JPS63225920A - 磁気記録媒体の製造方法 - Google Patents
磁気記録媒体の製造方法Info
- Publication number
- JPS63225920A JPS63225920A JP5893087A JP5893087A JPS63225920A JP S63225920 A JPS63225920 A JP S63225920A JP 5893087 A JP5893087 A JP 5893087A JP 5893087 A JP5893087 A JP 5893087A JP S63225920 A JPS63225920 A JP S63225920A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- layer
- lubricant
- magnetic
- recording medium
- magnetic recording
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 230000005291 magnetic effect Effects 0.000 title claims abstract description 83
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 title claims description 6
- 239000000314 lubricant Substances 0.000 claims abstract description 70
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims abstract description 11
- 238000000034 method Methods 0.000 claims description 18
- 230000005294 ferromagnetic effect Effects 0.000 claims description 7
- 239000010409 thin film Substances 0.000 claims description 6
- 239000004215 Carbon black (E152) Substances 0.000 claims description 3
- YCKRFDGAMUMZLT-UHFFFAOYSA-N Fluorine atom Chemical compound [F] YCKRFDGAMUMZLT-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 3
- 125000001931 aliphatic group Chemical group 0.000 claims description 3
- 239000011737 fluorine Substances 0.000 claims description 3
- 229910052731 fluorine Inorganic materials 0.000 claims description 3
- 229930195733 hydrocarbon Natural products 0.000 claims description 3
- 150000002430 hydrocarbons Chemical class 0.000 claims description 3
- 229920001296 polysiloxane Polymers 0.000 claims description 3
- -1 polyethylene terephthalate Polymers 0.000 abstract description 8
- YXFVVABEGXRONW-UHFFFAOYSA-N Toluene Chemical compound CC1=CC=CC=C1 YXFVVABEGXRONW-UHFFFAOYSA-N 0.000 abstract description 6
- 238000000576 coating method Methods 0.000 abstract description 6
- 238000009832 plasma treatment Methods 0.000 abstract description 6
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 abstract description 5
- JHIVVAPYMSGYDF-UHFFFAOYSA-N cyclohexanone Chemical compound O=C1CCCCC1 JHIVVAPYMSGYDF-UHFFFAOYSA-N 0.000 abstract description 4
- 238000001771 vacuum deposition Methods 0.000 abstract description 3
- 229910000990 Ni alloy Inorganic materials 0.000 abstract description 2
- 239000006229 carbon black Substances 0.000 abstract description 2
- 239000011261 inert gas Substances 0.000 abstract description 2
- 229920000139 polyethylene terephthalate Polymers 0.000 abstract description 2
- 239000005020 polyethylene terephthalate Substances 0.000 abstract description 2
- 229920003225 polyurethane elastomer Polymers 0.000 abstract description 2
- 238000004804 winding Methods 0.000 abstract description 2
- VTYYLEPIZMXCLO-UHFFFAOYSA-L Calcium carbonate Chemical compound [Ca+2].[O-]C([O-])=O VTYYLEPIZMXCLO-UHFFFAOYSA-L 0.000 abstract 2
- 229910000019 calcium carbonate Inorganic materials 0.000 abstract 1
- 235000010216 calcium carbonate Nutrition 0.000 abstract 1
- 239000010408 film Substances 0.000 description 8
- 235000014113 dietary fatty acids Nutrition 0.000 description 7
- 239000000194 fatty acid Substances 0.000 description 7
- 229930195729 fatty acid Natural products 0.000 description 7
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 7
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 7
