JPH0774068A - 製品処理装置および製品処理決定方法 - Google Patents
製品処理装置および製品処理決定方法Info
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- JPH0774068A JPH0774068A JP21831193A JP21831193A JPH0774068A JP H0774068 A JPH0774068 A JP H0774068A JP 21831193 A JP21831193 A JP 21831193A JP 21831193 A JP21831193 A JP 21831193A JP H0774068 A JPH0774068 A JP H0774068A
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- Y02—TECHNOLOGIES OR APPLICATIONS FOR MITIGATION OR ADAPTATION AGAINST CLIMATE CHANGE
- Y02P—CLIMATE CHANGE MITIGATION TECHNOLOGIES IN THE PRODUCTION OR PROCESSING OF GOODS
- Y02P90/00—Enabling technologies with a potential contribution to greenhouse gas [GHG] emissions mitigation
- Y02P90/30—Computing systems specially adapted for manufacturing
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- Management, Administration, Business Operations System, And Electronic Commerce (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 処理待ちロット群の中から、処理装置の性能
及びロットの処理緊急度を考慮した上で処理するロット
を決定する。 【構成】 処理計画作成手段１０はロットの処理条件を
作成する。処理待ち製品群作成手段２０は装置の処理待
ちロットを作成する。装置性能管理手段３０は装置の性
能を管理する。製品処理緊急度管理手段４０は製品の処
理緊急度を管理する。製品処理決定手段５０は、装置性
能及び処理緊急度をもとに装置における処理製品を決定
する。
及びロットの処理緊急度を考慮した上で処理するロット
を決定する。 【構成】 処理計画作成手段１０はロットの処理条件を
作成する。処理待ち製品群作成手段２０は装置の処理待
ちロットを作成する。装置性能管理手段３０は装置の性
能を管理する。製品処理緊急度管理手段４０は製品の処
理緊急度を管理する。製品処理決定手段５０は、装置性
能及び処理緊急度をもとに装置における処理製品を決定
する。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、複数の製品を生産する
ための複数の装置で各工程を順次処理する製品処理装置
および製品処理決定方法に関するものである。
ための複数の装置で各工程を順次処理する製品処理装置
および製品処理決定方法に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】従来の製品処理装置を図９に基づいて説
明する。図９は従来の製品処理装置の機能ブロック図で
ある。
明する。図９は従来の製品処理装置の機能ブロック図で
ある。
【０００３】複数の製品を各工程の装置で処理する生産
ラインにおいて、処理計画作成手段１００は、生産する
製品の処理フロー、処理装置及び処理条件を作成するも
のであり、製品処理計画テーブルに複数の製品を生産す
るための工程の並びを規定した処理フロー、各工程を処
理するための装置及びその処理条件などを登録する。
ラインにおいて、処理計画作成手段１００は、生産する
