JPH0511240B2 - - Google Patents

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JPH0511240B2
JPH0511240B2 JP62134170A JP13417087A JPH0511240B2 JP H0511240 B2 JPH0511240 B2 JP H0511240B2 JP 62134170 A JP62134170 A JP 62134170A JP 13417087 A JP13417087 A JP 13417087A JP H0511240 B2 JPH0511240 B2 JP H0511240B2
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Japan
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casing
pump
impeller
shaft
main liquid
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Mitsui and Co Ltd
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Priority to CN87106608A priority patent/CN1010499B/zh
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Publication of JPH0511240B2 publication Critical patent/JPH0511240B2/ja
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    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
    • F04D—NON-POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
    • F04D29/00—Details, component parts, or accessories
    • F04D29/70—Suction grids; Strainers; Dust separation; Cleaning
    • F04D29/708—Suction grids; Strainers; Dust separation; Cleaning specially for liquid pumps
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
    • F04D—NON-POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
    • F04D29/00—Details, component parts, or accessories
    • F04D29/08—Sealings
    • F04D29/10—Shaft sealings
    • F04D29/106—Shaft sealings especially adapted for liquid pumps
    • F04D29/108—Shaft sealings especially adapted for liquid pumps the sealing fluid being other than the working liquid or being the working liquid treated
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
    • F16J—PISTONS; CYLINDERS; SEALINGS
    • F16J15/00—Sealings
    • F16J15/16—Sealings between relatively-moving surfaces
    • F16J15/40—Sealings between relatively-moving surfaces by means of fluid

Description

【発明の詳細な説明】 ［産業上の利用分野］ この発明は、超純水、強酸、強アルカリ等に用
