JPS63247392A - 部分めつき装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 ［産業上の利用分野］ 本発明は、リードフレーム等の部分めっきに用いる部分
めっき装置に関する。

［従来の技術］ リードフレーム等の一部表面に部分的にめっきを施す場
合には、従来、第４図に示したような部分めっき装置ｌ
を用いて行っていた。以下、この装置を説明する。図中
において、２は、その先端中央にめっき液３を噴射する
開口部４を開口したノズルである。このノズル２周囲の
該ノズル先端上方を除く周囲をマスク５で所定間隔あけ
て囲んで、ノズル２上方にマスクの開口部６を形成する
。

そして、該マスク５上の開口部６周囲にその上面に柔軟
材７を被着させた、リードフレーム８ａ等の部分めっき
部材８を載せる搭載面９を形成する。

また、上記搭載面９上方に搭載面９上面に載せた部分め
っき部材８をその上方から押圧して該部材８を搭載面９
上面に押接させる加圧手段１０を備える。さらに、上記
ノズル２周囲を囲むマスク内空間１３に電極ＩＩを備え
る。第４図の部分めっき装置は以上の構成からなる。次
に、その使用例を説明する。マスク上の搭載面９上面に
部分めっきすべきリードフレーム等の部分めっき部材８
を、その部分めっきすべき表面部分１２をノズル２上方
のマスクの開口部６内 そして、該搭載面９上面に搭載した部分めっき部材８上
面を加圧手段１０を用いて押圧して、部分めっき部材８
を搭載面９上面に押接させる。次に、ノズル先端の開口
部４からめっき液３をノズル２先方に向けて噴射すると
共に、マスク内空間１３に備えた電極１１と搭載面９に
載せた部分めっき部材８との間にめっき用電流を流す。

すると、ノズル先端の開口部４からその上方に向けて噴
射しためっき液３が、その上方のマスクの開口部６内き
当たって該表面部分１２およびマスク５内側面に沿って
循環通過しつつノズル２の周囲外方へと落下することと
なって、電極１１と部分めっき部材８との間に流しため
っき用電流でマスクの開口部６内 ２に部分めっきが施される。

［発明が解決しようとする問題点］ ところで、上述従来の部分めっき装置１を用いてリード
フレーム等の部分めっき部材８に部分めっきを施した場
合には、ノズル２からその上方のマスク内空間１３にめ
っき液３を勢い良く噴射させるため、該マスク内空間１
３内部を循環するめっき液３に相当な圧力が掛かって、
マスク上の搭載面９と該搭載面上面に押接させた部分め
っき部材８との間のわずかな隙間１４からめっき液３が
マスク５外部へと漏れ出し、その漏れ出しためっき液３
で部分めっきすべきマスクの開口部６内露呈した部分め
っき部材の表面部分１２以外の表面部分に余計なめっき
が施されてしまった。そして、そのために、該部分めっ
き部材８のはんだめっき等の後処理を良好に行えなかっ
たり、後処理用の処理液が汚染されたり、さらには部分
めっき部材８の外観が損なわれたりした。このことは、
特にマスク上の搭載面９との間に隙間１４を生じ易いリ
ードフレーム８ａ等のその表面にプレス加工により打ち
抜く等して形成した空隙部（図示せず。

）を有する部分めっき部材８のワイヤボンディング箇所
およびチップボンディング箇所等の一部表面に上述装置
ｌを用いて部分めっきを施そうとした場合に著しく、上
述装置ｌを用いてリードフレーム８ａに部分めっきを施
した場合には、該リードフレームのアウターリード部分
にめっき液３が漏れ出してめっきが施されてしまい、そ
のために、該アウターリード部分にはんだめっき等の後
処理を良好に施すことができなかったり、該アウターリ
ード部分に施されためっきで後処理用の処理液が汚染さ
れた。また加えて、アウターリード部分に銀めっきが施
されたリードフレーム８ａを用いて半導体装置を形成し
た場合には、そのアウターリード部分に施された銀めっ
きがシルバーマイグレーションを起こして、半導体装置
の各アウターリード間の絶縁性が低下する原因となった
。

