JP3048107B2 - 物体の寸法の計測方法及び装置 - Google Patents

物体の寸法の計測方法及び装置

Info

Publication number
JP3048107B2
JP3048107B2 JP6072723A JP7272394A JP3048107B2 JP 3048107 B2 JP3048107 B2 JP 3048107B2 JP 6072723 A JP6072723 A JP 6072723A JP 7272394 A JP7272394 A JP 7272394A JP 3048107 B2 JP3048107 B2 JP 3048107B2
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
measured
area
light beam
imaging
reference object
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Expired - Fee Related
Application number
JP6072723A
Other languages
English (en)
Other versions
JPH07260429A (ja
Inventor
俊郎 松原
秀行 濱村
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Nippon Steel Corp
Original Assignee
Nippon Steel Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Nippon Steel Corp filed Critical Nippon Steel Corp
Priority to JP6072723A priority Critical patent/JP3048107B2/ja
Publication of JPH07260429A publication Critical patent/JPH07260429A/ja
Application granted granted Critical
Publication of JP3048107B2 publication Critical patent/JP3048107B2/ja
Anticipated expiration legal-status Critical
Expired - Fee Related legal-status Critical Current

Links

Landscapes

  • Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
  • Measurement Of Optical Distance (AREA)

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、工業製品などの物体の
厚みや幅などの寸法や、曲がりなどの変形量などを高精
度で計測する物体の寸法の計測方法及び装置に関するも
のである。
【0002】
【従来の技術】従来、物体の寸法や曲がりを計測するに
は、例えばレーザ距離計のような距離計で所定位置から
物体までの距離を複数箇所について計測し、これらの距
離データを組み合わせて所望の寸法や曲がりを計測する
ことが行われている。例えば、図6に示す例では、被計
測物体Uの厚みを計測するために被計測物体Uを挟んで
上下にレーザ距離計30a,30bがCフレーム31により
保持されており、それぞれのレーザ距離計の距離計測値
から計測物体4の厚みが計測される。
【0003】また、図7は物体の曲がり計測装置の例
で、複数のレーザ距離計40c〜40gが支持アーム41に
設置されており、それぞれのレーザ距離計で図った被計
測物体Uまでの距離の組合せによって、物体の曲がりが
計測される。実際には校正用のサンプルとして厚みが既
知のものや、曲がりのないものを予め計測しておき、校
正時との差をもとにして対象物の厚みや曲がりを求める
ことが行われる。
【0004】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記従
来の技術では以下に述べるような問題があった。まず、
第一の問題点は、各レーザ距離計がそれぞれに固有の計
測誤差をもっているため、複数のレーザ距離計の計測値
を組み合わせると、それぞれの計測誤差が組み合わされ
てしまい、計測精度が悪くなるという点である。これ
は、レーザ距離計の光学系の温度変化等による歪や電子
回路のドリフトがそれぞれの距離計で独立に生じること
