JPS63266193A - ポンプ - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 ［産業上の利用分野］ この発ＩＮ＋は、超純水１強酸、強アルカリ等に用いる
回転式ポンプに関するものである。

［従来技術とその問題点］ 第５図は、半導体製造工程における超純水のパイプライ
ンに使用される従来のポンプを示す縦断面［Ａである。

図において、ｌは、主送液の吸込口１ｂ、吐出［１１Ｃ
を有するケーシング、２は、ケーシングｌ内に収納され
て主送液を吸込口１ｂから吐出口ｌｃに圧送する羽根車
である。

羽根ｉ１ｔ　２の軸２ａは、ケーシングｌと一体に形成
されている軸受としての筒体である軸ケーシングｌａに
嵌挿されている。

６は、軸ケーシングｌａと軸２ａとの間に介装されるシ
ール体、８は、同じく軸ケーシングｌａと軸２ａとの間
に介装されるベアリング部である。

９は、軸ケーシングｌａの端部に装着されるグーラント
シール部、１０は軸２ａに連結されて羽根」１（２を回
転駆動するモータである。

モータ１０の回転とともに羽根車２が回転し、吸込口ｔ
ｂから主送液を吸引し吐出口１ｃから圧力送イ・１する
。

このとき、主送液は、軸ケーシングｌａにおける羽根車
２側の端部から、軸ケーシングｌａと袖２ａとのわずか
な間隙をつたわって軸２ａ方向に侵入するか、シール体
６に阻市され、ポンプか駆動する間、シール体６とケー
シングｌとの間を循環することとなる。

このため、軸ケーシングｌａにおける摺動部であるベア
リング部８、シール体６から摺動にともなって発生する
微量の摩耗不純物か、ケーシングｌに送出され、主送液
に混じり合い、ケーシングｌを通過する超純水その他の
主送液の純度に重大な影響をおよぼすことになる。

ところで、例えば、半導体の製造工程における洗浄水等
は、半導体への不純物の付若を防止し、製品の収率を上
げるため、より純度を高くする必要があり、このため洗
浄水として超純水笠か使用されている。ところが、上記
従来のポンプにあっては、その摺動部から発生する摩耗
不純物か、ポンプを通過する主送液に混入してしまうた
め、たとえ、主送液としての洗浄水に超純水を使用して
も、摩耗不純物の混入により半導体製品収率は大きく低
下するという聞届が生じる。

［問題点を解決するための手段］ この発明は、ポンプにおける摺動部から発生する摩耗不
純物の主送液への混入移動経路に主送液による遮’１ｆ
ｒｖｔを形成して摩耗不純物の主送液への混入を防止し
、主送液を所定の純度に維持することにより前述の問題
点を解決しようとするものである。

［作　　用］ この発明において、ポンプにおける摺動部の近傍もしく
は、摺動部を遮ＰＪ流が流れることにより、摺動部から
発生する摩耗不純物のケーシン内のグ主送液への混入、
すなわち、吸込口、羽根・１（、吐出口の順に流れる主
送液への摩耗不純物の混入が遮断されて、主送液は所定
の純度を維持できる。

［実施例］ 図面に基づいて実施例を説明する。

なお、従来例と同一箇所には同一符号を付して重複説明
は省略する。

第１図は、この発明の第１実施例を示すｍ断面図である
。

３は、その一端をケーシングｌの吐出口１ｃの近傍に開
「１し、他端を後述のマニホールド溝４に開［１する分
流路としての分流パイプで、ニードルバルブ３ａを有し
ている。

軸ケーシングｌａの内周面に形成される前述のマニホー
ルド溝４は、シール体６と軸ケーシングｌａの羽根車２
側の端部との間に位置している。

この実施例でマニホールド溝４は二列形成されているが
、−列でも良い。

５は、排出路としての排出パイプて、その一端はマニホ
ールド溝４に開口し、他端はケーシングｌの吸込口ｔｂ
近傍に開口しており、逆止弁５ａ、ニードルバルブ５ｂ
、ろ過装置５Ｃを有している。ろ過装Ｍ　５　Ｃは、二
個のフィルター５ｃｌ、ニードルバルブにより構成され
ている。