- 150000004665 fatty acids Chemical class 0.000 description 5
- XEEYBQQBJWHFJM-UHFFFAOYSA-N iron Substances [Fe] XEEYBQQBJWHFJM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 150000003839 salts Chemical class 0.000 description 4
- 238000004544 sputter deposition Methods 0.000 description 4
- LDVVTQMJQSCDMK-UHFFFAOYSA-N 1,3-dihydroxypropan-2-yl formate Chemical compound OCC(CO)OC=O LDVVTQMJQSCDMK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 238000000151 deposition Methods 0.000 description 3
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 3
- 239000004744 fabric Substances 0.000 description 3
- 229910052742 iron Inorganic materials 0.000 description 3
- 229910052698 phosphorus Inorganic materials 0.000 description 3
- XKRFYHLGVUSROY-UHFFFAOYSA-N Argon Chemical compound [Ar] XKRFYHLGVUSROY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229910020630 Co Ni Inorganic materials 0.000 description 2
- 229910002440 Co–Ni Inorganic materials 0.000 description 2
- UQSXHKLRYXJYBZ-UHFFFAOYSA-N Iron oxide Chemical compound [Fe]=O UQSXHKLRYXJYBZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000004721 Polyphenylene oxide Substances 0.000 description 2
- 229910045601 alloy Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000000956 alloy Substances 0.000 description 2
- 239000011230 binding agent Substances 0.000 description 2
- 230000000052 comparative effect Effects 0.000 description 2
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
- UKMSUNONTOPOIO-UHFFFAOYSA-N docosanoic acid Chemical compound CCCCCCCCCCCCCCCCCCCCCC(O)=O UKMSUNONTOPOIO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- POULHZVOKOAJMA-UHFFFAOYSA-N dodecanoic acid Chemical compound CCCCCCCCCCCC(O)=O POULHZVOKOAJMA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000003302 ferromagnetic material Substances 0.000 description 2
- SZVJSHCCFOBDDC-UHFFFAOYSA-N ferrosoferric oxide Chemical compound O=[Fe]O[Fe]O[Fe]=O SZVJSHCCFOBDDC-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000007789 gas Substances 0.000 description 2
- IPCSVZSSVZVIGE-UHFFFAOYSA-N hexadecanoic acid Chemical compound CCCCCCCCCCCCCCCC(O)=O IPCSVZSSVZVIGE-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- FUZZWVXGSFPDMH-UHFFFAOYSA-N hexanoic acid Chemical compound CCCCCC(O)=O FUZZWVXGSFPDMH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- GLDOVTGHNKAZLK-UHFFFAOYSA-N octadecan-1-ol Chemical compound CCCCCCCCCCCCCCCCCCO GLDOVTGHNKAZLK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- QIQXTHQIDYTFRH-UHFFFAOYSA-N octadecanoic acid Chemical compound CCCCCCCCCCCCCCCCCC(O)=O QIQXTHQIDYTFRH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- ZQPPMHVWECSIRJ-KTKRTIGZSA-N oleic acid Chemical compound CCCCCCCC\C=C/CCCCCCCC(O)=O ZQPPMHVWECSIRJ-KTKRTIGZSA-N 0.000 description 2
- 125000005010 perfluoroalkyl group Chemical group 0.000 description 2
- 229920000570 polyether Polymers 0.000 description 2
- 229920002545 silicone oil Polymers 0.000 description 2
- PRAKJMSDJKAYCZ-UHFFFAOYSA-N squalane Chemical compound CC(C)CCCC(C)CCCC(C)CCCCC(C)CCCC(C)CCCC(C)C PRAKJMSDJKAYCZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- HLZKNKRTKFSKGZ-UHFFFAOYSA-N tetradecan-1-ol Chemical compound CCCCCCCCCCCCCCO HLZKNKRTKFSKGZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 238000007738 vacuum evaporation Methods 0.000 description 2
