CN103305895A - 镀覆装置和镀覆物的制造方法 - Google Patents

Abstract

本发明提供一种镀覆装置和镀覆物的制造方法，该镀覆装置能够适当确保合粒状物的附着量，同时附着在被镀覆物上的粒状物的分布不均减小，进一步容易控制附着在被镀覆物上的粒状物的量。线锯1的制造装置100通过实施电镀而使研磨粒4固结在金属丝2的外周面上。制造装置100具备收纳有镀覆液32b、和研磨粒4在镀覆液32b中沉淀而成的沉淀层32c这样的内侧镀覆槽32。金属丝2从内侧镀覆槽32的底部32a或侧部32f进入沉淀层32c，同时在与沉淀层32c的表面32c1交叉的方向上移动，由此在与沉淀层32c的表面32c1交叉的交叉部分X使研磨粒4附着。

Description

镀覆装置和镀覆物的制造方法

技术领域

本发明涉及镀覆装置和镀覆物的制造方法。

背景技术

以往，已知有在金属丝的外周面固结有金刚石等研磨粒的线锯。这种线锯例如在从由单晶或多晶等构成的铸块切断(切削)为半导体用晶圆时使用。

另外，开发了很多用于制造线锯的镀覆装置，并已进入实用化阶段。

例如，在专利文献1中公开了一种镀覆装置，其具备：供给金属丝的第1卷筒；对由第1卷筒供给的金属丝进行卷绕的第2卷筒；和配置在第1卷筒和第2卷筒之间且收纳有镀覆液和研磨粒的镀覆槽。

该镀覆装置中，通过在由第1卷筒供给的金属丝通过镀覆槽时对金属丝的外周面实施电镀，由此来固结研磨粒。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：日本特开昭63-22275号公报

发明内容

发明所要解决的课题

但是，在上述专利文献1所述的发明中，使金属丝从沉淀在镀覆槽中的沉淀层的表面进入该沉淀层内之后，使金属丝沿着相对沉淀层的表面大致平行的方向移动同时使研磨粒附着，因此附着在金属丝上的研磨粒与沉淀层的其他研磨粒相互刮擦而容易从金属丝上脱落。其结果是产生研磨粒的附着量减少这样的问题，同时会产生附着在金属丝上的研磨粒的分布不均增大这样的问题，进一步会产生难以控制附着在金属丝上的研磨粒的量这样的问题。

需要说明的是，这样的问题在例如使粒状物附着在薄膜或碳纤维等上的情况下也是共通的问题。

本发明是基于这样的观点而发明完成的，其课题在于提供一种镀覆装置和镀覆物的制造方法，其能够适当确保粒状物的附着量，同时附着在被镀覆物上的粒状物的分布不均减小，进一步容易控制附着在被镀覆物上的粒状物的量。

用于解决课题的方法

用于解决所述课题的本发明是通过实施电镀而使粒状物固结在被镀覆物的外面的镀覆装置，其特征在于，该镀覆装置具备收纳有镀覆液、和所述粒状物在所述镀覆液中沉淀而成的沉淀层的镀覆槽，所述被镀覆物从所述镀覆槽的底部或侧部进入所述沉淀层，同时在与所述沉淀层的表面交叉的方向上移动，由此在与所述沉淀层的表面交叉的部分使所述粒状物附着。

根据本发明，被镀覆物从镀覆槽的底部或侧部进入沉淀层，同时在与沉淀层的表面交叉的方向上移动，由此在与所述沉淀层的表面交叉的部分使粒状物附着，因此避免了附着在被镀覆物上的粒状物与沉淀层的其他粒状物的相互刮擦，从而能够防止粒状物从被镀覆物上脱落。其结果是：能够适当确保粒状物的附着量，同时附着在被镀覆物上的粒状物的分布不均减小，进一步容易对附着在被镀覆物上的粒状物的量进行控制。

另外，优选按照如下方式构成：所述镀覆装置进一步具备配置在所述镀覆槽内的阳极部件、配置在所述镀覆槽外且与所述被镀覆物接触的阴极部件、和对所述阳极部件和所述阴极部件进行通电的通电单元，其中，所述阳极部件与所述沉淀层的表面接触或接近。

根据所述构成，阳极部件与沉淀层的表面接触或接近，由此在沉淀层的表面附近可靠地产生电场，因此在与沉淀层的表面交叉的部分，粒状物更加容易附着在被镀覆物的外面。

另外，优选按照如下的方式构成：所述镀覆槽具有外侧镀覆槽、和配置在所述外侧镀覆槽内的内侧镀覆槽，其中，在所述外侧镀覆槽中收纳有液体、和对所述液体进行加温的加温单元；在所述内侧镀覆槽中收纳有所述镀覆液以及所述沉淀层。

