JPS6327830A - 蛍光性光硬化組成物 - Google Patents
蛍光性光硬化組成物Info
- Publication number
- JPS6327830A JPS6327830A JP17133286A JP17133286A JPS6327830A JP S6327830 A JPS6327830 A JP S6327830A JP 17133286 A JP17133286 A JP 17133286A JP 17133286 A JP17133286 A JP 17133286A JP S6327830 A JPS6327830 A JP S6327830A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- weight
- parts
- fluorescent
- molecule
- double bonds
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 239000000203 mixture Substances 0.000 title claims abstract description 11
- 239000002491 polymer binding agent Substances 0.000 claims abstract description 9
- 229920001169 thermoplastic Polymers 0.000 claims abstract description 9
- 239000004416 thermosoftening plastic Substances 0.000 claims abstract description 9
- 229920000620 organic polymer Polymers 0.000 claims description 7
- 150000001875 compounds Chemical class 0.000 claims description 4
- 239000000463 material Substances 0.000 claims 1
- 239000003999 initiator Substances 0.000 abstract description 10
- 239000000126 substance Substances 0.000 abstract description 5
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 abstract description 4
- 238000000034 method Methods 0.000 abstract description 4
- 238000007689 inspection Methods 0.000 abstract 2
- 229920005596 polymer binder Polymers 0.000 abstract 1
- 239000010408 film Substances 0.000 description 11
- VVBLNCFGVYUYGU-UHFFFAOYSA-N 4,4'-Bis(dimethylamino)benzophenone Chemical compound C1=CC(N(C)C)=CC=C1C(=O)C1=CC=C(N(C)C)C=C1 VVBLNCFGVYUYGU-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 10
- ZWEHNKRNPOVVGH-UHFFFAOYSA-N 2-Butanone Chemical compound CCC(C)=O ZWEHNKRNPOVVGH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 6
- NIXOWILDQLNWCW-UHFFFAOYSA-M Acrylate Chemical compound [O-]C(=O)C=C NIXOWILDQLNWCW-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 6
- ATUOYWHBWRKTHZ-UHFFFAOYSA-N Propane Chemical compound CCC ATUOYWHBWRKTHZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 6
- HCLJOFJIQIJXHS-UHFFFAOYSA-N 2-[2-[2-(2-prop-2-enoyloxyethoxy)ethoxy]ethoxy]ethyl prop-2-enoate Chemical compound C=CC(=O)OCCOCCOCCOCCOC(=O)C=C HCLJOFJIQIJXHS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- -1 acrylic ester Chemical class 0.000 description 4
- 238000005530 etching Methods 0.000 description 4
- 239000000178 monomer Substances 0.000 description 4
- 125000001997 phenyl group Chemical group [H]C1=C([H])C([H])=C(*)C([H])=C1[H] 0.000 description 4
- 239000001294 propane Substances 0.000 description 4
- LYCAIKOWRPUZTN-UHFFFAOYSA-N Ethylene glycol Chemical compound OCCO LYCAIKOWRPUZTN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- ISAOCJYIOMOJEB-UHFFFAOYSA-N benzoin Chemical compound C=1C=CC=CC=1C(O)C(=O)C1=CC=CC=C1 ISAOCJYIOMOJEB-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- RWCCWEUUXYIKHB-UHFFFAOYSA-N benzophenone Chemical compound C=1C=CC=CC=1C(=O)C1=CC=CC=C1 RWCCWEUUXYIKHB-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 239000012965 benzophenone Substances 0.000 description 3
- 230000007547 defect Effects 0.000 description 3
- 238000001514 detection method Methods 0.000 description 3
- YRHRIQCWCFGUEQ-UHFFFAOYSA-N thioxanthen-9-one Chemical class C1=CC=C2C(=O)C3=CC=CC=C3SC2=C1 YRHRIQCWCFGUEQ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 238000011179 visual inspection Methods 0.000 description 3
- NJWGQARXZDRHCD-UHFFFAOYSA-N 2-methylanthraquinone Chemical compound C1=CC=C2C(=O)C3=CC(C)=CC=C3C(=O)C2=C1 NJWGQARXZDRHCD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- KUDUQBURMYMBIJ-UHFFFAOYSA-N 2-prop-2-enoyloxyethyl prop-2-enoate Chemical compound C=CC(=O)OCCOC(=O)C=C KUDUQBURMYMBIJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- GZEYLLPOQRZUDF-UHFFFAOYSA-N 7-(dimethylamino)-4-methylchromen-2-one Chemical compound CC1=CC(=O)OC2=CC(N(C)C)=CC=C21 GZEYLLPOQRZUDF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- HRPVXLWXLXDGHG-UHFFFAOYSA-N Acrylamide Chemical compound NC(=O)C=C HRPVXLWXLXDGHG-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- CDBYLPFSWZWCQE-UHFFFAOYSA-L Sodium Carbonate Chemical compound [Na+].[Na+].[O-]C([O-])=O CDBYLPFSWZWCQE-UHFFFAOYSA-L 0.000 description 2
