JP2537762B2 - 部分めつき装置 - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】 ［産業上の利用分野］ 本発明は、リードフレーム等の部分めっき部材にめっ
きを部分的に施す（以下、部分めっきを施すという）部
分めっき装置に関する。

［従来の技術］ リードフレーム等の部分めっき部材に部分めっきを施
す場合には、従来一般に、第４図に示したような、部分
めっき装置１を用いている。

この部分めっき装置１は、めっき液３を噴射する開口
部４を先端に有するノズル２の周囲を、マスク５で囲ん
でいる。ノズル２先端上方のマスク５部分には、開口部
６を設けている。ノズル２周囲のマスク５内側部分に
は、めっき液３を通過させる空洞状のマスク内空間13を
設けている。開口部６周囲の平面状をなすマスク５上に
は、柔軟材７を被着している。そして、マスク５上に、
部分めっき部材８を載せる搭載面９を形成している。搭
載面９の上方には、搭載面９に載せた部分めっき部材８
をその上面から押圧して、部分めっき部材８を搭載面９
に押接させる加圧手段10を備えている。ノズル２先端の
開口部４から噴射されためっき液３が通過するノズル２
周囲のマスク内空間13には、めっき用の電力を供給する
電極11を配置している。

この部分めっき装置１においては、リードフレーム8a
等の部分めっき部材８を搭載面９とマスク５に設けられ
た開口部６上面とに亙って搭載して、部分めっき部材８
の部分めっきを施す表面部分12を、マスク５に設けられ
た開口部６内に露出させることができる。そして、部分
めっき部材８を、加圧手段10を用いて、搭載面９に押接
させることができる。

次いで、ノズル２先端の開口部４からめっき液３をノ
ズル２先方に向けて噴射し続けて、そのめっき液３を、
ノズル２先端上方のマスクの開口部６内に露出した部分
めっき部材８の部分めっきを施す表面部分12に突き当て
続けることができる。そしてそのめっき液３を、ノズル
２周囲のマスク内空間13をその下方に自然落下させて、
排除し続けることができる。

それと同時に、めっき液３が通過し続けるノズル２周
囲のマスク内空間13に配置された電極11と搭載面９に載
せた部分めっき部材８とに亙ってめっき用電力を供給し
続けることができる。

そして、マスクの開口部６内に露出した部分めっき部
材８の部分めっきを施す表面部分12に、該表面部分を通
過し続けるめっき液３により、めっきを施すことができ
る。

［発明が解決しようとする問題点］ ところで、上述の部分めっき装置１を用いて、リード
フレーム8a等の部分めっき部材８に部分めっきを施した
場合には、めっき液３をノズル２先端の開口部４からそ
の上方のマスク内空間13に勢い良く噴射し続けるため、
ノズル２周囲のマスク内空間13を通過し続けるめっき液
３に相当な圧力が掛かった状態となる。そして、その圧
力が掛かった状態のめっき液３が、搭載面９と該搭載面
に押接された部分めっき部材８との間のわずかな隙間14
や、部分めっき部材８に存在する空隙部内の隙間を通し
て、マスクの開口部６周囲の部分めっき部材８が搭載さ
れた搭載面９部分に漏れ出してしまった。そして、その
漏れ出しためっき液３により、マスクの開口部６内に露
出した部分めっきを施す表面部分12以外の部分めっき部
材８の表面部分に余分なめっきが施されてしまった。

このことは、特に、多数本のリードが並べて備えら
れ、その隣合うリード間等に空隙部（図示せず）を有す
るリードフレーム8aのワイヤボンディング箇所に当たる
インナーリード先端部分やチップボンディング箇所に当
たるステージ表面部分に部分めっきを施した際に著しか
った。

その理由は、リードフレーム8aの部分めっきを施すワ
イヤボンディング箇所やチップボンディング箇所をマス
クの開口部６内に露出させた状態で、リードフレーム8a
を加圧手段10を用いて搭載面９に押接させた際に、リー
ドフレーム8aのリード間等に存在する空隙部の一部が、
マスクの開口部６内に露出した状態となるからである。
そして、そのマスクの開口部内に露出した空隙部の一部
に連なるリードフレーム8aの空隙部内に存在する隙間を
通して、ノズル２周囲のマスク内空間13を通過し続ける
圧力が掛かった状態のめっき液３が、リードフレーム8a
が搭載された搭載面９部分に容易に漏れ出してしまうか
らである。