なお、上述従来のめっき装置１において、第４図に示し
たように、マスク上の搭載面９上面に硬度の低いゴム材
等の柔軟材７を厚く被着させると共に、該搭載面９上面
に載せた部分めっき部材８上面を加圧手段１０を用いて
上記の搭載面９上面の柔軟材７表面に強く押接させつつ
、上述めっき装置ｌを用いて部分めっき部材８の一部表
面にマスク内空間１３からめっき液３を漏らさぬように
して部分めっきを施すことが従来より行われていた。し
かし、そのようにして部分めっきを施した場合にも、上
述めっき装置ｌでは、マスク上の搭載面９上面と該上面
に押接させた部分めっき部材８の下面や部分めっき部材
８の表面のプレス加工により打ち抜く等して形成した空
隙部内部との間の隙間１４からマスク内空間１３を循環
するめっき液３がマスク５外部へと漏れ出して、部分め
っきを施す表面部分１２以外の部分めっき部材８の表面
部分にもめっきが施されてしまった。

本発明は、かかる問題点を解決するためのもので、そ゛
の目的は、表面にプレス加工により打ち抜く等して形成
した空隙部を有するリードフレーム８ａ等の部分めっき
部材８であっても、その一部表面部分のみに常に的確に
部分めっきを施すことのできる部分めっき装置を提供す
ることにある。

［問題点を解決するための手段］ 上記目的を達成するために、本発明の部分めっき装置２
０は、第１図および第２図にその構成例を示したように
、その先端にめっき液回収口２１を開口すると共に、そ
の先端周囲面２２を内方に所定角度傾斜させたノズル構
成部材２ａと、該ノズル構成部材２ａ周囲をその先端上
方に開口部６を残して囲んで、上記ノズル構成部材の所
定角度傾斜した先端周囲面２２との間にノズル２の狭小
なめっき液噴射路２３を形成するマスク５と、該マスク
５上の上記開口部６周囲に形成した部分めっき部材８を
載せる搭載面９と、マスクの開ロ部６上面を覆った状態
で該マスク上の搭載面９に載せた部分めっき部材８を該
部材上面から押圧してマスク上の搭載面９に押接させる
加圧手段１０と、上記ノズル構成部材２ａ周囲を囲むマ
スク内空間Ｉ３に備えた電極１１とからなることを特徴
とする。

また、本発明の部分めっき装置２０において、搭載面９
は、開口部６周囲のマスク５上に柔軟材７を被着させて
形成することが好適である。

［作用］ 本発明の部分めっき装置２０において、マスク上の搭載
面９に部分めっき部材８を、該部材の部分めっきを施す
表面部分１２をマスクの開口部６内 ８を加圧手段１０を用いて搭載面９上面に押接させた後
、ノズル構成部材の所定角度傾斜した先端周囲面２２と
マスク５内側面との間のノズル２の狭小なめっき液噴射
路２３を通してめっき液３をノズル２先方に向けて噴射
させて、該噴射させためっき液３をノズル２上方のマス
クの開口部６内き当てた後、その突き当てためっき液を
ノズル構成部材２ａ先端のめっき液回収口２１を通して
マスク内空間１３をその下方へと落下させながら、マス
ク内空間Ｉ３に備えた電極１１と部分めっき部材８との
間にめっき用電流を流す。すると、めつき液３の突き当
たるマスクの開口部６内した部分めっき部材の表面部分
１２に部分めっきが施される。そして、その際に、霧吹
きの原理を利用して気体を吸引するアスピレータ−と同
様な原理に基づき、内方へと所定角度傾斜させたノズル
構成部材の先端周囲面２２とマスク内側面とで形成した
ノズル２の狭小なめっき液噴射路２３を通してノズル２
の先方内側へと噴射してノズル上方のマスクの開口部６
内 部材の表面部分１２に突き当たってノズル構成部材先端
のめっき液回収口２１を通してマスク内空間Ｉ３をその
下方へと落下するめっき液３に吸引力が生じて、マスク
上の搭載面９上面と該上面に押接した部分めっき部材８
との間の隙間１４を通してマスク５外部の外気が上記め
っき液３の吸引力を受けてマスク内空間１３へと吸引さ
れ、搭載面９上面と部分めっき部材８との間の隙間１４
を通してマスク内空間１３からマスク５外部へと漏れ出
ようとするめっき液３が上記隙間１４を通してマスク内
空間！３へと吸引される外気の押圧力を受けてマスク内
空間１３に引き戻されるため、マスク内空間１３から上
記隙間１４を通ってめっき液３がマスク５外部へと漏れ
出すことがない。