′　　７は軸ケーシングｌ内周面においてシール体６と
ベアリンク部８との間に形成された排出溝て、反流バイ
ブ７ａを右している。

上述の構成の下に該実施例の作用を説明する９モータｌ
Ｏか駆動し、羽根！１（２か回転を始めると主送液は吸
込Ｏｒｂから吸引され、吐出口１ｃに圧送される。する
と、吐出口１ｃ近傍の主送液圧力が高くなり、主送液は
吐出口１ｃから送出されるほか、一部は分流パイプ３を
経由してマニホールド溝４にいたった後、このマニホー
ルド溝４から排出バイブ５に送出される。そして、排出
バイブ５を流れる主送液はろ過装置５ｃを通過したのち
吸込口１ｂ近傍に還流される。マニホールド溝４を流れ
る主送液は吐出口１ｃ近傍から採取されるためポンプ圧
がかかっており、マニホールド１１ｑ４にいたり、軸ケ
ーシングｌａと軸２ａとの間隙を伝わり一部はケーシン
グ１方向（第１図て左方）へ移動し、また一部は４４ｂ
２ａの後端方向（：ｊＳ１１’ｌて右方）へ移動する。

したかって、シール体６、ベアリング部８茅のｍ動部か
ら摩耗不純物かケーシング１方向に移動して、ケーシン
グ１中の主送液に混入する虞れは全くない。すなわち、
シール体６．ベアリンク部８等の摺動部は、分流パイプ
３、マニホールド溝４、排出バイブ５で構成される遮断
流路を流れる主送液によって形成される遮断流によって
ケーシングｌに対して完全に遮蔽されることになり、摺
動部からのケーシング１へのＷ耗不純物の混入か防止さ
れる。

なお、シール体６、ベアリング部８て発生したｆｆＪｆ
ｉ不純物は、排出溝７、反流パイプ７ａを通って外部に
排出されることとなる。

第２１Ａは、この発明の第２実施例を示す縦断面図であ
る。

図において、２ｂは、送出路としてのスクリューねじ部
で、軸２ａの羽根車２側端部に形成されている。スクリ
ューねじ部２ｂ、マニホールド溝４、排出バイブ５によ
り遮断流路が構成されている。

羽根車２が回転しポンプか駆動を開始すると吸込口１ｂ
から主送液が吸引され、吐出ｒＪ　ｌ　ｃに圧送される
か、これに併せてスクリューねし部２ｂの回転によりケ
ーシングｌ内の主送液は、軸ケーシングｌａと軸２ａと
の間隙を流れてマニホールド溝４に達したのち排出バイ
ブ５に流出１図示しないろ過装置を経てケーシングｌの
吸込口１ｂ近傍に還流する。このようにして、主送液が
１ｆＷＩｔｌｉ流路を還流することにより、ケーシング
ｌとシール体６、ベアリンク部８等の摺動部との間に遮
断流か形成されて、摺動部からの摩耗不純物がケーシン
グｌ内の主送液に混入することはない。

第３図は、この発明の第３実施例で、キャンドモータ−
ポンプにおける実施例を示す図である。

図において、ｌｄｌは、ケーシングｌの前方＜ＩＩで左
方）にこれと一体に配設される前部軸ケーシング、１２
は、ベアリング部８を介して、羽根・１（２の前側（吸
込口ｉｂ側）の軸２ａに嵌合するベアリング受けで、そ
の外周に形成された脚部１２ａ、１２ａにより前部軸ケ
ーシング１中ｌ中に固定されている。

１３は、ケーシングｌとベアリング部８とを結ぶ分流路
としての分流パイプで、前記脚部１２ａとベアリンク受
け１２の側壁をｉｔ通し、ベアリンク部８の内周面に設
けたマニホールド溝４に達している。１３ａは、ベアリ
ング受け１２において軸２ａの端部南方に位置する凹所
１２ｂから前部軸ケーシング１２外に延設される排出路
としての排出バイブである。１ｄ２は後部軸ケーシング
で、分流路としての分流パイプ１１によりケーシングｌ
の吐出「ｌ　ｌ　ｃ近傍と連通するとともに、ベアリン
グ部８を介して、後部の軸２ａを支承している。輔２ａ
に捲装されるベアリング部８の外周に第３図（ｃ）に示
すように軸方向に複数の（′を通溝８ａが形成されてい
る。

１３ｂは、ベアリング部８の後端から後部軸ケーシング
ｌｄ２の端面に突出する排出路としての排出バイブであ
る。なお、ｌａｌはモータケーシング、Ｒはローター、
ｌａ２はローターケーシング、Ｃはコイルである。

モータか駆動し、羽根Ｉｌｊ　２か回転すると主送液か
吸込１１１ｂから吸引されて吐出口１ｃに７ＩＥ送され
る一方、分流パイプ１３にも主送液か流入ずろ。この主
送液は前部ベアリング部８のマニホールドＪ１４４に入
ったのち、一部はケーシングｌ側に流出し、他の一部は
摺動部としてのベアリンク部８を通過し、この通過時に
主送液中に混入する摩ＪＬ不純物とともにベアソング受
け１２先端の凹所１２ｂに流入したのち、排出バイブ１
３ａにより、図示しないろ過装置て摩耗不純物を除去さ
れたのち、再び前部軸ケーシングｌｄｌにおける吸込Ｌ
ｌ　ｌ　ｂ近傍に還流される。このように、分流バイブ
１３、摺動部としてのベアリング部８、凹所１２ｂ、排
出バイブ１３ａて構成される遮断流路を分流された主送
液か流れることにより形成される遮断流により、摺動部
であるベアリング部８に発生する摩２１４不純物がケー
シングｌ内の主送液に混入することかない。