根据所述构成，加温单元收纳在外侧镀覆槽中，镀覆液和沉淀层收纳在内侧镀覆槽中，从而使加温单元和沉淀层分别收纳在各自的镀覆槽内，因此能够防止由于与粒状物的接触导致加温单元的损伤。

另外，加温单元收纳在外侧镀覆槽中，由此能够缩小仅该部分在内侧镀覆槽中所占据的空间，因此内侧镀覆槽内的粒状物的密度增大，从而能够使粒状物迅速地附着在被镀覆物的外面。

另外，优选按照如下的方式构成：在所述镀覆槽的底部或侧部形成有插入所述被镀覆物的第1插入孔，并且设置了保持所述镀覆槽的密闭性的密闭部件，其中，在所述密闭部件中形成了与所述第1插入孔连通且用于插入所述被镀覆物的第2插入孔。

根据所述构成，在镀覆槽的底部或侧部设置了保持镀覆槽的密闭性的密闭部件，由此能够防止镀覆液以及粒状物从镀覆槽中漏出。

另外，优选为进一步具备对所述沉淀层进行搅拌的搅拌单元这样的构成。

沉淀层中堆积了尺寸各样的粒状物，在沉淀层的表面比较小(轻)的粒状物易堆积，根据所述构成，通过搅拌单元使小的粒状物浮游在镀覆液中，因此能够防止仅有小的粒状物附着在被镀覆物上。由此能够使尺寸各样的粒状物均等地附着在被镀覆物上。

用于解决所述课题的本发明是通过实施电镀使粒状物固结在被镀覆物的外面的镀覆物的制造方法，其特征在于，该制造方法具备向镀覆槽导入所述金属丝的导入工序，所述镀覆槽收纳有镀覆液、和所述粒状物在所述镀覆液中沉淀而成的沉淀层，所述导入工序中，使所述被镀覆物从所述镀覆槽的底部或侧部进入所述沉淀层，同时使所述被镀覆物在与所述沉淀层的表面交叉的方向上移动，由此在与所述沉淀层的表面交叉的部分，使所述粒状物附着在所述被镀覆物的外面。

根据本发明，使被镀覆物从镀覆槽的底部或侧部进入沉淀层，同时使被镀覆物在与沉淀层的表面交叉的方向上移动，由此在与沉淀层的表面交叉的部分使粒状物附着在被镀覆物的外面，因此避免了附着在被镀覆物上的粒状物与沉淀层的其他粒状物的相互刮擦，从而能够防止粒状物从被镀覆物脱落。其结果是：能够适当确保粒状物的附着量，同时附着在被镀覆物上的粒状物的分布不均减小，进一步容易对附着在被镀覆物上的粒状物的量进行控制。

发明效果

根据本发明，能够提供一种镀覆装置和镀覆物的制造方法，该镀覆装置能够适当确保粒状物的附着量，同时附着在被镀覆物上的粒状物的分布不均减小，进一步容易对附着在被镀覆物上的粒状物的量进行控制。

附图说明

图1(a)是示出线锯的立体图；(b)是(a)的I-I线截面图。

图2是示出本发明实施方式的线锯的制造装置的示意构成图。

图3是图2的部分扩大图。

图4是示出变形例的线锯的制造装置的部分扩大图。

具体实施方式

参照附图对本发明的实施方式进行详细说明。在说明中，对相同要素标注相同的符号，并省略重复说明。

需要说明的是，在本实施方式中，针对将本发明的镀覆装置适用于线锯的制造装置中，使研磨粒附着在金属丝上的情况进行了说明，但并不是限定镀覆装置的使用目的。

在对本发明实施方式的线锯1的制造装置100进行说明之前，参照附图1对作为制造物的线锯1进行说明。图1(a)是示出线锯1的立体图，图1(b)是(a)的I-I线截面图。

作为镀覆物的线锯1是例如在从铸块切断为半导体用晶圆等时所使用的部件，其具备金属丝2、镀覆层3、和2个以上的研磨粒4,4。

<金属丝>

作为被镀覆物的金属丝2为线锯1的芯线，其是对截面观察而呈圆形状的金属制的线状部件。本实施方式的金属丝2由外周面整体实施了镀黄铜(省略图示)的钢琴线构成，但本发明并不限于此，只要是具有导电性的材料即可，例如可以由钨线、钼线、不锈钢线、铝线等构成。金属丝2的线径可以根据线锯1的用途而适当设定。

