JPS63200971A - 内穴付き鋸 - Google Patents
内穴付き鋸Info
- Publication number
- JPS63200971A JPS63200971A JP62290759A JP29075987A JPS63200971A JP S63200971 A JPS63200971 A JP S63200971A JP 62290759 A JP62290759 A JP 62290759A JP 29075987 A JP29075987 A JP 29075987A JP S63200971 A JPS63200971 A JP S63200971A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- saw
- metal plate
- plate
- diamond coating
- coating
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 239000010432 diamond Substances 0.000 claims description 38
- 229910003460 diamond Inorganic materials 0.000 claims description 37
- 238000000576 coating method Methods 0.000 claims description 36
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 claims description 33
- 239000002184 metal Substances 0.000 claims description 29
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 claims description 29
- 239000002245 particle Substances 0.000 claims description 4
- 229910052582 BN Inorganic materials 0.000 claims description 2
- PZNSFCLAULLKQX-UHFFFAOYSA-N Boron nitride Chemical compound N#B PZNSFCLAULLKQX-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 2
- 230000008878 coupling Effects 0.000 claims 1
- 238000010168 coupling process Methods 0.000 claims 1
- 238000005859 coupling reaction Methods 0.000 claims 1
- 238000005520 cutting process Methods 0.000 description 13
- 239000000463 material Substances 0.000 description 10
- 229910021421 monocrystalline silicon Inorganic materials 0.000 description 4
- 101100008047 Caenorhabditis elegans cut-3 gene Proteins 0.000 description 1
- XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N Silicon Chemical compound [Si] XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910000831 Steel Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000005253 cladding Methods 0.000 description 1
- 239000013078 crystal Substances 0.000 description 1
- 230000006378 damage Effects 0.000 description 1
- 230000002950 deficient Effects 0.000 description 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
- 230000005489 elastic deformation Effects 0.000 description 1
- 238000009713 electroplating Methods 0.000 description 1
- 229910052732 germanium Inorganic materials 0.000 description 1
- GNPVGFCGXDBREM-UHFFFAOYSA-N germanium atom Chemical compound [Ge] GNPVGFCGXDBREM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 1