［実施例］ 次に、本発明の実施例につき、図面に従い説明する。第
１図および第２図は本発明の部分めっき装置（以下、単
に装置と言う。）の好適な実施例を示し、第１図は該装
置の概略構成図、第２図は該装置のアスピレータ−に近
似する部分の拡大構造説明図を示す。図中において、２
ａはその先端中央にチャンネル状のめっき液回収口２１
を広く開口させると共に、その左右の先端周囲面２２を
内方へと所定角度傾斜させた横方向に長い断面はぼコの
字状のノズル構成部材である。このノズル構成部材２ａ
の周囲に、該ノズル構成部材２ａ周囲をその先端上方に
開口部６を残して囲んで、ノズル構成部材２ａの所定角
度傾斜した左右の先端周囲面２２との間にノズル２の狭
小なめっき液噴射路２３を形成する樹脂等の絶縁材料を
用いて形成したマスク５を備える。そして、該マスクの
開ロ部６周囲のマスク５の上面部分に、部分めっきすべ
きリードフレーム８ａ等の部分めっき部材８を載せるそ
の表面をゴム材等の柔軟材７で覆った平面状等の搭載面
９を備える。また、搭載面９の上方にマスクの開ロ部６
上面を覆った状態で搭載面９に載せた部分めっき部材８
を該部材上面から抑圧してマスク上の搭載面９に押接さ
せる加圧手段１０を備える。加圧手段ＩＯは、その部分
めっき部材８上面を直接押圧する部材を、その下面にゴ
ム材等の柔軟材２４を被着させたブロック材２５とする
。さらに、上記のノズル構成部材２ａのチャンネル状の
めっき液回収口２Ｉの左右の側縁上方のめっき液噴射路
２３先方に位置するマスク内空間１３に白金材等からな
る電極１１をそれぞれ備える。第１図および第２図に示
した装置２゜は以上の構成からなる。

次に、その使用例を説明する。マスク上に備えた搭載面
９上面に部分めっきすべきリードフレーム等の部分めっ
き部材８を載せて、マスクの開口部６内 面部分１２を露呈させる。そして、搭載面９に載せた部
分めっき部材８上面に加圧手段の先端に柔軟材２４を被
着させたブロック材２５を押し付けて該部材８上面を加
圧手段ｌＯで押圧し、搭載面９上面に部分めっき部材８
を押接させる。次に、内方へと所定角度傾斜させたノズ
ル構成部材の先端周囲面２２とマスク５内側面との間の
ノズル２の狭小なめっき液噴射路２３を通してめっき液
３をノズル２先方に向けて噴射させる。そして、この噴
射させためっき液３をノズル２上方のマスクの開口部６
内 めっきすべき表面部分１２に突き当てると共に、この突
き当てためっき液３をノズル構成部材先端のめっき液回
収口２１を通してマスク内空間１３をその下方へと落下
させながら、ノズル構成部材のめっき液回収口２１の側
縁上方のマスク内空間１３に備えた電極１１と部分めっ
き部材８との間にめっき用電流を流す。すると、ノズル
上方のマスクの開口部６内 当たる部分めっき部材の表面部分１２に部分めっきが施
される。そしてその際、アスピレータ−と同様な原理に
より、マスク内空間１３を循環するめっき液３に吸引力
が生じて、搭載面９上面と該上面に載せた部分めっき部
材８との間の隙間１４を通してマスク５外部の外気がマ
スク内空間１３へと吸引され、該吸引される外気の押圧
力によりマスク内空間１３から上記隙間１４を通ってマ
スク５外部へと漏れ出ようとするめっき液３がマスク内
空間１３へと引き戻されて、めっき液３が上記隙間１４
を通ってマスク５外部へと漏れ出すことがない。