一方、分流バイブ１１に流入する分流された主送液は、
後部軸ケーシングｌｄ２の後端部１ｄ３にいたり１次い
て、ベアリング部８の周面に形成されたＩｊ通溝８ａ、
８ａ−・・をとうり、モータケ−シンクｌａｌ内のロー
ターケーシングｌａ２に流入し、その大部分は、ロータ
ーＲを冷却して、ケーシングｌに還流するか、その一部
は、後部の軸２ａにおけるベアリング部８を通過し、通
過の際に混入する摩耗不純物とともに、ベアリング部８
の後端にいたり、排出バイブ１３ｂから外部に排出され
たのち、図示しないろ過装置により１）ｈ部軸ケーシン
グＩｄｌにおける吸込口ｉｂｂ近傍還流される。

このようにして、分流バイブｉｆ、ベアリンク部８の【
１通溝８ａ、ベアリング部８、排出バイブ１３ｂて構成
される遮断流路を分流された主送液か流れることにより
形成される遮断流により、摩耗不純物かケーシングｌ内
の主送液に混入することはない。

次に、第４図に基づいてこの発ＩＩの０′Ｓ４実施例に
ついて説明する。

この実施例におけるポンプは、いわゆるマクネントボン
フ″である。

図において、ＩＡは、前部軸ケーシング２０に設けられ
た分流路で、ケーシングｌにおける吐出１−＋　１　ｃ
近傍から前部ベアリング部８１部分に連通している。８
ａは、ベアリング部８１の内側ベアリンクと外側ベアリ
ングとの間に軸２ａを巻回するように形成されたマニホ
ールド溝である。

２１は、モーターケーシング２２と一体に形成される後
部軸ケーシング、２ａ２は軸２ａの後端に嵌挿されるソ
ケッ）−て、端縁部に複数の貫通溝２４を右している。

２３は後部ケーシング、２５は、モーターケーシング２
２内に収納されるローター、２６はローターを囲繞する
マグネットである。

１Ｂは、　＋ｉｉ側（図て左方）の軸受部分と後側（図
て右方）の軸受部分とを連通する走路である。

また、２ａｌは軸２ａの軸長方向に形成される÷ｂ　ｒ
ｔ　’ｍ溝である。８ｂｌはマニホールド溝８ａに連結
する排出路としての排出バイブ、８ｂ２は同様に後部軸
ケーシング２１の後端部に連結される排出路としての排
出バイブである。

ローター２５の回転とともに羽根！Ｖ２が回転し、ド送
液は吸込ｆ、Ｉ　ｌ　ｂから吸引されて吐出「１１ｃに
向って圧送される。圧送された主送液の一部は、分流路
ＬＡを通り前部ベアリング部８１に送出される。そして
、その一部は、ベアリンク部８工の両端から内側ベアリ
ング、外側ベアリングの摺動部分を通過してマニホール
ド溝８ａにいたり、このときに主送液中に混入する摩耗
不純物とともに排出バイブ８ｂｌに排出され、他の一部
は摺動部を経ることなく走路ＩＢをとうってローター２
５を冷却しつつ後部の軸受部分に達する。そして、後部
軸受部分に達した主送液の一部は、後部軸ケーシング２
１の内周面とソケット２ａ２の外周面との間に介装され
る後部ベアリンク部８２の摺動部分を通過し、この際に
摺動部分て発生ずる摩耗不純物をとり込んで排出バイブ
８ｂ２に排出され、−Ｌ送液の他の一部は、摺動部分を
経ることなくソケット２ａ２の貫通溝２４をとうり軸２
ａの軸Ｌ′１通ｈａｔ　２１　ａに流れケーシングｌに
還流する。

［発明の効果］ この発明は、以−ｈ＋べた構成・作用によりボンプにお
ける摺動部か、ケーシング内の主送液に対して遮断流の
形成により遮蔽されることとなるのて、主送液に摺動部
て発生した摩耗不純物か混入することなく主送液を所定
の純度に維持することかできる。