<镀覆层>

镀覆层3是按照包覆金属丝2的外周面整体的方式而形成的部件。本实施方式的镀覆层3由镍构成。

<研磨粒>

作为粒状物的研磨粒4通过镀覆层3而固结在金属丝2的外周面上，其是作为对被切断物进行切断的刃部的部件。本实施方式的研磨粒4由金刚石构成，但本发明并不限于此，例如可以由CBN(立方晶氮化硼)等超研磨粒；对玄武岩、花岗岩、凝灰岩等进行粉碎而得到的粉体；以及蓝宝石、红宝石、石榴石、SiC(碳化硅)等一般的研磨粒等构成，也可以通过从它们中组合2种以上来构成。研磨粒4的粒径可以根据线锯1的用途而适当设定。

接着，参照图2，对本发明的实施方式的线锯1的制造装置100进行说明。图2是示出本发明实施方式的线锯1的制造装置100的示意构成图。图2的箭头表示金属丝2的移动方向。

如图2所示，作为镀覆装置的制造装置100具备供给装置10、预处理槽20、第1镀覆槽30、第2镀覆槽40、后处理槽50、干燥装置60和卷绕装置70。另外，在制造装置100的适当位置配置有2个以上导辊80a-80x。

<供给装置>

供给装置10是卷绕有金属丝2并将金属丝2向卷绕装置70供给的圆柱状的装置。供给装置10构成为能够围绕水平轴进行旋转。

<预处理槽>

预处理槽20是用于对从供给装置10供给的金属丝2进行清扫的处理槽，其具备脱脂槽21、第1水洗槽22、酸处理槽23和第2水洗槽24。各槽21-24是上部开口的箱状树脂制容器，它们具有规定空间的容积。需要说明的是，各槽21-24的材质、形状以及尺寸等可以适当变更。

<脱脂槽>

脱脂槽21中收纳有例如含有氢氧化钠的清洗液等。脱脂槽21发挥除去附着在金属丝2的外周面的油分或灰尘等污垢的作用。脱脂槽21中附加设置了对收纳液的温度进行调节的调节器82。温度调节器82具有：对收纳液的温度进行检测的温度传感器82a、对收纳液进行加温的加热器82b、根据由温度传感器82a检测的温度对加热器82b的加热量(包括ON/OFF)进行控制的控制部82c。

这种情况下，通过加热器82b将收纳液加温至适合除去污垢的温度。另外，根据由温度传感器82a测量的温度来控制加热器82b的加热量，由此能够防止收纳液为过高温度，可使收纳液的浓度以及温度稳定。

<第1水洗槽>

第1水洗槽22中收纳有水。第1清洗槽22发挥对脱脂槽21中附着在金属丝2上的丙酮等进行清洗的作用。

<酸处理槽>

在酸处理槽23中收纳有例如盐酸等。酸处理槽23发挥除去金属丝2的外周面的氧化物(锈等)的作用。

<第2水洗槽>

第2水洗槽24中收纳有水。第2水洗槽24发挥对酸处理槽23中附着在金属丝2上的盐酸等进行清洗的作用。

<第1镀覆槽>

第1镀覆槽30发挥下述作用：通过实施镀镍(电镀)，从而将镀覆层3形成于金属丝2的外周面，由此使研磨粒4暂时固结。即，第1镀覆槽30中，按照通过导辊80l、80m时不脱落的程度使研磨粒4固结在金属丝2上。第1镀覆槽30具有外侧镀覆槽31、和配置在外侧镀覆槽31内的内侧镀覆槽32。外侧镀覆槽31是上部开口的箱状树脂制容器，其具有规定空间的容积；另一方面，内侧镀覆槽32是上部开口的箱状玻璃制容器，其具有规定空间的容积。需要说明的是，外侧镀覆槽31以及内侧镀覆槽32的材质、形状以及尺寸等可进行适当变更。

对于外侧镀覆槽31以及内侧镀覆槽32，参照图3在后面进行详细说明。

<第2镀覆槽>

第2镀覆槽40发挥下述作用：进一步实施镀镍由此使研磨粒4的固结状态牢固从而使研磨粒4真正固结。即，第2镀覆槽40中，在第1镀覆槽30中形成的镀覆层3的厚度增加，研磨粒4相对镀覆层3的埋入率增加，由此使研磨粒4牢固地固结在金属丝2上。第2镀覆槽40是上部开口的箱状树脂制容器，其具有规定空间的容积。第2镀覆槽40相比于其他槽21-24、51-53，其宽度尺寸和高度尺寸形成得更加长。需要说明的是，第2镀覆槽40的材质、形状以及尺寸等可以进行适当变更。