に起因する。
【0005】従来技術の第二の問題点は、各レーザ距離
計の相互の位置変動がそのまま計測誤差になるという点
である。被計測物体が小さい場合は、Cフレームや支持
アームの大きさも小さくなるため、それほど相互位置の
変化は生じないが、被計測物体が大きい場合は、Cフレ
ームや支持アームも大きくなるため、温度変化による変
形が大きくなり、無視できない程度に大きなレーザ距離
計相互の位置変動が生じる。
【0006】上記第一の問題及び第二の問題は、特に熱
間計測の場合には影響が大きい。生産ライン休止後の立
ち上げ時には、計測装置周囲の温度が上昇するまでに時
間がかかるばかりでなく、その後も通過する被計測物体
から受ける熱量が、被計測物体の温度、大きさ、通過時
間、通過ピッチ等により変化するため、計測器機の温度
ドリフトや温度変化による変形量が一定の値に安定しな
いからである。そのため、大がかりな自動校正機構を設
置して校正を頻繁に行うなどの対策を講じているが、そ
れでも十分な計測精度を確保することは難しいのが現状
である。
【0007】
【課題を解決するための手段】上記課題を解決するため
の本発明に係わる物体の寸法の計測方法は、投影方向に
関する情報を含む光束を互いに近接して配置された被計
測物体と寸法既知の基準物体とに投影し、前記被計測物
体と前記基準物体の形状に応じて変形された光束を撮影
するエリア3次元センサーを複数配置し、各エリア3次
元センサーで撮影された光束の像と三角測量の原理とを
用いて被計測物体上と基準物体上の各部の位置を算定
し、この算定した各部の位置から各部間の距離を計測
し、この算定した各部間の距離と基準物体の既知の寸法
とに基づき被計測物体の寸法を算定するように構成され
ている。
【0008】
【作用】本発明の作用を図4を参照しながら説明する。
図4(A)において11,12はエリア3次元センサ
ー、13は演算装置である。また、Uは幅を計測しよう
とする被計測物体、Kは幅が既知の基準物体である。被
計測物体Uと基準物体Kとは、図4(A)のBーB’断
面図である図4(B)に示すように、共に矩形状の断面
を有すると共に、互いに多少の間隙を置いて上下に配置
されている。一方のエリア3次元センサー11は投影装
置11aと撮像装置11bの対から構成されており、他
方のエリア3次元センサー12も同様に投影装置12a
と撮像装置12bの対から構成されている。エリア3次
元センサー11の投影装置11aからは、被計測物体U
と基準物体Kとに投影方向に関する情報を含む光束(例
えば縞の太さに特徴を付けた明暗の縞パターンとする)
が投影される。被計測物体Uと基準物体K上に投影され
た縞パターンは、両物体の表面の形状に応じて変形され
る。
【0009】この変形された縞パターンが撮像装置11
bによって撮像され、画像情報が演算装置13によって
処理される。同様に、エリア3次元センサー12の投影
装置12aからも被計測物体Uと基準物体K上に縞パタ
ーンが投影され、両物体の表面形状に応じて変形された
縞パターンが撮像装置12bで撮像され、画像情報が演
算装置13で処理される。演算装置13において、三角
測量の原理により被計測物体Uと基準物体K上の各点の
位置が算定される。すなわち、各エリア3次元センサー
において、投影装置と撮像装置のレンズ中心を結ぶ線分
が既知の長さの基線として設定され、被計測物体U上と
基準物体K上の各点から投影装置と撮像装置のレンズ中
心のそれぞれを見込む角度が算定される。前者の角度
は、投影される縞パターンの縞の次数を識別することに
よって算定される。また、後者の角度は、撮像装置内の
各点の結像位置から算定される。
【0010】算定された各物体上の各点の位置、あるい
は各点を連結することによって得た直線や曲線の位置、
さらにはこれらの直線や曲線を含むように発生させた面
の位置が算定される。次に、算定された各点、各線、各
面の位置どうしの減算により、被計測物体U上と基準物
体K上の各点、各線、各面間の距離が算定される。図4
の例では、被計測物体Uの一方の側の垂直端面と基準物
体Kの一方の側の垂直端面との距離h1 が3次元センサ
ー11と演算装置13とを用いて計測される。また、被
計測物体Uの他方の側の垂直端面と基準物体Kの他方の
側の垂直端面との距離h2 が3次元センサー12と演算
装置13とを用いて計測される。被計測物体Uの幅W
は、基準物体Kの幅は既知の値Woに上記計測値h1
2 とを加算した値として計測される。
【0011】個々のエリア3次元センサーについては、
光学系やセンサー素子、電子回路などの特性の変動、あ
るいは個々のエリア3次元センサーと被計測物体間の距
離の変動などに起因して、被計測物体上の各点の位置や
