JP2009068957A - 真直度測定装置、厚み変動測定装置及び直交度測定装置 - Google Patents
真直度測定装置、厚み変動測定装置及び直交度測定装置 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2009068957A JP2009068957A JP2007236839A JP2007236839A JP2009068957A JP 2009068957 A JP2009068957 A JP 2009068957A JP 2007236839 A JP2007236839 A JP 2007236839A JP 2007236839 A JP2007236839 A JP 2007236839A JP 2009068957 A JP2009068957 A JP 2009068957A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- measurement
- straightness
- displacement detector
- displacement
- linear movement
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Abstract
【解決手段】測定対象8との間の相対変位を測定できる変位検出器32を直線移動機構12に取り付け、変位検出器の測定方向と直交する方向に移動させながら測定対象との相対変位を測定する真直度測定装置において、直線移動機構の進行方向の移動量と、それに伴って生じる測定対象の真直度方向に変位した直線移動機構の移動量を一括して測定可能な二次元変位検出器72を備える。
【選択図】図11
Description
(2)繋ぎ位置(基準画像更新位置)が等間隔になるようにする。
(3)測定長を短くするか画像更新周期をできるだけ長くし、画像更新回数を減らす。
10…ベース
12…直線移動機構
14…ステージガイド面
20…ステージ
32…変位検出器
70…スケール
72…二次元変位検出器
80…C型フレーム
82…門型フレーム
84…コラム
Claims (8)
- 測定対象との間の相対変位を測定できる変位検出器を直線移動機構に取り付け、変位検出器の測定方向と直交する方向に移動させながら測定対象との相対変位を測定する真直度測定装置において、
直線移動機構の進行方向の移動量と、それに伴って生じる測定対象の真直度方向に変位した直線移動機構の移動量を一括して測定可能な二次元変位検出器を備えたことを特徴とする真直度測定装置。 - 前記直線移動機構が、変位検出器が配設されたステージを、測定対象に対して直線移動させるものであることを特徴とする請求項1に記載の真直度測定装置。
- 前記直線移動機構が、測定対象を、変位検出器に対して直線移動させるものであることを特徴とする請求項1に記載の真直度測定装置。
- 前記二次元変位検出器で得られる測定対象の真直度方向に変化した直線移動機構の変位量を、測定対象との相対変位を測定する変位検出器で得られた結果から差し引くことによって、測定対象の真直度を求めることを特徴とする請求項1乃至3のいずれかに記載の真直度測定装置。
- 前記直線移動機構の移動量を二次元変位検出器で測定する際に、直線移動機構の表面を撮像した画像を用いることを特徴とする請求項1乃至4のいずれかに記載の真直度測定装置。
- 前記二次元変位検出器が、直線移動機構の表面に向けてレーザ光を照射する照明光学系と、直線移動機構の表面にて散乱された光の干渉により生成されるスペックル像を撮像する撮像手段を備え、像が移動する前に撮像した基準スペックル像と、移動中に撮像したスペックル像の変化に基づいて、直線移動機構の進行方向と、これに直交する方向への二次元相対変位量を検出する画像処理部と、測定限界以下の規定量移動した際に、その位置での測定画像を再度基準画像として更新し、更新後の測定値を更新前の測定値に順次加算していく演算手段を有することを特徴とする請求項5に記載の真直度測定装置。
- 測定対象を直線移動させる直線移動機構と、
該直線移動機構により測定対象を直線移動させたときの測定対象の進行方向と、これに直交する厚み方向の変位を検出する二次元変位検出器と、
前記直線移動機構により測定対象を直線移動させたときの測定対象の進行方向と直交する厚み方向の変位を検出する変位検出器と、
該変位検出器の出力から、前記二次元変位検出器で求めた直線移動機構の測定対象厚み方向の運動誤差を差し引くことで、測定対象の厚み変動を求める手段と、
を備えたことを特徴とする厚み変動測定装置。 - 互いに直交する移動座標系に沿って二次元的に移動する機構を有する装置に関して、
二次元変位検出器を移動機構もしくは本体に設置し、各軸に沿って移動機構を移動させることによって求められた移動方向と直交する軸への変位と、二次元変位検出器が持つ基準直交軸とを比較することで、二次元移動機構の直交度を測定することを特徴とする直交度測定装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2007236839A JP4970204B2 (ja) | 2007-09-12 | 2007-09-12 | 真直度測定装置、厚み変動測定装置及び直交度測定装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2007236839A JP4970204B2 (ja) | 2007-09-12 | 2007-09-12 | 真直度測定装置、厚み変動測定装置及び直交度測定装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2009068957A true JP2009068957A (ja) | 2009-04-02 |
JP4970204B2 JP4970204B2 (ja) | 2012-07-04 |
Family
ID=40605377