- 229910052759 nickel Inorganic materials 0.000 description 1
- PXHVJJICTQNCMI-UHFFFAOYSA-N nickel Substances [Ni] PXHVJJICTQNCMI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010703 silicon Substances 0.000 description 1
- 239000010959 steel Substances 0.000 description 1
- 230000008719 thickening Effects 0.000 description 1
- 235000012431 wafers Nutrition 0.000 description 1
Classifications
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B24—GRINDING; POLISHING
- B24D—TOOLS FOR GRINDING, BUFFING OR SHARPENING
- B24D5/00—Bonded abrasive wheels, or wheels with inserted abrasive blocks, designed for acting only by their periphery; Bushings or mountings therefor
- B24D5/12—Cut-off wheels
- B24D5/126—Cut-off wheels having an internal cutting edge
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Polishing Bodies And Polishing Tools (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
伎亙分互
本発明は中心部に内穴を具備する薄い金属板を有し、該
金属板が内穴の縁領域に被覆部を担持し。
金属板が内穴の縁領域に被覆部を担持し。
該被覆部が、ガルバーニ結合で保持されているダイアモ
ンド粒子または窒化ホウ素粒子から成り。
ンド粒子または窒化ホウ素粒子から成り。
且つ被覆部が、向火の周面にして内側に位置する筒状の
周面とこれに境を接している縁部分とを金属板の両外側
面で蔽っている内穴付き鋸に関するものである。
周面とこれに境を接している縁部分とを金属板の両外側
面で蔽っている内穴付き鋸に関するものである。
従」Ｉ（胤
この種の内穴付き鋸は、例えば電気産業でいわゆるチッ
プの製造用に使用される単結晶の珪素棒の極めて薄い板
、いわゆるウェーハーを切断するために用いられる。
プの製造用に使用される単結晶の珪素棒の極めて薄い板
、いわゆるウェーハーを切断するために用いられる。
この種の内穴付き鋸は１例えば厚さが０．１２１、即ち
１２０μｍの芯となる芯板を有している。
１２０μｍの芯となる芯板を有している。
この板は向火を有し、向火の稜はその周囲に電気メッキ
によって塗布されるダイアモンド被覆部を具備している
。このダイアモンド被覆部の内稜は通常隆起状に厚く形
成されている。芯板は、穴の筒状の内面に設けられる上
記ダイアモンド被覆部の他に、その両側にして穴に接続
する両縁領域に約２Ｉｍ幅のダイアモンド被覆部を担持
している。
によって塗布されるダイアモンド被覆部を具備している
。このダイアモンド被覆部の内稜は通常隆起状に厚く形
成されている。芯板は、穴の筒状の内面に設けられる上
記ダイアモンド被覆部の他に、その両側にして穴に接続
する両縁領域に約２Ｉｍ幅のダイアモンド被覆部を担持
している。
この種のうち穴付き鋸を使用する場合、薄い芯板は強度
を高くするため締め付はリングで締め付けられる。この
締め付はリングは機械内に配置され、回転せしめられる
。この場合内穴の内縁と締め付はリングとの間隔によっ
てこれに対応する直径の棒を切断することができる。こ
の種の鋸は有効な切断幅が、従って切り屑が小さいので
、単結晶の珪素のように高価な材料を切断するのに特に
適している。
を高くするため締め付はリングで締め付けられる。この
締め付はリングは機械内に配置され、回転せしめられる
。この場合内穴の内縁と締め付はリングとの間隔によっ
てこれに対応する直径の棒を切断することができる。こ
の種の鋸は有効な切断幅が、従って切り屑が小さいので
、単結晶の珪素のように高価な材料を切断するのに特に
適している。
しかしながら極めて薄い板を切り取るために使用すると
、切断過程の間に板が曲がるという不具合が生じる。こ
れは、鋸の構成に起因して切断されるべき棒の側の安定
な側と切り取られるべき板の側の不安定な側とが切断過
程時に直立するからである。これに関連して安定な側で
は比較的大きな力でも弾性的な変形成いは可塑的な変形
を生じさせないからである。これに対して不安定な側で
は、比較的小さな力でも切り取られるべき板の厚さに依
存して弾性的な変形及び可塑的な変形が表面での結晶の
破壊によって生じる。このような変形は最悪の場合には
切り取られるべき板を内穴付き鋸の芯板に接近させ、場
合によっては内穴付き鋸と接触させることがある。その
除土じる摩擦のために、切り取られるべき板と芯板との
このような接近が切り取られるべき板を破壊させ、場合