第2镀覆槽40的内部收纳有镀覆液40a和2个以上的金属板40b、40b。镀覆液40a由例如含有氨基磺酸镍、硼酸和氯化镍的氨基磺酸浴等构成。

金属板40b由短条状的镍板构成。金属板40b通过连接线H3与直流电源92的+(加号；正)极连接，作为阳极部件而发挥功能。另一方面，直流电源92的-(减号；负)极通过连接线H4与导辊80m连接，该导辊80m作为阴极部件而发挥功能。进一步，金属丝2与导辊80m接触，构成阴极。

第2镀覆槽40中附加设置有对镀覆液40a的温度进行调节的温度调节器86。温度调节器86具有：对镀覆液40a的温度进行检测的温度传感器86a；对镀覆液40a进行加温的加热器86b；根据由温度传感器86a检测的温度来对加热器86b的加热量(包括ON/OFF)进行控制的控制部86c。

这种情况下，通过加热器86b对镀覆液40a进行加温，由此能够降低镀覆液40a中的电阻，使电流流动良好。另外，根据由温度传感器86a检测的温度对加热器86b的加热量进行控制，由此能够防止镀覆液40a为过高温度，可使镀覆液40a的浓度以及温度稳定。

<后处理槽>

后处理槽50是用于对通过第1镀覆槽30和第2镀覆槽40的金属丝2进行清扫的处理槽，其具备第3水洗槽51、第4水洗槽52和第5水洗槽53。各水洗槽51-53为上部开口的箱状树脂制容器，其具有规定空间的容积。需要说明的是，各水洗槽51-53的材质、形状以及尺寸等可以进行适当变更。

<第3水洗槽、第4水洗槽、第5水洗槽>

各水洗槽51-53中收纳有水。各水洗槽51-53发挥对第1镀覆槽30和第2镀覆槽40中附着在金属丝2上的镀覆液31a、40a进行清洗的作用。

<干燥装置>

干燥装置60发挥下述作用：对在水洗槽51-53中附着在金属丝2上的水(水分)进行除去(蒸发)，同时对在第1镀覆槽30和第2镀覆槽40中形成的镀覆层3进行干燥。干燥装置60具有：加热线圈或加热器等加热单元61；和收纳加热单元61的金属制箱状部件62。加热单元61沿着金属丝2的移动方向而配置。箱状部件62在金属丝2的移动方向呈长条形状，在两端部形成有插入金属丝2的插入孔62a、62b。

<卷绕装置>

卷绕装置70相对供给装置10在水平方向和垂直方向隔开规定间隔而配置其是对形成有镀覆层3且真正固结有研磨粒4的金属丝2进行卷绕的圆柱状装置。卷绕装置70构成为能够绕水平轴进行旋转。卷绕装置70构成为：通过未图示的驱动单元(例如发动机)以规定旋转数进行旋转，以规定速度对金属丝2进行卷绕。卷绕装置70的旋转速度可以调节。

<导辊>

导辊80a-80x是作为将金属丝2从供给装置10引导至卷绕装置70的导向部而发挥功能的圆柱状的部件。导辊80a-80x为能够绕水平轴进行旋转的构成。导辊80a、80c、80i、80l、80m、80q由金属材料形成，其他导辊80b等由树脂材料形成。导辊80i、80m作为阴极部件而发挥功能，也可作为使电流流向金属丝2的供电部而发挥作用。

接着，参照图2和图3对外侧镀覆槽31和内侧镀覆槽32进行详细说明。需要说明的是，图3是图2的部分扩大图。图3中为了方便说明而省略外侧镀覆槽31来进行描述。

如图2所示，外侧镀覆槽31相比于其他槽21-24、51-53，其宽度尺寸和高度尺寸形成得较长。在外侧镀覆槽31的内部收纳有镀覆液31a。镀覆液31a由例如含有氯化镍、硼酸和氨基磺酸镍等的水溶液构成。需要说明的是，可以使用水等代替镀覆液31a。

外侧镀覆槽31中附加设置有对镀覆液31a的温度进行调节的温度调节器84。温度调节器84具有：对镀覆液31a的温度进行检测的温度传感器84a；对镀覆液31a进行加温的加热器(加温单元)84b；根据由温度传感器84a检测的温度对加热器84b的加热量(包括ON/OFF)进行控制的控制部84c。

该情况下，通过利用加热器84b对镀覆液31a进行加温，由此能够将镀覆液31a的热传递至后述的内侧镀覆槽32的镀覆液32b(参照图3)，对镀覆液32b进行加温。由此，使镀覆液32b中的温度稳定化，同时因间接加热而能够预防液组成的分解，使电流流动良好。另外，根据由温度传感器84a检测的温度对加热器84b的加热量进行控制，由此能够防止镀覆液31a、32b为过度高温，使镀覆液31a、32b的浓度以及温度稳定。