いる回転式ポンプに関するものである。
［従来技術とその問題点］ 第５図は、半導体製造工程における超純水のパ
イプラインに使用される従来のポンプの一例を示
す縦断面図である。
図において、１は、主送液の吸込口１ｂ、吐出
口１ｃを有するケーシング、２は、ケーシング１
内に収納されて主送液を吸込口１ｂから吐出口１
ｃに圧送する羽根車である。
羽根車２の軸２ａは、ケーシング１と一体に形
成されている軸受としての筒体である軸ケーシン
グ１ａに嵌挿されている。
６は、軸ケーシング１ａと軸２ａとの間に介装
されるシール体、８は、同じく軸ケーシング１ａ
と軸２ａとの間に介装されるベアリング部であ
る。
９は、軸ケーシング１ａの端部に装着されるグ
ランドシール部、１０は軸２ａに連結されて羽根
車２を回転駆動するモータである。
モータ１０の回転とともに羽根車２が回転し、
吸込口１ｂから主送液を吸引し吐出口１ｃから圧
力送付する。
このとき、主送液は、軸ケーシング１ａにおけ
る羽根車２側の端部から、軸ケーシング１ａと軸
２ａとのわずかな間隙をつたわつて軸２ａ方向に
浸入するが、シール体６に阻止され、ポンプが駆
動する間、シール体６とケーシング１との間を循
環することとなる。
このため、軸ケーシング１ａにおける摺動部で
あるベアリング部８、シール体６から摺動にとも
なつて発生する微量の摩耗不純物が、ケーシング
１に送出され、主送液に混じり合い、ケーシング
１を通過する超純水その他の主送液の純度に重大
な影響をおよぼすことになる。
ところで、例えば、半導体の製造工程における
洗浄水等は、半導体への不純物の付着を防止し、
製品の収率を上げるため、より純度を高くする必
要があり、このため洗浄水として超純水等が使用
されている。ところが、上記従来のポンプにあつ
ては、その摺動部から発生する摩耗不純物が、ポ
ンプを通過する主送液に混入してしまうため、た
とえ、主送液としての洗浄水に超純水を使用して
も、摩耗不純物の混入により半導体製品収率は大
きく低下するという問題が生じる。
問題点を解決するための手段］ この出願に係る発明は、ポンプにおける摺動部
から発生する摩耗不純物の主送液への混入移動経
路に遮断流を形成して、すなわち回転軸上におい
て、羽根車が回転自在に嵌合するポンプケーシン
グと回転軸の摺動部との間に主送液による遮断流
が形成されるべく、ポンプケーシングから主送液
の一部を回転軸の所定個所に導流し、さらにこれ
を軸ケーシング外に排出するようにして摩耗不純
物の主送液への混入を防止し、あるいはポンプケ
ーシングから導いた主送液の一部により摺動部を
常時洗い流すことにより、摺動部で発生した摩耗
不純物がポンプケーシング内の主送液に浸出する
ことを防止して、主送液を所定の純度に維持する
ことにより前述の問題点を解決しようとするもの
である。
すなわち、この出願に係る発明は、 羽根車と、主送液の吸込口および吐出口を有し
て羽根車を収納するケーシングと、このケーシン
グに連通し羽根車の回転軸を嵌挿する軸ケーシン
グを具えたポンプにおいて、 羽根車側の端部および摺動部の間の軸ケーシン
グ内周面とケーシングとを結びケーシングから主
送液の一部を摺動部方向へ導出するための送出路
と、 一端を羽根車側の端部および摺動部の間の軸ケ
ーシング内周面に連結する排出路と、 からなる遮断流路に、羽根車によつて吐出される
主送液の一部を、ケーシング、送出路、前記軸ケ
ーシング内周面、排出路の順に流通させてケーシ
ングと軸ケーシングにおける摺動部との間に主送
液による遮断流を形成して、前記軸ケーシングに
おける摺動部をケーシングに対して遮断するとと
もに摺動部からの摺動摩耗物等の微粒子を排出路
を介して放出するようにしている。
さらに、この出願に係る他の発明は、 羽根車と、主送液の吸込口および吐出口を有し
て羽根車を収納するケーシングと、このケーシン
グに連通し羽根車の回転軸を嵌挿する軸ケーシン
グと、回転軸の外周に設けられたメカニカルシー
ル部、ベアリング部等の摺動部を具えたポンプに
おいて、 前記摺動部よりも羽根車側の回転軸の外周に臨
んで摺動部付近の主送液をポンプ外に排出させる
排出ポートを設け、主送液をケーシングから軸ケ
ーシングと回転軸との間隙を通過させて排出ポー
トに流出せしめて遮断流を形帯成するとともに、
この遮断流に混入する摺動部からの摩耗物等の微
粒子を排出ポートを介して外部に放出するように
している。