- 244000028419 Styrax benzoin Species 0.000 description 2
- 235000000126 Styrax benzoin Nutrition 0.000 description 2
- 235000008411 Sumatra benzointree Nutrition 0.000 description 2
- WYURNTSHIVDZCO-UHFFFAOYSA-N Tetrahydrofuran Chemical compound C1CCOC1 WYURNTSHIVDZCO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- DAKWPKUUDNSNPN-UHFFFAOYSA-N Trimethylolpropane triacrylate Chemical compound C=CC(=O)OCC(CC)(COC(=O)C=C)COC(=O)C=C DAKWPKUUDNSNPN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229960002130 benzoin Drugs 0.000 description 2
- WERYXYBDKMZEQL-UHFFFAOYSA-N butane-1,4-diol Chemical compound OCCCCO WERYXYBDKMZEQL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 description 2
- 239000003795 chemical substances by application Substances 0.000 description 2
- 239000004020 conductor Substances 0.000 description 2
- 229920001577 copolymer Polymers 0.000 description 2
- ZYGHJZDHTFUPRJ-UHFFFAOYSA-N coumarin Chemical compound C1=CC=C2OC(=O)C=CC2=C1 ZYGHJZDHTFUPRJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 150000002148 esters Chemical class 0.000 description 2
- MTZQAGJQAFMTAQ-UHFFFAOYSA-N ethyl benzoate Chemical compound CCOC(=O)C1=CC=CC=C1 MTZQAGJQAFMTAQ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 2
- 235000019382 gum benzoic Nutrition 0.000 description 2
- 230000001678 irradiating effect Effects 0.000 description 2
- QSHDDOUJBYECFT-UHFFFAOYSA-N mercury Chemical compound [Hg] QSHDDOUJBYECFT-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229910052753 mercury Inorganic materials 0.000 description 2
- 238000007747 plating Methods 0.000 description 2
- 229920003229 poly(methyl methacrylate) Polymers 0.000 description 2
- 239000004926 polymethyl methacrylate Substances 0.000 description 2
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 2
- 239000010409 thin film Substances 0.000 description 2
- JHPBZFOKBAGZBL-UHFFFAOYSA-N (3-hydroxy-2,2,4-trimethylpentyl) 2-methylprop-2-enoate Chemical compound CC(C)C(O)C(C)(C)COC(=O)C(C)=C JHPBZFOKBAGZBL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- SCYULBFZEHDVBN-UHFFFAOYSA-N 1,1-Dichloroethane Chemical compound CC(Cl)Cl SCYULBFZEHDVBN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- XHXSXTIIDBZEKB-UHFFFAOYSA-N 1,2,3,4,5,6,7,8-octamethylanthracene-9,10-dione Chemical compound CC1=C(C)C(C)=C2C(=O)C3=C(C)C(C)=C(C)C(C)=C3C(=O)C2=C1C XHXSXTIIDBZEKB-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- GNRPVZNNVOGXHD-UHFFFAOYSA-N 1,2-dimethylanthracene-9,10-dione Chemical compound C1=CC=C2C(=O)C3=C(C)C(C)=CC=C3C(=O)C2=C1 GNRPVZNNVOGXHD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- BCMCBBGGLRIHSE-UHFFFAOYSA-N 1,3-benzoxazole Chemical compound C1=CC=C2OC=NC2=C1 BCMCBBGGLRIHSE-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- DVFAVJDEPNXAME-UHFFFAOYSA-N 1,4-dimethylanthracene-9,10-dione Chemical compound O=C1C2=CC=CC=C2C(=O)C2=C1C(C)=CC=C2C DVFAVJDEPNXAME-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- LMGYOBQJBQAZKC-UHFFFAOYSA-N 1-(2-ethylphenyl)-2-hydroxy-2-phenylethanone Chemical compound CCC1=CC=CC=C1C(=O)C(O)C1=CC=CC=C1 LMGYOBQJBQAZKC-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- LZWVPGJPVCYAOC-UHFFFAOYSA-N 2,3-diphenylanthracene-9,10-dione Chemical compound C=1C=CC=CC=1C=1C=C2C(=O)C3=CC=CC=C3C(=O)C2=CC=1C1=CC=CC=C1 LZWVPGJPVCYAOC-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- BTJPUDCSZVCXFQ-UHFFFAOYSA-N 