けたラック、２３は固定台１゛２
に設けられ、測定用カメラ１の移動距離を検出する移動
距離検出器の一例としてのポテンショメータ、２４はラ
ック２２と噛合して、移動台１７の直線運動を回転運動
に変換してボテンシＢメータ２３を動かすギヤー列であ
る。
また、第３図は第２図に示す装置のブロック図で、１は
測定用カメラ、２３はボテンシタメータ、２６は演算装
置であって、上記演算装置２６は測定用カメラ１から第
１図に示す見かけ上の幅ＢＩＴＢ２を表わす信号をコン
トロールボックス２５を介して受けると共に、ボ争ンシ
タメータ２３から第１図に示す昇降距離Ｈ，を表わす信
号を受けて、前述の（５）式に示す演算処理を行なって
、真の幅Ｂ、を表わす信号を出力するようになっている
。
測定用カメラ、２３はボテンシタメータ、２６は演算装
置であって、上記演算装置２６は測定用カメラ１から第
１図に示す見かけ上の幅ＢＩＴＢ２を表わす信号をコン
トロールボックス２５を介して受けると共に、ボ争ンシ
タメータ２３から第１図に示す昇降距離Ｈ，を表わす信
号を受けて、前述の（５）式に示す演算処理を行なって
、真の幅Ｂ、を表わす信号を出力するようになっている
。
上記構成において、被測定物３がテーブルローラ２によ
り測定用カメラ１の下にくると、まず、第１図に実線で
示す位置で測定用カメラ１が被測定物３の見かけ上の幅
Ｂ１を検出し、次いで、第２図に示すエアシリング２１
を駆動して測定用カメラ１を第１図に示す距離Ｈ，だけ
下降させて、被測定物３の見かけ上の幅Ｂ２を検出し、
かつポテンショメータ２３によって上記下降距離Ｈ１を
検出して、第３図に示す演算装置２６で前記の（５）式
により真の幅Ｂ。を算出する。以下、同様に次々と見か
け上の幅Ｂ、、Ｂ２を検出して真の幅Ｂ。
り測定用カメラ１の下にくると、まず、第１図に実線で
示す位置で測定用カメラ１が被測定物３の見かけ上の幅
Ｂ１を検出し、次いで、第２図に示すエアシリング２１
を駆動して測定用カメラ１を第１図に示す距離Ｈ，だけ
下降させて、被測定物３の見かけ上の幅Ｂ２を検出し、
かつポテンショメータ２３によって上記下降距離Ｈ１を
検出して、第３図に示す演算装置２６で前記の（５）式
により真の幅Ｂ。を算出する。以下、同様に次々と見か
け上の幅Ｂ、、Ｂ２を検出して真の幅Ｂ。
を算出していく。
このようにして、測定用カメラ１を光ＴＩＩＩＶ方向に
移動させて、被測定物３の見かけ上の幅を２度測定して
、（５）式の演算処理を行なうので、被測定物３の表面
３ａが基準線Ｒ上になくても、正確かつ効率的に被測定
物３の幅を測定できる。
移動させて、被測定物３の見かけ上の幅を２度測定して
、（５）式の演算処理を行なうので、被測定物３の表面
３ａが基準線Ｒ上になくても、正確かつ効率的に被測定
物３の幅を測定できる。
上記実施例はミ幅を測定するものであるが、長さ、高さ
も同様に測定できることは言うまでもない。また、光軸
方向に移動する測定用カメラを２台用いて、被測定物の
端部を各測定用カメラで検出するようにしてもよい。
も同様に測定できることは言うまでもない。また、光軸
方向に移動する測定用カメラを２台用いて、被測定物の
端部を各測定用カメラで検出するようにしてもよい。
〈発明の効果〉
以上の説明で明らかなように、この発明によれば、測定
用カメラから被測定物の表面までの距離が変化しても、
被測定物の寸法を高精度に検出でき、かつ効率よく検出
で鰺る。
用カメラから被測定物の表面までの距離が変化しても、
被測定物の寸法を高精度に検出でき、かつ効率よく検出
で鰺る。
第１図はこの発明の実施例の原理図、第２図は上記実施
例の正面図、第３図は上記実施例のブロック図、第４，
５図は従来例の原理図である。 １・・・測定用カメラ、２・・・テーブルローラ、３・
・・被測定物、１４・・・ガイド軸、１７・・・移動台
、２３・・・ポテンショメータ、２６・・・演算装置。 特許出願人 川崎製鉄株式会社はが１名代 理 人 弁
理士 前出 葆はが２名第１ｒｌＡ 第３図 第４図 第５図
例の正面図、第３図は上記実施例のブロック図、第４，
５図は従来例の原理図である。 １・・・測定用カメラ、２・・・テーブルローラ、３・
・・被測定物、１４・・・ガイド軸、１７・・・移動台
、２３・・・ポテンショメータ、２６・・・演算装置。 特許出願人 川崎製鉄株式会社はが１名代 理 人 弁
理士 前出 葆はが２名第１ｒｌＡ 第３図 第４図 第５図
Claims (1)
- （１）被測定物の像をレンズによって内蔵する光電変換
素子列上に結ばせて、上記レンズから一定距離にある基
準線上の上記被測定物の寸法を検出する測定用カメラと
、上記測定用カメラをそのレンズの光軸方向に沿って移
動させる移動機構と、上記測定用カメラの移動距離を検
出する移動距離検出器と、上記測定用カメラの移動の前
後において、上記測定用カメラから出力される被測定物
の寸法を表わす２つの信号と上記移動距離検出器から出
力される測定用カメラの移動距離を表わす信号とから被
測定物の真の寸法を算出する演算装置とを備えることを
特徴とする測定用カメラを使用した寸法測定装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP13145184A JPS6110708A (ja) | 1984-06-25 | 1984-06-25 | 測定用カメラを使用した寸法測定装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP13145184A JPS6110708A (ja) | 1984-06-25 | 1984-06-25 | 測定用カメラを使用した寸法測定装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6110708A true JPS6110708A (ja) | 1986-01-18 |
Family
ID=15058263
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP13145184A Pending JPS6110708A (ja) | 1984-06-25 | 1984-06-25 | 測定用カメラを使用した寸法測定装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6110708A (ja) |