- WRIDQFICGBMAFQ-UHFFFAOYSA-N (E)-8-Octadecenoic acid Natural products CCCCCCCCCC=CCCCCCCC(O)=O WRIDQFICGBMAFQ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- DNIAPMSPPWPWGF-GSVOUGTGSA-N (R)-(-)-Propylene glycol Chemical compound C[C@@H](O)CO DNIAPMSPPWPWGF-GSVOUGTGSA-N 0.000 description 1
- LFMIQNJMJJKICW-UHFFFAOYSA-N 1,1,2-trichloro-2-fluoroethene Chemical group FC(Cl)=C(Cl)Cl LFMIQNJMJJKICW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- QMMJWQMCMRUYTG-UHFFFAOYSA-N 1,2,4,5-tetrachloro-3-(trifluoromethyl)benzene Chemical compound FC(F)(F)C1=C(Cl)C(Cl)=CC(Cl)=C1Cl QMMJWQMCMRUYTG-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- LQJBNNIYVWPHFW-UHFFFAOYSA-N 20:1omega9c fatty acid Natural products CCCCCCCCCCC=CCCCCCCCC(O)=O LQJBNNIYVWPHFW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- QSBYPNXLFMSGKH-UHFFFAOYSA-N 9-Heptadecensaeure Natural products CCCCCCCC=CCCCCCCCC(O)=O QSBYPNXLFMSGKH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N Atomic nitrogen Chemical compound N#N IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 235000021357 Behenic acid Nutrition 0.000 description 1
- 229910020632 Co Mn Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910020637 Co-Cu Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910020674 Co—B Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910020678 Co—Mn Inorganic materials 0.000 description 1
- ORAWFNKFUWGRJG-UHFFFAOYSA-N Docosanamide Chemical compound CCCCCCCCCCCCCCCCCCCCCC(N)=O ORAWFNKFUWGRJG-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910002593 Fe-Ti Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000005639 Lauric acid Substances 0.000 description 1
- 229910018054 Ni-Cu Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910018487 Ni—Cr Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910018481 Ni—Cu Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910018605 Ni—Zn Inorganic materials 0.000 description 1
- REYJJPSVUYRZGE-UHFFFAOYSA-N Octadecylamine Chemical compound CCCCCCCCCCCCCCCCCCN REYJJPSVUYRZGE-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000005642 Oleic acid Substances 0.000 description 1
- ZQPPMHVWECSIRJ-UHFFFAOYSA-N Oleic acid Natural products CCCCCCCCC=CCCCCCCCC(O)=O ZQPPMHVWECSIRJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 235000021314 Palmitic acid Nutrition 0.000 description 1
- 235000021355 Stearic acid Nutrition 0.000 description 1
- VBIIFPGSPJYLRR-UHFFFAOYSA-M Stearyltrimethylammonium chloride Chemical compound [Cl-].CCCCCCCCCCCCCCCCCC[N+](C)(C)C VBIIFPGSPJYLRR-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 1
- OCKWAZCWKSMKNC-UHFFFAOYSA-N [3-octadecanoyloxy-2,2-bis(octadecanoyloxymethyl)propyl] octadecanoate Chemical compound CCCCCCCCCCCCCCCCCC(=O)OCC(COC(=O)CCCCCCCCCCCCCCCCC)(COC(=O)CCCCCCCCCCCCCCCCC)COC(=O)CCCCCCCCCCCCCCCCC OCKWAZCWKSMKNC-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000000654 additive Substances 0.000 description 1
- AZDRQVAHHNSJOQ-UHFFFAOYSA-N alumane Chemical class [AlH3] AZDRQVAHHNSJOQ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 150000001412 amines Chemical class 0.000 description 1
- 229910052786 argon Inorganic materials 0.000 description 1
- 159000000009 barium salts Chemical class 0.000 description 1
- 229940116226 behenic acid Drugs 0.000 description 1