また、この出願に係る他の発明は、 羽根車と、主送液の吸込口および吐出口を有し
て羽根車を収納するケーシングと、羽根車の回転
軸に設けたロータと、このロータを回転させる磁
気カツプリングを具え回転軸の両端で軸支される
ポンプにおいて、 ケーシングの吐出口近傍と前部軸受けの摺動部
と羽根車との間の個所を連結する分流路を設ける
一方、この分流路から前部軸受けへ流入し摺動部
を通過して摩耗微粒子を混入捕捉した主送液をポ
ンプ外に流出させるための排出路を設けるととも
に、 ロータケーシングとケーシングの吐出口近傍と
の間に分流路を設ける一方、この分流路によりロ
ータケーシング内に供給された主送液の１部を後
部軸受けの摺動部を通過させて摩耗微粒子ととも
にポンプ外に流出させるための排出路を設け、そ
れぞれの摺動部からの摺動摩耗物等の微粒子を排
出路を介してポンプ外に放出するようにしてい
る。
さらにまた、この出願に係る他の発明は、 羽根車と、主送液の吸込口および吐出口を有し
て羽根車を収納するケーシングと、先端に羽根車
を有する回転軸に設けたロータと、このロータを
回転させる磁気カツプリングを具え、回転軸の羽
根車側と後端でそれぞれ軸支されるポンプにおい
て、 ケーシングの吐出口近傍と前記羽根車側の軸支
部とを連結する分流路を設ける一方、この分流路
から流入し前記羽根車側の軸支部の摺動部を通過
して摩耗微粒子を混入捕捉した主送液をポンプ外
に流出させるための排出路を設けるとともに、前
記分流路から流入し回転軸、ロータを冷却しつつ
回転軸の後端に到達した主送液の１部を後端軸支
部の摺動部を通過させて摩耗微粒子とともにポン
プ外に流出させるための排出路を設け、摩耗微粒
子等がケーシング中の主送液に混入することを防
止するようにしている。
［作 用］ この出願に係る発明において、ポンプにおける
摺動部の近傍もしくは、摺動部を遮断流が流れる
ことにより、摺動部から発生する摩耗不純物のケ
ーシング内の主送液への混入、すなわち、吸込
口、羽根車、吐出口の順に流れる主送液への摩耗
不純物の混入が遮断される一方、前記遮断流は混
入した摩耗不純物をポンプ外に排出するので主送
液は所定の純度を維持できる。
［実施例］ 図面に基づいて実施例を説明する。
なお、従来例と同一箇所には同一符号を付して
重複説明は省略する。
第１図ａは、この発明の請求項１，２，３，
４，５の各項に係る１実施例を示す縦断面図であ
る。３は、その一端にケーシング１の吐出口１ｃ
の近傍に開口し、他端を後述のマニホールド溝４
に開口する分流路（送出路）としての分流パイプ
で、ニードルバルブ３ａを有している。
軸ケーシング１ａの内周面に形成される前述の
マニホールド溝４は、摺動部としてのメカニカル
シール部等のシール体６と軸ケーシング１ａの羽
根車２側の端部との間に位置している。この実施
例でマニホールド溝４は二列形成されているが、
一列でも良い。
５は、排出路としての排出パイプで、その一端
はマニホールド溝４に開口し、他端はケーシング
１の吸込口１ｂ（吸引手段）近傍に開口しており、
逆止弁５ａ、ニードルバルブ５ｂ、ろ過装置５ｃ
を有している。ろ過装置５ｃは、二個のフイルタ
ー５ｃ１、ニードルバルブにより構成されてい
る。７は軸ケーシング１ａ内周面においてシール
体６とベアリング部８との間に形成された排出溝
で、廃流パイプ７ａを有している。
上述の構成の下に該実施例の作用を説明する。
モータ１０が駆動し、羽根車２が回転を始める
と主送液は吸込口１ｂから吸引され、吐出口１ｃ
に圧送される。すると、吐出口１ｃ近傍の主送液
圧力が高くなり、主送液は吐出口１ｃから送出さ
れるほか、一部は分流パイプ３を経由してマニホ
ールド溝４にいたつた後、このマニホールド溝４
から排出パイプ５に送出される。
そして、排出パイプ５を流れる主送液はろ過装
置５ｃを通過したのち吸込口１ｂ近傍に還流され
る。マニホールド溝４を流れる主送液は吐出口１
ｃ近傍から採取されるためポンプ圧がかかつてお
り、マニホールド溝４にいたり、軸ケーシング１
ａと軸２ａとの間隙を伝わり一部はケーシング１
方向（第１図で左方）へ移動し、また一部は軸２
ａの後端方向（第１図で右方）へ移動する。した
がつて、シール体６、ベアリング部８等の摺動部
から摩耗不純物がケーシング１方向に移動して、
ケーシング１中の主送液に混入する虞れは全くな
い。すなわち、シール体６、ベアリング部８等の
摺動部は、分流パイプ３、マニホールド溝４、排
出パイプ５で構成される遮断流路を流れる主送液