2,4-diethylthioxanthen-9-one Chemical compound C1=CC=C2C(=O)C3=CC(CC)=CC(CC)=C3SC2=C1 BTJPUDCSZVCXFQ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- LCHAFMWSFCONOO-UHFFFAOYSA-N 2,4-dimethylthioxanthen-9-one Chemical compound C1=CC=C2C(=O)C3=CC(C)=CC(C)=C3SC2=C1 LCHAFMWSFCONOO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- SMZOUWXMTYCWNB-UHFFFAOYSA-N 2-(2-methoxy-5-methylphenyl)ethanamine Chemical compound COC1=CC=C(C)C=C1CCN SMZOUWXMTYCWNB-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- JAHNSTQSQJOJLO-UHFFFAOYSA-N 2-(3-fluorophenyl)-1h-imidazole Chemical compound FC1=CC=CC(C=2NC=CN=2)=C1 JAHNSTQSQJOJLO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- NIXOWILDQLNWCW-UHFFFAOYSA-N 2-Propenoic acid Natural products OC(=O)C=C NIXOWILDQLNWCW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- YQZHOBBQNFBTJE-UHFFFAOYSA-N 2-chloro-3-methylanthracene-9,10-dione Chemical compound O=C1C2=CC=CC=C2C(=O)C2=C1C=C(C)C(Cl)=C2 YQZHOBBQNFBTJE-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- ZCDADJXRUCOCJE-UHFFFAOYSA-N 2-chlorothioxanthen-9-one Chemical compound C1=CC=C2C(=O)C3=CC(Cl)=CC=C3SC2=C1 ZCDADJXRUCOCJE-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- KMNCBSZOIQAUFX-UHFFFAOYSA-N 2-ethoxy-1,2-diphenylethanone Chemical compound C=1C=CC=CC=1C(OCC)C(=O)C1=CC=CC=C1 KMNCBSZOIQAUFX-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- SJEBAWHUJDUKQK-UHFFFAOYSA-N 2-ethylanthraquinone Chemical compound C1=CC=C2C(=O)C3=CC(CC)=CC=C3C(=O)C2=C1 SJEBAWHUJDUKQK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- VZMLJEYQUZKERO-UHFFFAOYSA-N 2-hydroxy-1-(2-methylphenyl)-2-phenylethanone Chemical compound CC1=CC=CC=C1C(=O)C(O)C1=CC=CC=C1 VZMLJEYQUZKERO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- FLFWJIBUZQARMD-UHFFFAOYSA-N 2-mercapto-1,3-benzoxazole Chemical compound C1=CC=C2OC(S)=NC2=C1 FLFWJIBUZQARMD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- BQZJOQXSCSZQPS-UHFFFAOYSA-N 2-methoxy-1,2-diphenylethanone Chemical compound C=1C=CC=CC=1C(OC)C(=O)C1=CC=CC=C1 BQZJOQXSCSZQPS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- AXYQEGMSGMXGGK-UHFFFAOYSA-N 2-phenoxy-1,2-diphenylethanone Chemical compound C=1C=CC=CC=1C(=O)C(C=1C=CC=CC=1)OC1=CC=CC=C1 AXYQEGMSGMXGGK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- NTZCFGZBDDCNHI-UHFFFAOYSA-N 2-phenylanthracene-9,10-dione Chemical compound C=1C=C2C(=O)C3=CC=CC=C3C(=O)C2=CC=1C1=CC=CC=C1 NTZCFGZBDDCNHI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- YTPSFXZMJKMUJE-UHFFFAOYSA-N 2-tert-butylanthracene-9,10-dione Chemical compound C1=CC=C2C(=O)C3=CC(C(C)(C)C)=CC=C3C(=O)C2=C1 YTPSFXZMJKMUJE-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- OKJSFKIUVDXFMS-UHFFFAOYSA-N 4-[bis[4-(diethylamino)-2-methylphenyl]methyl]-n,n-diethyl-3-methylaniline Chemical compound CC1=CC(N(CC)CC)=CC=C1C(C=1C(=CC(=CC=1)N(CC)CC)C)C1=CC=C(N(CC)CC)C=C1C OKJSFKIUVDXFMS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- DBCAQXHNJOFNGC-UHFFFAOYSA-N 4-bromo-1,1,1-trifluorobutane Chemical compound FC(F)(F)CCCBr DBCAQXHNJOFNGC-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- SAZHWFFOFMSQPA-UHFFFAOYSA-N 4-phenylcoumarin Chemical compound C12=CC=CC=C2OC(=O)C=C1C1=CC=CC=C1 SAZHWFFOFMSQPA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- IMROMDMJAWUWLK-UHFFFAOYSA-N Ethenol Chemical compound OC=C IMROMDMJAWUWLK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- OAZWDJGLIYNYMU-UHFFFAOYSA-N Leucocrystal Violet Chemical compound C1=CC(N(C)C)=CC=C1C(C=1C=CC(=CC=1)N(C)C)C1=CC=C(N(C)C)C=C1 OAZWDJGLIYNYMU-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- CERQOIWHTDAKMF-UHFFFAOYSA-N Methacrylic acid Chemical compound CC(=C)C(O)=O CERQOIWHTDAKMF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000000020 Nitrocellulose Substances 0.000 description 1