如图2所示，内侧镀覆槽32相比于外侧镀覆槽31，其宽度尺寸和高度尺寸形成得较短。内侧镀覆槽32通过2个以上支撑部S、S而固定在外侧镀覆槽31的底部上面，并通过2个以上连接部(省略图示)而固定在外侧镀覆槽31的上部开口边缘。

如图3所示，在内侧镀覆槽32的底部32a形成有插入金属丝2的微细插入孔(第1插入孔)32a1。在内侧镀覆槽32的底部外面32a2上设置了用于将内侧镀覆槽32保持为气密或液密的密闭部件33。在密闭部件33上形成有与插入孔32a1连通且插入有金属丝2的微细插入孔(第2插入孔)33a。插入孔32a1、33a按照与金属丝2的外径几乎相同尺寸形成。需要说明的是，本实施方式的密闭部件33由片状的有机硅橡胶构成，但只要是能够保持内侧镀覆槽32的密闭性且不会对金属丝2造成损伤的材料，其材质、形状以及尺寸等可以为任意构成。

在内侧镀覆槽32的内部收纳有镀覆液32b、沉淀层32c和2个以上的金属板32d、32d。另外，内侧镀覆槽32还具有空气搅拌装置32e。

镀覆液32b例如由含有氯化镍、硼酸和氨基磺酸镍等的水溶液构成。

沉淀层32c是2个以上的研磨粒4、4由于其自身重量沉淀在镀覆液32b中而形成的，其堆积在内侧镀覆槽32的底部内面32a3。需要说明的是，研磨粒4的一部分浮游在镀覆液32b中。

金属板32d例如是短条状的镍板，按照包围金属丝2的周围的方式等间隔地配置有4根(图3中仅示出2根)。金属板32d的下端与沉淀层32c的表面32c1接触。金属板32d通过连接线H1与作为通电单元的直流电源90的+(加号；正)极连接，作为阳极部件发挥功能。另一方面，直流电源90的-(减号；负)极通过连接线H2与配置在沉淀层32c的上游侧的导辊80i连接，该导辊80i作为阴极部件而发挥功能。进一步，金属丝2与导辊80i接触，构成阴极。

这种情况下，若打开(ON)直流电源90使电流流向金属板32d、导辊80i以及金属丝2，则研磨粒4附着在金属丝2的外周面或与镀覆液32b中的镍离子(金属离子)一同共析而附着在金属丝2的外周面。另外，若镍离子的附着进行，则在金属丝2的外周面上形成了镀覆层3。由此，研磨粒4通过镀覆层3而暂时固结在金属丝2的外周面上。

需要说明的是，金属板32d的下端可以接近于沉淀层32c的表面32c1(即，可以在与沉淀层32c的表面32c1交叉的交叉部分X，按照研磨粒4以及镍离子能够适当附着在金属丝2的外周面的程度，相对表面32c1在上侧存在间隔)，也可以插入在沉淀层32c内。另外，金属板32d的数量、材质、形状以及尺寸等可以适当变更。例如，金属32d的形状可以为圆环状(环状)或半圆状等。

作为搅拌单元的空气搅拌装置32e是将空气送至镀覆液32b中从而对沉淀层32c进行搅拌的装置。空气搅拌装置32e具有：将空气送至沉淀层32c的送出管32e1；和配置在内侧镀覆槽32外并用于将空气供给至送出管32e1的泵32e2。送出管32e1的上端与泵32e2连接，另一方面，下端的送出口32e3位于沉淀层32c内。

此处，在内侧镀覆槽32的下方配置有导辊80k，另一方面，在内侧镀覆槽32的上方配有了导辊80l。导辊80k的外周面中的金属丝2离开的部分80k1、导辊80l的外周面中的金属丝2最先接触的部分80l1、和内侧镀覆槽32以及密闭固件33的插入孔32a1、33a沿垂直方向(上下方向)配置在直线上。这种情况下，向内侧镀覆槽32内导入的金属丝2从下方向上方移动，在相对于沉淀层32c的表面32c1交叉的方向(垂直方向)上移动。由此，在与沉淀层32c的表面32c1交叉的交叉部分X，研磨粒4以及镍离子附着在金属丝2的外周面。

需要说明的是，研磨粒4的附着面积占金属丝2的表面积的比例(研磨粒4的附着量)根据线锯1的用途而适当设定。这种情况下，通过对电流强度、金属丝2的移动速度、空气搅拌装置32e的空气压等进行适当调节，由此来控制研磨粒4的附着量。另外，镀覆层3的的厚度根据研磨粒4的粒径来适当设定。这种情况下，通过对电流强度、金属丝2的移动速度、内侧镀覆槽32以及第2镀覆槽40的尺寸(镀覆液32b、40a的容量)等进行适当调节，由此来控制镀覆层3的厚度。