【図面の簡単な説明】

第１図は、この発明の第１実施例を示す縦断面図、第２
図は、第２実施例を示す縦断面図、第３図は第３実施例
を示す断面説明図、第４図は第４実ｍＩ！Ａを示す縦断
面Ｉ：Ａ、第５図は従来例を示す縦断面ＩＡである。 ｌ　・・・　・・・　ケーシング ２　・・・　・・・　羽根車 ４　・・・　・・・　マニポールト溝 ）・・・　・・・　排出路 ８ｂｌ、　　８ｂ２ 第１図 第　２　図 第３図 （ａ） （ｂ）　　　　　　　　（ｃ） 第３図 （ｄ） 第４図 （ｂ） 第　５　図 手糸売ネ市正１す （１５：１−Ｐ） １層相６２年７月２１日 ３、補正をする者 弱性との関係　　出願人 氏名　多質　潤 ４、代理人 住所　東京都港区新橋５丁目２９番７号５、補正命令の
日付　　自　発 ６、補正の対象　　明細書（発明の詳細な説明の欄）、
図面（全図） ７、補正の内容　　別紙の通り。（補正の対象の欄に記
載ＩＪ）　　　　　　Ａｆｌｌ　　　　　　　−、ｌ；
　　　　　　　　（１５３−ｐ）１、発ＩＪＩＩの名称 ポ　　　　ン　　　　プ ２　、　ｌ￥詐請求の範囲 （１）羽４１シ車と、主送液の吸込［１および吐出「Ｊ
を有して羽ｍ　ｉｔｔを収納するケーシングと、このケ
ーシングに連通ずる軸ケーシングとからなるポンプにお
いて、 ケーシングと軸ケーシングにおける摺動部との間に主送
液による遮断流を形成して、前記軸ケーシングにおける
摺動部なケーシングに対して遮蔽するようにしたことを
特徴とするポンプ。 （２）特許請求の範囲第１項記載のポンプにおいて、羽
根車側の端部および摺動部の間の軸ケーシング内周面に
形成したマニホールド溝と、このマニホールド溝とケー
シングの吐出［１近傍とを結ぶ分流路と、マニホールド
溝に設けられた排出路とからなる遮断流路に、主送液を
ケーシング、分流路、マニホールド溝、排出路の順に流
通させて遮断流を形成したことを特徴とするポンプ。 （３）特許請求の範囲第１項記載のポンプにおいて１羽
根車側の端部および摺動部の間の軸ケーシング内周面に
形成したマニホールド溝と、このマニホールド溝および
軸ケーシングの羽根車側の端部の間にあって、羽根車の
軸に形成された送出路と、マニホールド溝に設けられた
排出路とからなる遮断流路に主送液をケーシング、送出
路、マニホールド溝、排出路の順に流通させてｊ！ｐＪ
ｉ流を形成したことを特徴とするポンプ。 （４）特許請求の範囲第１項記載のポンプにおいて、ケ
ーシングと軸ケーシングにおける摺動部の近傍を結ぶ分
流路と、摺動部と、排出路とからなる遮断流路にケーシ
ング、分流路、摺動部、排出路の順に主送液を流通させ
て遮断流を形成したことを特徴とするポンプ。 ３、発明の詳細な説明 ［産業上の利用分野］ この発明は、超純水、強酸、強アルカリ等に用いる回転
式ポンプに関するものである。 ［従来技術とその問題点］ 第５（ｉ；６は、半導体製造−［程における超純水のパ
イプラインに使用される従来のポンプの一例を示す縦断
面図である。 図において、■は、主送液の吸込口１ｂ、吐出＋−＋　
１　ｃを有するケーシング、２は、ケーシングｌ内に収
納されて主送液を吸込口ｔｂから吐出口ｌｃに圧送する
羽根＋、ｌｊである。 羽根車２の軸２ａは、ケーシング１と一体に形成されて
いる軸受としての筒体である軸ケーシングｆａｔ、：嵌
挿されている。 ６は、軸ケーシングｌａと軸２ａとの間に介装されるシ
ール体、８は、回じ〈軸ケーシングｌａと軸２ａとの間
に介装されるベアリング部である。 ９は、軸ケーシング１ａの端部に装着されるグランドシ
ール部、１０は軸２ａに連結されて羽根・１（２を回転
駆動するモータである。 モータ１０の回転とともに羽根車２か回転し、吸込口１
ｂから主送液を吸引し吐出口ＩＣから圧方送イ・１する
。 このとき、主送液は、軸ケーシングｌａにおける羽根１
１（２側の端部がら、軸ケーシング１ａと軸２ａとのわ
ずかな間隙をつたわって軸２ａ方向に浸入するか、シー
ル体６に阻止され、ポンプか駆動する間、シール体６と
ケーシングｌとの間を循環することとなる。 このため、軸ケーシングｌａにおける摺動部であるベア
リンク部８、シール体６から摺動にともなっ゛Ｃ発生す
る′ｅ量の１８′！耗不純物が、ケーシングｌに送出さ
れ、主送液に混じり合い、ケーシング］を通過する超純
水その他の主送液の純度に重大な影うをおよぼすことに
なる。 ところて、例えば、半導体の製造工程における洗浄水等
は、半導体への不純物の付着を防止し、製品の収率を上
げるため、より純度を高くする必要かあり、このため洗
ｆｉ＋水として超純水等が使用されている。ところか、
上記従来のポンプにあっては、その摺動部から発生する
摩耗不純物か、ポンプを通過する主送液に混入してしま