- 239000002202 Polyethylene glycol Substances 0.000 description 1
- 239000004793 Polystyrene Substances 0.000 description 1
- OFOBLEOULBTSOW-UHFFFAOYSA-N Propanedioic acid Natural products OC(=O)CC(O)=O OFOBLEOULBTSOW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- ZJCCRDAZUWHFQH-UHFFFAOYSA-N Trimethylolpropane Chemical compound CCC(CO)(CO)CO ZJCCRDAZUWHFQH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- SMEGJBVQLJJKKX-HOTMZDKISA-N [(2R,3S,4S,5R,6R)-5-acetyloxy-3,4,6-trihydroxyoxan-2-yl]methyl acetate Chemical compound CC(=O)OC[C@@H]1[C@H]([C@@H]([C@H]([C@@H](O1)O)OC(=O)C)O)O SMEGJBVQLJJKKX-HOTMZDKISA-N 0.000 description 1
- ARNIZPSLPHFDED-UHFFFAOYSA-N [4-(dimethylamino)phenyl]-(4-methoxyphenyl)methanone Chemical compound C1=CC(OC)=CC=C1C(=O)C1=CC=C(N(C)C)C=C1 ARNIZPSLPHFDED-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- RCDMAQVMVZIKPT-UHFFFAOYSA-N acetic acid;n-benzhydrylidenehydroxylamine Chemical compound CC(O)=O.C=1C=CC=CC=1C(=NO)C1=CC=CC=C1 RCDMAQVMVZIKPT-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229940081735 acetylcellulose Drugs 0.000 description 1
- 239000002253 acid Substances 0.000 description 1
- 150000007513 acids Chemical class 0.000 description 1
- 150000003926 acrylamides Chemical class 0.000 description 1
- 125000001931 aliphatic group Chemical group 0.000 description 1
- 150000008064 anhydrides Chemical class 0.000 description 1
- 239000007864 aqueous solution Substances 0.000 description 1
- 150000008365 aromatic ketones Chemical class 0.000 description 1
- LHMRXAIRPKSGDE-UHFFFAOYSA-N benzo[a]anthracene-7,12-dione Chemical compound C1=CC2=CC=CC=C2C2=C1C(=O)C1=CC=CC=C1C2=O LHMRXAIRPKSGDE-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000001588 bifunctional effect Effects 0.000 description 1
- VYHBFRJRBHMIQZ-UHFFFAOYSA-N bis[4-(diethylamino)phenyl]methanone Chemical compound C1=CC(N(CC)CC)=CC=C1C(=O)C1=CC=C(N(CC)CC)C=C1 VYHBFRJRBHMIQZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229920002678 cellulose Polymers 0.000 description 1
- 235000010980 cellulose Nutrition 0.000 description 1
- 229920002301 cellulose acetate Polymers 0.000 description 1
- 229960000956 coumarin Drugs 0.000 description 1
- 235000001671 coumarin Nutrition 0.000 description 1
- GLNDAGDHSLMOKX-UHFFFAOYSA-N coumarin 120 Chemical compound C1=C(N)C=CC2=C1OC(=O)C=C2C GLNDAGDHSLMOKX-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- AFYCEAFSNDLKSX-UHFFFAOYSA-N coumarin 460 Chemical compound CC1=CC(=O)OC2=CC(N(CC)CC)=CC=C21 AFYCEAFSNDLKSX-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000004132 cross linking Methods 0.000 description 1
- 239000000539 dimer Substances 0.000 description 1
- 239000000975 dye Substances 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- STVZJERGLQHEKB-UHFFFAOYSA-N ethylene glycol dimethacrylate Substances CC(=C)C(=O)OCCOC(=O)C(C)=C STVZJERGLQHEKB-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229960002089 ferrous chloride Drugs 0.000 description 1
- 239000003112 inhibitor Substances 0.000 description 1
- NMCUIPGRVMDVDB-UHFFFAOYSA-L iron dichloride Chemical compound Cl[Fe]Cl NMCUIPGRVMDVDB-UHFFFAOYSA-L 0.000 description 1
- VZCYOOQTPOCHFL-UPHRSURJSA-N maleic acid Chemical compound OC(=O)\C=C/C(O)=O VZCYOOQTPOCHFL-UPHRSURJSA-N 0.000 description 1
- 239000011976 maleic acid Substances 0.000 description 1
- HTEAGOMAXMOFFS-UHFFFAOYSA-N methyl 2-methylprop-2-enoate;prop-2-enoic acid Chemical compound OC(=O)C=C.COC(=O)C(C)=C HTEAGOMAXMOFFS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229940086559 methyl benzoin Drugs 0.000 description 1
- LVHBHZANLOWSRM-UHFFFAOYSA-N methylenebutanedioic acid Natural products OC(=O)CC(=C)C(O)=O LVHBHZANLOWSRM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- SLCVBVWXLSEKPL-UHFFFAOYSA-N neopentyl glycol Chemical compound OCC(C)(C)CO SLCVBVWXLSEKPL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229920001220 nitrocellulos Polymers 0.000 description 1