によつて形成される遮断流によつてケーシング１
に対して完全に遮蔽されることになり、摺動部か
らのケーシング１への摩耗不純物の混入が防止さ
れる。
なお、シール体６、ベアリング部８で発生した
摩耗不純物は、排出溝７、廃流パイプ７ａを通つ
て外部に排出されることになる。
また、第１図ｂは、請求項１，２，３，４，５
の各項に係る他の実施例をキヤンドモータポンプ
に適用した場合を示す図である。
図において、Ｒはローター、Ｃはコイル、Ｐは
ローターＲの軸２ａ後部に設けられたサブポンプ
である。
３はケーシング１の吐出口１ｃ側から第１マニ
ホールド溝４に連通される分流路、５は第１マニ
ホールド溝４に隣接して形成される第２マニホー
ルド溝４１から主送液を排出するための排出路を
構成する排出パイプである。
また、５２は、排出パイプ５に装備される冷却
器で、ベアリング、ローターでの発熱を奪取する
ためのもので、ケーシングからの主送液その他を
冷却媒体ととしている。図に示すように排出パイ
プ５は、第２マニホールド溝４１と、キヤンドモ
ーターの後部とを結んでいて、ケーシング１の吸
込口１ｂ（吸引手段）近傍に連通する第２排出パ
イプ５１に、キヤンドモーターと排出パイプ５と
の連結部近傍で連結されている。排出パイプ５、
第２排出パイプ５１により排出路が構成されてい
る。５１ａは逆止弁、５１ｂはニードルバルブ、
５１ｃはろ過器である。
次に作用を説明する。
モーターの回転により、吐出口１ｃ側の圧力の
高い主送液は分流路３を通り、第１および第２の
マニホールド溝４，４１にいたり、次いで排出パ
イプ５を通りモーター後部に送られる。そして、
後部ベアリング部８（図で右方）を抜けた後、サ
ブポンプＰにより、ローターＲその他のモーター
各部を冷却しつつ前方（図で左方）に送られる。
そして、前部ベアリング部８を抜けた後、第２マ
ニホールド溝４１にいたり、再び排出パイプ５に
抜ける。
ここで、前部ベアリング部８等を抜けて、第２
マニホールド溝４１に達した主送液が第１マニホ
ールド溝、分流路３等を逆流してケーシング１内
の主送液中に混入しないのは、分流路３、第１マ
ニホールド溝４における主送液の圧力が、所要部
を循環して第２マニホールド溝４１に還流した主
送液の圧力より高いためである。
以上のように、第１マニホールド溝４には遮断
流が形成されて、ケーシング１の主送液と、ポン
プにおける摺動部とは完全に遮断されるので、摺
動部に発生した摺動摩耗物がケーシング１内の主
送液中に混入することはない。
ところで、第１マニホールド溝４から第２マニ
ホールド溝４１に移動した主送液は、その後、排
出パイプ５、モーターのローターＲまわり、摺動
部等を経て再び第２マニホールド溝４１にいたる
閉鎖回路を流れることになり、ここを流れる主送
液中の摺動摩耗物等の不純物の濃度が高まつてし
まうという不都合が生じる。
そこで、この実施例では、排出パイプ５に第２
排出パイプ５１を連結し、主送液を分流し、ろ過
装置５１ｃでろ過し、ケーシング１に還流するよ
うになつている。
このように構成することによつて、分流路３を
介して遮断流を形成するためにケーシング１から
第１マニホールド溝４にとり入れられる主送液
は、第２マニホールド溝４１以下を常に円滑に循
環することができる。上述の実施例は、図示しな
いが、マグネツトポンプにも適用しうることは勿
論である。
第２図は、請求項６，７に係る発明の１実施例
を示す縦断面図である。
図において、２ｂは、送出路としてのスクリユ
ーねじ部で、軸２ａの羽根車２側端部に形成され
ている。スクリユーねじ部２ｂ、マニホールド溝
４、排出ポートとしての排出パイプ５により遮断
流路が構成されている。羽根車２が回転しポンプ
が駆動を開始すると吸込口１ｂから主送液が吸引
され、吐出口１ｃに圧送されるが、これに併せて
スクリユーねじ部２ｂの回転によりケーシング１
内の主送液は軸ケーシング１ａと軸２ａとの間隙
を流れてマニホールド溝４に達したのち排出パイ
プ５に流出、図示しないろ過装置を経てケーシン
グ１の吸込口１ｂ（吸引手段）近傍に還流する。
このようにして、主送液が遮断流路を還流する
ことにより、ケーシング１とシール体６、ベアリ
ング部８等の摺動部との間に遮断流が形成される
ので、摺動部からの摩耗不純物が軸ケーシング１
ａと軸２ａとの間隙を逆流してケーシング１内の
主送液に混入することはなく遮断流とともにポン
プ外に排出される。
なお、上述の実施例においては、軸ケーシング