うため、たとえ、ｌ主送液としての洗ｎ１水に超純水を
使用しても、摩耗不純物の混入により半導体製品収率は
大きく低゛ドするという問題か生じる。 ［問題点を解決するための手段］ この発明は、ポンプにおける摺動部から発生ずる庁↓Ｌ
不純物の主送液への混入移動経路に主送液による遮断流
を形成して摩耗不純物の主送液への混入を防止し、主送
液を所定の純度に維持することにより前述の問題点を解
決しようとするものである。 ［作　　用］ この発明において、ポンプにおける摺動部の近傍もしく
は、摺動部を遮断流か流れることにより、摺動部から発
生する摩耗不純物のケーシング内の主送液への混入、す
なわち、吸込口、羽根・！（、吐出口の順に流れる主送
液への摩耗不純物の混入か遮断されて、主送液は所定の
純度を維持できる。 ［実施例］ 図面にノ＾づいて実施例を説明する。 なお、従来例と同一箇所には同一符号を付して爪枚説明
は省略する。 第１［’ａ（ａ）は、この発１ｊｌｌの第１実施例を示
す縦断面図である。 ３は、その一端なケーシングｌの吐出口１ｃの近傍に開
目し、他端を後述のマニホールド！Ｍ　４に開１−１す
る分流路としての分流パイプで、ニードルハルツ３ａを
４１している。 軸ケーシングｌａの内周面に形成される前述のマニホー
ルド溝４は、シール体６と軸ケーシングｌａの羽根！１
（２側の端部との間に位置している。 この実施例てマニホールド溝４は二列形成されているか
、−列でも良い。 ５は、排出路としての排出パイプて、その−端はマニホ
ールド溝４に開ｔＪＬ／、他端はケーシング１の吸込［
コｌｂ近傍に開口しており、逆止弁５ａ、ニードルハル
ツ５ｂ、ろ過装置５ｃを有している。ろ過装置５ｃは、
二個のフィルター５０１、ニードルハルツにより構成さ
れている。 ７は軸ケーシングｌａ内周面においてシール体６とベア
リング部８との間に形成された排出溝て、反流パイプ７
ａを有している。 」−述の構成の下に該実施例の作用を説ＩＪＩする。 モータ１０か駆動し、羽根車２か回転を始めると１ミ送
液は吸込口１ｂから吸引され、吐出口１ｃに圧送される
。すると、吐出口１ｃ近傍の主送液圧力か高くなり、主
送液は吐出口１ｃから送出されるほか、一部は分流パイ
プ３を経由してマニホールド溝４にいたった後、このマ
ニホールド溝４から排出パイプ５に送出される。そして
、排出パイプ５を流れる主送液はろ過装置５ｃを通過し
たのち吸込口１ｂ近傍に還流される。マニホールド溝４
を流れる主送液は吐出口１ｃ近傍から採取されるためポ
ンプ圧かかかっており、マニホールドＩＩ■４にいたり
、軸ケーシングｌａと軸２ａとの間隙を伝わり一部はケ
ーシング１方向（第１図て左方）へ移動し、また一部は
軸２ａの後端方向（第１１４で右方）へ移動する。した
かって、シール体６、ベアリンク部８等の摺動部から摩
耗不純物かケーシング１方向に移動して、ケーシングｌ
中の主送液に混入するＪＡれは全くない。すなわち、シ
ール体６、ベアリング部８′３の摺動部は２分流バイブ
３、マニホールド溝４、排出バイブ５で構成されるｇ断
流路を流れる主送液によって形成される遮断流によって
ケーシングｌに対して完全に遮蔽されることになり、摺
動部からのケーシングｌへの摩耗不純物の混入か防止さ
れる。 なお、シール体６、ベアリング部８で発生した摩耗不純
物は、排出溝７．反流バイブ７ａを通って外部に排出さ
れることとなる。 また、第１図（ｂ）は、キャンドモータポンプに該実施
例を適用した場合を示ず図である。 図において、Ｒはローター、Ｃはコイル、Ｐはローター
Ｒの軸２ａ後部に設けられたサブポンプである。 ３はケーシングｌの吐出口１ｃ側からｍｌマニホールド
溝４に連通される分流路、５は第１マニホールド溝４に
隣接して形成される第２マニホールド溝４１から主送液
を排出するための排出路としての排出バイブである。 また、５２は、１ノ１出パイプ５に装備される冷却器て
、ベアリング、ローターての発熱をイζ取するためのも
のて、ケーシングからの主送液その他を冷却媒体として
いる。図に示すように排出バイブ５は、第２マニボール
ド溝４１と、キャンドモータ−の後部とを結んていて、
ケーシング１の吸込１１　ｌ　ｂ近傍に連通ずる第２排
出バイブ５１に、キャンドモータ−と排出バイブ５との
連結部近傍で連結されている。５１は、逆止弁、５１ｂ
は二一トルハルフ、５ｆｃ（Ｘｔｉｍ！過器、ニートル
ハルツ等からなる癌過装置である。 次に作用を説明する。 モーターの回転により、吐出ｒＩ　ｌ　ｃ側の圧力の高
い主送液は分波路３を通り、第１および第２のマニホー
ルド溝４，４１にいたり、次いて排出バイブ５を通りモ
ーター後部に送られる。そして、後部ベアリング部８（
図て右方）を抜けた後、サブポンプＰにより、ローター