その結果、上述の部分めっき装置１を用いて、リード
フレーム8aに銀めっき等の部分めっきを施した場合に
は、リードフレーム8aのアウターリード部分等の余分な
めっきが施されてしまった。そして、そのために、その
余分なめっきが施されたアウターリード部分等にはんだ
めっき等の後処理を良好に施すことができなくなった
り、そのアウターリード部分等に施された余分なめっき
でリードフレーム8aの後処理用の処理液が汚染された
り、リードフレーム8aの外観が損なわれたりした。

加えて、アウターリード部分に余分な銀めっきが施さ
れたリードフレーム8aを用いて半導体装置を製造した場
合には、そのアウターリード部分に施された銀めっき
が、シルバーマイグレーションを起こして、半導体装置
の隣合うアウターリード間の絶縁性が低下した。

なお、このような問題点を解消するために、上述のめ
っき装置１において、従来より、第４図に示したよう
に、マスク５上に硬度の低いゴム材等の柔軟材７を厚く
被着して搭載面９を形成することが行われている。そし
て、その搭載面９に、加圧手段10を用いて、リードフレ
ーム8a等の部分めっき部材８を強く押接させることが行
われている。そして、搭載面９を構成している硬度の低
い厚い柔軟材７を、リードフレーム8a等の部分めっき部
材８＋に存在する空隙部内に、極力万遍なく侵入させる
ようにすることが行われている。

しかしながら、そのようにした場合にも、上述のめっ
き装置１では、未だ、搭載面９を構成している柔軟材７
をリードフレーム8a等の部分めっき部材８に存在する空
隙部内に万遍なく侵入させて、その空隙部内を柔軟材７
で隙間なく確実に封ずることができなかった。そして、
ノズル２周囲のマスク内空間13を通過し続ける圧力が掛
かった状態のめっき液３が、リードフレーム8a等の部分
めっき部材８の空隙部内に存在する隙間を通して、部分
めっき部材８が搭載された搭載面９部分に漏れ出してし
まった。そして、部分めっき部材８の部分めっきの施す
表面部分12以外の表面部分に余分なめっきが施されてし
まった。

本発明は、このような問題点を解消不能な、部分めっ
き部材に部分めっきを施した際に、部分めっき部材の部
分めっきを施す表面部分以外の表面部分に余分なめっき
が施されるのを防ぐことのできる部分めっき装置を提供
することを目的としている。

［問題点を解決するための手段］ 上記目的を達成するために、本発明の部分めっき装置
は、めっき液回収口を先端に有し、先端周囲面が内方に
所定角度傾斜したノズル構成部材と、該ノズル構成部材
の周囲を囲むマスクであって、前記ノズル構成部材の先
端上方に開口部を有し、前記ノズル構成部材の所定角度
内方に傾斜した先端周囲面との間にめっき液噴射路を形
成すると共に、該めっき液噴射路先方の前記開口部の直
下に空洞状のマスク内空間を形成するマスクと、前記開
口部周囲のマスク上に形成した部分めっき部材を載せる
搭載面と、該搭載面に載せた部分めっき部材を搭載面に
押接させる加圧手段と、前記マスク内空間に配置した電
極とを備えたことを特徴としている。

本発明の部分めっき装置においては、搭載面を、マス
ク上に柔軟材を被着して形成した構造とすることを好適
としている。

［作用］ 本発明の部分めっき装置においては、部分めっき部材
を搭載面とマスクの開口部上面とに亙って搭載して、部
分めっき部材の部分めっきを施す表面部分を、マスクの
開口部内に露出させることができる。そして、部分めっ
き部材を、加圧手段を用いて搭載面に押接させることが
できる。