によっては内穴付き鋸それ自体を破壊させる。これは芯
板の材料が変形し、それによって生じる芯板の材料の応
力変化により安定性が損なわれるからである。このよう
な不具合は、芯板の両側でダイアモンド被覆部を厚くさ
せることによっである程度解消させることができるが、
芯板の両側で隆起状のダイアモンド被覆部を厚くさせる
と、切断幅が大きくなり、高価な材料の損失が大きくな
って不都合である。
、切断過程の間に板が曲がるという不具合が生じる。こ
れは、鋸の構成に起因して切断されるべき棒の側の安定
な側と切り取られるべき板の側の不安定な側とが切断過
程時に直立するからである。これに関連して安定な側で
は比較的大きな力でも弾性的な変形成いは可塑的な変形
を生じさせないからである。これに対して不安定な側で
は、比較的小さな力でも切り取られるべき板の厚さに依
存して弾性的な変形及び可塑的な変形が表面での結晶の
破壊によって生じる。このような変形は最悪の場合には
切り取られるべき板を内穴付き鋸の芯板に接近させ、場
合によっては内穴付き鋸と接触させることがある。その
除土じる摩擦のために、切り取られるべき板と芯板との
このような接近が切り取られるべき板を破壊させ、場合
によっては内穴付き鋸それ自体を破壊させる。これは芯
板の材料が変形し、それによって生じる芯板の材料の応
力変化により安定性が損なわれるからである。このよう
な不具合は、芯板の両側でダイアモンド被覆部を厚くさ
せることによっである程度解消させることができるが、
芯板の両側で隆起状のダイアモンド被覆部を厚くさせる
と、切断幅が大きくなり、高価な材料の損失が大きくな
って不都合である。
１枚
本発明の目的は、切断された板と鋸びき材料の不良品の
数を減少させ、鋸の切断幅を小さくさせるような内穴付
き鋸を提供することである。
数を減少させ、鋸の切断幅を小さくさせるような内穴付
き鋸を提供することである。
皇双又墾蓋来
本発明は、上記目的を達成するため、切断されるべき板
の側でのダイアモンド被覆部の厚さが、即ち不安定な側
でのダイアモンド被覆部の厚さが、芯板（金属板）の安
定な側での厚さよりも厚いことを特徴とするものである
。
の側でのダイアモンド被覆部の厚さが、即ち不安定な側
でのダイアモンド被覆部の厚さが、芯板（金属板）の安
定な側での厚さよりも厚いことを特徴とするものである
。
この構成により、内穴付き鋸の金属板と切り取られるべ
き板の金属板側との距離が従来よりも大きくなり、その
結果前記接触の危険が少なくなり。
き板の金属板側との距離が従来よりも大きくなり、その
結果前記接触の危険が少なくなり。
一方有効な切断幅がわずかだけ大きくなることである。
本発明は、芯板の縁に異なる厚さの２つのダイアモンド
被覆部を設ける場合、鋸板がその緊張時に曲がることを
も考慮している。即ち作業時に鋸板が強く緊張すると、
向火の直径が膨張する。この膨張により向火の後領域の
ダイアモンド被覆部は側方へ偏向することができる。こ
れは、ダイアモンド被覆部が鋸板の両側に異なる厚さで
配置されているからである。このことは、厚さが異なる
種々の材料を芯板が緊張する際に該芯板に異なる反力を
生じさせ、その結果より強度の大きい側がより強度の弱
い側へ傾動することによって力の補償を生じさせ、それ
によって切断幅が大きくなることにもとづいている。
被覆部を設ける場合、鋸板がその緊張時に曲がることを
も考慮している。即ち作業時に鋸板が強く緊張すると、
向火の直径が膨張する。この膨張により向火の後領域の
ダイアモンド被覆部は側方へ偏向することができる。こ
れは、ダイアモンド被覆部が鋸板の両側に異なる厚さで
配置されているからである。このことは、厚さが異なる
種々の材料を芯板が緊張する際に該芯板に異なる反力を
生じさせ、その結果より強度の大きい側がより強度の弱
い側へ傾動することによって力の補償を生じさせ、それ
によって切断幅が大きくなることにもとづいている。
本発明の有利な実施例によれば、金属板の部外側面でダ
イアモンド被覆部の厚さを異なるようにすることのほか
に、ダイアモンド被覆部が金属板の両側で同量用いられ
ている。一方、金属板の１つの外側面でのダイアモンド
被覆部の縁領域を。
イアモンド被覆部の厚さを異なるようにすることのほか
に、ダイアモンド被覆部が金属板の両側で同量用いられ
ている。一方、金属板の１つの外側面でのダイアモンド
被覆部の縁領域を。
不安定な側にあるもう１つの外側面でのダイアモンド被
覆部の縁領域よりも幅広にすることもできる。しかし、
ダイアモンド被覆部の頭部領域が不安定な側でより幅広
に形成されている場合には。
覆部の縁領域よりも幅広にすることもできる。しかし、
ダイアモンド被覆部の頭部領域が不安定な側でより幅広
に形成されている場合には。
互いに対向する２つの縁領域の幅を同じにして、且つ不
安定な側よりも安定な側をより厚く形成させることがで
きる。
安定な側よりも安定な側をより厚く形成させることがで
きる。
本発明によれば、通常の切断幅を維持しながらも、ダイ
アモンド被覆部の突出部を側方に変位させたことにより
、内穴付き鋸の作動安定性が改善され、切り取られた板
の不良品の数を減少させることができる。
アモンド被覆部の突出部を側方に変位させたことにより
、内穴付き鋸の作動安定性が改善され、切り取られた板
の不良品の数を減少させることができる。
ヌＪ０外
次に、本発明の実施例を添付の図面を用いて説明する。