１ａと軸２ａとの間隙にスクリユーねじ部２ｂ、
マニホールド溝４を形成したが、これらを敢えて
設けなくても良い。すなわち、羽根車２の回転に
より、ケーシング１内の主送液は軸２ａと軸ケー
シング１ａとの間隙内に浸出するから、この浸出
した主送液を排出パイプ５により外部に吸引すれ
ば摺動部で発生した摩耗不純物が軸ケーシング１
ａと軸２ａとの間隙を逆流してケーシング１内の
主送液に混入することはない。
第３図は、請求項８，９の各項に係る発明の１
実施例を示す図で、キヤンドモーターポンプにお
ける実施例を示している。
図において、１ｄ１は、ケーシング１の前方
（図で左方）にこれと一体に配設される前部軸ケ
ーシング、１２は、ベアリング部８を介して、羽
根車２の前側（吸込口１ｂ側）の軸２ａに嵌合す
るベアリング受けで、その外周に形成された脚部
１２ａ，１２ａにより前部軸ケーシング１ｄ１中
に固定されている。
第３図ｄに示すように１３は、ケーシング１と
ベアリング部８とを結ぶ分流路としての分流パイ
プで、前記脚部１２ａとベアリング受け１２の側
壁を貫通し、ベアリング部８の内周面に設けたマ
ニホールド溝４に達している。１３ａは、ベアリ
ング受け１２において軸２ａの端部前方に位置す
る凹所１２ｂから前部軸ケーシング１２外に延設
される排出路としての排出パイプである。また、
１ｄ２は後部軸ケーシングで、分流路としての分
流パイプ１１によりケーシング１の吐出口１ｃ近
傍と連通するとともに、ベアリング部８を介し
て、後部の軸２ａを支承している。軸２ａに捲装
されるベアリング部８の外周に第３図ｃに示すよ
うに軸方向に複数の貫通溝８ａが形成されてい
る。
１３ｂは、ベアリング部８の後端から後部軸ケ
ーシング１ｄ２の端面に突出する排出路としての
排出パイプである。なお、１ａ１はモータケーシ
ング、Ｒはローター、１ａ２はローターケーシン
グ、Ｃはコイルである。
モータが駆動し、羽根車２が回転すると主送液
が吸込口１ｂから吸引されて吐出口１ｃに圧送さ
れる一方、分流パイプ１３にも主送液が流入す
る。この主送液は前部ベアリング部８のマニホー
ルド溝４に入つたのち、一部はケーシング１側に
流出し、他の一部は摺動部としてのベアリング部
８を通過し、この通過時に主送液中に混入する摩
耗不純物とともにベアリング受け１２先端の凹所
１２ｂに流入したのち、排出パイプ１３ａによ
り、図示しないろ過装置で摩耗不純物を除去され
たのち、再び前部軸ケーシング１ｄ１における吸
込口１ｂ近傍に還流される。
このように、分流パイプ１３、摺動部としての
ベアリング部８、凹所１２ｂ、排出パイプ１３ａ
で構成される遮断流路を分流された主送液が流れ
ることにより形成される遮断流により、摺動部で
あるベアリング部８に発生する摩耗不純物がケー
シング１内の主送液に混入することがない。
一方、分流パイプ１１に流入する分流された主
送液は、後部軸ケーシング１ｄ２の後端部１ｄ３
にいたり、次いで、ベアリング部８の周面に形成
された貫通溝８ａ，８ａ…を通り、モータケーシ
ング１ａ１内のローターケーシング１ａ２に流入
し、その大部分は、ローターＲを冷却して、ケー
シング１に還流するが、その一部は、後部の軸２
ａにおけるベアリング部８を通過し、通過の際に
混入する摩耗不純物とともに、ベアリング部８の
後端にいたり、排出パイプ１３ｂから外部に排出
されたのち、図示しないろ過装置により含有する
摩耗不純物を除去した後、前部軸ケーシング１ｄ
１における吸込口１ｂ近傍に還流される。
このようにして、羽根車２に嵌合されるケーシ
ング１、分流パイプ１１、ベアリング部８の貫通
溝８ａ、ベアリング部８と回転軸との摺動面、排
出パイプ１３ｂ、ろ過装置、ケーシング１の順に
形成される遮断流路を分流された主送液が流れる
ことにより生ずる遮断流により、摩耗不純物がケ
ーシング１内の主送液に混入することはない。
次に、第４図に基づいて請求項１０，１１に係
る発明の１実施例について説明する。
この図はマグネツトポンプの一例を示してお
り、図において、１Ａは、前部軸ケーシング２０
に設けられた分流路で、ケーシング１における吐
出口１ｃ近傍から前部ベアリング部８１部分に連
通している。８ａはベアリング部８１の内側ベア
リングと外側ベアリングとの間に軸２ａを巻回す
るように形成されたマニホールド溝である。
２１は、ローターケーシング２２と一体に形成
される後部軸ケーシング、２ａ２は軸２ａの後端
に嵌挿されるソケツトで、端縁部に複数の貫通溝