次いで、ノズル構成部材の所定角度内方に傾斜した先
端周囲面とそれに対向するマスク内側面との間に形成さ
れた狭小なめっき液噴射路を通して、めっき液を、めっ
き液噴射路先方のマスク内空間に噴射し続けることがで
きる。そして、そのマスク内空間に噴出させためっき液
を、マスクの開口部内に露出した部分めっき部材の部分
めっきを施す表面部分に突き当て続けることができる。
そして、そのめっき液を、該めっき液の自然落下力を利
用して、ノズル構成部材先端のめっき液回収口に回収し
続けることができる。

それと同時に、めっき液が通過し続けるめっき液噴射
路先方のマスク内空間に配置された電極と搭載面に搭載
した部分めっき部材とに亙って、めっき用の電力を供給
し続けることができる。

そして、マスクの開口部内に露出した部分めっき部材
の部分めっきを施す表面部分に突き当たり続けるめっき
液により、その部分めっき部材の部分めっきを施す表面
部分にめっきを施すことができる。

その際には、気体を吸引するアスピレーターと同様な
原理に基づき、狭小なめっき液噴射路を通して、めっき
液噴射路先方の空洞状のマスク内空間に噴射し続けるめ
っき液に、吸引力を発生させ続けることができる。

アスピレーターの原理とは、水等の流体を、狭小なノ
ズル口を通して、広い空間内に噴射し続けると、ノズル
口付近を通過する流体に吸引力が発生する原理をいう。

そして、マスク内空間に噴射し続けるめっき液に生じ
続ける吸引力により、マスク内空間に吸引力を発生させ
続けることができる。そして、その吸引力により、搭載
面と該搭載面に押接された部分めっき部材との間に存在
するわずかな隙間や、搭載面に押接された部分めっき部
材の空隙部内に存在する隙間を通して、マスクの開口部
周囲の部分めっき部材が搭載された搭載面部分に漏れ出
ようとする圧力が掛かった状態のめっき液を、マスク内
空間に引き戻し続けることができる。それと共に、マス
ク内空間に発生し続ける前記吸引力により、搭載面と該
搭載面に押接された部分めっき部材との間に存在するわ
ずかな隙間や、搭載面に押接された部分めっき部材の空
隙部内に存在する隙間を通して、マスク外部の外気を、
マスク内空間に吸引し続けることができる。そして、そ
のマスク内空間に吸引し続ける外気で、搭載面と該搭載
面に押接された部分めっき部材との間に存在するわずか
な隙間や、搭載面に押接された部分めっき部材の空隙部
内に存在する隙間を通して、マスクの開口部周囲の部分
めっき部材が搭載された搭載面部分に漏れ出ようとする
圧力が掛かった状態のめっき液を、マスク内空間に押し
戻し続けることができる。そして、マスク内空間の通過
し続けるめっき液が、部分めっき部材が搭載された搭載
面部分に漏れ出すのを防いで、部分めっき部材の部分め
っきを施す表面部分以外の表面部分に、余分なめっきが
施されるのを防ぐことができる。

また、搭載面をマスク上に柔軟材を被着して形成した
本発明の部分めっき装置にあっては、部分めっき部材を
加圧手段を用いて搭載面に押接させた際に、部分めっき
部材を柔軟材の持つ弾性力により、搭載面に隙間なく押
接させたり、部分めっき部材に存在する空隙部内に柔軟
材を万遍なく侵入させて、部分めっき部材の空隙部内を
柔軟材で封じたりできる。そして、マスク内空間を通過
し続けるめっき液が、部分めっき部材が搭載された搭載
面部分に漏れ出すのを防ぐことができる。

［実施例］ 次に、本発明の実施例を図面に従い説明する。

第１図と第２図は本発明の部分めっき装置の好適な実
施例を示し、第１図は該装置の概略構成図、第２図は該
装置のアスピレーターの作用を有する部分の拡大構造説
明図である。以下に、この部分めっき装置を説明する。