距離の計測値に対して同程度の大きさの誤差が発生す
る。しかしながら、各点の位置の計測値に誤差が生じて
も、これらの計測値の減算によって算定される寸法につ
いては、上記減算時に同程度の誤差が相殺されるため、
計測精度は相当改善される。しかも、計測した各点の位
置からこれらを結ぶ直線の位置を求めたり、あるいは直
線によって囲まれる面を求めたりすることは、平均化な
どの統計的処理を伴うので、計測精度が更に改善され
る。このようなことは、一点の計測しか行えないレーザ
距離計のようなものでは実現できないことは明らかであ
る。
【0012】
【実施例】図1(a)、(b)は、本発明の一実施例の
計測方法を適用する計測装置の構成を示す概略図であ
る。1、2はエリア3次元センサー、3は演算装置であ
る。Uは長尺の被計測物体、Kは寸法が既知の基準物体
である。エリア3次元センサー1は、被計測物体Uと基
準物体Kとに太さによって特徴付けられた明暗の縞パタ
ーンを投影する投影装置1aと、上記各物体に投影され
た縞パターンを撮像する撮像装置1bとから構成されて
いる。エリア3次元センサー2も同様に、被計測物体U
と基準物体Kとに太さによって特徴付けられた明暗の縞
パターンを投影する投影装置2aと、上記各物体に投影
された縞パターンを撮像する撮像装置2bとから構成さ
れている。
【0013】投影装置1a,2aとしては、スライドプ
ロジェクターなどを用いることができる。また、各物体
に投影された縞パターンを撮像する撮像装置2a,2b
としては、テレビカメラなどを用いることができる。演
算装置3は、撮像装置1bと2bとによって撮像された
縞パターン画像のそれぞれについて縞の次数を決定しな
がら各物体の両側の3次元形状を計算する。被計測物体
Uは、適宜な搬送手段によってその長さ方向(図中のX
方向)に搬送される。この実施例では、搬送手段として
搬送ロール4が例示されている。図1(a)は上方から
見た状態を、図1(b)は搬送方向(x方向)から見た
状態をそれぞれ示している。
【0014】本実施例は、長さ方向にほぼ同一の断面形
状を有しておりかつほぼ直線状を呈する被計測物体Uと
基準物体Kとを計測対象とする場合に特に適した計測方
法である。すなわち、エリア3次元センサー1について
は、投影装置1aと撮像装置1bとは両者のレンズ中心
を結ぶ直線m3 がx方向に平行であり、かつ撮像装置1
bの光軸がx方向に直交するように配置される。同様
に、エリア3次元センサー2についても、投影装置2a
と撮像装置2bとは両者のレンズ中心を結ぶ直線m3
がx方向に平行であり、かつ撮像装置2bの光軸m1
x方向に直交するように配置される。被計測物体Uが撮
像エリア内に搬送されてきたことが図示しない物体検知
センサによって検出されると、搬送ロールにより搬送が
停止され、撮像が開始される。
【0015】図2(A)は撮像装置1bによって撮像さ
れた画像の様子を示したもので、撮像装置1bの走査線
の方向はx方向に設定されている。本実施例では、縞パ
ターンのうち一本の縞だけが太く特徴づけられている。
即ち、5が太い縞の画像であって、他は細い縞の画像6
となっている。このように、縞パターンの縞の太さに特
徴をつけると共に、投影装置、撮像装置、被計測物体の
三者を上述した特別な幾何学的位置関係に配置すること
により、撮像された画像内で縞の太さが被計測物体Uや
基準物体Kの断面形状や位置変動の影響を受けずに保た
れ、したがって縞の次数を容易かつ確実に決定できる。
まず、この点について、エリア3次元センサー1の場合
を例にとって図3を参照しながら詳しく説明する。
【0016】図3において、Pは投影装置1aのレンズ
中心、Qは撮像装置1bのレンズ中心、m1 は撮像装置
1bの光軸、m3 はレンズ中心P,Qを通る直線であ
る。撮像装置1aの撮像面は、直線m1 に垂直にレンズ
中心Qから L0 の距離に形成されており、直線m2 は撮
像面と紙面との交線である。いま、図3(a)に例示す
るように、紙面上で被計測物体Uや基準物体Kの長さ方
向の直線、すなわち直線m3 に平行な2本の直線を想定
し、それぞれを直線m4 ,直線m5 とする。また、直線
3 と直線m4 との距離を L1 とし、直線m3 と直線m
5 との距離をL 2とする。投影装置のレンズ中心Pから
投影される縞パターンを構成する多数の光の帯の一つ7
aに着目し、この光の帯7aの明暗の境界が直線m4,直
線m5 と交わる点をそれぞれ点A,B及びC,Dとす
る。各点A,B,C,Dは、テレビカメラのレンズによ
ってそれぞれ直線m2 上の各点A’,B’,C’,D’
に結像される。