- WXZMFSXDPGVJKK-UHFFFAOYSA-N pentaerythritol Chemical compound OCC(CO)(CO)CO WXZMFSXDPGVJKK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000000049 pigment Substances 0.000 description 1
- 239000004014 plasticizer Substances 0.000 description 1
- 229920001483 poly(ethyl methacrylate) polymer Polymers 0.000 description 1
- 229920001223 polyethylene glycol Polymers 0.000 description 1
- 238000006116 polymerization reaction Methods 0.000 description 1
- 229920000193 polymethacrylate Polymers 0.000 description 1
- 229920002223 polystyrene Polymers 0.000 description 1
- 229920002689 polyvinyl acetate Polymers 0.000 description 1
- 239000011118 polyvinyl acetate Substances 0.000 description 1
- 239000011253 protective coating Substances 0.000 description 1
- 230000001681 protective effect Effects 0.000 description 1
- DNXIASIHZYFFRO-UHFFFAOYSA-N pyrazoline Chemical compound C1CN=NC1 DNXIASIHZYFFRO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000003908 quality control method Methods 0.000 description 1
- 150000004053 quinones Chemical class 0.000 description 1
- 229910000029 sodium carbonate Inorganic materials 0.000 description 1
- KKEYFWRCBNTPAC-UHFFFAOYSA-L terephthalate(2-) Chemical compound [O-]C(=O)C1=CC=C(C([O-])=O)C=C1 KKEYFWRCBNTPAC-UHFFFAOYSA-L 0.000 description 1
- YLQBMQCUIZJEEH-UHFFFAOYSA-N tetrahydrofuran Natural products C=1C=COC=1 YLQBMQCUIZJEEH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000012719 thermal polymerization Methods 0.000 description 1
- VZCYOOQTPOCHFL-UHFFFAOYSA-N trans-butenedioic acid Natural products OC(=O)C=CC(O)=O VZCYOOQTPOCHFL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- QXJQHYBHAIHNGG-UHFFFAOYSA-N trimethylolethane Chemical compound OCC(C)(CO)CO QXJQHYBHAIHNGG-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229920001567 vinyl ester resin Polymers 0.000 description 1
- 125000000391 vinyl group Chemical group [H]C([*])=C([H])[H] 0.000 description 1
- 229920002554 vinyl polymer Polymers 0.000 description 1
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G03—PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
- G03C—PHOTOSENSITIVE MATERIALS FOR PHOTOGRAPHIC PURPOSES; PHOTOGRAPHIC PROCESSES, e.g. CINE, X-RAY, COLOUR, STEREO-PHOTOGRAPHIC PROCESSES; AUXILIARY PROCESSES IN PHOTOGRAPHY
- G03C1/00—Photosensitive materials
Landscapes
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Materials Engineering (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
(発明の技術分野)
光硬化物はレリーフ画像の作製において有用な手段を提
供している2すなわち、各種パターンマスクを通して光
を照射することにより、光硬化物は照射面が架橋反応、
重合反応等により、溶解性、密着性などが変化し、未照
射面とのこれらの差を利用して「現像1が行われ、基板
上にレリーフ像を形成することができる。更に、これら
のレリーフ像を保護被膜として基板に対するエツチング
、メッキ等の処理が施される。本発明はこの現像が完全
に行われたか、否かを判定するために有用な蛍光性光硬
化組成物に関するものである。
供している2すなわち、各種パターンマスクを通して光
を照射することにより、光硬化物は照射面が架橋反応、
重合反応等により、溶解性、密着性などが変化し、未照
射面とのこれらの差を利用して「現像1が行われ、基板
上にレリーフ像を形成することができる。更に、これら
のレリーフ像を保護被膜として基板に対するエツチング
、メッキ等の処理が施される。本発明はこの現像が完全
に行われたか、否かを判定するために有用な蛍光性光硬
化組成物に関するものである。
(先行技術)
従来、完全に現像されたか、否かは、目視検査によって
行われている。しかし、極めて薄い残膜は目視検査によ
って検出することは不可能である。
行われている。しかし、極めて薄い残膜は目視検査によ
って検出することは不可能である。
この薄い残膜はエツチング、またはメッキなどの現像後
の工程において不完全ながらのも保護被膜として働き、
エツチング不良の原因となり、品質管理、生産管理の面
で重大な問題となっている。
の工程において不完全ながらのも保護被膜として働き、
エツチング不良の原因となり、品質管理、生産管理の面
で重大な問題となっている。
特に印刷回路板の製作において、このような薄い残膜は
断線や短絡を発生させる要因となる。今日、このような
印刷回路パターンはますます高密度化し細かい導体回路
を製作する必要性が高まっている。しかし、このような
細かい導体回路を製作する場合、特に薄い残膜が生じや
すく、その検出は目視検査ではほとんど不可能である。
断線や短絡を発生させる要因となる。今日、このような
印刷回路パターンはますます高密度化し細かい導体回路
を製作する必要性が高まっている。しかし、このような
細かい導体回路を製作する場合、特に薄い残膜が生じや
すく、その検出は目視検査ではほとんど不可能である。
(発明の目的)
本発明は、このような現像工程の不良によって生ずる薄
い残膜を検出するために有用な光硬化組成物を提供する
ものである。
い残膜を検出するために有用な光硬化組成物を提供する
ものである。
