JPS6322275A - ダイヤモンド電着ワイヤ又はリボン - Google Patents
ダイヤモンド電着ワイヤ又はリボンInfo
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- JPS6322275A JPS6322275A JP61163809A JP16380986A JPS6322275A JP S6322275 A JPS6322275 A JP S6322275A JP 61163809 A JP61163809 A JP 61163809A JP 16380986 A JP16380986 A JP 16380986A JP S6322275 A JPS6322275 A JP S6322275A
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Classifications
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- B23D—PLANING; SLOTTING; SHEARING; BROACHING; SAWING; FILING; SCRAPING; LIKE OPERATIONS FOR WORKING METAL BY REMOVING MATERIAL, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- B23D61/00—Tools for sawing machines or sawing devices; Clamping devices for these tools
- B23D61/18—Sawing tools of special type, e.g. wire saw strands, saw blades or saw wire equipped with diamonds or other abrasive particles in selected individual positions
- B23D61/185—Saw wires; Saw cables; Twisted saw strips
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
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Description
【発明の詳細な説明】
（産業上の利用分野）
本発明は半導体の単結晶又は多結晶インゴット、セラミ
ックス、ガラス、宝石、又は複合材料等の切断用に使用
される、ダイヤモンド砥粒をワイヤー又はリボンに電着
したダイヤモンド電着ワイヤ又はリボンに関する。
ックス、ガラス、宝石、又は複合材料等の切断用に使用
される、ダイヤモンド砥粒をワイヤー又はリボンに電着
したダイヤモンド電着ワイヤ又はリボンに関する。
（従来の技術）
〃）カる従来のダイヤモンド電着ワイヤ又はリボンを利
用したワイヤソーは、例えば第３図に示すように、案内
ロール（２）間に張られたダイヤモンド電着ワイヤ又は
リボン（１）は、被加工物である半導体多結晶インゴッ
ト（３）上に適轟な荷重をかけられて接触させられてお
り、その上から遊離砥粒と切削油を混合したスラＩＪ
−（４１’？供給しながら切断加工を行っていた。従っ
てスラリーの飛散により機械内部が汚れると刀・、スラ
リーの供給不足によるワイヤの切断等の問題があった。
用したワイヤソーは、例えば第３図に示すように、案内
ロール（２）間に張られたダイヤモンド電着ワイヤ又は
リボン（１）は、被加工物である半導体多結晶インゴッ
ト（３）上に適轟な荷重をかけられて接触させられてお
り、その上から遊離砥粒と切削油を混合したスラＩＪ
−（４１’？供給しながら切断加工を行っていた。従っ
てスラリーの飛散により機械内部が汚れると刀・、スラ
リーの供給不足によるワイヤの切断等の問題があった。
さらに従来のダイヤモンド電着ワイヤ又はリボンは、例
えば第４図に示すようにワイヤ又はリボン素材に粗いダ
イヤモンド砥粒（５）’ｔ −層の電着層（６）のみで
電着してい念ので、加工に際し発生する被加工物の切粉
により、電着層（６）が損耗してダイヤモンド砥粒（５
）がはく離しワイヤの寿命を短かくし、又加工速度が遅
いという難点があった。
えば第４図に示すようにワイヤ又はリボン素材に粗いダ
イヤモンド砥粒（５）’ｔ −層の電着層（６）のみで
電着してい念ので、加工に際し発生する被加工物の切粉
により、電着層（６）が損耗してダイヤモンド砥粒（５