図において、2aは、広いチャンネル状のめっき液回収
口21を先端に有する、断面がほぼコの字状をした横に長
いノズル構成部材である。

ノズル構成部材2aは、その左右の先端周囲面22が内方
に所定角度傾斜している。

ノズル構成部材2aの周囲は、マスク５で囲んでいる。
そして、ノズル構成部材2aの所定角度内方に傾斜した左
右の先端周囲面22とそれに対向するマスク５内側面との
間に、ノズル２を構成する狭小なめっき液噴射路23を形
成している。それと共に、めっき液噴射路23先方の開口
部６の直下に、広い空洞状のマスク内空間13を形成して
いる。ノズル構成部材2aの先端上方のマスク５部分に
は、開口部６を設けている。マスク５は、樹脂等の絶縁
材料を用いて形成している。

開口部６周囲のマスク５上面は、平面状に形成してい
て、該マスク５上面に、ゴム材等の柔軟材７を被着して
いる。そして、マスクの開口部６周囲のマスク５上に、
部分めっき部材８を載せる平面状等をした搭載面９を備
えている。

搭載面９の上方には、搭載面９の載せた部分めっき部
材８をその上面から押圧して、部分めっき部材８を搭載
面９に押接させる加圧手段10を配置している。

加圧手段10には、ブロック材25を備えて、該ブロック
材下面に、ゴム材等の柔軟材24を被着している。そし
て、柔軟材24が被着されたブロック材25下面を部分めっ
き部材８上面に押し付けて、部分めっき部材８上面をブ
ロック材25で押圧できるようにしている。

断面コの字状をしたノズル構成部材2aの左右の側縁上
方に当たるめっき液噴射路23先方のマスク内空間13に
は、めっき用の電力を供給する白金材等からなる電極11
を配置している。

第１図と第２図に示した部分めっき装置20は、以上の
ように構成している。

次に、この部分めっき装置20の使用例並びにその作用
を説明する。

第１図に示したように、リードフレーム8a等の部分め
っき部材８をマスク５上の搭載面９とマスクの開口部６
上面とに亙って載せて、部分めっき部材８の部分めっき
を施す表面部分12をマスクの開口部６内に露出させる。
そして、搭載面９に載せた部分めっき部材８上面に加圧
手段10の柔軟材24が被着されたブロック材25下面を押し
付ける。そして、部分めっき部材８上面をブロック材25
で押圧して、部分めっき部材８を搭載面９に押接させ
る。

次いで、狭小なめっき液噴射路23を通して、めっき液
３を、めっき液噴射路23先方のマスク内空間13に噴射し
続ける。そして、そのめっき液３を、めっき液噴射路23
先方のマスクの開口部６内に露出した部分めっき部材８
の部分めっきを施す表面部分12に突き当て続ける。そし
て、そのめっき液３を、該めっき液の自然落下力を利用
して、ノズル構成部材2a先端のめっき液回収口21内に回
収し続ける。そして、その回収しためっき液３を、めっ
き液回収口21内を通して、その下方に排除し続ける。

それと同時に、めっき液噴射路23先方のマスク内空間
13に配置された電極11と搭載面９に搭載した部分めっき
部材８とに亙って、めっき用の電力を供給し続ける。

すると、マスクの開口部６内に露出した部分めっき部
材８の部分めっきを施す表面部分12に突き当たり続ける
めっき液３により、その部分めっき部材８の部分めっき
を施す表面部分12にめっきが施される。

その際には、気体を吸引するアスピレーターと同様な
原理により、狭小なめっき液噴射路23からその先方の広
い空洞状のマスク内空間13に噴射し続けるめっき液３に
吸引力が発生し続けて、マスク内空間13に吸引力が生じ
続ける。そして、その吸引力により、搭載面９と該搭載
面に押接された部分めっき部材８との間のわずかな隙間
14や、搭載面９に押接された部分めっき部材８の空隙部
内に存在する隙間であって、マスクの開口部６内に露出
した部分めっき部材８の空隙部の一部に連なるリードフ
レーム8a等の部分めっき部材８の空隙部内に存在する隙
間を通して、マスクの開口部６周囲の部分めっき部材８
が搭載された搭載面９部分に漏れ出ようとする圧力が掛
かった状態のめっき液３が、マスク内空間13に引き戻し
続けられる。それと共に、マスク内空間13に発生し続け
る前記吸引力により、搭載面９と該搭載面に押接された
部分めっき部材８との間に存在するわずかな隙間14や、
搭載面９に押接された部分めっき部材８の空隙部内に存
在する隙間を通して、マスク５外部の外気が、マスク内
空間13に吸引し続けられる。そして、そのマスク内空間
13に吸引し続けられる外気で、搭載面９と該搭載面に押
接された部分めっき部材８との間に存在するわずかな隙
間14や、搭載面９に押接された部分めっき部材８の空隙
部内にう存在する隙間を通して、マスクの開口部６周囲
の部分めっき部材８が搭載された搭載面９部分に漏れ出
ようとする圧力が掛かった状態のめっき液３が、マスク
内空間13に押し戻し続けられる。そして、めっき液３が
マスク内空間13から部分めっき部材８が搭載された搭載
面９部分に漏れ出して、部分めっき部材８の部分めっき
を施す表面部分12以外の表面部分に余分なめっきが施さ
れるのが防止される。