- 159000000007 calcium salts Chemical class 0.000 description 1
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 description 1
- 150000001805 chlorine compounds Chemical class 0.000 description 1
- UUAGAQFQZIEFAH-UHFFFAOYSA-N chlorotrifluoroethylene Chemical compound FC(F)=C(F)Cl UUAGAQFQZIEFAH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052804 chromium Inorganic materials 0.000 description 1
- 150000001868 cobalt Chemical class 0.000 description 1
- 229910052802 copper Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000001186 cumulative effect Effects 0.000 description 1
- TUTWLYPCGCUWQI-UHFFFAOYSA-N decanamide Chemical compound CCCCCCCCCC(N)=O TUTWLYPCGCUWQI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000006866 deterioration Effects 0.000 description 1
- 230000002542 deteriorative effect Effects 0.000 description 1
- 229910001873 dinitrogen Inorganic materials 0.000 description 1
- ILRSCQWREDREME-UHFFFAOYSA-N dodecanamide Chemical compound CCCCCCCCCCCC(N)=O ILRSCQWREDREME-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 description 1
- FEEPBTVZSYQUDP-UHFFFAOYSA-N heptatriacontanediamide Chemical compound NC(=O)CCCCCCCCCCCCCCCCCCCCCCCCCCCCCCCCCCCC(N)=O FEEPBTVZSYQUDP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- HSEMFIZWXHQJAE-UHFFFAOYSA-N hexadecanamide Chemical compound CCCCCCCCCCCCCCCC(N)=O HSEMFIZWXHQJAE-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- IPCSVZSSVZVIGE-UHFFFAOYSA-M hexadecanoate Chemical compound CCCCCCCCCCCCCCCC([O-])=O IPCSVZSSVZVIGE-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 1
- RNYJXPUAFDFIQJ-UHFFFAOYSA-N hydron;octadecan-1-amine;chloride Chemical compound [Cl-].CCCCCCCCCCCCCCCCCC[NH3+] RNYJXPUAFDFIQJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 150000002500 ions Chemical class 0.000 description 1
- 229910001337 iron nitride Inorganic materials 0.000 description 1
- 159000000014 iron salts Chemical class 0.000 description 1
- JEIPFZHSYJVQDO-UHFFFAOYSA-N iron(III) oxide Inorganic materials O=[Fe]O[Fe]=O JEIPFZHSYJVQDO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- QXJSBBXBKPUZAA-UHFFFAOYSA-N isooleic acid Natural products CCCCCCCC=CCCCCCCCCC(O)=O QXJSBBXBKPUZAA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- SFIHQZFZMWZOJV-HZJYTTRNSA-N linoleamide Chemical compound CCCCC\C=C/C\C=C/CCCCCCCC(N)=O SFIHQZFZMWZOJV-HZJYTTRNSA-N 0.000 description 1
- 229910003002 lithium salt Inorganic materials 0.000 description 1
- 159000000002 lithium salts Chemical class 0.000 description 1
- 230000001050 lubricating effect Effects 0.000 description 1
- 159000000003 magnesium salts Chemical class 0.000 description 1
- 239000006247 magnetic powder Substances 0.000 description 1
- 150000002739 metals Chemical class 0.000 description 1
- 239000000203 mixture Substances 0.000 description 1
- 229940043348 myristyl alcohol Drugs 0.000 description 1
- WQEPLUUGTLDZJY-UHFFFAOYSA-N n-Pentadecanoic acid Natural products CCCCCCCCCCCCCCC(O)=O WQEPLUUGTLDZJY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- JXTPJDDICSTXJX-UHFFFAOYSA-N n-Triacontane Natural products CCCCCCCCCCCCCCCCCCCCCCCCCCCCCC JXTPJDDICSTXJX-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- GOQYKNQRPGWPLP-UHFFFAOYSA-N n-heptadecyl alcohol Natural products CCCCCCCCCCCCCCCCCO GOQYKNQRPGWPLP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052759 nickel Inorganic materials 0.000 description 1