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2007236839A Active JP4970204B2 (ja) | 2007-09-12 | 2007-09-12 | 真直度測定装置、厚み変動測定装置及び直交度測定装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP4970204B2 (ja) |
Cited By (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2011007490A1 (ja) * | 2009-07-14 | 2011-01-20 | 株式会社ミマキエンジニアリング | カッティングプロッタ |
JP2011033451A (ja) * | 2009-07-31 | 2011-02-17 | Mitsubishi Materials Corp | 突出形状測定装置および突出形状測定方法およびプログラム |
KR101102345B1 (ko) | 2009-11-17 | 2012-01-03 | 한전원자력연료 주식회사 | 핵연료 집합체용 지지격자의 외부 진직도 보정장치 |
JP2016080504A (ja) * | 2014-10-16 | 2016-05-16 | 株式会社トプコン | 変位測定方法及び変位測定装置 |
US9418431B2 (en) | 2012-12-19 | 2016-08-16 | Tenaris Connections Limited | Straightness measurements of linear stock material |
CN106403852A (zh) * | 2016-08-31 | 2017-02-15 | 西安曼海特工业技术有限公司 | 一种板形平直度静态测量装置及测量方法 |
CN108709579A (zh) * | 2018-03-29 | 2018-10-26 | 苏州凌创瑞地测控技术有限公司 | 一种用于空间多自由度准直的测试平台 |
JP7346489B2 (ja) | 2021-04-27 | 2023-09-19 | キヤノン株式会社 | 変位計、コンピュータプログラム、製造システム、及び物品の製造方法 |
Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2000337858A (ja) * | 1999-03-23 | 2000-12-08 | Yamabun Denki:Kk | シート厚み又はうねり計測方法及び装置 |
JP2002013948A (ja) * | 2000-06-01 | 2002-01-18 | Mitsutoyo Corp | スペックル画像相関位置トランスデューサ |
WO2006050229A2 (en) * | 2004-10-29 | 2006-05-11 | Silicon Light Machines Corporation | Two-dimensional motion sensor |
JP2006300763A (ja) * | 2005-04-21 | 2006-11-02 | Mitsutoyo Corp | 変位検出装置 |
-
2007
- 2007-09-12 JP JP2007236839A patent/JP4970204B2/ja active Active
Patent Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2000337858A (ja) * | 1999-03-23 | 2000-12-08 | Yamabun Denki:Kk | シート厚み又はうねり計測方法及び装置 |
JP2002013948A (ja) * | 2000-06-01 | 2002-01-18 | Mitsutoyo Corp | スペックル画像相関位置トランスデューサ |
WO2006050229A2 (en) * | 2004-10-29 | 2006-05-11 | Silicon Light Machines Corporation | Two-dimensional motion sensor |
JP2006300763A (ja) * | 2005-04-21 | 2006-11-02 | Mitsutoyo Corp | 変位検出装置 |
Cited By (14)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN102497956B (zh) * | 2009-07-14 | 2014-07-23 | 株式会社御牧工程 | 切绘机 |
JP2011020202A (ja) * | 2009-07-14 | 2011-02-03 | Mimaki Engineering Co Ltd | カッティングプロッタ |
WO2011007490A1 (ja) * | 2009-07-14 | 2011-01-20 | 株式会社ミマキエンジニアリング | カッティングプロッタ |
CN102497956A (zh) * | 2009-07-14 | 2012-06-13 | 株式会社御牧工程 | 切绘机 |
US8757941B2 (en) | 2009-07-14 | 2014-06-24 | Mimaki Engineering Co., Ltd. | Cutting plotter |
JP2011033451A (ja) * | 2009-07-31 | 2011-02-17 | Mitsubishi Materials Corp | 突出形状測定装置および突出形状測定方法およびプログラム |
KR101102345B1 (ko) | 2009-11-17 | 2012-01-03 | 한전원자력연료 주식회사 | 핵연료 집합체용 지지격자의 외부 진직도 보정장치 |