なお、上述実施例の装置２０において、ノズル２のめっ
き液噴射路２３を形成するノズル構成部材の先端周囲面
２２とマスク５内側面とを、第３図に示したように、内
方に向けて曲面状に湾曲させて形成すれば、ノズル２の
めっき液噴射路２３から噴射させためっき液３が無駄な
くより確実にノズル２上方のマスクの開口部６内 部分めっき部材の表面部分１２に突き当たった後、ノズ
ル構成部材先端のめっき液回収口２１を通してマスク内
空間１３をその下方へと落下することとなって、アスピ
レータ−と同様な原理により、マスク内空間１３を循環
するめっき液３が搭載面９と該上面に押接させた部分め
っき部材８との間の隙間１４を通ってマスク５外部へと
漏れ出すのを的確に防止できて良い。

また、上述実施例の装置２０において、マスクの開口部
６周囲のマスク５上に、柔軟材７を被着せずに、マスク
５上面を平面状等に削成して部分めっき部材８を搭載す
る搭載面９を形成しても良い。

［発明の効果］ 以上説明したように、本発明の装置を用いれば、アスピ
レータ−と同様な原理に基づき、ノズルの狭小なめっき
液噴射路を通してマスク内空間を循環するめっき液が、
マスク上の搭載面上面と該上面に押接させた部分めっき
部材との間の隙間を通ってマスク外部へと漏れ出すこと
を的確に防止できる。従って、本発明の装置を用いてリ
ードフレーム等のその表面にプレス加工により打ち抜く
等して形成した空隙部を有する部分めっき部材の部分め
っきを行えば、リードフレームのアウターリード等の表
面部分に外観の悪いはんだめっき等の後処理工程に悪影
響を及ぼす余計なめっきを施すことなく、該リードフレ
ーム等のワイヤボンディング箇所およびチップボンディ
ング箇所等の部分めっきすべき表面部分のみに的確に部
分めっきを施すことができ、部分めっき部材の部分めっ
きすべき表面部分に境界部の明確な部分めっきを施すこ
とが可能となる。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の部分めっき装置の概略構成図、第２図
は第１図の装置のアスピレータ−に近似する部分の拡大
構造説明図、第３図は本発明の他の部分めっき装置の概
略構成図、第４図は従来の部分めっき装置の概略構成図
である。 ２・・ノズル、　　　　　２ａ・・ノズル構成部材、５
・・マスク、　　　　　６・・開口部、７・・柔軟材、
　　　　　８・・めっき部材、９・・搭載面、　　　　
１０・・加圧手段、１１・・電極、　　　　　２０・・
部分めっき装置、２１・・めっき液回収口、２２・・先
端周囲面、２３・・めっき液噴射路。

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １、その先端にめっき液回収口を開口すると共に、その
   先端周囲面を内方に所定角度傾斜させたノズル構成部材
   と、該ノズル構成部材周囲をその先端上方に開口部を残
   して囲んで、上記ノズル構成部材の所定角度傾斜した先
   端周囲面との間にノズルの狭小なめっき液噴射路を形成
   するマスクと、該マスク上の上記開口部周囲に形成した
   部分めっき部材を載せる搭載面と、マスクの開口部上面
   を覆った状態でマスク上の搭載面に載せた部分めっき部
   材を該部材上面から押圧してマスク上の搭載面に押接さ
   せる加圧手段と、上記ノズル構成部材周囲を囲むマスク
   内空間に備えた電極とからなる部分めっき装置。 ２、搭載面を、マスク上に柔軟材を被着させて形成した
   特許請求の範囲第１項記載の部分めっき装置。