JPS63200520A - Ｉｃ製造のウエハ工程管理方式 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 （産業上の利用分野） 本発明は、ＩＣ製造のウェハ工程管理方式に係り、特に
、ＩＣ製造のウェハ工程において、コンピュータによる
工程管理を行う場合のデータ登録及びデータ検索方式に
関するものである。

（従来の技術） ＩＣ製造のウェハ工程において、コンピュータによる工
程管理が行われている。ＩＣ製造のウェハ工程は処理ウ
ェハを２５枚単位で収納可能なカセットと称する容器単
位で処理が行われる。このカセット単位或いはその倍数
を１０ツト」と称して工程管理上のＩＤコードとして使
用しコンピュータ管理が行われている。特に、ＩＣ製造
のウェハ工程においては、数多くの品種が混在して流れ
るため、その物流の整理の意味を持つ工程管理が不可欠
のものとなってきている。

以下、係る従来の工程管理にコンピュータを使用する場
合の例を第４図乃至第６図を参照しながら説明する。

まず、第４図に示されるように、上位コンピュータ１に
必要なデータファイル２を持ち、下位コンピュータ３か
らのロット番号４と工程番号５の問い合わせにより、工
程処理条件６を検索し、下位コンピュータ３へ転送指示
すると共にロットトレースファイルを更新することによ
りロットの工程管理が行われる。この場合、ロット番号
４と工程番号５の問い合わせば製造担当の作業者の手入
力により行われることもある。

第５図はこのロット番号４と工程番号５の問い合わせか
ら工程処理条件６の検索の間に行われるデータ処理のブ
ロックフロー図、第６図はそのデータファイルの構造及
び検索の手順の説明図である。

これらの図に示されるようにロット番号４は品種番号７
とロット固有番号８とからなり、これらから品種工程フ
ローファイル９及びロットトレースファイル１０が決定
される。品種工程フローファイル９は品種毎に工程処理
順序及びその工程に対応する処理条件を登録したもので
ある。また、ロットトレースファイルＩＯはロット固有
番号日毎に現在の処理工程までの工程履歴及びその工程
に対応する履歴データを記録していくものである。品種
番号７から該当する品種工程フローが決定され、これに
工程番号５が分かることにより、この工程フローの中の
どの工程かが特定され、該当する工程処理条件６を決定
し、下位コンピュータ３へ転送指示されることになる。

一方、ロットトレースファイル１０はロット固有番号８
からその該当日・ノドのロット仕掛り履歴が決定され、
このファイルの仕掛りを該当工程に更新する。工程管理
上このファイルを検索することにより、各ロットがどの
工程にあるかが分かり、ロットを管理していく上での適
切な処置をとることになる。

（発明が解決しようとする問題点） しかしながら、従来の方式では工程番号５が問い合わせ
られてはしめてロットがこれから処理する工程を決める
ため、作業者の入力等により問い合わせする工程番号５
を誤ると、誤った工程処理条件を転送指示してしまうと
いう問題点があり、また、工程処理条件６の変更があっ
た場合、該当するすべての品種工程フローファイル９の
工程処理条件を変更しなければならないという問題点が
あった。

本発明は、以上述べた工程番号の誤った問い合わせによ
る工程処理条件の誤った転送指示や工程処理条件の変更
の手続の複雑さを除去し、工程処理条件を誤りなく転送
指示し、工程処理条件の変更手続を容易に行い得るＩＣ
製造のウェハ工程管理方式を提供することを目的とする
。

（問題点を解決するための手段） 本発明は、ＩＣ製造のウェハ工程のコンピュータを使用
した工程管理を行う場合において、ロット番号毎に工程
の順序を示す工程フローを有し、現在までに処理した工
程を示すポインタを持ったロットポインタファイルと、
品種毎に工程の順序を示す工程フローを有し、各工程に
対応した基本工程番号及びザブコートを持った品種工程
フローファイルと、基本工程毎に共通工程処理条件とサ
ブコードとして固有工程処理条件パラメータを持った基
本工程ファイルとを有し、ロット番号の問い合わせによ
りロットポインタファイルより次工程を決定し、この次
工程と品種工程フローファイルより基本工程番号及びサ
ブコードを決定し、これらの番号及びサブコードより該
当ロットの該当工程の工程処理条件を検索してロットポ
インタファイルのポインタを更新するようにしたもので
ある。

（作用） 本発明によれば、上記のように、ロットポインタファイ
ルを使用して、工程の順序を正しく指示し、工程処理条
件の登録及び検索のために基本工程という概念を導入す
るようにしたので、工程の順序誤りや工程処理条件の指
示誤りが無くなり、従って、多品種を混在しても、適切
な処理を行うことができる。また、基本工程の考え方の
導入により、工程処理条件を変更する場合、ある基本工
程のサブコードの固有工程処理条件だけを変更すれば、
そのサブコードを使用している品種のすべてについて変
更できることになる。更に、品種工程フローファイルの
方も基本工程のサブコードを変更すれば、簡単に処理条
件を変更できることになり、誤りも少なく手続上も極め
て籠華になり、品種が増加してもそれに比例して基本工
程数は増加しないため、メモリ容量の低減を図ることが
できる。