第１図には単結晶の珪素から成る棒材１が図示されてい
る。この棒材１から極めて薄い板２が切り離される。こ
のため内穴付き鋸が設けられている。内穴付き鋸は薄い
金属板３を有し、この金属板３はその中心部に円穴４を
具備している。クロム・ニッケル鋼から成ることができ
る金属板３の厚さは−０，１２膿である。
る。この棒材１から極めて薄い板２が切り離される。こ
のため内穴付き鋸が設けられている。内穴付き鋸は薄い
金属板３を有し、この金属板３はその中心部に円穴４を
具備している。クロム・ニッケル鋼から成ることができ
る金属板３の厚さは−０，１２膿である。
円穴４の縁領域は、ダイアモンド被覆部５によって取り
囲まれている。個々のダイアモンドは金属結合で保持さ
れている。ダイアモンド被覆部５は、円穴４の筒状の内
縁と、この内縁に境を接している縁部分とを金属板３の
両側で取り囲んでいる。板２を切り離すため、棒材１を
円穴４のなかへ挿入する９次に、金属板３と円穴４によ
って板２を棒材１から切り離す。この場合基本的には、
矢印８で示すように板２が曲がる恐れがあり、従って切
断深さが増すと、板２と金属板３とが接触する恐れがあ
る。このためダイアモンド被覆部５は板２の側で、即ち
いわゆる不安定な側でより厚く形成され、特に安定な側
７よりも頭部領域９でより厚く形成されている。従って
板２と金属板３とが接触する恐れはない。
囲まれている。個々のダイアモンドは金属結合で保持さ
れている。ダイアモンド被覆部５は、円穴４の筒状の内
縁と、この内縁に境を接している縁部分とを金属板３の
両側で取り囲んでいる。板２を切り離すため、棒材１を
円穴４のなかへ挿入する９次に、金属板３と円穴４によ
って板２を棒材１から切り離す。この場合基本的には、
矢印８で示すように板２が曲がる恐れがあり、従って切
断深さが増すと、板２と金属板３とが接触する恐れがあ
る。このためダイアモンド被覆部５は板２の側で、即ち
いわゆる不安定な側でより厚く形成され、特に安定な側
７よりも頭部領域９でより厚く形成されている。従って
板２と金属板３とが接触する恐れはない。
金属板３の外面を越えて突出しているダイアモンド被覆
部５のより厚い部分を第１図と第２図ではｘ２で示し、
安定側７のより薄い部分をＸ工で示した。
部５のより厚い部分を第１図と第２図ではｘ２で示し、
安定側７のより薄い部分をＸ工で示した。
第２図は、内穴付き鋸の金属板３の円穴における縁領域
の大きさを拡大して図示したものである。
の大きさを拡大して図示したものである。
この実施例では、不安定な側６の縁領域の幅は２．０＋
ｍであり、安定な側の長さＬ２は２．５ｍｍである。不
安定な側６でのダイアモンド被覆部の厚さは頭部領域で
Ｘ、＝９０μｍで、安定な側７でのダイアモンド被覆部
の厚さは頭部領域でＸ□＝６０μｍである。頭部領域で
のダイアモンド被覆部の全厚さは２７０μｍである。
ｍであり、安定な側の長さＬ２は２．５ｍｍである。不
安定な側６でのダイアモンド被覆部の厚さは頭部領域で
Ｘ、＝９０μｍで、安定な側７でのダイアモンド被覆部
の厚さは頭部領域でＸ□＝６０μｍである。頭部領域で
のダイアモンド被覆部の全厚さは２７０μｍである。
不安定な側６でのダイアモンド被覆部５の長さＬ工は、
これに対向する側でのダイアモンド被覆部の長さＬ２よ
りも短い、一方ダイアモンド被覆部５は不安定な側６で
より厚く形成され、その結果全体的には金属板３の軸線
の両側で同量のダイアモンドが被覆部として使用されて
いる。
これに対向する側でのダイアモンド被覆部の長さＬ２よ
りも短い、一方ダイアモンド被覆部５は不安定な側６で
より厚く形成され、その結果全体的には金属板３の軸線
の両側で同量のダイアモンドが被覆部として使用されて
いる。
同じことは第３図に図示した実施例にも適用される。第
３図に図示した実施例では、頭部領域においては安定な
側７よりも不安定な側６でダイアモンド被覆部の厚さが
より厚くなっている。縁領域での長さは両側とも等しい
。しかし材料を補償するため、従って応力を補償するた
め、ダイアモンド被覆部５は安定な側７よりも不安定な
側６でより薄くなっている。
３図に図示した実施例では、頭部領域においては安定な
側７よりも不安定な側６でダイアモンド被覆部の厚さが
より厚くなっている。縁領域での長さは両側とも等しい
。しかし材料を補償するため、従って応力を補償するた
め、ダイアモンド被覆部５は安定な側７よりも不安定な
側６でより薄くなっている。
本発明は、単結晶の珪素棒を切断するための内穴付き鋸
への適用に限定されるばかりでなく、多結晶の材料及び
珪素以外の物質１例えばゲルマニウムへも適用すること
ができる。
への適用に限定されるばかりでなく、多結晶の材料及び
珪素以外の物質１例えばゲルマニウムへも適用すること
ができる。
第１図は本発明による内穴付き鋸の作動状態の図式図、
第２図は鋸の円穴の縁部分の拡大図、第３図は他の実施
例を示す図である。 １・・・・・捧材 ２・・・・・切り取られるべき板 ３・・・・・金属板 ４・・・・・内式 ５・・・・・ダイアモンド被覆部 ９・・・・・頭部領域
第２図は鋸の円穴の縁部分の拡大図、第３図は他の実施
例を示す図である。 １・・・・・捧材 ２・・・・・切り取られるべき板 ３・・・・・金属板 ４・・・・・内式 ５・・・・・ダイアモンド被覆部 ９・・・・・頭部領域
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 （１）中心部に内穴を具備する薄い金属板を有し、該金