【0017】簡単な幾何学から明らかなように、 CD=AB・( L2 / L1 ) となる。ただし、表記CDは点Cと点Dを結ぶ線分の長
さを意味している。ABについても同様である。したが
って、 C’D’=CD・( L0 / L2 ) =AB・( L2 / L1 )・( L0 / L2 ) =AB・( L0 / L1 ) =A’B’ ・・・(1) となる。すなわち、直線m3 に平行な直線に投影された
ある光の帯を撮像した時、画像上での光の帯はこの直線
の高さが変わっても常に一定の長さに観察されることが
分かる。
【0018】次に、図3(b)に例示するように、二つ
の光の帯 7b,7 cに着目する。直線m3 から L3 の距
離にありしかも直線m3 に平行な直線m6 が、それぞれ
の光の帯の明暗境界と交わる各点を点E,F,G,Hと
し、これらの点は直線m2 上の点E’,F’,G’,
H’に結像されるものとする。 E’F’=EF・( L0 / L3 ) F’G’=FG・( L0 / L3 ) G’H’=GH・( L0 / L3 ) であるから、 E’F’:F’G’:G’H’=EF:FG:GH ・・・(2) となる。すなわち、被計測物体の長さ方向に平行な任意
の直線上の光の明暗の間隔は撮像された画像上で相似に
保たれること、換言すれば、被計測物体Uと基準物体K
とに投影された太い縞は撮像された画像上でも太い縞と
して観測されることが分かる。
【0019】以上、観察対象である直線が図3の紙面上
に存在する場合を例にとって、図3(a),図3(b)
を用いて説明した。しかしながら、容易に判明するよう
に、観察対象の直線が紙面上に存在しない場合、すなわ
ち紙面から任意の距離離れた位置に存在する場合であっ
ても、それらの直線が直線m3 に平行である限り、上記
(1)式と(2)式が成立する。要するに、直線m3
平行な直線に縞パターンを投影した場合、直線の位置が
変化しても撮像された画像上では明暗の位置は変化する
ものの明暗の各部の長さ(縞の幅)は常に一定で、かつ
明暗の相互の長さ(縞の幅)の相対関係も常に一定に保
たれることになる。
【0020】断面形状が一定でほぼ真直な物体を対象に
する場合は、本実施例のように直線m3 を物体の長さ方
向と同一の方向に設定すれば、被計測物体の表面は直線
3にほぼ平行な多数の直線の集まりと考えることがで
きることから、被計測物体Uや基準物体K上に投影され
た縞パターンを撮像した画像は、縞の位置が変化するも
のの、個々の縞の幅と縞相互の幅の関係(太い、細いの
関係)は一定に保たれ、この結果縞の次数の識別が容易
かつ確実になる。
【0021】次に、図3(b)を参照すれば、直線m6
上の各点E,F,G,Hの位置は、三角測量によって計
測される。すなわち、レンズ中心P,Qの間隔を一定に
保った状態で、計測対象の各点E,F,G,Hから2点
P,Qのそれぞれを見た方向が計測される。まず、各点
E,F,G,Hから見た点Qの方向は、撮像面上の対応
の各結像点E’,F’,G’,H’から見た点Qの方向
に等しい。従って、計測対象の各点E,F,G,Hから
見た点Qの方向は、撮像面上の各結像点E’,F’,
G’,H’のそれぞれと既知のレンズ中心Q点との位置
関係から容易に判明する。また、計測対象の各点E,
F,G,Hから見た点Pの方向は、各点が投影された何
番目の縞上に存在するかによって判明する。このよう
に、縞の次数の識別を含む三角測量により、被計測物体
上の各点の位置を容易に計測することができる。
【0022】演算装置3は、各物体上の各点の位置を減
算することによって被計測物体Uと基準物体Kとが複合
された物体の3次元形状を計算できる。被計測物体Uの
搬送に伴い長さ方向の向きが変化することも考えられる
が、被計測物体Uが長尺体であればそのような方向の変
化量はわずかであり、縞の太さへの影響は小さく、縞の
次数決定に悪影響を及ぼすことはない。また、撮像装置
での一回の撮像画像だけで計測が可能である。従って、
場合によっては、本実施例のように被計測物体の搬送を
計測のためにわざわざ停止させることなく、撮像装置に
高速シャッター機能を持たせることによりかなり高速の
搬送状態のもとでも計測することが可能である。
【0023】演算装置3は、上述のようにして得た3次
元形状データに最も良く当てはまるように既知の面(こ
の例では水平面や垂直面)を当てはめ、各面の相互の位
置関係をもとにして物体の寸法を求める。すなわち、図
2(B)に示すように、被計測物体Uと基準物体Kの一
方の側を構成している各面のうちエリア3次元センサー
1を用いて計測された4個の面a,b,c,dのそれぞ
れは、図2(A)に示した縞パターン画像上の4個の面
a,b,c,dに対応する。被計測物体Uと基準物体K
