JP2013185241A - 鍍金装置及び鍍金物の製造方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】ワイヤーソー1の製造装置100は、電気鍍金を施すことにより、ワイヤ2の外周面に砥粒4を固着させる。製造装置100は、鍍金液32bと、鍍金液32b中に砥粒4が沈殿して成る沈殿層32cと、を収容する内側鍍金槽32を備える。ワイヤ2は、内側鍍金槽32の底部32a又は側部32fから沈殿層32cへ進入すると共に、沈殿層32cの表面32c1に対し交差方向に移動することにより、沈殿層32cの表面32c1との交差部分Xで砥粒4が付着される。
【選択図】図3
Description
そして、ワイヤーソーを製造するための鍍金装置が多数開発され実用化に至っている。
また、加温手段が外側鍍金槽に収容されることにより、その分だけ内側鍍金槽のスペースを縮小できるため、内側鍍金槽内における粒状物の密度が増大して、被めっき物の外面に粒状物を速やかに付着させることができる。
なお、本実施形態では、本発明の鍍金装置を、ワイヤーソーの製造装置に適用し、ワイヤに砥粒を付着させる場合について説明するが、鍍金装置の使用目的を限定するものではない。
鍍金物たるワイヤーソー1は、例えば、インゴットから半導体用ウェーハ等を切断する際に使用される部材であって、ワイヤ2と、鍍金層3と、複数の砥粒4,4と、を備える。
被めっき物たるワイヤ2は、ワイヤーソー1の芯線となる断面視円形状を呈する金属製の線状部材である。本実施形態のワイヤ2は、外周面全体に真鍮鍍金(図示省略)が施されたピアノ線で構成されるが、本発明はこれに限定されることなく、導電性を有する材料であれば、例えば、タングステン線、モリブデン線、ステンレス鋼線、アルミ二ウム線等で構成されてもよい。ワイヤ2の線径は、ワイヤーソー1の用途に応じて適宜設定される。
鍍金層3は、ワイヤ2の外周面全体を覆うように形成される部材である。本実施形態の鍍金層3は、ニッケルで構成される。
粒状物たる砥粒4は、鍍金層3によりワイヤ2の外周面に固着され、被切断物を切断する刃部となる部材である。本実施形態の砥粒4は、ダイヤモンドで構成されるが、本発明はこれに限定されることなく、例えば、CBN(立方晶窒化ホウ素)等の超砥粒、玄武岩・花崗岩・凝灰岩等を粉砕した粉体、及びサファイヤ・ルビー・ガーネット・SiC(炭化ケイ素)等の一般砥粒等で構成されてもよいし、これらの中から2種以上を組み合せたもので構成されてもよい。砥粒4の粒径は、ワイヤーソー1の用途に応じて適宜設定される。
供給装置10は、ワイヤ2が巻回され、巻取装置70へワイヤ2を供給する円柱状の装置である。供給装置10は、水平軸周りに回転可能に構成されている。
前処理槽20は、供給装置10から供給されたワイヤ2を清掃するための処理槽であって、脱脂槽21と、第1水洗槽22と、酸処理槽23と、第2水洗槽24と、を備える。各槽21−24は、上部が開口する箱状の樹脂製容器であって、所定空間の容積を有する。なお、各槽21−24の材質、形状及び大きさ等は適宜変更してよい。
脱脂槽21には、例えば、水酸化ナトリウムを含む洗浄液等が収容されている。脱脂槽21は、ワイヤ2の外周面に付着している油分や埃等の汚れを除去する役割を果たす。脱脂槽21には、収容液の温度を調節する温度調節器82が付設されている。温度調節器82は、収容液の温度を検出する温度センサ82aと、収容液を加温するヒータ82bと、温度センサ82aで検出された温度に基づいてヒータ82bの加熱量(ON/OFFを含む)を制御する制御部82cと、を有する。
第1水洗槽22には、水が収容されている。第1水洗槽22は、脱脂槽21でワイヤ2に付着したアセトン等を洗浄する役割を果たす。
酸処理槽23には、例えば、塩酸等が収容されている。酸処理槽23は、ワイヤ2の外周面の酸化物(錆等)を除去する役割を果たす。
第2水洗槽24には、水が収容されている。第2水洗槽24は、酸処理槽23でワイヤ2に付着した塩酸等を洗浄する役割を果たす。