(発明の構成)
すなわち本発明は、
(1)熱可塑性有機高分子結合剤100重量部に対して
(2)蛍光物質 0.0001〜10重量部(3)分子
中に少なくとも2個のエチレン性不飽和二重結合を有す
る付加重合性不飽和化合物 5〜200重量部 (4)光重合開始剤または光重合開始剤系0.01〜3
0重量部を含有することを特徴とする蛍光性光硬化組成
物に関するものである。
(2)蛍光物質 0.0001〜10重量部(3)分子
中に少なくとも2個のエチレン性不飽和二重結合を有す
る付加重合性不飽和化合物 5〜200重量部 (4)光重合開始剤または光重合開始剤系0.01〜3
0重量部を含有することを特徴とする蛍光性光硬化組成
物に関するものである。
本発明における熱可塑性有機高分子結合剤と1−ては、
ホIJビニルアルコール、ポリ酢酸ビニル、ポリスチレ
ンなどのビニル系重合体、ポリメタクリル酸メチル、ポ
リメタクリル酸エチルなどのポリメタクリレート類、ア
クリル酸、メタクリル酸、無水、マレイン酸、イタコン
酸などの不飽和酸とアクリルエステルモノマー、メタク
リルエステルモノマー、または他のビニルツマ−との共
重合体、アセチルセルロース、ニトロセルロースなどの
セルロース類などが挙げられる。これらは単独、または
混合して使用することもできる。尚、本発明はこれらに
限定されるものではない。
ホIJビニルアルコール、ポリ酢酸ビニル、ポリスチレ
ンなどのビニル系重合体、ポリメタクリル酸メチル、ポ
リメタクリル酸エチルなどのポリメタクリレート類、ア
クリル酸、メタクリル酸、無水、マレイン酸、イタコン
酸などの不飽和酸とアクリルエステルモノマー、メタク
リルエステルモノマー、または他のビニルツマ−との共
重合体、アセチルセルロース、ニトロセルロースなどの
セルロース類などが挙げられる。これらは単独、または
混合して使用することもできる。尚、本発明はこれらに
限定されるものではない。
本発明に用いられる蛍光性物質は、ビスオキサゾール系
、ベンズオキサゾール系、クマリン系、ピラゾリン系な
どであり、C,1,FluorescentBrigh
tening Agent 162. 同91.同11
2.同121、同172. 7−アミノ4−メチルクマ
リン、7−シメチルアミノー4−メチルクマリン、7−
ジエチルアミノ4−メチルクマリン、7−アミノ、3−
フェニルクマリンなどを挙げることができる。尚、本発
明はこれらに限定されるものではない。
、ベンズオキサゾール系、クマリン系、ピラゾリン系な
どであり、C,1,FluorescentBrigh
tening Agent 162. 同91.同11
2.同121、同172. 7−アミノ4−メチルクマ
リン、7−シメチルアミノー4−メチルクマリン、7−
ジエチルアミノ4−メチルクマリン、7−アミノ、3−
フェニルクマリンなどを挙げることができる。尚、本発
明はこれらに限定されるものではない。
これらは熱可塑性有機高分子結合剤100重量部に対し
てo、oooIL1o重量部、より好ましくは、0.0
01〜1重量部添加すると良い。少なすぎる場合は蛍光
が検知できない可能性があり、また多すぎる場合は光に
よる硬化反応が不充分になる恐れがある。
てo、oooIL1o重量部、より好ましくは、0.0
01〜1重量部添加すると良い。少なすぎる場合は蛍光
が検知できない可能性があり、また多すぎる場合は光に
よる硬化反応が不充分になる恐れがある。
本発明における少なくとも2個のエチレン性不飽和二重
結合を有する付加重合性不飽和化合物としては、 エチレングリコールジアクリレート、エチレングリコー
ルジメタクリレート、(以下上記2者をまとめて「エチ
レングリコールジ(メタ)アクリレート」と表す。)ジ
エチレングリコールジ(メタ)アクリレート、トリエチ
レングリコールジ(メタ)アクリレート、ジプロピレン
グリコールジ(メタ)アクリレート、ポリエチレングリ
コールジ(メタ)アクリレート、ポリプロピレングリコ
ールジ(メタ)アクリレート、1,4−ブタンジオール
ジ(メタ)アクリレート、ネオペンチルグリコールジ(
メタ)アクリレート、1,6−ヘキサンシオールジ(メ
タ)アクリレート、2,2−ビス[4−(メタクリロキ
シ・ジェトキシ)フェニル]プロパン、2,2−ビス[
4−(メタクリロキシ・ポリエトキシ)フェニル1プロ
パン、2,2−ビス[4−(アクリロキシ・ジェトキシ
)フェニル]プロパン、2,2−ビス[4−(アクリロ
キシ・ポリエトキシ)フェニル]プロパンなどの2官能
エステルモノマー、トリメチロールプロパントリ(メタ
)アクリレート、トリメチロールエタントリ(メタ)ア
クリレート、ペンタエリスリトールテトラ(メタ)アク
リレートなどの3官能以上のエステルモノマー、N、N
−メチレンビス(メタ)アクリルアミド、N、N’−ベ
ンジリデンビス(メタ)アクリルアミドなどのビス(メ
タ)アクリルアミド類などを挙げることができる。これ
らは熱可塑性有機高分子結合剤100重量部に対して5
〜200重量部、より好ましくは30〜100重量部添
加すると良い。
結合を有する付加重合性不飽和化合物としては、 エチレングリコールジアクリレート、エチレングリコー
ルジメタクリレート、(以下上記2者をまとめて「エチ
レングリコールジ(メタ)アクリレート」と表す。)ジ
エチレングリコールジ(メタ)アクリレート、トリエチ
レングリコールジ(メタ)アクリレート、ジプロピレン
グリコールジ(メタ)アクリレート、ポリエチレングリ
コールジ(メタ)アクリレート、ポリプロピレングリコ
ールジ(メタ)アクリレート、1,4−ブタンジオール
ジ(メタ)アクリレート、ネオペンチルグリコールジ(
メタ)アクリレート、1,6−ヘキサンシオールジ(メ
タ)アクリレート、2,2−ビス[4−(メタクリロキ
シ・ジェトキシ)フェニル]プロパン、2,2−ビス[
4−(メタクリロキシ・ポリエトキシ)フェニル1プロ
パン、2,2−ビス[4−(アクリロキシ・ジェトキシ
)フェニル]プロパン、2,2−ビス[4−(アクリロ
キシ・ポリエトキシ)フェニル]プロパンなどの2官能
エステルモノマー、トリメチロールプロパントリ(メタ
)アクリレート、トリメチロールエタントリ(メタ)ア
クリレート、ペンタエリスリトールテトラ(メタ)アク
リレートなどの3官能以上のエステルモノマー、N、N
−メチレンビス(メタ)アクリルアミド、N、N’−ベ
ンジリデンビス(メタ)アクリルアミドなどのビス(メ
タ)アクリルアミド類などを挙げることができる。これ
らは熱可塑性有機高分子結合剤100重量部に対して5
〜200重量部、より好ましくは30〜100重量部添
加すると良い。
本発明の光重合開始剤、または光重合開始剤系としては
置換、または未置換の多核キノン類があり、例えば2−
エチルアントラキノン、2−tert−ブチルアントラ
キノン、オクタメチルアントラキノン、1,2−ベンズ
アントラキノン、2,3−ベンズアントラキノン、2−
フェニルアントラキノン、2,3−ジフェニルアントラ
キノン、1−タロロアントラキノン、2−タロロアント
ラキノン、2−メチルアントラキノン、1,4−ナツタ
キノン、9,10−7エナントラキノン、2−メチル−
1,4−ナツタキノン、2.°3−ジクロロナフタキノ
ン、1,4−ジメチルアントラキノン、2.3=ジメチ
ルアントラキノン、3−クロロ−2−メチルアントラキ
ノン、7,8,9.10−テトラヒドロフタセンキノン
、などがある。その他の芳香族ケトン、例えばベンゾフ
ェノン、ミヒラーケトン[4,4’ −ビス(ジメチル
アミノ)ベンゾフェノン]、4,4′−ビス(ジエチル
アミノ)ベンゾフェノン、4−メトキシ−4′−ジメチ
ルアミノベンゾフェノンなどがある。他にベンゾイン、
ベンゾインエーテル、例えばベンゾインメチルエーテル
、ベンゾインエチルエーテル、ベンゾインフェニルエー
テル、メチルベンゾイン、エチルベンゾインなどがある
。更に、2,4.5− )リアリールイミダゾールニ量
体と2−メルカプトベンゾキサゾール、ロイコクリスタ
ルバイオレット、トリス(4−ジエチルアミノ−2−メ
チルフェニル)メタンなどとの組み合わせも使用できる
。
置換、または未置換の多核キノン類があり、例えば2−
エチルアントラキノン、2−tert−ブチルアントラ
キノン、オクタメチルアントラキノン、1,2−ベンズ
アントラキノン、2,3−ベンズアントラキノン、2−
フェニルアントラキノン、2,3−ジフェニルアントラ
キノン、1−タロロアントラキノン、2−タロロアント
ラキノン、2−メチルアントラキノン、1,4−ナツタ
キノン、9,10−7エナントラキノン、2−メチル−
1,4−ナツタキノン、2.°3−ジクロロナフタキノ
ン、1,4−ジメチルアントラキノン、2.3=ジメチ