本发明实施方式的制造装置100基本上如上所述而构成，接着，适当参照图2和图3，对其动作进行说明。

首先，如图2所示，通过未图示出的驱动单元使卷绕装置70旋转从而由供给装置10卷绕金属丝2。

接着，由供给装置10卷绕出来的金属丝2依次通过脱脂槽21→第1水洗槽22→酸处理槽23→第2水洗槽24。

此时，将附着在金属丝2的外周面的污垢和氧化物等除去，同时将在脱脂槽21中附着的含有氢氧化钠的清洗液以及在酸处理槽23中附着的盐酸清洗掉。

接着，如图2和图3所示，将清洗后的金属丝2导入至外侧镀覆槽31内之后，经由导辊80j、80k以及插入孔33a、32a1，从底部32a导入至内侧镀覆槽32。

接着，如图3所示，从底部32a导入至内侧镀覆槽32内的金属丝2进入至沉淀层32c内，在相对于沉淀层32c的表面32c1交叉的方向上移动。

另外，利用直流电源90使电流流向金属板32d、导辊80i以及金属丝2，在与沉淀层32c的表面32c1交叉的交叉部分X，研磨粒4以及镍离子附着在金属丝2的外周面上。

此时，金属板32d的下端与沉淀层32c的表面32c1接触，因此在沉淀层32c的表面32c1附近可靠地产生电场，从而在交叉部分X，研磨粒4以及镍离子更容易附着在金属丝2的外周面上。

另外，利用温度调节器84将外侧镀覆槽31的镀覆液31a调节为适合附着镍离子的温度，另一方面，镀覆液31a的热传递至内侧镀覆槽32的镀覆液32b，镀覆液32b与镀覆液31a几乎为相同的温度。因此，镀覆液32b中的镍离子容易附着在金属丝2的外周面上。

进一步，通过从空气搅拌装置32e送出的空气对沉淀层32c进行搅拌，使堆积于沉淀层32c的表面32c1的小的研磨粒4浮游在镀覆液32b中。由此，能够防止只有小的研磨粒4附着金属丝2上。

接着，通过沉淀层32c的表面32c1后的金属丝2通过沉淀层32c上方的镀覆液32b内。

此时，镍离子进一步附着，在金属丝2的外周面上形成了镀覆层3。由此，研磨粒4通过镀覆层3而暂时固结在金属丝2的外周面上。

接着，如图2所示，暂时固结有研磨粒4的金属丝2经由导辊80l、80m而导入至第2镀覆槽40内。

此时，利用直流电源92使电流流向金属板40b、导辊80m以及金属丝2，镍离子进一步附着，因此镀覆层3的厚度增大，研磨粒4相对于镀覆层3的埋入率增大，从而使研磨粒4牢固地固结(真正固结)在金属丝2上。

接着，真正固结有研磨粒4的金属丝2依次通过第3水洗槽51→第4水洗槽52→第5水洗槽53。

此时，对于在第1镀覆槽30和第2镀覆槽40中附着在金属丝2上的镀覆液31a、40a进行清洗。

接着，清洗后的金属丝2经由插入孔62a，导入至箱状部件62内。导入至箱状部件62内的金属丝2通过加热单元61而被加热同时使其移动。

此时，利用加热单元61来除去在第3水洗槽51-第5水洗槽53中附着在金属丝2上的水，同时对在第1镀覆槽30和第2镀覆槽40中形成的镀覆层3进行干燥。

并且，干燥后的金属丝2经由插入孔62b，导出至箱状部件62外之后，卷绕于卷绕装置70的外周面。

根据以上说明的本实施方式，金属丝2从内侧镀覆槽32的底部32a进入沉淀层32c中，同时在相对于沉淀层32c的表面32c1交叉的方向上移动，在与沉淀层32c的表面32c1交叉的交叉部分X研磨粒4附着，由此避免了附着在金属丝2上的研磨粒4与沉淀层32c的其他研磨粒4的相互刮擦，从而能够防止研磨粒4从金属丝2上脱落。其结果是：能够适当确保研磨粒4的附着量，同时附着在金属丝2上的研磨粒4的分布不均减小，进一步容易对附着在金属丝2上的研磨粒4的量进行控制。由此，能够抑制作为完成品的线锯1的切断性能的下降。