の形状は予め判明しているので、演算によって得られた
3次元形状データに最も良く当てはまるように4個の平
面をあてはめることができる。同様に、被計測物体Uと
基準物体Kの他方の側を構成している4個の面d,e,
f,gがエリア3次元センサー2によって検出され、予
め判明している4個の面が当てはめられる。
【0024】図2(B)中の8a,8c,8e,8g
は、被検出物体Uと基準物体Kの両側の鉛直面a,c,
e,gのそれぞれに当てはめられた鉛直面である。この
ように最も良く適合する鉛直面が決定されると、面8a
と8cの距離から面bの幅である寸法w1 が算定され、
面8eと8gとの距離から面cの幅である寸法w2 が算
定される。
【0025】図5は、被計測物体Uの曲りを計測する一
実施例である。図1と同一の構成の4個のエリア3次元
センサー(図示せず)が、それぞれの計測エリア9a〜
9dを被計測物体Uと基準物体Kの両方にわたるように
した状態でかつ被計測物体Uの長さ方向に間隔を置いて
配置されている。基準物体Kの上面は曲がりのない真っ
直ぐな平面になっている。各エリア3次元センサーは、
基準物体Kの上面と被計測物体Uの上面との段差を正確
に計測するので、基準物体Kの曲がりのない面を基準に
した被計測物体Uの曲がりが正確に求められる。
【0026】なお、上記本実施例では、縞の次数の特徴
として一本の縞だけを太くしたが、必ずしもこのような
特徴づけだけに限定されるものではなく、数種類の太さ
の縞を組み合わせるようなことをしても勿論良い。
【0027】また、投影と撮像の回数と処理時間を短縮
するためU 、投影方向に関する情報を含む光束として
太さによって特徴付けられた縞パターンを用いる実施例
を説明した。しかしながら、投影と撮像の回数と処理時
間との増加が許容できるような場合には、投影方向に関
する情報を含む光束としては、次のような各種の異なる
構成を採用することができる。
【0028】各エリア3次元センサーが、光切断法にお
いて知られているスリット状の光束を1回の計測に際し
被計測物体と基準物体の異なる箇所に複数回に分けて投
影し物体の形状に応じて変形されたスリット状の光束を
撮像し、三角測量法に基づき寸法を計測する構成。
【0029】各エリア3次元センサーが、白色光をプリ
ズムを通して投影することなどにより、投影方向に波長
が変化する光束を1回の計測に際し1回だけ投影し、被
計測物体と基準物体の形状に応じて変形されたカラー画
像をカラー撮像装置で撮像し三角測量に基づき寸法を計
測する構成。
【0030】符号化帯状照明法において知られているよ
うに、1回の計測に際し異なる2次元パターンの光束を
複数回に分けて被計測物体と基準物体の同一の領域に投
影しかつその変形された二次元パターンを撮像し、三角
測量の原理を利用して形状と寸法を計測する構成。
【0031】
【発明の効果】以上詳細に説明したように、本発明の計
測方法及び装置によれば、センサーのドリフトやセンサ
ー相互の位置関係の変動の影響を受けなることなく高精
度の寸法の計測が可能となる。特に、温度変化の激しい
熱間計測では、複雑で高価な自動校正装置が不要となる
上に計測精度が大幅に向上し、その効果は多大である。
【0032】さらに、本発明の計測方法及び装置によれ
ば、エリアとして距離分布を計測するので、計測物体の
姿勢や向きの変化も把握でき、レーザ距離計で計測する
場合に生じる計測物体の傾きによる計測誤差も同時に除
去することもできる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の一実施例の計測方法を適用する計測装
置の構成を示す概略図である。
【図2】上記実施例のエリア3次元センサー1において
投影され撮像された縞パターンの一例(A)と三角測量
によって計測される形状の一例(B)を示す概念図であ
る。
【図3】上記実施例の作用を説明するための概念図であ
る。
【図4】本発明の作用を説明するための図である。
【図5】本発明の他の実施例の計測方法を適用する計測
装置の構成を示す概略図である。
【図6】従来の計測装置の一例を示す説明図である。
【図7】従来の計測装置の他の一例を示す説明図であ
る。
【符号の説明】
1,2,11,12 エリア3次元センサー 3,13 演算装置 1a,2a,11a,12a 投影装置 1b,2b,11b,12b 撮像装置 U 被計測物体 K 寸法既知の基準物体 9a〜9b エリア3次元センサーの計測エリア
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (58)調査した分野(Int.Cl.7,DB名) G01B 11/00 - 11/30 G01C 3/06