属板が内穴の縁領域に被覆部を担持し、該被覆部が、ガ
ルバーニ結合で保持されているダイアモンド粒子または
窒化ホウ素粒子から成り、且つ被覆部が、内穴の周面に
して内側に位置する筒状の周面とこれに境を接している
縁部分とを金属板の両外側面で蔽っている内穴付き鋸に
おいて、切断されるべき板 （２）の側（６）でのダイアモンド被覆部 （５）の厚さが、金属板（３）の他の外側面での厚さよ
りも厚いことを特徴とする内穴付き鋸。 （２）ダイアモンド被覆部（５）が金属板（３）の両側
で同量用いられていることを特徴とする、特許請求の範
囲第１項に記載の内穴付き鋸。 （３）切断されるべき板（２）の側（６）で拡張されて
いる頭部領域（９）でのダイアモンド被覆部（５）の厚
さが、金属板（３）の他の側での厚さよりも厚いことを
特徴とする、特許請求の範囲第１項に記載の内穴付き鋸
。 （４）金属板（３）の１つの側（７）でのダイアモンド
被覆部（５）の縁領域が、金属板（３）の他の側（６）
での縁領域よりも幅広であることを特徴とする、特許請
求の範囲第１項に記載の内穴付き鋸。 （５）金属板（３）の１つの側（６）でのダイアモンド
被覆部（５）の縁領域が、金属板（３）の他の側（７）
での縁領域よりも厚く形成されていることを特徴とする
、特許請求の範囲第１項に記載の内穴付き鋸。
Applications Claiming Priority (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| DE3639700.8 | 1986-11-20 | ||
| DE19863639700 DE3639700A1 (de) | 1986-11-20 | 1986-11-20 | Innenlochsaege |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS63200971A true JPS63200971A (ja) | 1988-08-19 |
Family
ID=6314396
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP62290759A Pending JPS63200971A (ja) | 1986-11-20 | 1987-11-19 | 内穴付き鋸 |
Country Status (4)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US4850331A (ja) |
| EP (1) | EP0268152B1 (ja) |
| JP (1) | JPS63200971A (ja) |
| DE (2) | DE3639700A1 (ja) |
Families Citing this family (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5218948A (en) * | 1988-03-11 | 1993-06-15 | Mitsubishi Kinzoku Kabushiki Kaisha | Inside diameter blade |
| DE3836587A1 (de) * | 1988-10-27 | 1990-05-03 | Winter & Sohn Ernst | Innenlochsaege |
| US5133783A (en) * | 1989-10-27 | 1992-07-28 | Sumitomo Electric Industries, Ltd. | Inner peripheral type thin plate blade and method of producing the same |
| US5218947A (en) * | 1991-08-09 | 1993-06-15 | Ajamian Hrant K | Annular cutting disc |
| US6203416B1 (en) | 1998-09-10 | 2001-03-20 | Atock Co., Ltd. | Outer-diameter blade, inner-diameter blade, core drill and processing machines using same ones |
| US20070023026A1 (en) * | 2005-07-28 | 2007-02-01 | Broyles Michelle | Dicing blade |
| ITPD20120405A1 (it) * | 2012-12-21 | 2014-06-22 | Freni Brembo Spa | Metodo per realizzare un disco freno e disco freno per freni a disco |
Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS4913981U (ja) * | 1972-05-08 | 1974-02-05 | ||
| JPS50119381A (ja) * | 1974-03-06 | 1975-09-18 |
Family Cites Families (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DE669364C (de) * | 1936-12-09 | 1938-12-23 | Gustav Thome | Steinsaege |