另外，根据本实施方式，金属丝2从内侧镀覆槽32的底部32a进入沉淀层32c，由此能够避免金属丝2在进入沉淀层32c之前被镀覆。由此，只要在金属丝2通过沉淀层32c之后调节镍离子的附着量即可，因此与需要在金属丝进入沉淀层之前以及通过沉淀层之后调节镍离子的附着量的以往技术(专利文献1所述发明)相比，镀覆层3的厚度的管理变得容易。

另外，根据本实施方式，金属丝2在相对于沉淀层32c的表面32c1交叉的方向上移动，在与沉淀层32c的表面32c1交叉的交叉部分X研磨粒4附着，由此研磨粒4均匀附着在金属丝2的整个外周，因此能够制造不均少的高品质的线锯1。

另外，根据本实施方式，金属板32d的下端与沉淀层32c的表面32c1接触，因此在沉淀层32c的表面32c1附近可靠地产生电场，所以在与沉淀层32c的表面32c1交叉的交叉部分X，研磨粒4以及镍离子更容易附着在金属丝2的外周面。

另外，根据本实施方式，利用温度调节器84将镀覆液31a调节为适合镍离子附着的温度，进一步内侧镀覆槽32为玻璃制容器，因此镀覆液31a的热传递至内侧镀覆槽32的镀覆液32b。由此，镀覆液32b几乎与镀覆液31a为相同的温度，因此镀覆液32b中的镍离子更容易附着在金属丝2的外周面上。

另外，根据本实施方式，在外侧镀覆槽31中收纳有加热器84b，由此能够缩小仅该加热器84b在内侧镀覆槽32所占据的空间，因此内侧镀覆槽32内的研磨粒4的密度增大，从而能够使研磨粒4迅速地附着在金属丝2的外周面上。

另外，根据本实施方式，配置在沉淀层32c的上游侧的导辊80i为阴极部件，由此与配置在沉淀层32c的下游侧的导辊80l等为阴极部件相比较，镍离子在与沉淀层32c的表面32c1交叉的交叉部分X侧更易附着在金属丝2的外周面。

另外，在沉淀层32c中堆积有尺寸各样的研磨粒4，在沉淀层32c的表面32c1上易堆积较小的研磨粒4，在本实施方式中，利用空气搅拌装置32e使小的研磨粒4浮游在镀覆液32b中，因此能够防止仅有小的研磨粒4附着在金属丝2上。另一方面，也想使小的研磨粒4附着的情况下，进行一次搅拌后，停止金属丝2的移动直到小的研磨粒4再次堆积。由此，能够使尺寸各样的研磨粒4均等地附着在金属丝2上。

另外，根据本实施方式，在外侧镀覆槽31中收纳有加热器84b以及导辊80j、80k，在内侧镀覆槽32中收纳有沉淀层32c，由此加热器86b以及导辊80j、80k与沉淀层32c分别收纳在各自的镀覆槽中，因此能够防止因与研磨粒4的接触而导致的加热器86b以及导辊80j、80k的损伤。

另外，根据本实施方式，在内侧镀覆槽32的底部外面32a2设置了用于将内侧镀覆槽32保持为气密或液密的密闭固件33，因此能够防止研磨粒4以及镀覆液32b从内侧镀覆槽32漏出。

以上，参照附图对本发明的实施方式进行了详细的说明，但本发明并不限于此，在不脱离发明的主旨的范围内可以进行适当变更。

本实施方式中，本发明的镀覆装置适用于线锯1的制造装置100，并用于使研磨粒4附着于金属丝2的外周面的情况，但本发明并不限于此，也可以用于例如使粒状物附着在膜(条状部件)的外面或碳纤维(线状部件)的外面等的情况。

本实施方式中，镀覆层3由镍构成，但本发明并不限于此，例如，可以由镍合金构成，也可以由铜、锡、铂等其他金属材料构成。这种情况下，镀覆液32b、40a的构成成分以及金属板32d、40b的构成材料可以进行适当变更。

本实施方式中，金属丝2在相对于沉淀层32c的表面32c1垂直的方向上移动，但本发明并不限于此，可以相对于沉淀层32c的表面32c1倾斜(大致垂直方向)地移动。

本实施方式中，金属丝2从内侧镀覆槽32的底部32a进入沉淀层32c，但本发明并不限于此，如图4所示，也可以从内侧镀覆槽32的侧部32f进入沉淀层32c。这种情况下，在侧部32f形成有插入孔(第1插入孔)32f1，并且在侧部32f的外面设置有密闭部件33。