- PXHVJJICTQNCMI-UHFFFAOYSA-N nickel Substances [Ni] PXHVJJICTQNCMI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- OQCDKBAXFALNLD-UHFFFAOYSA-N octadecanoic acid Natural products CCCCCCCC(C)CCCCCCCCC(O)=O OQCDKBAXFALNLD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- WTBAHSZERDXKKZ-UHFFFAOYSA-N octadecanoyl chloride Chemical compound CCCCCCCCCCCCCCCCCC(Cl)=O WTBAHSZERDXKKZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- UPHWVVKYDQHTCF-UHFFFAOYSA-N octadecylazanium;acetate Chemical compound CC(O)=O.CCCCCCCCCCCCCCCCCCN UPHWVVKYDQHTCF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- QWPNJOHZHSJFIY-UHFFFAOYSA-N octyl tetradecanoate Chemical compound CCCCCCCCCCCCCC(=O)OCCCCCCCC QWPNJOHZHSJFIY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- FATBGEAMYMYZAF-KTKRTIGZSA-N oleamide Chemical compound CCCCCCCC\C=C/CCCCCCCC(N)=O FATBGEAMYMYZAF-KTKRTIGZSA-N 0.000 description 1
- 229940049964 oleate Drugs 0.000 description 1
- 235000021313 oleic acid Nutrition 0.000 description 1
- 230000001590 oxidative effect Effects 0.000 description 1
- 239000012188 paraffin wax Substances 0.000 description 1
- 239000010702 perfluoropolyether Substances 0.000 description 1
- 238000007747 plating Methods 0.000 description 1
- 229920006267 polyester film Polymers 0.000 description 1
- 230000003449 preventive effect Effects 0.000 description 1
- 235000003441 saturated fatty acids Nutrition 0.000 description 1
- 150000004671 saturated fatty acids Chemical class 0.000 description 1
- 159000000000 sodium salts Chemical class 0.000 description 1
- 229940032094 squalane Drugs 0.000 description 1
- 239000008117 stearic acid Substances 0.000 description 1
- 229920003002 synthetic resin Polymers 0.000 description 1
- 239000000057 synthetic resin Substances 0.000 description 1
- TUNFSRHWOTWDNC-HKGQFRNVSA-N tetradecanoic acid Chemical compound CCCCCCCCCCCCC[14C](O)=O TUNFSRHWOTWDNC-HKGQFRNVSA-N 0.000 description 1
- 239000001993 wax Substances 0.000 description 1
- 229910052727 yttrium Inorganic materials 0.000 description 1
- 150000003751 zinc Chemical class 0.000 description 1
Landscapes
- Magnetic Record Carriers (AREA)
- Manufacturing Of Magnetic Record Carriers (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は磁気記録媒体に係わり、さらに詳しくは磁気記
録媒体の表面に設ける潤滑剤層の形成方法の改良に関す
る。
録媒体の表面に設ける潤滑剤層の形成方法の改良に関す
る。
一般に1強磁性金属もしくはその合金を真空蒸着法、ス
パッタリング法などによって基体上に被着させるか、ま
たは磁性粉末を結合剤と共に基体上に結着して作られた
磁気記録媒体は、記録再生時に磁気ヘッドなどと摺接す
ることによって、磁性層が摩耗され易く、特に真空蒸着
法などによって被着された強磁性金属薄膜は、高密度記
録に適した磁気特性を有する反面、磁気ヘッドなどとの
摩擦係数が大きくて走行不良が生じたり、磁性層の摩耗
や損傷を受は易く磁気特性が劣化するという欠点を有し
ている。このため、従来技術においては磁性層上に種々
の潤滑剤からなる潤滑層を設けるなどして磁気記録媒体
の走行性や耐摩耗性の改善をはかる努力が払われてきて
おり、例えば潤滑層として直鎖型飽和脂肪酸またはこれ
らの金属塩からなる単分子膜もしくは累積膜を磁性層上
に設けること(特公昭56−30609号公報)やパー
フルオロアルキルポリエーテルを磁性層上に塗布するこ
と(特開昭60−61918号公報)など、数多くの提
案がなされている。しかし、特に強磁性金属薄膜型の磁
気記録媒体の場合には、潤滑剤やバインダーを含む塗布
型の磁気記録媒体とは異なり、磁性層上に設けられてい
る潤滑剤層による磁気ヘッドの目づまり、あるいはドロ
ップアウトが発生し易く、また電磁変換特性からいって
潤滑剤層はできるだけ薄いことが要求されている。この
潤滑剤層を磁性層上に薄く形成させる方法として、従来
の塗布法に代えて1例えば磁気記録媒体のバックコート
層に潤滑剤を含浸させ、これを巻き取ることによって磁
性層表面に潤滑剤を転写させる方法(特公昭57−29
769号公報)などが提案されている。しかし、この方
法は薄い潤滑剤層を得るには適しているものの、バック
コート層から転写された潤滑剤層は付着むらが多く、磁
性層上全表面に均一にむらなく潤滑剤層をカバーさせる
ことは極めて困難であり、そのため走行むらが生ずるな
どの欠点があった。このため、磁性層上に潤滑剤転写後
、加温処理を行い均一な潤滑剤層を得ることが試みられ
たが、この方法では磁性層が酸化されてしまい磁気特性
が劣化するという問題があった。
パッタリング法などによって基体上に被着させるか、ま