Cited By (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH01109202A (ja) * | 1987-10-22 | 1989-04-26 | Fanuc Ltd | 視差補正付視覚センサ |
| JPH01250225A (ja) * | 1988-03-31 | 1989-10-05 | Fuji Photo Optical Co Ltd | 内視鏡装置 |
| JPH02120909A (ja) * | 1988-10-31 | 1990-05-08 | Mazda Motor Corp | 物体認識装置 |
| KR100360374B1 (ko) * | 2000-08-25 | 2002-11-13 | 재단법인 포항산업과학연구원 | 카메라 이용시 발생하는 측정오차를 보상한 폭 측정장치 |
| JP2009025252A (ja) * | 2007-07-23 | 2009-02-05 | Taisei Corp | テールクリアランス自動計測システムおよびテールクリアランス自動計測方法 |
| CN105783733A (zh) * | 2016-05-06 | 2016-07-20 | 北京信息科技大学 | 摄影测量中长度测量相对误差的绝对评价方法 |
| JP2021104349A (ja) * | 2015-09-03 | 2021-07-26 | ストライカー・コーポレイション | ドリルビット上を摺動するプローブを含む一体形深さゲージを有する、動力外科用ドリル |
-
1984
- 1984-06-25 JP JP13145184A patent/JPS6110708A/ja active Pending
Cited By (9)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH01109202A (ja) * | 1987-10-22 | 1989-04-26 | Fanuc Ltd | 視差補正付視覚センサ |
| JPH01250225A (ja) * | 1988-03-31 | 1989-10-05 | Fuji Photo Optical Co Ltd | 内視鏡装置 |
| JPH02120909A (ja) * | 1988-10-31 | 1990-05-08 | Mazda Motor Corp | 物体認識装置 |
| KR100360374B1 (ko) * | 2000-08-25 | 2002-11-13 | 재단법인 포항산업과학연구원 | 카메라 이용시 발생하는 측정오차를 보상한 폭 측정장치 |
| JP2009025252A (ja) * | 2007-07-23 | 2009-02-05 | Taisei Corp | テールクリアランス自動計測システムおよびテールクリアランス自動計測方法 |
| JP2021104349A (ja) * | 2015-09-03 | 2021-07-26 | ストライカー・コーポレイション | ドリルビット上を摺動するプローブを含む一体形深さゲージを有する、動力外科用ドリル |
| US11812977B2 (en) | 2015-09-03 | 2023-11-14 | Stryker Corporation | Method and system for determining breakthrough depth of a bore formed in bone |
| CN105783733A (zh) * | 2016-05-06 | 2016-07-20 | 北京信息科技大学 | 摄影测量中长度测量相对误差的绝对评价方法 |
| CN105783733B (zh) * | 2016-05-06 | 2018-08-17 | 北京信息科技大学 | 摄影测量中长度测量相对误差的绝对评价方法 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US5714763A (en) | Method and apparatus for optical alignment of a measuring head in an X-Y plane | |
| WO2015113493A1 (zh) | 绝对光栅尺辅助安装和误差补偿方法 | |
| CN110132374B (zh) | 一种自补偿式激光液位测量系统 | |
| JP4970204B2 (ja) | 真直度測定装置、厚み変動測定装置及び直交度測定装置 | |
| US6169571B1 (en) | Film scanning apparatus with motorized weave correction | |
| JPS6110708A (ja) | 測定用カメラを使用した寸法測定装置 | |
| JP2000121324A (ja) | 厚さ測定装置 | |
| US3916528A (en) | Apparatus for compensation of dimensional position changes | |
| CN108709509B (zh) | 轮廓照相机、配套的超大直径回转体工件非接触式测径仪以及非接触式回转体测量方法 | |
| JPS61155803A (ja) | 幅測定装置 | |
| JPH0511561B2 (ja) | ||
| JPS5842904A (ja) | 測長装置 | |
| JP2913903B2 (ja) | 光学的形状測定方法 | |
| JP2596975B2 (ja) | 眼鏡レンズ枠形状測定装置 | |
| JPS6025526Y2 (ja) | 非金属シート状物体の厚み測定装置 | |
| JPH03252516A (ja) | 厚み測定装置 | |
| JP2004093541A (ja) | 幅広シート材の厚さ測定装置 | |
| JP2742060B2 (ja) | 単結晶引上げ装置の直径計測方法及び装置 | |
| JPH0352892B2 (ja) | ||
| JP3202451B2 (ja) | 形鋼の寸法測定装置 | |
| JPH07234122A (ja) | 真直度測定装置 | |
| JP2588597Y2 (ja) | 光学式測長装置 | |
| KR100393673B1 (ko) | 카메라와 엔코더를 이용한 폭 또는 두께 측정장치 | |
| JPH049714A (ja) | 温度補正機構付きリニアスケール | |
| JPS6132324Y2 (ja) |