製品の処理フロー、処理装置及び処理条件を作成するも
のであり、製品処理計画テーブルに複数の製品を生産す
るための工程の並びを規定した処理フロー、各工程を処
理するための装置及びその処理条件などを登録する。
【０００４】処理待ち製品群作成手段１０１は、各装置
で処理を待っている製品群を作成するものであり、製品
の現処理工程番号及び次工程の処理に使用する装置を登
録した製品処理進行管理テーブルが更新された時点で、
各装置について処理すべき製品群を処理待ち製品管理テ
ーブルに登録する。
で処理を待っている製品群を作成するものであり、製品
の現処理工程番号及び次工程の処理に使用する装置を登
録した製品処理進行管理テーブルが更新された時点で、
各装置について処理すべき製品群を処理待ち製品管理テ
ーブルに登録する。
【０００５】製品処理決定手段１０２は、各装置の処理
待ち製品群の中から処理する製品を決定するものであ
り、処理待ち製品管理テーブルに登録されている装置毎
の処理待ち製品群の中で処理待ち時間が最も長い製品を
処理することを決定する。
待ち製品群の中から処理する製品を決定するものであ
り、処理待ち製品管理テーブルに登録されている装置毎
の処理待ち製品群の中で処理待ち時間が最も長い製品を
処理することを決定する。
【０００６】以上のように構成された従来の製品処理装
置においては、処理待ち製品群の中から処理する製品を
決定する時、処理待ち時間の長いものを選んでいた。
置においては、処理待ち製品群の中から処理する製品を
決定する時、処理待ち時間の長いものを選んでいた。
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら前記のよ
うに構成された従来の製品処理装置では、処理待ち製品
群の中から処理する製品を決定する時、処理装置の性能
及び製品の処理緊急度を全く考慮しないため、装置性能
悪化による歩留まりの低下によって製品コストが増大し
たり、納期までに製品が完成できないという問題点を有
していた。
うに構成された従来の製品処理装置では、処理待ち製品
群の中から処理する製品を決定する時、処理装置の性能
及び製品の処理緊急度を全く考慮しないため、装置性能
悪化による歩留まりの低下によって製品コストが増大し
たり、納期までに製品が完成できないという問題点を有
していた。
【０００８】本発明はかかる点に鑑み、処理待ち製品群
の中から、処理装置の性能及び製品の処理緊急度を考慮
した上で処理する製品を決定することができる製品処理
装置および製品処理決定方法を提供することを目的とす
る。
の中から、処理装置の性能及び製品の処理緊急度を考慮
した上で処理する製品を決定することができる製品処理
装置および製品処理決定方法を提供することを目的とす
る。
【０００９】
【課題を解決するための手段】本発明は、ある製品の処
理計画を作成する処理計画作成手段と、各工程の装置に
おける製品の処理の進行状況を管理し、各装置における
処理待ち製品群を作成する処理待ち製品群作成手段と、
各工程の処理装置の性能を管理する装置性能管理手段
と、各製品の処理の緊急度を管理する製品処理緊急度管
理手段と、前記装置性能管理手段で管理する装置性能及
び前記製品処理緊急度管理手段で管理する製品の処理緊
急度をもとに各装置で製品処理を行なうかどうかを決定
する製品処理決定手段とを備えている。
理計画を作成する処理計画作成手段と、各工程の装置に
おける製品の処理の進行状況を管理し、各装置における
処理待ち製品群を作成する処理待ち製品群作成手段と、
各工程の処理装置の性能を管理する装置性能管理手段
と、各製品の処理の緊急度を管理する製品処理緊急度管
理手段と、前記装置性能管理手段で管理する装置性能及
び前記製品処理緊急度管理手段で管理する製品の処理緊
急度をもとに各装置で製品処理を行なうかどうかを決定
する製品処理決定手段とを備えている。
【００１０】また本発明は、複数の製品を各工程の装置
で処理する生産ラインにおいて、各工程の装置の性能情
報にもとづいて、各工程の装置で製品処理を行なうかど
うかを決定する製品処理決定方法である。
で処理する生産ラインにおいて、各工程の装置の性能情
報にもとづいて、各工程の装置で製品処理を行なうかど