たは磁性粉末を結合剤と共に基体上に結着して作られた
磁気記録媒体は、記録再生時に磁気ヘッドなどと摺接す
ることによって、磁性層が摩耗され易く、特に真空蒸着
法などによって被着された強磁性金属薄膜は、高密度記
録に適した磁気特性を有する反面、磁気ヘッドなどとの
摩擦係数が大きくて走行不良が生じたり、磁性層の摩耗
や損傷を受は易く磁気特性が劣化するという欠点を有し
ている。このため、従来技術においては磁性層上に種々
の潤滑剤からなる潤滑層を設けるなどして磁気記録媒体
の走行性や耐摩耗性の改善をはかる努力が払われてきて
おり、例えば潤滑層として直鎖型飽和脂肪酸またはこれ
らの金属塩からなる単分子膜もしくは累積膜を磁性層上
に設けること(特公昭56−30609号公報)やパー
フルオロアルキルポリエーテルを磁性層上に塗布するこ
と(特開昭60−61918号公報)など、数多くの提
案がなされている。しかし、特に強磁性金属薄膜型の磁
気記録媒体の場合には、潤滑剤やバインダーを含む塗布
型の磁気記録媒体とは異なり、磁性層上に設けられてい
る潤滑剤層による磁気ヘッドの目づまり、あるいはドロ
ップアウトが発生し易く、また電磁変換特性からいって
潤滑剤層はできるだけ薄いことが要求されている。この
潤滑剤層を磁性層上に薄く形成させる方法として、従来
の塗布法に代えて1例えば磁気記録媒体のバックコート
層に潤滑剤を含浸させ、これを巻き取ることによって磁
性層表面に潤滑剤を転写させる方法(特公昭57−29
769号公報)などが提案されている。しかし、この方
法は薄い潤滑剤層を得るには適しているものの、バック
コート層から転写された潤滑剤層は付着むらが多く、磁
性層上全表面に均一にむらなく潤滑剤層をカバーさせる
ことは極めて困難であり、そのため走行むらが生ずるな
どの欠点があった。このため、磁性層上に潤滑剤転写後
、加温処理を行い均一な潤滑剤層を得ることが試みられ
たが、この方法では磁性層が酸化されてしまい磁気特性
が劣化するという問題があった。
上述したごと〈従来技術において、バックコート層から
磁性層上に潤滑剤層を転写させる方法は、潤滑剤層の付
着むら、あるいは潤滑剤層の厚みむらが生じ、そのため
磁気記録媒体に走行むらが発生し信頼性が低下するとい
う問題があった。
磁性層上に潤滑剤層を転写させる方法は、潤滑剤層の付
着むら、あるいは潤滑剤層の厚みむらが生じ、そのため
磁気記録媒体に走行むらが発生し信頼性が低下するとい
う問題があった。
本発明は上記従来技術における潤滑剤層の厚みむら、被
覆むらなどの問題点を解消し1強磁性体薄膜からなる磁
性層上に潤滑剤層が薄く、しかも均一に被覆され、優れ
た走行特性を有する信頼性の高い磁気記録媒体の製造方
法を提供することを目的とする。
覆むらなどの問題点を解消し1強磁性体薄膜からなる磁
性層上に潤滑剤層が薄く、しかも均一に被覆され、優れ
た走行特性を有する信頼性の高い磁気記録媒体の製造方
法を提供することを目的とする。
上記本発明の目的は、磁気記録媒体のバックコート層か
ら強磁性体薄膜からなる磁性層上に転写させた厚みむら
、あるいは被覆むらのある潤滑剤層を、アルゴンなどの
不活性ガスもしくは窒素ガスなどの雰囲気中でプラズマ
処理を行うことにより、達成される。
ら強磁性体薄膜からなる磁性層上に転写させた厚みむら
、あるいは被覆むらのある潤滑剤層を、アルゴンなどの
不活性ガスもしくは窒素ガスなどの雰囲気中でプラズマ
処理を行うことにより、達成される。
すなわち、転写むらのある潤滑剤層の表面をプラズマ処
理することで、潤滑剤の弱いスパッタリング現象が起こ
り、また一方ではスパッタされた潤滑剤が再び磁性層上
に再付着されることによって、磁性層上に極めて薄い、
ほぼ均一な潤滑剤層が形成されるのである。
理することで、潤滑剤の弱いスパッタリング現象が起こ
り、また一方ではスパッタされた潤滑剤が再び磁性層上
に再付着されることによって、磁性層上に極めて薄い、
ほぼ均一な潤滑剤層が形成されるのである。
本発明の方法において、バックコート層から磁性層上に
転写させる潤滑剤としては、一般に用いられている潤滑
剤を使用することができる。すなわち、脂肪族系潤滑剤
、フッ素系潤滑剤、シリコーン系潤滑剤および炭化水素
系潤滑剤などが挙げられる。すなわち、脂肪族系潤滑剤
としては、脂肪酸、脂肪酸の金属塩、脂肪酸エステル、
脂肪酸アミド、脂肪族アルコールなどがある。上記脂肪
酸としては1例えばラウリン酸、ミリスチン酸、パルミ
チン酸、オレイン酸、ステアリン酸、ベヘン酸などが好
ましく、またこれらの金属塩として、例えばリチウム塩
1.ナトリウム塩、カルシウム塩、マグネシウム塩、ア
ルミニウム塩、鉄塩、コバルト塩、亜鉛塩、バリウム塩
、鉛塩などが好適である。また、脂肪酸エステルとして
は1例えばステアリン酸ブチル、ミリスチン酸オクチル
、ステアリン酸モノグリセリド、パリミチン酸モノグリ
セリド、オレイン酸モノグリセリド、ペンタエリスリト
ールテトラステアレートなどを挙げることができ、脂肪
酸アミドとしては、例えばカプロン酸アミド、カプリン
酸アミド、ラウリン酸アミド、パルミチン酸アミド、ベ
ヘン酸アミド、オレイン酸アミド、リノール酸アミド、
メチレンビスステアリン酸アミドなどが好ましい、さら
に、脂肪族アルコールとしては、例えばステアリルアル
コール、ミリスチルアルコールなどが好ましく使用され
、この他にトリメチルステアリルアンモニウムクロライ
ド、塩化ステアロイルなどの塩化物、ステアリルアミン
、ステアリルアミンアセテート、ステアリルアミンハイ
ドロクロライドなどのアミンなども使用される。
転写させる潤滑剤としては、一般に用いられている潤滑
剤を使用することができる。すなわち、脂肪族系潤滑剤
、フッ素系潤滑剤、シリコーン系潤滑剤および炭化水素
系潤滑剤などが挙げられる。すなわち、脂肪族系潤滑剤
としては、脂肪酸、脂肪酸の金属塩、脂肪酸エステル、
脂肪酸アミド、脂肪族アルコールなどがある。上記脂肪
酸としては1例えばラウリン酸、ミリスチン酸、パルミ
チン酸、オレイン酸、ステアリン酸、ベヘン酸などが好
ましく、またこれらの金属塩として、例えばリチウム塩
1.ナトリウム塩、カルシウム塩、マグネシウム塩、ア
ルミニウム塩、鉄塩、コバルト塩、亜鉛塩、バリウム塩
、鉛塩などが好適である。また、脂肪酸エステルとして
は1例えばステアリン酸ブチル、ミリスチン酸オクチル
、ステアリン酸モノグリセリド、パリミチン酸モノグリ
セリド、オレイン酸モノグリセリド、ペンタエリスリト
ールテトラステアレートなどを挙げることができ、脂肪
酸アミドとしては、例えばカプロン酸アミド、カプリン
酸アミド、ラウリン酸アミド、パルミチン酸アミド、ベ
ヘン酸アミド、オレイン酸アミド、リノール酸アミド、
メチレンビスステアリン酸アミドなどが好ましい、さら
に、脂肪族アルコールとしては、例えばステアリルアル
コール、ミリスチルアルコールなどが好ましく使用され
、この他にトリメチルステアリルアンモニウムクロライ
ド、塩化ステアロイルなどの塩化物、ステアリルアミン
、ステアリルアミンアセテート、ステアリルアミンハイ
ドロクロライドなどのアミンなども使用される。
そして、上記フッ素系潤滑剤としては1例えばトリクロ
ロフルオロエチレン、パーフルオロポリエーテル、パー
フルオロアルキルポリエーテル、パーフルオロアルキル
カルボン酸などが好ましく、市販品の具体例としては、
ダイキン社製ダイフロン#20、デュポン社製クライト
ツクスM、クライトツクスH,パイダックスAR、モン
テジソン社製フオンブリンZなどが挙げられる。
ロフルオロエチレン、パーフルオロポリエーテル、パー
フルオロアルキルポリエーテル、パーフルオロアルキル
カルボン酸などが好ましく、市販品の具体例としては、
ダイキン社製ダイフロン#20、デュポン社製クライト
ツクスM、クライトツクスH,パイダックスAR、モン
テジソン社製フオンブリンZなどが挙げられる。
さらに、上記シリコーン系潤滑剤としては、シリコーン
オイル、変性シリコーンオイルなどがあり、上記炭化水
素系潤滑剤としては、パラフィン、スクアラン、ワック
スなどが好適なものどして使用される。
オイル、変性シリコーンオイルなどがあり、上記炭化水
素系潤滑剤としては、パラフィン、スクアラン、ワック
スなどが好適なものどして使用される。
なお、本発明の潤滑剤層は、上記潤滑剤の少なくとも1
種によって構成される他、防錆剤などの添加剤を混在さ
せてもよい。
種によって構成される他、防錆剤などの添加剤を混在さ
せてもよい。
本発明において、バックコート層から磁性層上に潤滑剤
層を転写させる方法は、非磁性基体上に強磁性体薄膜型
の磁性層を設けた磁気記録媒体の基体の裏面に、所定組
成のバックコート層を形成させ、さらに上記バックコー
ト層の表面に、上記潤滑剤を塗布法などの方法で潤滑剤
層を形成させた後、この磁気記録媒体をいったん巻き取
ることによって、バックコート層表面上の潤滑剤層を磁
性層上に転写させることができる。
層を転写させる方法は、非磁性基体上に強磁性体薄膜型
の磁性層を設けた磁気記録媒体の基体の裏面に、所定組
成のバックコート層を形成させ、さらに上記バックコー
ト層の表面に、上記潤滑剤を塗布法などの方法で潤滑剤
層を形成させた後、この磁気記録媒体をいったん巻き取
ることによって、バックコート層表面上の潤滑剤層を磁
性層上に転写させることができる。
そして、磁性層上に転写させた潤滑剤層のプラズマ処理
は、例えば第2図に示すごとく、真空槽5内に設けたプ
ラズマ発生用の平行電極9の間を通過させることによっ
て、潤滑剤の弱いスパッタリング現象を発生させ、かつ
スパッタされた潤滑剤の磁性層上への再付着によって均
一で、しかも極めて薄い良質の潤滑剤層を形成させるこ
とができる。
は、例えば第2図に示すごとく、真空槽5内に設けたプ
ラズマ発生用の平行電極9の間を通過させることによっ
て、潤滑剤の弱いスパッタリング現象を発生させ、かつ
スパッタされた潤滑剤の磁性層上への再付着によって均
一で、しかも極めて薄い良質の潤滑剤層を形成させるこ
とができる。
本発明の方法によって形成させる潤滑剤層の膜厚は、3
0〜500人の範囲が好ましく、より好ましい範囲は5
0〜200人である。上記潤滑剤層の膜厚が30人未満
では、磁性層上に均一に潤滑剤を被覆させることが難し
くなり、そのため潤滑性が低下するので好ましくなく、
膜厚が500人を超えると、逆に走行性が低下する、膜
厚の均一化のためのプラズマ処理に時間がかかるなどの
理由で好ましくない。
0〜500人の範囲が好ましく、より好ましい範囲は5
0〜200人である。上記潤滑剤層の膜厚が30人未満
では、磁性層上に均一に潤滑剤を被覆させることが難し
くなり、そのため潤滑性が低下するので好ましくなく、
膜厚が500人を超えると、逆に走行性が低下する、膜
厚の均一化のためのプラズマ処理に時間がかかるなどの
理由で好ましくない。
本発明の磁気記録媒体において、基体上に形成される磁
性層は、 Co、Ni、Feなどの単体金属もしくはこ
れらの合金、さらにFe−5L、Fe−Rh、Fa−V
、Fe−Ti、Co−P、Co−B、Co−5L、 G
o−V、 Go−Y、Co−8rs、 Co −Mn、
Co−Ni、Co−N1−P、Co−N1−B。
性層は、 Co、Ni、Feなどの単体金属もしくはこ
れらの合金、さらにFe−5L、Fe−Rh、Fa−V
、Fe−Ti、Co−P、Co−B、Co−5L、 G
o−V、 Go−Y、Co−8rs、 Co −Mn、
Co−Ni、Co−N1−P、Co−N1−B。
Co −Cr、 Co −Ni −Cr、Co −Ni
−Ag、 G。
−Ag、 G。
−Ni−Pd、 Go−Ni−Zn、 Co−Cu、
Co −Ni−Cu%Go−W、Go−Ni−W、Go
−Mn−P、 Co−3+a−Cu、 Co−N1−Z
n−P、 Go −V−Crなど、およびFe、O,、
Fe、O,、Fe。
Co −Ni−Cu%Go−W、Go−Ni−W、Go
−Mn−P、 Co−3+a−Cu、 Co−N1−Z
n−P、 Go −V−Crなど、およびFe、O,、
Fe、O,、Fe。
0、および/またはFe3O4にGo、 Ti、Os、
Cuなどを含有した酸化鉄系の強磁性体、もしくは窒
化鉄系の強磁性体を真空蒸着、イオンブレーティング、
スパッタリングなどのペーパーデポジション法あるいは
各種のメッキ法などによって基体上に被着させることに
より形成させることができる。
Cuなどを含有した酸化鉄系の強磁性体、もしくは窒
化鉄系の強磁性体を真空蒸着、イオンブレーティング、
スパッタリングなどのペーパーデポジション法あるいは
各種のメッキ法などによって基体上に被着させることに
より形成させることができる。
また、本発明の磁気記録媒体は、ポリエステルフィルム
などの合成樹脂製のフィルムを基体とする磁気テープお
よび円盤やドラムを基体とする磁気ディスクや磁気ドラ
ムなど、磁気ヘッドと摺接する構造の種々の形態を包含
するものである。
などの合成樹脂製のフィルムを基体とする磁気テープお
よび円盤やドラムを基体とする磁気ディスクや磁気ドラ
ムなど、磁気ヘッドと摺接する構造の種々の形態を包含
するものである。
以下に本発明の一実施例を挙げ1図面に基づいてさらに
詳細に説明する 第1図(a)に示す構造の磁気記録媒体を以下の手順に
よって作製した。
詳細に説明する 第1図(a)に示す構造の磁気記録媒体を以下の手順に
よって作製した。
真空蒸着法により、1〇−厚さのポリエチレンテレフタ
レートフィルムの基体1の片面に、 1500人の膜厚
のCo−20wt%Ni合金よりなる磁性層2を形成し
た。これを真空蓋着装ffl!(図示せず)より取り出
し、磁性層2が設けられている基体1の裏面に、CaC
0,8重量部、ポリウレタンエラストマ3重量部、カー
ボンブラック3重量部、トルエンおよびシクロへキサノ
ン40重量部からなるバックコート層3を1.5.の厚
さに塗布して形成し、このバックコート層3の表面に、
デュポン社製の潤滑剤(商品名クライトツクスH)の0
.1 wt%フレオン溶液を塗布し・乾燥させて、潤滑
剤層4を形成し、第1図(c)に示す磁気記録媒体を作
製した。次に、第1図(Q)に示す磁気記録媒体を巻き
取りロールに巻き取って、24時間室温に放置し、バッ
クコート暦3上の潤滑剤層4を磁性層2の上に、第1図
(b)に示すごとく転写させた。
レートフィルムの基体1の片面に、 1500人の膜厚
のCo−20wt%Ni合金よりなる磁性層2を形成し
た。これを真空蓋着装ffl!(図示せず)より取り出
し、磁性層2が設けられている基体1の裏面に、CaC
0,8重量部、ポリウレタンエラストマ3重量部、カー
ボンブラック3重量部、トルエンおよびシクロへキサノ
ン40重量部からなるバックコート層3を1.5.の厚
さに塗布して形成し、このバックコート層3の表面に、
デュポン社製の潤滑剤(商品名クライトツクスH)の0
.1 wt%フレオン溶液を塗布し・乾燥させて、潤滑
剤層4を形成し、第1図(c)に示す磁気記録媒体を作
製した。次に、第1図(Q)に示す磁気記録媒体を巻き
取りロールに巻き取って、24時間室温に放置し、バッ
クコート暦3上の潤滑剤層4を磁性層2の上に、第1図
(b)に示すごとく転写させた。
この第1図(b)に示す磁気記録媒体を、第2図に示す
プラズマ処理装置を用い、真空槽5内を3X 10−’
Torrとなし、0.01〜0.3TorrのArガ
スを導入しながら、AC30Hzの商用周波数で、42
0v、電流0.03〜0.1Aを平行電極9に印加して
プラズマを発生させ、この平行電極9間に第1図(b)
に示す磁気記録媒体を通過させることによって、磁性層
2上に不均一に転写された潤滑剤層4のプラズマ処理を
行なうことにより、第1図(a)に示す磁性層2上に均
一に形成された潤滑剤層4を有する磁気記録媒体の原反
を作製した。
プラズマ処理装置を用い、真空槽5内を3X 10−’
Torrとなし、0.01〜0.3TorrのArガ
スを導入しながら、AC30Hzの商用周波数で、42
0v、電流0.03〜0.1Aを平行電極9に印加して
プラズマを発生させ、この平行電極9間に第1図(b)
に示す磁気記録媒体を通過させることによって、磁性層
2上に不均一に転写された潤滑剤層4のプラズマ処理を
行なうことにより、第1図(a)に示す磁性層2上に均
一に形成された潤滑剤層4を有する磁気記録媒体の原反
を作製した。
このとき潤滑剤層の膜厚は100人でほぼ均一であった
・ (比較例) プラズマ処理を省略した以外は、すべて実施例と同様の
方法で磁気記録媒体の原反を作製した。
・ (比較例) プラズマ処理を省略した以外は、すべて実施例と同様の
方法で磁気記録媒体の原反を作製した。
以上の実施例および比較例で作製した原反から切出した
磁気テープを用い、ジッター値を測定して磁気テープの
走行性を評価した。その結果を第1表に示す。
磁気テープを用い、ジッター値を測定して磁気テープの
走行性を評価した。その結果を第1表に示す。
第 1 表
〔発明の効果〕
以上詳細に説明したごとく、本発明の方法によれば、磁
性層上に極めて薄く、かつ均一な膜厚の良質の潤滑剤層
を形成させることができるので、走行むらの発生がなく
信頼性の高い磁気記録媒体が得られる。
性層上に極めて薄く、かつ均一な膜厚の良質の潤滑剤層
を形成させることができるので、走行むらの発生がなく
信頼性の高い磁気記録媒体が得られる。
第1図(a)、(b)、(c)は、本発明の実施例にお
ける磁気記録媒体の製造法において磁性層上に潤滑剤層
を形成させる順序を示す工程図、第2図は本発明の実施
例におル1て用いたプラズマ処理装置の構造を示す模式
図である。 1・・・基体 2・・・磁性層3・・・バ
ックコート層 4・・・潤滑剤層5・・・真空槽
6・・・真空排気系7・・・送り出しロール
8・・・巻き取りロール9・・・平行電極
10・・・ガス導入口11・・・潤滑剤層を磁性層上に
転写させた磁気記録媒体
ける磁気記録媒体の製造法において磁性層上に潤滑剤層
を形成させる順序を示す工程図、第2図は本発明の実施
例におル1て用いたプラズマ処理装置の構造を示す模式
図である。 1・・・基体 2・・・磁性層3・・・バ
ックコート層 4・・・潤滑剤層5・・・真空槽
6・・・真空排気系7・・・送り出しロール
8・・・巻き取りロール9・・・平行電極
10・・・ガス導入口11・・・潤滑剤層を磁性層上に
転写させた磁気記録媒体
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 1、可撓性の非磁性基体上に、強磁性体薄膜からなる磁
性層を設けた磁気記録媒体において、上記非磁性基体の
裏面にバックコート層を設け、さらに該バックコート層
の表面に潤滑剤層を形成させた磁気記録媒体を、いった
ん巻き取ることによって、上記バックコート層表面の潤
滑剤層を上記磁性層上に転写させ、しかる後プラズマ雰
囲気中で処理することにより、上記磁性層上に薄く、ほ
ぼ均一な潤滑剤層を形成させることを特徴とする磁気記
録媒体の製造法。 2、潤滑剤層は、脂肪族系潤滑剤、フッ素系潤滑剤、シ
リコーン系潤滑剤、炭化水素系潤滑剤のうちの少なくと
も1種からなることを特徴とする特許請求の範囲第1項
に記載の磁気記録媒体の製造法。 3、潤滑剤層の膜厚を、30〜500Åとすることを特
徴とする特許請求の範囲第1項または第2項に記載の磁
気記録媒体の製造法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP5893087A JPS63225920A (ja) | 1987-03-16 | 1987-03-16 | 磁気記録媒体の製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP5893087A JPS63225920A (ja) | 1987-03-16 | 1987-03-16 | 磁気記録媒体の製造方法 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS63225920A true JPS63225920A (ja) | 1988-09-20 |
Family
ID=13098551
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP5893087A Pending JPS63225920A (ja) | 1987-03-16 | 1987-03-16 | 磁気記録媒体の製造方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPS63225920A (ja) |
-
1987
- 1987-03-16 JP JP5893087A patent/JPS63225920A/ja active Pending
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP2581090B2 (ja) | 磁気記録媒体 | |
JP2590482B2 (ja) | 磁気記録媒体 | |
JPS63225920A (ja) | 磁気記録媒体の製造方法 | |
JP2629725B2 (ja) | 磁気記録媒体 | |
JPH0877541A (ja) | 磁気記録媒体 | |
JPH0316688B2 (ja) | ||
Kaneda | Tribology of metal-evaporated tape for high-density magnetic recording | |
JPH08167146A (ja) | 磁気記録媒体の製造方法 | |
JPS6246434A (ja) | 磁気記録媒体の製造方法 | |
JPS61229229A (ja) | 磁気記録媒体 | |
JPS63183618A (ja) | 磁気記録媒体 | |
JPS6265237A (ja) | 磁気記録媒体の製造方法 | |
JPS62175927A (ja) | 磁気記録媒体およびその製造方法 | |
JPH02108223A (ja) | 磁気記録媒体およびその製造方法 | |
JPS59167848A (ja) | 磁気記録媒体 | |
JPH04221426A (ja) | 磁気記録媒体およびその製造方法 | |
JPS62200519A (ja) | 金属薄膜型磁気記録媒体 | |
JPH11232648A (ja) | 磁気記録媒体の製造方法 | |
JPS62188024A (ja) | 磁気記録媒体の製造方法 | |
JPS634412A (ja) | 磁気記録媒体 | |
JPS6361418A (ja) | 磁気記録媒体およびその製造方法 | |
JPS61210520A (ja) | 磁気記録媒体およびその製造方法 | |
JPH1074319A (ja) | 磁気記録媒体の製造方法および製造装置 | |
JPS63200315A (ja) | 磁気記録媒体 | |
JPS62219319A (ja) | 金属薄膜型磁気記録媒体 |