ルアントラキノン、3−クロロ−2−メチルアントラキ
ノン、7,8,9.10−テトラヒドロフタセンキノン
、などがある。その他の芳香族ケトン、例えばベンゾフ
ェノン、ミヒラーケトン[4,4’ −ビス(ジメチル
アミノ)ベンゾフェノン]、4,4′−ビス(ジエチル
アミノ)ベンゾフェノン、4−メトキシ−4′−ジメチ
ルアミノベンゾフェノンなどがある。他にベンゾイン、
ベンゾインエーテル、例えばベンゾインメチルエーテル
、ベンゾインエチルエーテル、ベンゾインフェニルエー
テル、メチルベンゾイン、エチルベンゾインなどがある
。更に、2,4.5− )リアリールイミダゾールニ量
体と2−メルカプトベンゾキサゾール、ロイコクリスタ
ルバイオレット、トリス(4−ジエチルアミノ−2−メ
チルフェニル)メタンなどとの組み合わせも使用できる
。
加えて、置換、または未置換のチオキサントン類があり
、例えば2−クロロチオキサントン、2,4−ジメチル
チオキサントン、2,4−ジエチルチオキサントンなど
を挙げることができる。更に、これらのチオキサントン
類と脂肪族、または芳香族の第3級アミン、例えばN、
メチルジェタノールアミン、p−ジメチルアミン安息香
酸エチルエステルなどとの組み合わせも使用できるほか
、チオキサントン類とアルキルアミノベンゾフェノン、
例えばミヒラーケトンとの組み合わせ、チオキサントン
類とオキシムエステル、例えばベンゾフェノンオキシム
アセテートとの組み合わせも有効である。
、例えば2−クロロチオキサントン、2,4−ジメチル
チオキサントン、2,4−ジエチルチオキサントンなど
を挙げることができる。更に、これらのチオキサントン
類と脂肪族、または芳香族の第3級アミン、例えばN、
メチルジェタノールアミン、p−ジメチルアミン安息香
酸エチルエステルなどとの組み合わせも使用できるほか
、チオキサントン類とアルキルアミノベンゾフェノン、
例えばミヒラーケトンとの組み合わせ、チオキサントン
類とオキシムエステル、例えばベンゾフェノンオキシム
アセテートとの組み合わせも有効である。
これらの光重合開始剤、または光重合開始剤系は単独で
も複数を混合して使用しても良いっ尚、本発明はこれら
に限定されるものではない。熱可塑性有機高分子結合剤
100重量部に対して0.01〜30重量部より好まし
くは、0.05〜20重量部である。
も複数を混合して使用しても良いっ尚、本発明はこれら
に限定されるものではない。熱可塑性有機高分子結合剤
100重量部に対して0.01〜30重量部より好まし
くは、0.05〜20重量部である。
本発明は一ヒ述の如く熱可塑性有機高分子結合剤、蛍光
物質、分子中に少なくとも2個のエチレン性不飽和二重
結合を有する付加重合性不總和化合物、光重合開始剤ま
たは光重合開始剤系を必須成分とするが必要に応じて熱
重合禁止剤や、染料、顔料、可塑剤などを添加しても良
い。
物質、分子中に少なくとも2個のエチレン性不飽和二重
結合を有する付加重合性不總和化合物、光重合開始剤ま
たは光重合開始剤系を必須成分とするが必要に応じて熱
重合禁止剤や、染料、顔料、可塑剤などを添加しても良
い。
(発明の効果)
本発明により、現像不良の検査が効率よく行われ製品の
歩留まり向上に寄与することができる。
歩留まり向上に寄与することができる。
(実施例)
次に本発明を実施例により、具体的に説明する。
尚、本発明は実施例になんら制約されるものではない。
実施例 1
以下の成分を混合して蛍光性硬化組成物を得た。
ポリメタクリル酸メチル 50gトリメチロ
ールプロパン トリアクリレート 15gテトラエ
チレンクリコール ジアクリレート15g ベンゾフェノン 3gミヒラーケ
トン 0.3g7−シメチルアミン
ー4−メチルクマリン 0.1gメチルエチルケトン
100gこれを厚み25pmのポリエチレ
ングリコールテレフタレート(以下、PETと呼ぶ)フ
ィルム支持体上に塗布し、乾燥させ感光性フィルムを得
た。
ールプロパン トリアクリレート 15gテトラエ
チレンクリコール ジアクリレート15g ベンゾフェノン 3gミヒラーケ
トン 0.3g7−シメチルアミン
ー4−メチルクマリン 0.1gメチルエチルケトン
100gこれを厚み25pmのポリエチレ
ングリコールテレフタレート(以下、PETと呼ぶ)フ
ィルム支持体上に塗布し、乾燥させ感光性フィルムを得
た。
感光層の厚みは25pmであった。これを100’Cに
加熱したゴムローラーによって予め研磨を施した銅張り
積層板上に積層した。次に、ライン/スペース= 11
00p/1100pのパターンマスクを重ねて超高圧水
銀灯で50cmの距離から20秒間照射した。これを1
.1.1− )リクロロエタンで現像したが、この時、
現像途中で取り出したものと、完全に現像を完了させた
2種のサンプルを作製した。
加熱したゴムローラーによって予め研磨を施した銅張り
積層板上に積層した。次に、ライン/スペース= 11
00p/1100pのパターンマスクを重ねて超高圧水
銀灯で50cmの距離から20秒間照射した。これを1
.1.1− )リクロロエタンで現像したが、この時、
現像途中で取り出したものと、完全に現像を完了させた
2種のサンプルを作製した。
この両者を拡大鏡により観察したが、現像不足による薄
膜を検出することができなかった。
膜を検出することができなかった。
次に薄層クロマトグラフのスポット検出用の紫外線ラン
プを用いてサンプルに紫外線を照射したところ、完全に
現像を行ったサンプルは、レリーフ像のみが蛍光を発し
たが、現像不足のサンプルではレリーフ像以外の部分も
蛍光を発し残膜が存在することが判った。
プを用いてサンプルに紫外線を照射したところ、完全に
現像を行ったサンプルは、レリーフ像のみが蛍光を発し
たが、現像不足のサンプルではレリーフ像以外の部分も
蛍光を発し残膜が存在することが判った。
次に、このサンプルをアルカリエッチャントでエツチン
グすると、レリーフ像以外から蛍光を発した部分は、エ
ツチングが不完全か、または全くエツチングされていな
かった。
グすると、レリーフ像以外から蛍光を発した部分は、エ
ツチングが不完全か、または全くエツチングされていな
かった。
実施例 2
以下の成分を混合して蛍光性硬化組成物を得た。
アクリル酸−メタクリル酸メチル
(25/75wt%)共重合体 50gト
リメチロールプロパン トリアクリレート 15gテトラエチ
レングリコール ジアクリレート 15gベンゾフェ
ノン 3gミヒラーケトン
0.3g7−シメチルアミノ4−メチル
クマリン 0.1gメチルエチルケトン
70gテトラヒドロフラン 30
gこれを実施例 1と同様にして厚み25pmの感光性
フィルムを得た。同様に超高圧水銀灯で照射したのち、
30°Cの1%炭酸ナトリウム水溶液で現像し、現像途
中で取り出したものと、完全に現像を完了させた2種の
サンプルを作製した。
リメチロールプロパン トリアクリレート 15gテトラエチ
レングリコール ジアクリレート 15gベンゾフェ
ノン 3gミヒラーケトン
0.3g7−シメチルアミノ4−メチル
クマリン 0.1gメチルエチルケトン
70gテトラヒドロフラン 30
gこれを実施例 1と同様にして厚み25pmの感光性
フィルムを得た。同様に超高圧水銀灯で照射したのち、
30°Cの1%炭酸ナトリウム水溶液で現像し、現像途
中で取り出したものと、完全に現像を完了させた2種の
サンプルを作製した。
この両者を拡大鏡により観察したが、現像不足による薄
膜を検出することができなかった。
膜を検出することができなかった。
次に薄層クロマトグラフのスポット検出用の紫外線ラン
プを用いてサンプルに紫外線を照射したところ、完全に
現像を行ったサンプルは、レリーフ像のみが蛍光を発し
たが、現像不足のサンプルではレリーフ像以外の部分も
蛍光を発し残膜が存在することが判かった。
プを用いてサンプルに紫外線を照射したところ、完全に
現像を行ったサンプルは、レリーフ像のみが蛍光を発し
たが、現像不足のサンプルではレリーフ像以外の部分も
蛍光を発し残膜が存在することが判かった。
次に、このサンプルを塩化第一鉄エッチャントでエツチ
ングすると、レリーフ像以外から蛍光を発した部分は、
エツチングが不完全か、または全くエツチングされてい
なかった。
ングすると、レリーフ像以外から蛍光を発した部分は、
エツチングが不完全か、または全くエツチングされてい
なかった。
Claims (4)
- (1)熱可塑性有機高分子結合剤100重量部に対して
- (2)蛍光物質0.0001〜10重量部
- (3)分子中に少なくとも2個のエチレン性不飽和二重
結合を有する付加重合性不飽和化合物5〜200重量部 - (4)光重合開始剤または光重合開始剤系0.01〜3