うかを決定する製品処理決定方法である。
【００１１】
【作用】本発明は前記した構成により、処理計画作成手
段により製品の処理フロー、処理装置及び処理条件を作
成し、処理待ち製品群作成手段により各装置における処
理待ち製品群を作成し、装置性能管理手段により各工程
の処理装置の性能を管理し、製品処理緊急度管理手段に
より各製品の処理緊急度を管理し、製品処理決定手段に
より装置性能及び処理緊急度をもとに各装置において製
品処理を行なうかどうかを決定する。
段により製品の処理フロー、処理装置及び処理条件を作
成し、処理待ち製品群作成手段により各装置における処
理待ち製品群を作成し、装置性能管理手段により各工程
の処理装置の性能を管理し、製品処理緊急度管理手段に
より各製品の処理緊急度を管理し、製品処理決定手段に
より装置性能及び処理緊急度をもとに各装置において製
品処理を行なうかどうかを決定する。
【００１２】
【実施例】本発明の製品処理装置の一実施例をコンピュ
ータを用いた半導体プロセスロット処理装置に適用した
例を、図１〜図８に基づいて説明する。
ータを用いた半導体プロセスロット処理装置に適用した
例を、図１〜図８に基づいて説明する。
【００１３】本製品処理装置は、図２に示すように、コ
ンピュータ１、プロセス処理装置３、データ送受信装置
４、データ送信経路２から構成され、図１に示すよう
に、処理計画作成手段１０、処理待ち製品群作成手段２
０、装置性能管理手段３０、製品処理緊急度管理手段４
０、製品処理決定手段５０によって製品処理を行なう。
以下、各手段について詳しく説明する。
ンピュータ１、プロセス処理装置３、データ送受信装置
４、データ送信経路２から構成され、図１に示すよう
に、処理計画作成手段１０、処理待ち製品群作成手段２
０、装置性能管理手段３０、製品処理緊急度管理手段４
０、製品処理決定手段５０によって製品処理を行なう。
以下、各手段について詳しく説明する。
【００１４】処理計画作成手段１０は、ロット名６１、
工程番号６２、工程名６３、処理装置６４、処理条件６
５をアイテムとして持つコンピュータ１に接続された補
助記憶上のロット処理計画テーブル６０（図４）に、レ
コード毎にロットの各工程の処理装置、処理条件及び処
理時間などを登録する。これらの登録はロット数だけ繰
り返す。
工程番号６２、工程名６３、処理装置６４、処理条件６
５をアイテムとして持つコンピュータ１に接続された補
助記憶上のロット処理計画テーブル６０（図４）に、レ
コード毎にロットの各工程の処理装置、処理条件及び処
理時間などを登録する。これらの登録はロット数だけ繰
り返す。
【００１５】また、ロット名８１、処理緊急度８２をア
イテムとして持つコンピュータ１に接続された補助記憶
上のロット処理緊急度管理テーブル９０（図６）のロッ
ト名アイテム８１及び、ロット名９１、現処理工程番号
９２、次工程の処理装置９３をアイテムとして持つコン
ピュータ１に接続された補助記憶上のロット処理進行管
理テーブル９０（図７）のロット名アイテム９１にそれ
ぞれロット名を登録する。この登録はロット数だけ繰り
返す。
イテムとして持つコンピュータ１に接続された補助記憶
上のロット処理緊急度管理テーブル９０（図６）のロッ
ト名アイテム８１及び、ロット名９１、現処理工程番号
９２、次工程の処理装置９３をアイテムとして持つコン
ピュータ１に接続された補助記憶上のロット処理進行管
理テーブル９０（図７）のロット名アイテム９１にそれ
ぞれロット名を登録する。この登録はロット数だけ繰り
返す。
【００１６】さらに、処理装置７１、装置性能７２をア
イテムとして持つコンピュータ１に接続された補助記憶
上の装置性能管理テーブル７０（図５）の処理装置アイ
テム７１及び、処理装置９６、処理待ちロット群９７を
アイテムとして持つコンピュータ１に接続された補助記
憶上の処理待ちロット管理テーブル９５（図８）の処理
装置アイテム９６に、それぞれロット処理に必要な装置
を登録する。この登録は必要な装置数だけ繰り返す。
イテムとして持つコンピュータ１に接続された補助記憶
上の装置性能管理テーブル７０（図５）の処理装置アイ