| US3205624A (en) * | 1964-07-20 | 1965-09-14 | Shirley I Weiss | Annular cutting wheels |
| US3526999A (en) * | 1968-08-08 | 1970-09-08 | Leopold Jagers | Cutting blades |
| GB1208408A (en) * | 1968-11-29 | 1970-10-14 | Hinmar Associates Inc | Abrasive cutting tool and method |
| BE759534A (fr) * | 1969-11-28 | 1971-04-30 | Kayex Corp | Element de decoupe abrasif |
-
1986
- 1986-11-20 DE DE19863639700 patent/DE3639700A1/de not_active Withdrawn
-
1987
- 1987-11-05 DE DE8787116283T patent/DE3778832D1/de not_active Expired - Fee Related
- 1987-11-05 EP EP87116283A patent/EP0268152B1/de not_active Expired - Lifetime
- 1987-11-13 US US07/120,416 patent/US4850331A/en not_active Expired - Fee Related
- 1987-11-19 JP JP62290759A patent/JPS63200971A/ja active Pending
Patent Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS4913981U (ja) * | 1972-05-08 | 1974-02-05 | ||
| JPS50119381A (ja) * | 1974-03-06 | 1975-09-18 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| DE3778832D1 (de) | 1992-06-11 |
| EP0268152B1 (de) | 1992-05-06 |
| DE3639700A1 (de) | 1988-06-01 |
| EP0268152A2 (de) | 1988-05-25 |
| EP0268152A3 (en) | 1990-01-17 |
| US4850331A (en) | 1989-07-25 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JPS63200971A (ja) | 内穴付き鋸 | |
| FI96288C (fi) | Laite terän kiinnittämiseksi hakun pyöritettävään kiekkoon | |
| US5016800A (en) | Method of cutting workpiece | |
| JPS6282008A (ja) | 半導体ウエハ−ブレイク装置 | |
| JPH08127023A (ja) | 切削ブレード及びそれを用いた切削方法 | |
| KR100506162B1 (ko) | 방음용 절삭톱날 및 그 제조방법 | |
| JPS59158216A (ja) | 半導体材料切断装置 | |
| JP3407831B2 (ja) | 回転鋸 | |
| JPH06285709A (ja) | ドリル | |
| JPH11207633A (ja) | ダイヤモンドブレード | |
| JPH081042Y2 (ja) | 原木切削装置 | |
| Tsujino et al. | Welding characteristics of ultrasonic wire bonding using high-frequency vibration systems | |
| JP3293993B2 (ja) | タイバーカッター加工方法 | |
| JPH10315048A (ja) | チップソー | |
| JP2511283B2 (ja) | プレス加工部品の加工方法 | |
| JPH04304907A (ja) | 切削用工具 | |
| US3977276A (en) | Method for producing a forming tool having a sintered web-like cutting edge | |
| JP3000263U (ja) | ダイヤモンドブレード | |
| KR200383869Y1 (ko) | 방음용 절삭톱날 | |
| JPH06285710A (ja) | ドリル | |
| JPH02212065A (ja) | ダイシング・ソー | |
| JPH042736Y2 (ja) | ||
| JPH0613828A (ja) | 弾性表面波素子の製造方法 | |
| JPS62225019A (ja) | 弾性表面波素子の加工方法 | |
| JPH0418931B2 (ja) |