US9418431B2 (en) | 2012-12-19 | 2016-08-16 | Tenaris Connections Limited | Straightness measurements of linear stock material |
JP2016080504A (ja) * | 2014-10-16 | 2016-05-16 | 株式会社トプコン | 変位測定方法及び変位測定装置 |
CN106403852A (zh) * | 2016-08-31 | 2017-02-15 | 西安曼海特工业技术有限公司 | 一种板形平直度静态测量装置及测量方法 |
CN108709579A (zh) * | 2018-03-29 | 2018-10-26 | 苏州凌创瑞地测控技术有限公司 | 一种用于空间多自由度准直的测试平台 |
CN108709579B (zh) * | 2018-03-29 | 2024-04-09 | 苏州瑞地测控技术有限公司 | 一种用于空间多自由度准直的测试平台 |
JP7346489B2 (ja) | 2021-04-27 | 2023-09-19 | キヤノン株式会社 | 変位計、コンピュータプログラム、製造システム、及び物品の製造方法 |
US11900591B2 (en) | 2021-04-27 | 2024-02-13 | Canon Kabushiki Kaisha | Displacement meter, storage medium, manufacturing system, and method for manufacturing articles |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP4970204B2 (ja) | 2012-07-04 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP4970204B2 (ja) | 真直度測定装置、厚み変動測定装置及び直交度測定装置 | |
JP3511450B2 (ja) | 光学式測定装置の位置校正方法 | |
US8353628B1 (en) | Method and system for tomographic projection correction | |
US7877227B2 (en) | Surface measurement instrument | |
US9627173B2 (en) | Stage device and charged particle beam apparatus using the stage device | |
CN109341546A (zh) | 一种点激光位移传感器在任意安装位姿下的光束标定方法 | |
EP0419642A1 (en) | Moire distance measurement method and apparatus | |
TWI609171B (zh) | Shape measuring device, processing device, and shape measuring device calibration method | |
US6739751B2 (en) | X-ray system alignment method and apparatus | |
JP2000121324A (ja) | 厚さ測定装置 | |
JP2007263818A (ja) | 厚さ計測装置の調整方法及びその装置 | |
JP2007333556A (ja) | 逐次多点式真直度測定法および測定装置 | |
JP5158791B2 (ja) | 測定装置 | |
JP2003035517A (ja) | 2次元レーザ変位センサによるリードピンピッチ・平面度検査装置 | |
JP6203502B2 (ja) | 加工品に対して加工工具を位置決めするための構造および方法 | |
JP5290038B2 (ja) | 測定装置及び測定方法 | |
CN108709509B (zh) | 轮廓照相机、配套的超大直径回转体工件非接触式测径仪以及非接触式回转体测量方法 | |
Clark et al. | Measuring range using a triangulation sensor with variable geometry | |
JPH024843B2 (ja) | ||
JP4545580B2 (ja) | 面内方向変位計 | |
CN105841636A (zh) | 基于直线运动部件误差补偿的光轴与物面垂直度检测方法 | |
JP2009041983A (ja) | 多点プローブの零点誤差の変動検出方法 | |
JP5141103B2 (ja) | 非接触三次元形状測定機 | |
Terlau et al. | In-process tool deflection measurement in incremental sheet metal forming | |
JP2020180916A (ja) | 光学式変位計 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20100802 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20120312 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20120327 |
|
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20120404 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20150413 Year of fee payment: 3 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 4970204 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |