JP4970204B2 - 真直度測定装置、厚み変動測定装置及び直交度測定装置 - Google Patents
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Description
(2)繋ぎ位置(基準画像更新位置)が等間隔になるようにする。
(3)測定長を短くするか画像更新周期をできるだけ長くし、画像更新回数を減らす。
10…ベース
12…直線移動機構
14…ステージガイド面
20…ステージ
32…変位検出器
70…スケール
72…二次元変位検出器
80…C型フレーム
82…門型フレーム
84…コラム
Claims (8)
- 測定対象との間の相対変位を測定できる変位検出器を直線移動機構に取り付け、変位検出器の測定方向と直交する方向に移動させながら測定対象との相対変位を測定する真直度測定装置において、
直線移動機構の進行方向の移動量と、それに伴って生じる測定対象の真直度方向に変位した直線移動機構の移動量を一括して測定可能な二次元変位検出器を備えたことを特徴とする真直度測定装置。 - 前記直線移動機構が、変位検出器が配設されたステージを、測定対象に対して直線移動させるものであることを特徴とする請求項1に記載の真直度測定装置。
- 前記直線移動機構が、測定対象を、変位検出器に対して直線移動させるものであることを特徴とする請求項1に記載の真直度測定装置。
- 前記二次元変位検出器で得られる測定対象の真直度方向に変化した直線移動機構の変位量を、測定対象との相対変位を測定する変位検出器で得られた結果から差し引くことによって、測定対象の真直度を求めることを特徴とする請求項1乃至3のいずれかに記載の真直度測定装置。
- 前記直線移動機構の移動量を二次元変位検出器で測定する際に、直線移動機構の表面を撮像した画像を用いることを特徴とする請求項1乃至4のいずれかに記載の真直度測定装置。
- 前記二次元変位検出器が、直線移動機構の表面に向けてレーザ光を照射する照明光学系と、直線移動機構の表面にて散乱された光の干渉により生成されるスペックル像を撮像する撮像手段を備え、像が移動する前に撮像した基準スペックル像と、移動中に撮像したスペックル像の変化に基づいて、直線移動機構の進行方向と、これに直交する方向への二次元相対変位量を検出する画像処理部と、測定限界以下の規定量移動した際に、その位置での測定画像を再度基準画像として更新し、更新後の測定値を更新前の測定値に順次加算していく演算手段を有することを特徴とする請求項5に記載の真直度測定装置。
- 測定対象を直線移動させる直線移動機構と、
該直線移動機構により測定対象を直線移動させたときの測定対象の進行方向と、これに直交する厚み方向の変位を検出する二次元変位検出器と、
前記直線移動機構により測定対象を直線移動させたときの測定対象の進行方向と直交する厚み方向の変位を検出する変位検出器と、
該変位検出器の出力から、前記二次元変位検出器で求めた直線移動機構の測定対象厚み方向の運動誤差を差し引くことで、測定対象の厚み変動を求める手段と、
を備えたことを特徴とする厚み変動測定装置。 - 互いに直交する移動座標系に沿って二次元的に移動する機構を有する装置に関して、
二次元変位検出器を移動機構もしくは本体に設置し、各軸に沿って移動機構を移動させることによって求められた移動方向と直交する軸への変位と、二次元変位検出器が持つ基準直交軸とを比較することで、二次元移動機構の直交度を測定することを特徴とする直交度測定装置。
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