２４を有している。
２３は後部ケーシング、２５は、ローターケー
シング２２内に収納されるローター、２６はロー
ターを回転させる磁気カツプリングである。
１Ｂは、前側（図で左方）の軸受部分と後側
（図で右方）の軸受部分とを連通する冷却水走路
である。
また、２ａ１は軸２ａの軸長方向に形成される
軸貫通溝である。８ｂ１はマニホールド溝８ａに
連結する排出路としての排出パイプ、８ｂ２は同
様に後部軸ケーシング２１の後端面に連結される
排出路としての排出パイプである。
ローター２５の回転とともに羽根車２が回転
し、主送液は吸込口１ｂから吸引されて吐出口１
ｃに向つて圧送される。圧送された主送液の一部
は、分流路１Ａを通り前部ベアリング部８１に送
出される。そして、その一部は、ベアリング部８
１の両端から内側ベアリング、外側ベアリングの
摺動部分を通過してマニホールド溝８ａにいた
り、このときに主送液中に混入する摩耗不純物と
ともに排出パイプ８ｂ１に排出され、他の一部は
摺動部を経ることなく走路１Ｂをとうつてロータ
ー２５を冷却しつつ後部の軸受部分に達する。そ
して、後部軸受部分に達した主送液の一部は、後
部軸ケーシング２１の内周面とソケツト２ａ２の
外周面との間に介装される後部ベアリング部８２
の摺動部分を通過し、この際に摺動部分で発生す
る摩耗不純物をとり込んで排出パイプ８ｂ２に排
出され、主送液の他の一部は、摺動部分を経るこ
となくソケツト２ａ２の貫通溝２４をとうり軸２
ａの軸貫通溝２ａ１に流れケーシング１内に還流
する。
ところで、第４図ｃは、前部ベアリング部８１
近傍の拡大断面図で、図において８１ａは、マニ
ホールド溝８ａ内に設置される羽根車で、軸２ａ
に固着されている。この羽根車８１ａの設置によ
り分流路１Ａから供給される送液は、効率良く排
出パイプ８ｂ１に導出されることになる。
なお、８１ｂは、誘導溝でベアリング部８１の
前後端より互いに逆ネジで送液を中央部に送るよ
うになつている。
なお、これらの機構は、第３図に示した前述の
キヤンドモーターポンプにも適用しうることは勿
論である。
ところで本願出願者等は本願発明に係るキヤン
ドモーターポンプと従来技術に係るポンプの比較
実験をオルガノ株式会社に委託して実行した。
この実験に使用したポンプは、三井物産株式会
社、多賀研究所、帝国電気株式会社により共同製
作された本願発明に係るキヤンドモーターポンプ
を使用して行なわれたもので、吐出量および冷却
量を変化させたときのポンプからの微粒子発生量
を、従来のポンプと比較した。
＊ポンプ仕様 （本願ポンプ、従来ポンプ共通） 吐出水量 1.2m3／hr 揚 程 14m 定格出力 0.75kw 〓パーテイクルカウンター 東レ(株)製 以上のような実験の結果、従来型のポンプで
は、運転中に発生した微粒子の大部分がポンプ室
中の主送液中に混入することが判明したのに対
し、本発明に係るポンプでは、発生した微粒子の
主送液への混入を零とすることはできないが、大
幅に防止されることが判明した。
［発明の効果］ この発明は、以上述べた構成・作用によりポン
プにおける摺動部が、ケーシング内の主送液に対
して遮断流の形成により遮蔽されることとなるの
で、主送液に摺動部で発生した摩耗不純物が混入
することなく主送液を所定の純度に維持すること
ができる。
【図面の簡単な説明】
第１図ａは、請求項１、２、３、４、５の各項
に係る発明の１実施例を示す縦断面図、第１図ｂ
は、請求項１、２、３、４、５の各項に係る発明
の他の実施例を示す縦断面図、第２図は、請求山
項６、７の各項に係る発明の実施例を示す縦断面
図、第３図は請求項８、９の各項に係る発明の実
施例を示す断面説明図、第４図は請求項１０、１
１の各項に係る発明の実施例を示す縦断面図、第
５図は従来例を示す縦断面図である。 図において、１…ケーシング、２…羽根車、
３，１Ａ，１１…分流路、４…マニホールド溝、
５，８ｂ１，８ｂ２…排出路。

Claims (1)

  1. 【特許請求の範囲】 １ 羽根車と、主送液の吸込口および吐出口を有
    して羽根車を収納するケーシングと、このケーシ
    ングに連通し羽根車の回転軸を嵌挿する軸ケーシ
    ングを備えたポンプにおいて、 羽根車側の端部および摺動部の間の軸ケーシン
    グ内周面とケーシングとを結びケーシングから主
    送液の一部を摺動部方向へ導出するための送出路
    と、 一端を羽根車側の端部および摺動部の間の軸ケ