）がはく離しワイヤの寿命を短かくし、又加工速度が遅
いという難点があった。
（発明が解決しようとする問題点〕
本発明の目的は、かヵ・る従来製品の欠点を解消し友、
半導体の単結晶又は多結晶インゴット、セラミックス、
ガラス、宝石、又は複合材料等の切断加工に際し、砥粒
を含んだスラリーの供給無しに精度の高く、しη・も寿
命が長いソーインクダイヤモンド電着ワイヤ又はリボン
全提供することにある。
半導体の単結晶又は多結晶インゴット、セラミックス、
ガラス、宝石、又は複合材料等の切断加工に際し、砥粒
を含んだスラリーの供給無しに精度の高く、しη・も寿
命が長いソーインクダイヤモンド電着ワイヤ又はリボン
全提供することにある。
（問題点全解決するための手段）
このため本発明は、ワイヤ又はリボン素材に粗いダイヤ
モンド砥粒全電着した第１電着層と、第１電着層上に前
記砥粒に比べて相当に細かいダイヤモンド砥粒を電着し
た第２電着層と、を有することｔＷ徴とするダイヤモン
ド電着ワイヤ又はリボンとしたものである。
モンド砥粒全電着した第１電着層と、第１電着層上に前
記砥粒に比べて相当に細かいダイヤモンド砥粒を電着し
た第２電着層と、を有することｔＷ徴とするダイヤモン
ド電着ワイヤ又はリボンとしたものである。
（実施例）
次に本発明の実施例につき図面を参照して説明すると、
第１図に示す本発明によるダイヤモンド尾着ワイヤ又は
リボンは、ワイヤ又はリボン素材（７）に、粗いダイヤ
モンド砥粒（８）を電着し次第１電着層（９）と、第１
電着層（９）上に、粗いダイヤモンド砥粒（８ンより相
当に細かいダイヤモンド砥粒（ＩＧを電着し次第２電着
層と、を有する。
第１図に示す本発明によるダイヤモンド尾着ワイヤ又は
リボンは、ワイヤ又はリボン素材（７）に、粗いダイヤ
モンド砥粒（８）を電着し次第１電着層（９）と、第１
電着層（９）上に、粗いダイヤモンド砥粒（８ンより相
当に細かいダイヤモンド砥粒（ＩＧを電着し次第２電着
層と、を有する。
電着はニッケル電着又は銅電着であってもよく、ワイヤ
素材としてはピアノ線、黄銅線又は工具鋼勝であっても
よく、またワイヤ断面形状は丸、三角、四角、異形等で
あってもよい。そしてリボン材質としてはステンレス、
マルエーシ鋼、又はアモルフオス合金であってもよい。
素材としてはピアノ線、黄銅線又は工具鋼勝であっても
よく、またワイヤ断面形状は丸、三角、四角、異形等で
あってもよい。そしてリボン材質としてはステンレス、
マルエーシ鋼、又はアモルフオス合金であってもよい。
次に第２図を参照してダイヤモンド電着ワイヤの製造工
程を説明すると、ワイヤ素材（７）がワイヤドラムαの
より引っ張り出されて第１電着槽α］に入りそこの電着
液（８°）に含まれる粗いダイヤモンド砥粒（８）全第
１次電着する。実施例では砥粒（８ンの大きさは３０〜
４０１１ｍである。この砥粒が切断加工に寄与する。次
に第２電着槽ＯＧに入れられ、そこの電着液（１０’）
に含まれる砥粒より相当に側力・いダイヤモンド砥粒叫
が粗いダイヤモンド砥粒（８）の間に第２次電着され、
製品ドラムα罎によって巻き取られろ。実施例では細か
い砥粒（１１０の大きさは７〜１２μｍである。
程を説明すると、ワイヤ素材（７）がワイヤドラムαの
より引っ張り出されて第１電着槽α］に入りそこの電着
液（８°）に含まれる粗いダイヤモンド砥粒（８）全第
１次電着する。実施例では砥粒（８ンの大きさは３０〜
４０１１ｍである。この砥粒が切断加工に寄与する。次
に第２電着槽ＯＧに入れられ、そこの電着液（１０’）
に含まれる砥粒より相当に側力・いダイヤモンド砥粒叫
が粗いダイヤモンド砥粒（８）の間に第２次電着され、
製品ドラムα罎によって巻き取られろ。実施例では細か
い砥粒（１１０の大きさは７〜１２μｍである。
第２図に示す実施例では、ワイヤ素材（７）はピアノ線
で寸法は直径０２ｕ×長さ１００ｍであり、粗いダイヤ
モンド砥粒（８）の大きさは３０〜４０μｍ１そして＃
Ｉかいダイヤモンド砥粒の太きさば７〜１２μｍであっ
友。
で寸法は直径０２ｕ×長さ１００ｍであり、粗いダイヤ
モンド砥粒（８）の大きさは３０〜４０μｍ１そして＃
Ｉかいダイヤモンド砥粒の太きさば７〜１２μｍであっ
友。
そして電着条件は以下の通りであった。
（ａ） 第１次電着
スルファミン酸ニッケル ５２０１／を塩化ニ
ッケル ３５ｆ／ｌ 電流密度 ６Ａ／ｄｄ 電着時間 １０分 送り速度 ６０１ＬＬ／分（ｂ） 第２
次電着 スルフアミノ酸ニッケル ５２０ ｆ／１塩化ニ
ッケル ３５ ｔ／を 電流密度 ３Ａ／ｄｍ” 電着時間 １０分 送り速度 ６０￥／分 第１次電着の前に前処理が、そして第２次電着の後に後
処理が適当に実施された。このようにして製造されたダ
イヤモンド電着ワイヤは、難削材といわれる半導体の単
結晶又は多結晶インゴットの切断において、ワイヤ寿命
は１５０乃至２００％向上し、〃）つスラリーヲ供給す
る必要がなく、また切断面の仕上りも良くなり精度も向
上したものとなった◇ （発明の効果） 以上説明したように本発明によると、粗いダイヤモンド
砥粒を電着し次第１電着層を保護する友めより細いダイ
ヤモンド砥粒を第２電着層として再度電着し念ので、実
際に切断加工に寄与する粗いダイヤモンド砥粒がはく離
しワイヤの寿命を短くすることがないので、半導体の単
結晶又は多結晶インゴット、セラミックス、ガラス、宝
石、又は複合材料等の切断加工に際し、砥粒全音んだス
ラリーの供給無しに精度が高くかつ寿命が長いソーイン
クダイヤモンド電着ワイヤ又はリボンを提供するものと
なった。
ッケル ３５ｆ／ｌ 電流密度 ６Ａ／ｄｄ 電着時間 １０分 送り速度 ６０１ＬＬ／分（ｂ） 第２
次電着 スルフアミノ酸ニッケル ５２０ ｆ／１塩化ニ
ッケル ３５ ｔ／を 電流密度 ３Ａ／ｄｍ” 電着時間 １０分 送り速度 ６０￥／分 第１次電着の前に前処理が、そして第２次電着の後に後
処理が適当に実施された。このようにして製造されたダ
イヤモンド電着ワイヤは、難削材といわれる半導体の単
結晶又は多結晶インゴットの切断において、ワイヤ寿命
は１５０乃至２００％向上し、〃）つスラリーヲ供給す
る必要がなく、また切断面の仕上りも良くなり精度も向
上したものとなった◇ （発明の効果） 以上説明したように本発明によると、粗いダイヤモンド
砥粒を電着し次第１電着層を保護する友めより細いダイ
ヤモンド砥粒を第２電着層として再度電着し念ので、実
際に切断加工に寄与する粗いダイヤモンド砥粒がはく離
しワイヤの寿命を短くすることがないので、半導体の単
結晶又は多結晶インゴット、セラミックス、ガラス、宝
石、又は複合材料等の切断加工に際し、砥粒全音んだス
ラリーの供給無しに精度が高くかつ寿命が長いソーイン
クダイヤモンド電着ワイヤ又はリボンを提供するものと
なった。
第１図は本発明に基づ〈実施例ダイヤモンド電着ワイヤ
又はリボンの概略断面図、第２図は第１図に示すダイヤ
モンド電着ワイヤｋ ａ造する製造装置の概略説明図で
ある。第３図は従来のダイヤモンド電着ワイヤ又はリボ
ンの使用状態を示す１例の斜視図、第４図は従来のダイ
ヤモンド電着ワイヤ又はリボンの概略断面図を示す。 ７・・・・・ワイヤ又はリボン素材 ８・・・・・・粗いダイヤモンド砥粒 ９・・・・・・第１電着層 １０・・・・・組刃）いダイヤモンド砥粒１１・・・・
・・第２電着層 代理人 弁理士 河 内 潤 二 第１図 第２図 第３図 手続？巾正書（自発） 昭和６１年 ８月１７日 昭和６１年特許願第１６３８０９号 ２、 発明の名称 ダイヤモンド電着ワイヤ又はリボン ３、 補正をする者 事件との関係 特 許 出 願 人 名称（５１９）株式会社 不 二 越 ４、 代理人 居所 東京都港区浜松町２丁目４番１号世界貿易セン
タービル２５階 自 発 ６、 補正の対象 明細書の発明の詳細な説明の欄及び図面７、 補正の
内容 （７，１） 図面の第２図を別紙の通りｔＺ ？１１
圧する。 （７，２） 明細書第４頁第４行目の「アモルフオス
、を、ｒアモルファス」に補正する。
又はリボンの概略断面図、第２図は第１図に示すダイヤ
モンド電着ワイヤｋ ａ造する製造装置の概略説明図で
ある。第３図は従来のダイヤモンド電着ワイヤ又はリボ
ンの使用状態を示す１例の斜視図、第４図は従来のダイ
ヤモンド電着ワイヤ又はリボンの概略断面図を示す。 ７・・・・・ワイヤ又はリボン素材 ８・・・・・・粗いダイヤモンド砥粒 ９・・・・・・第１電着層 １０・・・・・組刃）いダイヤモンド砥粒１１・・・・
・・第２電着層 代理人 弁理士 河 内 潤 二 第１図 第２図 第３図 手続？巾正書（自発） 昭和６１年 ８月１７日 昭和６１年特許願第１６３８０９号 ２、 発明の名称 ダイヤモンド電着ワイヤ又はリボン ３、 補正をする者 事件との関係 特 許 出 願 人 名称（５１９）株式会社 不 二 越 ４、 代理人 居所 東京都港区浜松町２丁目４番１号世界貿易セン
タービル２５階 自 発 ６、 補正の対象 明細書の発明の詳細な説明の欄及び図面７、 補正の
内容 （７，１） 図面の第２図を別紙の通りｔＺ ？１１
圧する。 （７，２） 明細書第４頁第４行目の「アモルフオス
、を、ｒアモルファス」に補正する。
Claims (1)
- ワイヤ又はリボン素材に粗いダイヤモンド砥粒を電着
した第１電着層と、第１電着層上に前記砥粒に比べて相
当に細かいダイヤモンド砥粒を電着した第２電着層と、
を有することを特徴とするダイヤモンド電着ワイヤ又は
リボン。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP61163809A JPS6322275A (ja) | 1986-07-14 | 1986-07-14 | ダイヤモンド電着ワイヤ又はリボン |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP61163809A JPS6322275A (ja) | 1986-07-14 | 1986-07-14 | ダイヤモンド電着ワイヤ又はリボン |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6322275A true JPS6322275A (ja) | 1988-01-29 |
| JPH044105B2 JPH044105B2 (ja) | 1992-01-27 |
Family
ID=15781117
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP61163809A Granted JPS6322275A (ja) | 1986-07-14 | 1986-07-14 | ダイヤモンド電着ワイヤ又はリボン |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6322275A (ja) |
Cited By (14)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2001085376A1 (de) * | 2000-05-11 | 2001-11-15 | Wacker-Chemie Gmbh | Nickel-diamant beschichteter sägedraht mit verbesserter verankerung der diamantpartikel |
| JP2001328056A (ja) * | 2000-05-24 | 2001-11-27 | Ricoh Co Ltd | ワイヤ工具およびその製造方法 |
| KR100338386B1 (ko) * | 1999-12-13 | 2002-05-27 | 최의박 | 밀착성이 우수한 다이어몬드 전착 와이어 쏘우 및 그제조방법 |
| US6463921B2 (en) | 1999-02-04 | 2002-10-15 | Ricoh Company, Ltd. | Abrasive wire for a wire saw and a method of manufacturing the abrasive wire |
| US7162959B2 (en) | 2002-09-17 | 2007-01-16 | Senyo Kogyo Co., Ltd. | Transportation system |
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| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
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Citations (1)
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|---|---|---|---|---|
| JPS59132761U (ja) * | 1983-02-23 | 1984-09-05 | 株式会社デイスコ | 電着ベルト砥石 |
-
1986
- 1986-07-14 JP JP61163809A patent/JPS6322275A/ja active Granted
Patent Citations (1)
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| Publication number | Publication date |
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| JPH044105B2 (ja) | 1992-01-27 |
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