第1鍍金槽30は、ニッケル鍍金(電気鍍金)を施すことにより、ワイヤ2の外周面に鍍金層3を形成して砥粒4を仮固着する役割を果たす。つまり、第1鍍金槽30では、ガイドローラ80l,80mの通過時に脱落しない程度に、砥粒4がワイヤ2に固着される。第1鍍金槽30は、外側鍍金槽31と、外側鍍金槽31内に配置された内側鍍金槽32と、を有する。外側鍍金槽31は、上部が開口する箱状の樹脂製容器であって、所定空間の容積を有する一方、内側鍍金槽32は、上部が開口する箱状のガラス製容器であって、所定空間の容積を有する。なお、外側鍍金槽31及び内側鍍金槽32の材質、形状及び大きさ等は適宜変更してよい。
外側鍍金槽31及び内側鍍金槽32については、図3を参照して後に詳しく説明する。
第2鍍金槽40は、更にニッケル鍍金を施すことにより、砥粒4の固着状態を強固にして砥粒4を本固着する役割を果たす。つまり、第2鍍金槽40では、第1鍍金槽30で形成された鍍金層3の厚さが増大し、鍍金層3に対する砥粒4の埋込率が増大することにより、砥粒4がワイヤ2に確実に固着される。第2鍍金槽40は、上部が開口する箱状の樹脂製容器であって、所定空間の容積を有する。第2鍍金槽40は、他の槽21−24,51−53よりも幅寸法及び高さ寸法が長尺に形成されている。なお、第2鍍金槽40の材質、形状及び大きさ等は適宜変更してよい。
後処理槽50は、第1鍍金槽30及び第2鍍金槽40を通過したワイヤ2を清掃するための処理槽であって、第3水洗槽51と、第4水洗槽52と、第5水洗槽53と、を備える。各水洗槽51−53は、上部が開口する箱状の樹脂製容器であって、所定空間の容積を有する。なお、各水洗槽51−53の材質、形状及び大きさ等は適宜変更してよい。
各水洗槽51−53には、水が収容されている。各水洗槽51−53は、第1鍍金槽30及び第2鍍金槽40でワイヤ2に付着した鍍金液31a,40aを洗浄する役割を果たす。
乾燥装置60は、水洗槽51−53でワイヤ2に付着した水(水分)を除去(蒸発)すると共に、第1鍍金槽30及び第2鍍金槽40で形成された鍍金層3を乾燥する役割を果たす。乾燥装置60は、加熱コイルやヒータ等の加熱手段61と、加熱手段61を収容する金属製の箱状部材62と、を有する。加熱手段61は、ワイヤ2の移動方向に沿って配置されている。箱状部材62は、ワイヤ2の移動方向に長尺な形状を呈しており、両端部には、ワイヤ2が挿通される挿通孔62a,62bが形成されている。
巻取装置70は、供給装置10に対し水平方向及び鉛直方向に所定間隔離間して配置され、鍍金層3が形成され且つ砥粒4が本固着されたワイヤ2を巻き取る円柱状の装置である。巻取装置70は、水平軸周りに回転可能に構成されている。巻取装置70は、図示しない駆動手段(例えばモータ)により所定回転数で回転され、ワイヤ2を所定速度で巻き取るように構成されている。巻取装置70の回転速度は、調節可能になっている。
ガイドローラ80a−80xは、供給装置10から巻取装置70へワイヤ2を案内するガイド部として機能する円柱状の部材である。ガイドローラ80a−80xは、水平軸周りに回転可能に構成されている。ガイドローラ80a,80c,80i,80l,80m,80qは、金属材料で形成され、その他のガイドローラ80b等は、樹脂材料で形成されている。ガイドローラ80i,80mは、陰極部材として機能し、ワイヤ2に電流を流す給電部としての役割も果たす。
沈殿層32cは、複数の砥粒4,4がその自重により鍍金液32b中に沈殿して形成されており、内側鍍金槽32の底部内面32a3に堆積している。なお、砥粒4の一部は、鍍金液32b中に浮遊している。
このとき、ワイヤ2の外周面に付着している汚れ及び酸化物等が除去されると共に、脱脂槽21で付着した水酸化ナトリウムを含む洗浄液及び酸処理槽23で付着した塩酸が洗浄される。
また、直流電源90により、金属板32d、ガイドローラ80i、及びワイヤ2に電流が流され、沈殿層32cの表面32c1との交差部分Xで、砥粒4及びニッケルイオンがワイヤ2の外周面に付着する。