テム７１及び、処理装置９６、処理待ちロット群９７を
アイテムとして持つコンピュータ１に接続された補助記
憶上の処理待ちロット管理テーブル９５（図８）の処理
装置アイテム９６に、それぞれロット処理に必要な装置
を登録する。この登録は必要な装置数だけ繰り返す。
【００１７】処理待ち製品群作成手段２０は、コンピュ
ータ１とデータ送受信装置４及びデータ送信経路２で接
続された装置３との間でロット処理情報（ロット名、工
程番号、工程名、処理装置、処理条件）及び処理開始／
終了情報（ロット名、処理開始時刻／処理終了時刻、現
処理工程番号、処理装置）を送受信する。
ータ１とデータ送受信装置４及びデータ送信経路２で接
続された装置３との間でロット処理情報（ロット名、工
程番号、工程名、処理装置、処理条件）及び処理開始／
終了情報（ロット名、処理開始時刻／処理終了時刻、現
処理工程番号、処理装置）を送受信する。
【００１８】コンピュータ１が各装置３より処理開始情
報を受信した際に、受信したロット名と同一のロット処
理進行管理テーブル９０のロット名アイテム９１値を含
むレコードを検索し、現処理工程番号アイテム９２に受
信した現処理工程番号を登録すると同時に、受信したロ
ット名及び現処理工程番号に１を加算した値と同一のロ
ット処理計画テーブル６０のロット名アイテム６１値及
び工程番号アイテム６２値を含むレコードを検索し、処
理装置アイテム６４値を抽出し、受信したロット名と同
一のロット処理管理テーブル９０のロット名アイテム９
１値を含むレコードの次工程の処理装置アイテム９３に
登録する。この時、ロット処理計画テーブル６０に該当
するレコードがない場合は、そのロットに関する処理は
終了となる。
報を受信した際に、受信したロット名と同一のロット処
理進行管理テーブル９０のロット名アイテム９１値を含
むレコードを検索し、現処理工程番号アイテム９２に受
信した現処理工程番号を登録すると同時に、受信したロ
ット名及び現処理工程番号に１を加算した値と同一のロ
ット処理計画テーブル６０のロット名アイテム６１値及
び工程番号アイテム６２値を含むレコードを検索し、処
理装置アイテム６４値を抽出し、受信したロット名と同
一のロット処理管理テーブル９０のロット名アイテム９
１値を含むレコードの次工程の処理装置アイテム９３に
登録する。この時、ロット処理計画テーブル６０に該当
するレコードがない場合は、そのロットに関する処理は
終了となる。
【００１９】ロット処理進行管理テーブル９０に次工程
の処理装置アイテム９３値を登録する際に、ロット名ア
イテム９１値を、次工程の処理装置アイテム９３値と同
一の処理待ちロット管理テーブル９５の処理装置アイテ
ム９６値を含むレコードを検索し、処理待ちロット群ア
イテム９７に追加登録する。尚、この処理は、次工程の
処理装置アイテム９３値を登録する際に実施している
が、特に制限を設けず、いつ実施してもよい。
の処理装置アイテム９３値を登録する際に、ロット名ア
イテム９１値を、次工程の処理装置アイテム９３値と同
一の処理待ちロット管理テーブル９５の処理装置アイテ
ム９６値を含むレコードを検索し、処理待ちロット群ア
イテム９７に追加登録する。尚、この処理は、次工程の
処理装置アイテム９３値を登録する際に実施している
が、特に制限を設けず、いつ実施してもよい。
【００２０】各装置３より処理開始情報を受信した際
に、受信した処理装置及びロット名と同一の処理待ちロ
ット管理テーブル９５の処理装置アイテム９６値及び処
理待ちロット群アイテム９７値を含むレコードを検索
し、処理待ちロット群アイテム９７値の中からそのロッ
ト名を削除する。
に、受信した処理装置及びロット名と同一の処理待ちロ
ット管理テーブル９５の処理装置アイテム９６値及び処
理待ちロット群アイテム９７値を含むレコードを検索
し、処理待ちロット群アイテム９７値の中からそのロッ
ト名を削除する。
【００２１】装置性能管理手段３０は、各装置３の性能
状態を継続的に管理するものであり、データ送受信装置
４及びデータ送信経路２で接続された装置３から受信し
た、各装置毎の性能を表す装置性能指数を該当する装置
性能管理テーブル７０の装置性能アイテム７２値に登録
する。この登録は各装置３やクリーンルームの管理基準
などに従って行なう。尚、この指数は値が小さいほど装
置状態が安定しており高い工程歩留まりを保証できる状
態にある。
状態を継続的に管理するものであり、データ送受信装置
４及びデータ送信経路２で接続された装置３から受信し
た、各装置毎の性能を表す装置性能指数を該当する装置
性能管理テーブル７０の装置性能アイテム７２値に登録
する。この登録は各装置３やクリーンルームの管理基準
などに従って行なう。尚、この指数は値が小さいほど装
置状態が安定しており高い工程歩留まりを保証できる状
態にある。
【００２２】例えばエッチング装置やディポジション装
置は図３に示すような構成（データ送受信装置４、装置
管理コンピュータ５、ダストカウンター６、ウエハ処理
室７、処理準備室８）を取り、装置性能指数Ｘは次のよ
うに表す。
置は図３に示すような構成（データ送受信装置４、装置
管理コンピュータ５、ダストカウンター６、ウエハ処理
室７、処理準備室８）を取り、装置性能指数Ｘは次のよ
うに表す。
【００２３】指数Ｘ＝（レート指数Ａ＋メンテナンス指
数Ｂ＋ダスト指数Ｃ）／２ また、各々の指数は次の通りである。
数Ｂ＋ダスト指数Ｃ）／２ また、各々の指数は次の通りである。
【００２４】指数Ａ＝（｜今回のレート−標準レート
｜）／標準レート＋（｜今回のレート−前回のレート）
／標準レート 今回のレートはダミーウエハを用いて算出し、標準レー
ト及び前回のレートは、装置管理コンピュータ５が管
理、記憶する。
｜）／標準レート＋（｜今回のレート−前回のレート）
／標準レート 今回のレートはダミーウエハを用いて算出し、標準レー
ト及び前回のレートは、装置管理コンピュータ５が管
理、記憶する。
【００２５】指数Ｂ＝処理回数／限界処理回数 処理回数及び処理限界回数は、装置管理コンピュータ５
が管理、記憶する。
が管理、記憶する。
【００２６】指数Ｃ＝ダスト数／限界ダスト数 ダスト数はダストカウンター６により計測し、限界ダス
ト数は、装置管理コンピュータ５が管理、記憶する。
ト数は、装置管理コンピュータ５が管理、記憶する。
【００２７】この一例では、指数Ｘが１より小さい時は
装置性能が良く、大きい時は悪いと判断する。
装置性能が良く、大きい時は悪いと判断する。
【００２８】尚、この指数Ｘは上記一例に限らず、各装
置の特徴に合わせたものを採用すればよい。
置の特徴に合わせたものを採用すればよい。
【００２９】製品処理緊急度管理手段４０は、各製品の
処理の緊急度を管理するものであり、処理緊急度を該当
するロット処理緊急度管理テーブル８０の処理緊急度ア
イテム８２値に登録する。この登録は各ロットやクリー
ンルームの管理基準などに従って行なう。尚、この指数
は値が大きいほどその製品の処理を急がねばならない。
処理の緊急度を管理するものであり、処理緊急度を該当
するロット処理緊急度管理テーブル８０の処理緊急度ア
イテム８２値に登録する。この登録は各ロットやクリー
ンルームの管理基準などに従って行なう。尚、この指数
は値が大きいほどその製品の処理を急がねばならない。
【００３０】例えば指数Ｙは次のように表す。 指数Ｙ＝所要日数Ｐ／残り日数Ｑ また、各々の指数は次の通りである。
【００３１】所要日数Ｐ＝現在から完了までの標準所要
日数 所要日数Ｐはコンピュータ１が管理、記憶する。
日数 所要日数Ｐはコンピュータ１が管理、記憶する。
【００３２】残り日数Ｑ＝ロット完了希望日時−現在日
時 残り日数Ｑはコンピュータ１が管理、記憶する。
時 残り日数Ｑはコンピュータ１が管理、記憶する。
【００３３】尚、この指数Ｙは上記一例に限らず、各製
品の特徴に合わせたものを採用すればよい。
品の特徴に合わせたものを採用すればよい。
【００３４】製品処理決定手段５０は、各装置３の待ち
ロットを処理するかどうかを決定する。
ロットを処理するかどうかを決定する。
【００３５】コンピュータ１が各装置３より処理終了情
報を受信した際に、受信した装置名と同一の処理待ちロ
ット管理テーブル９５の処理装置アイテム９６値を含む
レコードの処理待ちロット群アイテム９７値を抽出し、
その各ロット名と同一のロット処理緊急度管理テーブル