Claims (2)

    (57)【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】投影方向に関する情報を含む光束を互いに
    近接して配置された被計測物体と寸法既知の基準物体と
    に投影装置を用いて投影し、前記物体の形状に応じて変
    形された光束を撮像装置を用いて撮像するエリア3次元
    センサーを複数配置し、 前記各エリア3次元センサーで撮像された光束の像と三
    角測量の原理とを用いて前記被計測物体上と前記基準物
    体上の各部の位置を算定し、 この算定した各部の位置から各部間の距離を計測し、 この算定した各部間の距離と前記基準物体の既知の寸法
    とに基づき前記被計測物体の寸法を算定する物体の寸法
    の計測方法であって、 前記各エリア3次元センサーの投影装置が投影する光束
    は、波長の変化を前記投影方向に関する情報とし、かつ
    この投影された光束は1回の計測に際し1回だけ撮像さ
    れるものであることを特徴とする物体の寸法の計測方
    法。
  2. 【請求項2】互いに近接して配置された被計測物体と寸
    法既知の基準物体の周辺に複数配置されるエリア3次元
    センサーであって、それぞれが投影方向に関する情報を
    含む光束を前記各物体に投影する投影装置と前記各物体
    に投影されその形状に応じて変形された光束を撮像する
    撮像装置とを備えたものと、 前記各エリア3次元センサーの撮像装置で撮像された光
    束の像と三角測量の原理とを用いて前記被計測物体上と
    前記基準物体上の各部の位置を算定する手段と、 この算定した各部の位置から各部間の距離を計測する手
    段と、 この算定した各部間の距離と前記基準物体の既知の寸法
    とに基づき前記被計測物体の寸法を算定する手段とを備
    えた物体の寸法の計測装置であって、 前記各エリア3次元センサーは、波長の変化を前記投影
    方向に関する情報とする光束を投影しかつ1回の計測に
    際し1回だけ撮像することを特徴とする物体の寸法の計
    測装置。
JP6072723A 1994-03-17 1994-03-17 物体の寸法の計測方法及び装置 Expired - Fee Related JP3048107B2 (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP6072723A JP3048107B2 (ja) 1994-03-17 1994-03-17 物体の寸法の計測方法及び装置