Ｒその他のモーター各部を冷却しつつ前方（図で左方）
に送られる。 そして２前部ベアリング部８を抜けた後、第２マニホー
ルド溝４１にいたり、再び排出バイブ５に抜ける。 ここて、前部ベアリング部８等を抜けて、第２マニホー
ルド溝４１に達した主送液か第１マニホールド溝、分流
路３等を逆流してケーシングｌ内の主送液中に混入しな
いのは、分流路３、第１７二ホールド溝４における主送
液の圧力か、所要部を循環して第２マニホールド溝４１
に還流した主送液の圧力より高いためである。 以Ｆのように、第１マニホールド溝４には遮断流か形成
されて、ケーシングｌの主送液と、ポンプにおける摺動
部とは完全に遮断されるので、摺動部に発生した摺動摩
耗物かケーシングｌ内の主送液中に混入することはない
。 ところて、第１マニホールド溝４から第２マニポールト
溝４１に移動した主送液は、その後、排出バイブ５、モ
ーターのローターＲまわり、摺動部等を経て再び第２７
二ホールド溝４１にいたる閉鎖回路を流れることになり
、ここを流れる主送液中の摺動摩耗物等の不純物の濃度
か高まってしまうという不都合か生しる。そこで、この
実施例ては、排出バイブ５に第２排出パイプ５１を連結
し、主送液を分流し、目通装置５１ｃ″Ｃ濾過し、ケー
シング１に還流するようになっている。 このように構成することによって１分流路３を介して遮
断流を形成するためにケーシング１から第１マニホール
ド溝４にとり入れられる主送液は、第２マニホールド１
Ｍ４１以下を常に円滑に循環することができる。上述の
実施例は、　１７Ｉボしないか、マグネットポンプにも
適用しうることは勿論である。第２図は、この発明の第
２実施例を示す縦断面図である。 図において、２ｂは、送出路としてのスクリューねし部
で、軸２ａの羽根＋１（２側端部に形成されている。ス
クリューねし部２ｂ、マニホールド溝４、排出バイブ５
により遮断流路か構成されている。羽根Ｉｌｔ　２か回
転しポンプか駆動を開始すると吸込ｎ　１　ｂからｌ：
、送液か吸引され、吐出１ニア　１　ｃに圧送されるか
、これに併せてスクリューねし部２ｂの回転によりケー
シングｌ内のＩＥ送液はＪｊｂケーリンク１ａと軸２ａ
との間隙を流れてマニホールド溝４に達したのち排出バ
イブ５に流出１図示しないろ過装置を経てケーシングｌ
の吸込口ｉｂ近傍に還流する。このようにして、主送液
か遮１ｔｌｉ流路を還流することにより、ケーシングｌ
とシール体６．ベアリンク部８等の摺動部との間にｉｇ
断流か形成されて、摺動部からの摩耗不純物がケーシン
グｌ内の主送液に混入することはない。 第３図は、この発明の第３実施例で、キャンドモータ−
ポンプにおける実施例を示す図である。 図において、ｌｄｌは、ケーシングｌの前方（図で左方
）にこれと一体に配設される前部軸ケーシング、１２は
、ベアリング部８を介して、羽根車２の前側（吸込口ｌ
ｂ側）の軸２ａに嵌合するベアリング受けで、その外周
に形成された脚部１２ａ、１２ａにより前部軸ケーシン
グ１　ｄ　ｌ　ｒｊｌに固定されている。 第３図（ｄ）に示すように１３は、ケーシングｌとベア
リンク部８とを結ぶ分流路としての分流パイプて、前記
脚部１２ａとベアリング受け１２のＩ’ｌｌ　ｌｉｔを
ｉ′１通し、ベアリング部８の内周部に設けたマニホー
ルド１ＩＩＳ４に達している。１３ａは、ベアリンク受
け１２において軸２ａの端部前方に位置する凹所１２ｂ
から前部軸ケーシング１２外に延設される排出路として
の排出バイブである。 また、１ｄ２は後部軸ケーシングで、分流路としての分
流パイプ１１によりケーシングｌの吐出口ｌｃ近傍と連
通するとともに、ベアリンク部８を介して、後部の軸２
ａを支承している。軸２ａに捲装されるベアリング部８
の外周に第３図（ｃ）に示すように軸方向に複数のＣｔ
通溝８ａか形成されている。 １３ｂは、ベアリング部８の後端から後部軸ケーシング
ｌｄ２の端部に突出する排出路としての排出バイブであ
る。なお、ｌａｌはモータケーシング、Ｒはローター、
ｌａ２はローターケーシング、Ｃはコイルである。 モータか駆動し、羽根！ＩＩ２か回転すると主送液か吸
込口１ｂから吸引されて吐出口１ｃに圧送される一方、
分流パイプ１３にも主送液か流入する。この主送液は前
部ベアリング部８の７二ホールト溝４に入ったのち、一
部はケーシング１側に流出し、他の一部は摺動部として
のベアリング部８を通過し、この通過時に主送液中に混
入する摩耗不純物とともにベアリング受け１２先端の凹
所１２ｂに流入したのち、排出バイブ１３ａにより、図
示しないろ過装置で摩耗不純物を除去されたのち、ｐ）
び前部軸ケーシングｌｄｌにおける吸込口１ｂ近傍に還
流される。このように、分流パイプ１３、摺動部として
のベアリング部８、凹所１２ｂ、排出バイブ１３ａでｙ