0重量部を含有することを特徴とする蛍光性光硬化組成
物
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP17133286A JPS6327830A (ja) | 1986-07-21 | 1986-07-21 | 蛍光性光硬化組成物 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP17133286A JPS6327830A (ja) | 1986-07-21 | 1986-07-21 | 蛍光性光硬化組成物 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS6327830A true JPS6327830A (ja) | 1988-02-05 |
Family
ID=15921267
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP17133286A Pending JPS6327830A (ja) | 1986-07-21 | 1986-07-21 | 蛍光性光硬化組成物 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPS6327830A (ja) |
Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS6353539A (ja) * | 1986-08-25 | 1988-03-07 | Daicel Chem Ind Ltd | 蛍光性光硬化膜積層体 |
JPS6356649A (ja) * | 1986-08-28 | 1988-03-11 | Daicel Chem Ind Ltd | 蛍光性光硬化膜 |
JPH02142071A (ja) * | 1988-11-24 | 1990-05-31 | Meidensha Corp | 亜鉛−臭素電池の電解液 |
WO2011027882A1 (ja) * | 2009-09-07 | 2011-03-10 | 東洋合成工業株式会社 | パターン形成用光硬化性組成物及びこれを用いた膜厚測定方法 |
Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS5345180A (en) * | 1976-10-06 | 1978-04-22 | Hitachi Ltd | Photoetching method |
JPS55155018A (en) * | 1979-05-21 | 1980-12-03 | Minnesota Mining & Mfg | Sensitized iodonium or sulfonium photoinitiator |
JPS5628886A (en) * | 1978-03-06 | 1981-03-23 | American Optical Corp | Method of entering permanent mark to plastic article |
JPS589139A (ja) * | 1981-07-10 | 1983-01-19 | Fujitsu Ltd | レジスト膜 |
-
1986
- 1986-07-21 JP JP17133286A patent/JPS6327830A/ja active Pending
Patent Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS5345180A (en) * | 1976-10-06 | 1978-04-22 | Hitachi Ltd | Photoetching method |
JPS5628886A (en) * | 1978-03-06 | 1981-03-23 | American Optical Corp | Method of entering permanent mark to plastic article |
JPS55155018A (en) * | 1979-05-21 | 1980-12-03 | Minnesota Mining & Mfg | Sensitized iodonium or sulfonium photoinitiator |
JPS589139A (ja) * | 1981-07-10 | 1983-01-19 | Fujitsu Ltd | レジスト膜 |
Cited By (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS6353539A (ja) * | 1986-08-25 | 1988-03-07 | Daicel Chem Ind Ltd | 蛍光性光硬化膜積層体 |
JPS6356649A (ja) * | 1986-08-28 | 1988-03-11 | Daicel Chem Ind Ltd | 蛍光性光硬化膜 |
JPH02142071A (ja) * | 1988-11-24 | 1990-05-31 | Meidensha Corp | 亜鉛−臭素電池の電解液 |
WO2011027882A1 (ja) * | 2009-09-07 | 2011-03-10 | 東洋合成工業株式会社 | パターン形成用光硬化性組成物及びこれを用いた膜厚測定方法 |
JPWO2011027882A1 (ja) * | 2009-09-07 | 2013-02-04 | 東洋合成工業株式会社 | パターン形成用光硬化性組成物及びこれを用いた膜厚測定方法 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US4894315A (en) | Process for making flexographic printing plates with increased flexibility | |
CA1335543C (en) | Aqueous processible photosensitive compositions containing core shell microgels | |
CA1258597A (en) | Photopolymerizable photosensitive composition | |
JP5707420B2 (ja) | 感光性樹脂組成物 | |
JP5777461B2 (ja) | 感光性樹脂組成物 | |
US5075192A (en) | Aqueous processible photosensitive compositions containing core shell microgels | |
JPS6327830A (ja) | 蛍光性光硬化組成物 | |
JP4262917B2 (ja) | 感光性樹脂層への露光方法 | |
JP2015219336A (ja) | レジスト材料用感光性樹脂組成物及び感光性樹脂積層体 | |
JP6959887B2 (ja) | 感光性樹脂組成物、これを用いたフォトレジストフィルム、及びレジストパターンの形成方法 | |
KR101934164B1 (ko) | 감광성 수지 적층체 | |
JP4360769B2 (ja) | 感光性樹脂積層体 | |
JP2540577B2 (ja) | 感光性樹脂板の製法 | |
JP7377343B2 (ja) | 感光性エレメント、およびレジストパターンの形成方法 | |
JP4477077B2 (ja) | 感光性樹脂層への露光方法 | |
JPH04213372A (ja) | 画像形成用樹脂組成物および蛍光検出方式自動外観検査方法 | |
JP3010058B2 (ja) | 画像形成用樹脂組成物および蛍光検出方式自動外観検査方法 | |
JP2003177526A (ja) | 感光性エレメント、感光性エレメントの製造法、これを用いたレジストパターンの製造法及びプリント配線板の製造法 | |
JP2002099082A (ja) | 感光性樹脂組成物、これを用いた感光性エレメント、レジストパターンの製造法及びプリント配線板の製造法 | |
JPH03221956A (ja) | 感光性樹脂組成物及びこれを用いた感光性樹脂組成物積層体 | |
JPS6356649A (ja) | 蛍光性光硬化膜 | |
JPH0488345A (ja) | 光重合性組成物及び光重合性積層体 | |
JP2001209177A (ja) | 感光性樹脂組成物 | |
JPH0454222B2 (ja) | ||
JPS6019135A (ja) | 感光性積層物 |