８０のロット名アイテム８１値を含むレコードの処理緊
急度アイテム８２値を抽出する。また、受信した装置名
と同一の装置性能管理テーブル７０の処理装置アイテム
７１値を含むレコードの装置性能アイテム７２値を抽出
する。抽出したロットの緊急処理度とそのロットの処理
をする装置の装置性能を比較し、ロット処理を行なうか
どうか決定し、該当するロットの処理開始情報を装置３
に送信する。例えば、処理待ちロットが１ロットの場合
は、処理決定指数Ｚ（処理緊急度／装置性能）＞１を満
たす場合にロット処理を行なうことを決定し、処理待ち
ロットが複数の場合は、処理決定指数Ｚ＞１を満たし、
かつ処理決定指数Ｚの値が大きいロットの処理を行なう
ことを決定する。
報を受信した際に、受信した装置名と同一の処理待ちロ
ット管理テーブル９５の処理装置アイテム９６値を含む
レコードの処理待ちロット群アイテム９７値を抽出し、
その各ロット名と同一のロット処理緊急度管理テーブル
８０のロット名アイテム８１値を含むレコードの処理緊
急度アイテム８２値を抽出する。また、受信した装置名
と同一の装置性能管理テーブル７０の処理装置アイテム
７１値を含むレコードの装置性能アイテム７２値を抽出
する。抽出したロットの緊急処理度とそのロットの処理
をする装置の装置性能を比較し、ロット処理を行なうか
どうか決定し、該当するロットの処理開始情報を装置３
に送信する。例えば、処理待ちロットが１ロットの場合
は、処理決定指数Ｚ（処理緊急度／装置性能）＞１を満
たす場合にロット処理を行なうことを決定し、処理待ち
ロットが複数の場合は、処理決定指数Ｚ＞１を満たし、
かつ処理決定指数Ｚの値が大きいロットの処理を行なう
ことを決定する。
【００３６】本例では、装置２より処理終了情報を受信
した時、LOT-31、LOT-49、LOT-2の各々の処理緊急度は
０．９３、１．３１、１．３０であり、装置２の装置性
能は０．９６である。従って装置２ではLOT-49の処理を
行なうことを決定する。また、装置１２より処理終了情
報を受信した時、LOT-3の処理緊急度は１．８４であ
り、装置１２の装置性能は１．３１である。従って装置
１２ではLOT-3の処理を行なうことを決定すが、この場
合装置性能が１．３１と悪いためこの装置による工程歩
留まりは低くなり、製品歩留まりも低くなり、製品コス
トが上がってしまう。
した時、LOT-31、LOT-49、LOT-2の各々の処理緊急度は
０．９３、１．３１、１．３０であり、装置２の装置性
能は０．９６である。従って装置２ではLOT-49の処理を
行なうことを決定する。また、装置１２より処理終了情
報を受信した時、LOT-3の処理緊急度は１．８４であ
り、装置１２の装置性能は１．３１である。従って装置
１２ではLOT-3の処理を行なうことを決定すが、この場
合装置性能が１．３１と悪いためこの装置による工程歩
留まりは低くなり、製品歩留まりも低くなり、製品コス
トが上がってしまう。
【００３７】また、装置６より処理終了情報を受信した
時、LOT-1の処理緊急度は０．８１であり、装置６の装
置性能は１．４３である。従って、工程歩留まりの低下
によって製品コストが上がるため、装置６ではLOT-1の
処理を行なわず、装置性能が良くなる（性能指数が小さ
くなる）のを待つ。
時、LOT-1の処理緊急度は０．８１であり、装置６の装
置性能は１．４３である。従って、工程歩留まりの低下
によって製品コストが上がるため、装置６ではLOT-1の
処理を行なわず、装置性能が良くなる（性能指数が小さ
くなる）のを待つ。
【００３８】尚、この指数Ｚ及びＺ＞１の判断基準は上
記一例に限らず、各装置、各製品、クリーンルームの特
徴に合わせたものを採用すればよい。
記一例に限らず、各装置、各製品、クリーンルームの特
徴に合わせたものを採用すればよい。
【００３９】以上のように本実施例によれば、処理待ち
ロット群の中から、処理装置の性能及びロットの処理緊
急度を考慮した上で処理するロットを決定することがで
きる。
ロット群の中から、処理装置の性能及びロットの処理緊
急度を考慮した上で処理するロットを決定することがで
きる。
【００４０】また、本実施例において、各テーブルの記