ｉ成される遮！Ｉｒｙｉ路を分流された主送液が流れる
ことにより形成される１ｇ断流により、摺動部であるベ
アリング部８に発生する摩耗不純物かケーシングｌ内の
主送液に混入することかない。 一方、分流パイプ１１に流入する分流された主送液は、
後部軸ケーシングｌｄ２の後端部１ｄ３にいたり、次い
て、ベアリンク部８の周面に形成されたＬＴ通Ｊ＋Ｖ￥
８ａ、８ａ・・・をとうり、モータケ−シンクｌａｌ内
のローターケーシング１ａ２に流人し、その大部分は、
ローターＲを冷却して、ケーシング１に電流するか、そ
の一部は、後部の軸２ａにおけるベアリング部８を通過
し２通過の際に混入する１ｆ！耗不純物とともに、ベア
リンク部８の後端にいたり、排出バイブ１３ｂから外部
に排出されたのち、図示しないろ過装置により前部軸ケ
ーシングｌｄｌにおける吸込口１ｂ近傍に還流される。 このようにして１分流バイブ１１、ベアリング部８のｒ
ｔ通ｉ／１４８　ａ　、ベアリング部８、排出バイブ１
３ｂで構成される遮Ｉｔｌｉ流路を分流された主送液が
流れることにより形成される遮Ｐｌｉ流により、摩Ｊｔ
不純物かケーシングｌ内の主送液に混入することはない
。 次に、第４図に基づいてこの発明の：ｊＳ４実施例につ
いて説明する。 この実施例におけるポンプは、いわゆるマグネットポン
プである。 図において、ｌＡは、前部軸ケーシング２０に設けられ
た分流路で、ケーシングｌにおける吐出Ｕｌ　ｌ　ｃ近
傍からｒｍ部ベアソング部８１部分に連通している。８
ａは、ベアリング部８１の内側ベアリングと外側ベアリ
ングとの間に袖２ａ？：巻回するように形成されたマニ
ホールド溝である。 ２１は、ローターケーシング２２と一体に形成される後
部軸ケーシング、２ａ２は輔２ａの後端に嵌挿されるソ
ケットて、端縁部に複数の貫通溝２４を有している。 ２３は後部ケーシング、２５は、ローターケーシング２
２内に収納されるローター、２６はローターを囲繞する
マグネットである。 １Ｂは、前側（図で左方）の軸受部分と後側（図で右方
）の軸受部分とを連通ずる冷却水走路である。 また、２ａｌは軸２ａの軸長方向に形成される軸ｄ通溝
である。ｓｂｉはマニホールド溝８ａに連結する排出路
としての排出バイブ、８ｂ２は同様に後部軸ケーシング
２１の後端面に連結される排出路としての排出バイブで
ある。 ローター２５の回転とともに羽根車２が回転し、主送液
は吸込口１ｂから吸引されて吐出１】１ｃに向って圧送
される。圧送された主送液の一部は１分流路ＩＡを通り
前部ベアリング部８１に送出される。そして、その一部
は、ベアリンク部８工の両端から内側ベアリング、外側
ベアリングの摺動部分を通過してマニホールド溝８ａに
いたり、このときに主送液中に混入する摩耗不純物とと
もに排出バイブ８ｂｌに排出され、他の一部は摺＋ｈ部
を経ることなく走路ＩＢをとうってローター２５を冷却
しつつ後部の軸受部分に達する。そして、後部軸受部分
に達した主送液の一部は、後部軸ケーシング２１の内周
面とソケット２ａ２の外１．１面との間に介装される後
部ベアリンク部８２の摺動部分を通過し、この際に摺動
部分で発生する摩耗不純物をとり込んで排出バイブ８ｂ
２に排出され、主送液の他の一部は、摺動部分を経るこ
となくソケット２ａ２の貫通溝２４をとうり軸２ａの軸
ｔ”を通溝２１ａに流れケーシング１内に還流する。 ところで、第４図（ｃ）は、前部ベアリンク部８１近傍
の拡大断面図で１図において８１ａは、マニホールド溝
りａ内に設置される羽根車で、軸２ａに固着されている
。この羽根車８１ａの設置により分流路ＩＡから供給さ
れる送液は、効率良く排出バイブ８ｂｌに導出されるこ
とになる。 なお、８ｂｌは、いわゆる油溝でベアリング部８１の前
後端より互いに逆ネジで送液を中央部に送るようになっ
ている。 なお、これらの機構は、第３図に示した前述のキャンド
モータ−ポンプにも適用しうろことは勿論である。 ［発明の効果］ この発明は１以上述べた構成・作用によりポンプにおけ
る摺動部か、ケーシング内の主送液に対して遮断流の形
成により遮蔽されることとなるのて、主送液に摺動部て
発生した摩耗不純物か混入することなく主送液を所定の
純度に維持することかできる。 ４、図面の簡単な説ＩＪノ 第１１１は、この９４１ＪＪの第１実施例を示す縦断面
［Ａ、第２１′Ａは、第２実施例を示す縦断面図、第３
図は第３実施例を示す断面説明図、第４図は第４実施例
を示す縦断面図、第５図は従来例を示す縦断面図である
。 ｌ　・・・　・・・　ケーシング ２　・・・・・・　　羽根車 ）・・・　・・・　排出路 ８ｂｌ、８ｂ２ ｆｆ１１図 （ａ） 第　２　図 第３図 （ａ） 第３図 （ｄ） 第４図 （ｂ） 第４図 （Ｃ）