    ーシング内周面に連結する排出路と、 からなる遮断流路に、羽根車によつて吐出される
    主送液の一部を、ケーシング、送出路、前記軸ケ
    ーシング内周面、排出路の順に流通させてケーシ
    ングと軸ケーシングにおける摺動部との間に主送
    液による遮断流を形成して、前記軸ケーシングに
    おける摺動部をケーシングに対して遮蔽するとと
    もに摺動部からの摺動摩耗物等の微粒子を排出路
    を介して放出するようにしたことを特徴とするポ
    ンプ。 ２ 前記排出路の他端は、吸引手段に接続したこ
    とを特徴とする特許請求の範囲第１項記載のポン
    プ。 ３ 前記送出路は、 羽根車側の端部および摺動部の間の軸ケーシン
    グ内周面とケーシングの吐出口近傍とを結ぶ分流
    路で構成したことを特徴とする特許請求の範囲第
    ２項記載のポンプ。 ４ 分流路の一端が連結される羽根車側の端部お
    よび摺動部の間の前記軸ケーシング内周面にはマ
    ニホールド溝を形成したことを特徴とする特許請
    求の範囲第３項記載のポンプ。 ５ 前記排出路の一端が連結される吸引手段は、
    当該ポンプで構成するとともに、排出路にはろ過
    装置を設けたことを特徴とする特許請求の範囲第
    ２項ないし第４項いずれか記載のポンプ。 ６ 羽根車と、主送液の吸込口および吐出口を有
    して羽根車を収納するケーシングと、このケーシ
    ングに連通し羽根車の回転軸を嵌挿する軸ケーシ
    ングと、回転軸の外周に設けられたメカニカルシ
    ール部、ベアリング部等の摺動部を具えたポンプ
    において、 前記摺動部よりも羽根車側の回転軸の外周に臨
    んで摺動部付近の主送液をポンプ外に排出させる
    排出ポートを設けたことを特徴とするポンプ。 ７ ケーシングと摺動部間において、羽根車の回
    転軸にスクリユーねじ部を形成したことを特徴と
    する特許請求の範囲第６項記載のポンプ。 ８ 羽根車と、主送液の吸込口および吐出口を有
    して羽根車を収納するケーシングと、羽根車の回
    転軸に設けたロータと、このロータを回転させる
    磁気カツプリングを具え回転軸の両端で軸支され
    るポンプにおいて、 ケーシングの吐出口近傍と前部軸受けの摺動部
    と羽根車との間の個所とを連結する分流路を設け
    る一方、この分流路から前部軸受けへ流入し摺動
    部を通過して摩耗微粒子を混入捕捉した主送液を
    ポンプ外に流出させるための排出路を設けるとと
    もに、 ロータケーシングとケーシングの吐出口近傍と
    の間に分流路を設ける一方、この分流路によりロ
    ータケーシング内に供給された主送液の１部を後
    部軸受けの摺動部を通過させて摩耗微粒子ととも
    にポンプ外に流出させるための排出路を設けたこ
    とを特徴とするポンプ。 ９ 前記両排出路は、ろ過装置を介してポンプの
    主送液吸込口に連結したことを特徴とする特許請
    求の範囲第８項記載のポンプ。 １０ 羽根車と、主送液の吸込口および吐出口を
    有して羽根車を収納するケーシングと、先端に羽
    根車を有する回転軸に設けたロータと、このロー
    タを回転させる磁気カツプリングを具え、回転軸
    の羽根車側と後端でそれぞれ軸支されるポンプに
    おいて、 ケーシングの吐出口近傍と前記羽根車側の軸支
    部とを連結する分流路を設ける一方、この分流路
    から流入し前記羽根車側の軸支部の摺動部を通過
    して摩耗微粒子を混入捕捉した主送液をポンプ外
    に流出させるための排出路を設けるとともに、前
    記分流路から流入し回転軸、ロータを冷却しつつ
    回転軸の後端に到達した主送液の１部を後端軸支
    部の摺動部を通過させて摩耗微粒子とともにポン
    プ外に流出させるための排出路を設けたことを特
    徴とするポンプ。 １１ 前記両排出路は、ろ過装置を介してポンプ
    の主送液吸込口に連結したことを特徴とする特許
    請求の範囲第１０項記載のポンプ。
JP62134170A 1986-09-30 1987-05-29 ポンプ Granted JPS63266193A (ja)

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