憶手段として補助記憶装置を用いたが主記憶装置を用い
てもよい。またテーブルの代わりにリスト構造を用いた
記憶手段を用いてもよい。
憶手段として補助記憶装置を用いたが主記憶装置を用い
てもよい。またテーブルの代わりにリスト構造を用いた
記憶手段を用いてもよい。
【００４１】
【発明の効果】以上説明したように、本発明の製品処理
装置は、処理待ち製品群の中から処理する製品を決定す
る時、処理装置の性能及び製品の処理緊急度を考慮した
上で処理するロットを決定することができるため、装置
性能悪化による歩留まり低下による製品コストの増大及
び製品の納期遅れを防ぐことができ、その実用的効果は
大きい。
装置は、処理待ち製品群の中から処理する製品を決定す
る時、処理装置の性能及び製品の処理緊急度を考慮した
上で処理するロットを決定することができるため、装置
性能悪化による歩留まり低下による製品コストの増大及
び製品の納期遅れを防ぐことができ、その実用的効果は
大きい。
【図１】本発明の一実施例における製品処理装置の機能
ブロック図
ブロック図
【図２】本発明の一実施例の製品処理装置のハードウエ
ア構成を示すブロック図
ア構成を示すブロック図
【図３】本発明の一実施例の製品処理装置の一装置の構
成を示すブロック図
成を示すブロック図
【図４】本発明の同実施例における製品処理装置のロッ
ト処理計画テーブルの一例を示す図
ト処理計画テーブルの一例を示す図
【図５】本発明の同実施例における製品処理装置の装置
性能テーブルの一例を示す図
性能テーブルの一例を示す図
【図６】本発明の同実施例における製品処理装置のロッ
ト処理緊急度管理テーブルの一例を示す図
ト処理緊急度管理テーブルの一例を示す図
【図７】本発明の同実施例における製品処理装置のロッ
ト処理進行管理テーブルの一例を示す図
ト処理進行管理テーブルの一例を示す図
【図８】本発明の同実施例における製品処理装置の処理
待ちロット管理テーブルの一例を示す図
待ちロット管理テーブルの一例を示す図
【図９】従来例における製品処理装置の機能ブロック図
１ コンピュータ ２ データ送信経路 ３ 装置 ４ データ送受信装置 ５ 装置管理コンピュータ ６ ダストカウンター ７ ウエハ処理室 ８ 処理準備室 １０、１００ 処理計画作成手段 ２０、１０１ 処理待ち製品群作成手段 ３０ 装置性能管理手段 ４０ 製品処理緊急度管理手段 ５０、１０２ 製品処理決定手段 ６０ ロット処理計画テーブル ６１、８１、９１ ロット名 ６２ 工程番号 ６３ 工程名 ６４、７１、９６ 処理装置 ６５ 処理条件 ７０ 装置性能管理テーブル ７２ 装置性能 ８０ 製品処理緊急度管理テーブル ８２ 処理緊急度 ９０ ロット処理進行管理テーブル ９２ 現処理工程番号 ９３ 次工程の処理装置 ９５ 処理待ちロット管理テーブル ９７ 処理待ちロット群
Claims (2)
- 【請求項１】複数の製品を各工程の装置で処理する生産
ラインにおいて、ある製品の処理計画を作成する処理計
画作成手段と、各工程の装置における製品の処理の進行
状況を管理し、各装置における処理待ち製品群を作成す
る処理待ち製品群作成手段と、各工程の処理装置の性能
を管理する装置性能管理手段と、各製品の処理の緊急度
を管理する製品処理緊急度管理手段と、前記装置性能管
理手段で管理する装置性能及び前記製品処理緊急度管理
手段で管理する製品の処理緊急度をもとに各装置で製品
処理を行なうかどうかを決定する製品処理決定手段とを
備えたことを特徴とする製品処理装置。 - 【請求項２】複数の製品を各工程の装置で処理する生産
ラインにおいて、各工程の装置の性能情報にもとづい
て、各工程の装置で製品処理を行なうかどうかを決定す
る製品処理決定方法。
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1993
- 1993-09-02 JP JP21831193A patent/JP3981983B2/ja not_active Expired - Fee Related
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