Claims (4)

【特許請求の範囲】
1. （１）羽根車と、主送液の吸込口および吐出口を有して
   羽根車を収納するケーシングと、このケーシングに連通
   する軸ケーシングとからなるポンプにおいて、 ケーシングと軸ケーシングにおける摺動部との間に主送
   液による遮断流を形成して、前記軸ケーシングにおける
   摺動部をケーシングに対して遮蔽するようにしたことを
   特徴とするポンプ。
2. （２）特許請求の範囲第１項記載のポンプにおいて、羽
   根車側の端部および摺動部の間の軸ケーシング内周面に
   形成したマニホールド溝と、このマニホールド溝とケー
   シングの吐出口近傍とを結ぶ分流路と、マニホールド溝
   に設けられた排出路とからなる遮断流路に、主送液をケ
   ーシング、分流路、マニホールド溝、排出路の順に流通
   させて遮断流を形成したことを特徴とするポンプ。
3. （３）特許請求の範囲第１項記載のポンプにおいて、羽
   根車側の端部および摺動部の間の軸ケーシング内周面に
   形成したマニホールド溝と、このマニホールド溝および
   軸ケーシングの羽根車側の端部の間にあって、羽根車の
   軸に形成された送出路と、マニホールド溝に設けられた
   排出路とからなる遮断流路に主送液をケーシング、送出
   路、マニホールド溝、排出路の順に流通させて遮断流を
   形成したことを特徴とするポンプ。
4. （４）特許請求の範囲第１項記載のポンプにおいて、ケ
   ーシングと軸ケーシングにおける摺動部の近傍を結ぶ分
   流路と、摺動部と、排出路とからなる遮断流路にケーシ
   ング、分流路、摺動部、排出路の順に主送液を流通させ
   て遮断流を形成したことを特徴とするポンプ。