（実施例） 以下、本発明の実施例について図面を参照しながら詳細
に説明する。

第１図は本発明のデータファイルの構造と検索手順の説
明図、第２図は本発明のＩＣ製造のウェハ工程管理シス
テムの概略構成図、第３図はそのデータのブロックフロ
ー図である。

第２図に示されるように、上位コンピュータ１１に必要
なデータファイル１２を持ち、下位コンピュータ１３か
らのロット番号１４のみの問い合わせにより工程の順序
のチェックを行い、正しければ工程処理条件１５を下位
コンピュータ１３へ転送指示する。

第１図及び第３図に示されるように、ロット番号１４の
みの問い合わせにより、ロット番号１４から品種番号１
６とロット固有番号１７が分かり、これらからロットポ
インタファイル１８と品種工程フローファイル１９が決
定される。ロットポインタファイル１８はロット固有番
号１７毎に、後述する品種毎の工程フローファイルと同
じ構造を持ち、現在そのロットがどの工程にあるかを示
すポインタを持っている。従って、ロット固有番号１７
からロソＩ・ポインタファイル１８が決定すると、その
ファイルより前回処理した工程が分かることになり、第
１図に示されるように、例えば、これを工程ｎ−１とす
ると、次工程は工程ねとなる。次に、品種番号１６から
決まる品種工程フローファイル１９は品種毎に工程処理
順序及び工程処理条件１５を決定する基本工程番号２１
及びサブコード２２を登録したものである。ロットポイ
ンタファイル１８により工程ｎが決まり、品種工程フロ
ーファイル１９の当該工程（工程ｎ）に対応した基本工
程番号２１及びナブコード２２が決まる。この基本工程
番号２１から基本工程ファイル２３が検索される。基本
工程ファイル２３は基本工程番号２１毎に共通工程処理
条件２４とサブコード２２としてパラメータとなる固有
工程処理条件２５からなる。基本工程とは工程を分類し
て作成した概念であり、品種から独立したものである。

処理条件の種類が同しで、処理を行う装置が同し種類の
工程処理は同一基本工程として扱かい処理条件の違いは
パラメータとしてサブコードで区別するようになる。こ
の概念の導入により品種工程フローと処理条件が別々に
扱えるようになる。このように基本工程ファイル２３の
サブコーＦ′２２から固有工程処理条件２５が決定され
、下位コンピュータ１３へ転送指示されることになる。

また、この時にば日ソ１〜ボインクフアイル１８のポイ
ンタも工程ｎに更新される。工程管理上はこのファイル
の検索によりロットの進捗状況が常に管理でき、ロット
を管理していく上での適切な処置をとることになる。

なお、本発明は上記実施例に限定されるものではなく、
本発明の趣旨にＷついて種々の変形が可能であり、これ
らを本発明の範囲から排除するものではない。

（発明の効果） 以上、詳細に説明したように、本発明によれば、ロット
ポインタファイルを使用するので工程の順序誤りや工程
処理条件の指示誤りが無くなり、従って、多品種を混在
してもＩＣの製造を適切に行うことができる。また゛、
基本工程の考え方の導入により、工程処理条件を変更す
る場合、ある基本工程のサブコードの固有工程処理条件
だけを変更すれば、そのサブコード−を使用している品
種のすべてについて変更できることになり、また、品種
工程フローファイルの方も基本工程サブコードを変更す
れば、簡単に処理条件を変更できることになり、誤りも
少なく手続上も極めて簡単になり、品種が増加してもそ
れに比例して基本工程数は増加しないため、メモリ容量
も少なくてすむという利点がある。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明のデータファイルの構造と検索手順の説
明図、第２図は本発明のＩＣ製造のウエハエ程管理シス
テムの概略構成図、第３図はそのデータ処理のブロック
フロー図、第４図は従来のＩＣ製造のウェハ工程管理シ
ステムの概略構成図、第５図はそのデータ処理のブロッ
クフロー図、第６図はデータファイルの構造と検索手順
の説明図である。 １１・・・上位コンピュータ、１２・・・データファイ
ル、１３・・・下位コンピュータ、１４・・・ロット番
号、１５・・・工程処理条件、１６・・・品種番号、１
７・・・ロット固有番号、１８・・・ロットポインタフ
ァイル、１９・・・品種工程フローファイルＪ２１・・
・基本工程番号、２２・・・サブコード、２３・・・基
本工程ファイル、２４・・・共通工程処理条件、２５・
・・固有工程処理条件。

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 （ａ）ロット番号毎に工程の順序を示す工程フローを有
   し、現在までに処理した工程を示すポインタを持ったロ
   ットポインタファイルと、 （ｂ）品種毎に工程の順序を示す工程フローを有し、各
   工程に対応した基本工程番号及びサブコードを持った品
   種工程フローファイルと、 （ｃ）基本工程毎に共通工程処理条件とサブコードとし
   て固有工程処理条件パラメータを持った基本工程ファイ
   ルとを有し、 （ｄ）ロット番号の問い合わせによりロットポインタフ
   ァイルより次工程を決定し、該次工程と品種工程フロー
   ファイルより基本工程番号及びサブコードを決定し、こ
   れらの番号及びサブコードより該当ロットの該当工程の
   工程処理条件を検索してロットポインタファイルのポイ
   ンタを更新することを特徴とするＩＣ製造のウェハ工程
   管理方式。