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP6072723A JP3048107B2 (ja) 1994-03-17 1994-03-17 物体の寸法の計測方法及び装置

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JPH07260429A JPH07260429A (ja) 1995-10-13
JP3048107B2 true JP3048107B2 (ja) 2000-06-05

Family

ID=13497568

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP6072723A Expired - Fee Related JP3048107B2 (ja) 1994-03-17 1994-03-17 物体の寸法の計測方法及び装置

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP3048107B2 (ja)

Families Citing this family (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP4846896B2 (ja) * 2000-09-04 2011-12-28 積水化学工業株式会社 長尺材の曲り検査装置
DE60236019D1 (de) * 2001-12-28 2010-05-27 Mariner Acquisition Co Llc Stereoskopisches dreidimensionales metrologiesystem und -verfahren
JP5122729B2 (ja) * 2005-04-26 2013-01-16 照明 與語 3次元形状測定方法
JP5334861B2 (ja) * 2006-12-15 2013-11-06 フラウンホッファー−ゲゼルシャフト ツァ フェルダールング デァ アンゲヴァンテン フォアシュンク エー.ファオ 厚さ測定のための方法及び装置
JP6026252B2 (ja) * 2012-11-30 2016-11-16 株式会社東芝 物体測定装置、及び物体測定方法
CN108226946A (zh) * 2018-01-23 2018-06-29 中国航空工业集团公司洛阳电光设备研究所 激光测距机及其信号单元底座

Also Published As

Publication number Publication date
JPH07260429A (ja) 1995-10-13

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP3728900B2 (ja) キャリブレーション方法及び装置、並びにキャリブレーション用データ生成方法
US8792707B2 (en) Phase analysis measurement apparatus and method
JP6209833B2 (ja) 検査用具、検査方法、ステレオカメラの生産方法及びシステム
US20030123707A1 (en) Imaging-based distance measurement and three-dimensional profiling system
KR20120087680A (ko) 광삼각법을 이용한 3차원 형상 측정기를 사용하여 pcb 범프 높이 측정 방법
JP4970204B2 (ja) 真直度測定装置、厚み変動測定装置及び直交度測定装置
JP2000121324A (ja) 厚さ測定装置
JP6645140B2 (ja) 画像のキャリブレーション装置及びキャリブレーション方法
JP3048107B2 (ja) 物体の寸法の計測方法及び装置
JPH08327329A (ja) H形鋼の断面寸法測定方法および装置
KR100501397B1 (ko) 3차원형상 측정장치
JP2009109355A (ja) 距離測定装置及びその方法、距離測定装置を用いた厚さ測定装置
JP3040845B2 (ja) アライメントマーク
JP2795790B2 (ja) 3次元計測装置のセンサ座標補正方法
JPH09329425A (ja) 構造部材の計測方法および基準定規
JP2014149303A (ja) 三次元形状計測装置、キャリブレーションブロック、三次元形状計測装置のキャリブレーション方法
JPH04186717A (ja) 位置合わせ装置、露光装置、及びそれらを用いた半導体素子の製造方法
JP3976054B2 (ja) 位置計測システム
JP2003185420A (ja) 三次元形状測定方法、三次元形状測定装置
JP3282745B2 (ja) 2次元距離計を用いた板幅・蛇行測定装置
JP2006184091A (ja) 面内方向変位計
JPH07324913A (ja) 寸法測定方法
JP2001280919A (ja) 圧延材の板幅測定装置及び板幅測定方法
JPH05272937A (ja) 物体の形状の検査装置
JPS63120205A (ja) 傾斜モアレ式形状測定方法

Legal Events

Date Code Title Description
A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

Effective date: 20000307

LAPS Cancellation because of no payment of annual fees