なお、上述の部分めっき装置20においては、めっき液
噴射路23を構成しているノズル構成部材2aの先端周囲面
22とそれに対向するマスク５内側面とを、第３図に示し
たように、内方に向けて曲面状に所定角度湾曲させて形
成しても良い。そして、めっき液噴射路23先端から噴射
し続けるめっき液３を、部分めっき部材８の部分めっき
を施す表面部分12の全体に亙って万遍なく突き当て続け
ることができるようにしても良い。

また、上述の部分めっき装置20において、部分めっき
部材の形状によっては、マスクの開口部６周囲のマスク
５上に、柔軟材７を被着せずに、マスク５上面を平面状
等に削成して、該平面状等をしたマスク５上面を、部分
めっき部材８を搭載する搭載面９としても良く、そのよ
うにしても、上述の部分めき装置20とほぼ同様な作用を
有する部分めっき装置を形成できる。

［発明の効果］ 以上説明したように、本発明の部分めっき装置によれ
ば、めっき液が、部分めっき部材が搭載された搭載面部
分に漏れ出すのを容易かつ確実に防ぐことができる。そ
して、部分めっき部材の部分めっきを施す表面部分以外
の表面部分に余分なめっきが施されるのを防ぐことがで
きる。そして、その部分めっき部材の表面部分に余分に
施されためっきにより、部分めっき部材の後処理工程に
支障を来したり、部分めっき部材の外観が損なわれたり
するのを、確実に防ぐことができる。それと共に、部分
めっき部材の部分めっきを施す表面部分に、境界部の部
分めっきを的確に施すことが可能となる。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の部分めっき装置の概略構成図、第２図
は第１図の部分めっき装置のアスピレーターの作用を有
する部分の拡大構造説明図、第３図は本発明の他の部分
めっき装置の概略構成図、第４図は従来の部分めっき装
置の概略構成図である。 １……部分めっき装置、２……ノズル、2a……ノズル構
成部材、３……めっき液、 ５……マスク、６……開口部、７……柔軟材、８……部
分めっき部材、 8a……リードフレーム、９……搭載面、10……加圧手
段、11……電極、 12……部分めっきを施す表面部分、13……マスク内空
間、 20……部分めっき装置、21……めっき液回収口、 22……ノズル構成部材の先端周囲面、23……めっき液噴
射路、 24……柔軟材、25……ブロック材。

Claims (2)

(57)【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】めっき液回収口を先端に有し、先端周囲面
   が内方に所定角度傾斜したノズル構成部材と、該ノズル
   構成部材の周囲を囲むマスクであって、前記ノズル構成
   部材の先端上方に開口部を有し、前記ノズル構成部材の
   所定角度内方に傾斜した先端周囲面との間にめっき液噴
   射路を形成すると共に、該めっき液噴射路先方の前記開
   口部の直下に空洞状のマスク内空間を形成するマスク
   と、前記開口部周囲のマスク上に形成した部分めっき部
   材を載せる搭載面と、該搭載面に載せた部分めっき部材
   を搭載面に押接させる加圧手段と、前記マスク内空間に
   配置した電極とを備えたことを特徴とする部分めっき装
   置。
2. 【請求項２】搭載面を、マスク上に柔軟材を被着して形
   成した特許請求の範囲第１項記載の部分めっき装置。