また、温度調節器84により、外側鍍金槽31の鍍金液31aは、ニッケルイオンの付着に適した温度に調節される一方、鍍金液31aの熱が内側鍍金槽32の鍍金液32bへ伝わり、鍍金液32bが鍍金液31aと略同温となっている。そのため、鍍金液32b中のニッケルイオンは、ワイヤ2の外周面に付着しやすくなっている。
更に、エア攪拌装置32eから送出されるエアにより沈殿層32cが攪拌され、沈殿層32cの表面32c1に堆積している小さい砥粒4が鍍金液32b中へ浮遊する。これにより、小さい砥粒4だけがワイヤ2へ付着するのを防止できる。
このとき、ニッケルイオンが更に付着し、ワイヤ2の外周面に鍍金層3が形成される。これにより、砥粒4が鍍金層3によってワイヤ2の外周面に仮固着される。
このとき、直流電源92により、金属板40b、ガイドローラ80m、及びワイヤ2に電流が流され、ニッケルイオンが更に付着するため、鍍金層3の厚さが増大し、鍍金層3に対する砥粒4の埋込率が増大して、砥粒4がワイヤ2に確実に固着(本固着)される。
このとき、第1鍍金槽30及び第2鍍金槽40でワイヤ2に付着した鍍金液31a,40aが洗浄される。
このとき、加熱手段61により、第3水洗槽51−第5水洗槽53でワイヤ2に付着した水が除去されると共に、第1鍍金槽30及び第2鍍金槽40で形成された鍍金層3が乾燥される。
1 ワイヤーソー(鍍金物)
2 ワイヤ(被めっき物)
3 鍍金層
4 砥粒(粒状物)
30 第1鍍金槽(鍍金槽)
31 外側鍍金槽
31a 鍍金液(液体)
32 内側鍍金槽
32a 底部
32a1 挿通孔(第1挿通孔)
32b 鍍金液
32c 沈殿層
32c1 表面
32d 金属板(陽極部材)
32e エア攪拌装置(攪拌手段)
32f 側部
32f1 挿通孔(第1挿通孔)
33 密閉部材
33a 挿通孔(第2挿通孔)
80i ガイドローラ(陰極部材)
84b ヒータ(加温手段)
90 直流電源(通電手段)
X 交差部分
Claims (6)
- 電気鍍金を施すことにより、被めっき物の外面に粒状物を固着させる鍍金装置であって、
鍍金液と、前記鍍金液中に前記粒状物が沈殿して成る沈殿層と、を収容する鍍金槽を備え、
前記被めっき物は、前記鍍金槽の底部又は側部から前記沈殿層へ進入すると共に、前記沈殿層の表面に対し交差方向に移動することにより、前記沈殿層の表面との交差部分で前記粒状物が付着されることを特徴とする鍍金装置。 - 前記鍍金槽内に配置された陽極部材と、
前記鍍金槽外に配置され、前記被めっき物に接触する陰極部材と、
前記陽極部材及び前記陰極部材を通電する通電手段と、を更に備え、
前記陽極部材は、前記沈殿層の表面に接触又は近接していることを特徴とする請求項1に記載の鍍金装置。 - 前記鍍金槽は、外側鍍金槽と、前記外側鍍金槽内に配置された内側鍍金槽と、を有し、
前記外側鍍金槽には、液体と、前記液体を加温する加温手段と、が収容され、
前記内側鍍金槽には、前記鍍金液及び前記沈殿層が収容されていることを特徴とする請求項1又は請求項2に記載の鍍金装置。 - 前記鍍金槽の底部又は側部には、前記被めっき物が挿通される第1挿通孔が形成され、かつ前記鍍金槽の密閉性を保持する密閉部材が設けられており、
前記密閉部材には、前記第1挿通孔に連通し、かつ前記被めっき物が挿通される第2挿通孔が形成されていることを特徴とする請求項1又は請求項2に記載の鍍金装置。 - 前記沈殿層を攪拌する攪拌手段を更に備えたことを特徴とする請求項1乃至請求項2又は請求項4のいずれか一項に記載の鍍金装置。
- 電気鍍金を施すことにより、被めっき物の外面に粒状物を固着させる鍍金物の製造方法であって、
鍍金液と、前記鍍金液中に前記粒状物が沈殿して成る沈殿層と、を収容する鍍金槽に対し、前記ワイヤを導入する導入工程を備え、
前記導入工程では、前記鍍金槽の底部又は側部から前記沈殿層へ前記被めっき物を進入させると共に、前記沈殿層の表面に対し交差方向に前記被めっき物を移動させることにより、前記沈殿層の表面との交差部分で前記被めっき物の外面に前記粒状物を付着させることを特徴とする鍍金物の製造方法。
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