本实施方式中，在外侧镀覆槽31中收纳有镀覆液31a，但本发明并不限于此，在外侧镀覆槽31中可以不收纳镀覆液31a，也可以省略外侧镀覆槽31自身。这种情况下，在内侧镀覆槽32中设置加热器等加温单元。另外，优选的是，由金属材料形成导辊80k(参照图2)，与直流电源90的-(减号；负)端子连接而作为阴极部件。由此，与如本实施方式所示的以导辊80i作为阴极部件的情况相比，导辊80k与沉淀层32c的表面32c1(交叉部分X)的距离较近，因此在沉淀层32c的表面32c1处的镀覆性能良好，在与沉淀层32c的表面32c1交叉的交叉部分X，研磨粒4以及镍离子更容易附着在金属丝2的外周面上。

本实施方式中，为金属丝2通过了沉淀层32c之后被镀覆的构成，但本发明并不限于此，也可以为在金属丝2进入沉淀层32c之前被镀覆的构成。这种情况下，在外侧镀覆槽31内另外配置有阳极部件。

本实施方式中，具备第2镀覆槽40，但本发明并不限于此，可以省略第2镀覆槽40。这种情况下，使内侧镀覆槽32的高度尺寸增大，由此能够在内侧镀覆槽32中充分确保镀覆层3的厚度，使研磨粒4真正固结在金属丝2的外周面。

本实施方式中，使用了空气搅拌装置32e作为搅拌单元，但本发明并不限于此，可以使用例如具备用于对研磨粒4进行搅拌的螺杆、和驱动该螺杆的驱动发动机的搅拌单元。

符号说明

100  制造装置(镀覆装置)

1  线锯(镀覆物)

2  金属丝(被镀覆物)

3  镀覆层

4  研磨粒(粒状物)

30  第1镀覆槽(镀覆槽)

31  外侧镀覆槽

31a  镀覆液(液体)

32  内侧镀覆槽

32a  底部

32a1  插入孔(第1插入孔)

32b  镀覆液

32c  沉淀层

32c1  表面

32d  金属板(阳极部件)

32e  空气搅拌装置(搅拌单元)

32f  侧部

32f1  插入孔(第1插入孔)

33  密闭部件

33a  插入孔(第2插入孔)

80i  导辊(阴极部件)

84b  加热器(加温单元)

90  直流电源(通电单元)

X  交叉部分

Claims (6)

1.一种镀覆装置，其是通过实施电镀而使粒状物固结在被镀覆物的外面的镀覆装置，其特征在于，

该镀覆装置具备收纳有镀覆液、和所述粒状物在所述镀覆液中沉淀而成的沉淀层的镀覆槽，

所述被镀覆物从所述镀覆槽的底部或侧部进入所述沉淀层，同时在与所述沉淀层的表面交叉的方向上移动，由此在与所述沉淀层的表面交叉的部分使所述粒状物附着。

2.如权利要求1所述的镀覆装置，其特征在于，

该镀覆装置进一步具备：

配置在所述镀覆槽内的阳极部件；

配置在所述镀覆槽外且与所述被镀覆物接触的阴极部件；和

对所述阳极部件和所述阴极部件进行通电的通电单元，

所述阳极部件与所述沉淀层的表面接触或接近。

3.如权利要求1或权利要求2所述的镀覆装置，其特征在于，

所述镀覆槽具有外侧镀覆槽、和配置在所述外侧镀覆槽内的内侧镀覆槽，

在所述外侧镀覆槽中收纳有液体、和对所述液体进行加温的加温单元；

在所述内侧镀覆槽中收纳有所述镀覆液以及所述沉淀层。

4.如权利要求1或权利要求2所述的镀覆装置，其特征在于，

在所述镀覆槽的底部或侧部形成有用于插入所述被镀覆物的第1插入孔，并且设置有用于保持所述镀覆槽的密闭性的密闭部件，

在所述密闭部件中形成有与所述第1插入孔连通且用于插入所述被镀覆物的第2插入孔。

5.如权利要求1或权利要求2或权利要求4任一项所述的镀覆装置，其特征在于，该镀覆装置进一步具备用于对所述沉淀层进行搅拌的搅拌单元。

6.一种镀覆物的制造方法，其是通过实施电镀而使粒状物固结在被镀覆物的外面的镀覆物的制造方法，其特征在于，

该制造方法具备向镀覆槽导入所述被镀覆物的导入工序，所述镀覆槽收纳有镀覆液、和所述粒状物在所述镀覆液中沉淀而成的沉淀层，

所述导入工序中，使所述被镀覆物从所述镀覆槽的底部或侧部进入所述沉淀层，同时使所述被镀覆物在与所述沉淀层的表面交叉的方向上移动，由此在与所述沉淀层的表面交叉的部分使所述粒状物附着在所述被镀覆物的外面。

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