JPH05135061A - 製品処理装置 - Google Patents
製品処理装置Info
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- JPH05135061A JPH05135061A JP29472491A JP29472491A JPH05135061A JP H05135061 A JPH05135061 A JP H05135061A JP 29472491 A JP29472491 A JP 29472491A JP 29472491 A JP29472491 A JP 29472491A JP H05135061 A JPH05135061 A JP H05135061A
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- Y02—TECHNOLOGIES OR APPLICATIONS FOR MITIGATION OR ADAPTATION AGAINST CLIMATE CHANGE
- Y02P—CLIMATE CHANGE MITIGATION TECHNOLOGIES IN THE PRODUCTION OR PROCESSING OF GOODS
- Y02P90/00—Enabling technologies with a potential contribution to greenhouse gas [GHG] emissions mitigation
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- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
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- Y02P—CLIMATE CHANGE MITIGATION TECHNOLOGIES IN THE PRODUCTION OR PROCESSING OF GOODS
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- Y02P90/30—Computing systems specially adapted for manufacturing
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- General Factory Administration (AREA)
- Management, Administration, Business Operations System, And Electronic Commerce (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 バッチ処理可能な各処理装置に関して、バッ
チ処理する製品群を決定する際に、現在他の処理装置で
処理中の製品群を含めて一定時間内にその処理装置で処
理する予定の製品群の処理優先度を考慮し、全製品の処
理優先度に応じた最適なバッチ処理を行うことができる
製品処理装置を提供する。 【構成】 処理計画作成手段１により、ロットの処理条
件、処理計画を作成し、処理進行管理手段２により、ロ
ットの処理装置における処理進行状況を管理し、バッチ
処理可能製品群作成手段３により、一定時間内に処理装
置でバッチ処理可能なロット群を作成し、バッチ処理決
定手段４により、各製品の処理優先度を表すバッチ指数
を評価することでバッチ処理するロット群を決定する。
チ処理する製品群を決定する際に、現在他の処理装置で
処理中の製品群を含めて一定時間内にその処理装置で処
理する予定の製品群の処理優先度を考慮し、全製品の処
理優先度に応じた最適なバッチ処理を行うことができる
製品処理装置を提供する。 【構成】 処理計画作成手段１により、ロットの処理条
件、処理計画を作成し、処理進行管理手段２により、ロ
ットの処理装置における処理進行状況を管理し、バッチ
処理可能製品群作成手段３により、一定時間内に処理装
置でバッチ処理可能なロット群を作成し、バッチ処理決
定手段４により、各製品の処理優先度を表すバッチ指数
を評価することでバッチ処理するロット群を決定する。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、複数の製品を生産する
ために複数の処理装置で各工程を順次処理する製品処理
装置に関するものである。
ために複数の処理装置で各工程を順次処理する製品処理
装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】従来の製品処理装置を図６に基づいて説
明する。図６は従来の製品処理装置の機能ブロック図で
あり、従来の製品処理装置は、生産する製品の処理フロ
ー、処理条件および処理計画を作成する処理計画作成手
段４１と、処理計画に基づいた各製品の処理進行状況を
管理して処理優先度を決定する処理進行管理手段４２
と、複数の製品を同時にバッチ処理可能な各処理装置に
関して、現在処理待ち状態に製品群の中から同一処理条
件を持つ製品群を検索するバッチ処理待ち製品群作成手
段４３と、各処理装置におけるバッチ処理可能製品群の
中から、実際にバッチ処理を行う製品群を決定するバッ
チ処理決定手段４４とからなる。
明する。図６は従来の製品処理装置の機能ブロック図で
あり、従来の製品処理装置は、生産する製品の処理フロ
ー、処理条件および処理計画を作成する処理計画作成手
段４１と、処理計画に基づいた各製品の処理進行状況を
管理して処理優先度を決定する処理進行管理手段４２
と、複数の製品を同時にバッチ処理可能な各処理装置に
関して、現在処理待ち状態に製品群の中から同一処理条
件を持つ製品群を検索するバッチ処理待ち製品群作成手
段４３と、各処理装置におけるバッチ処理可能製品群の
中から、実際にバッチ処理を行う製品群を決定するバッ
チ処理決定手段４４とからなる。
【０００３】複数の製品を各工程の処理装置で処理する
生産ラインにおいて、処理計画作成手段４１は、製品処
理計画テーブルに、複数の製品を生産するための処理フ
ロー、各工程の処理条件、製品を各工程の処理装置によ
って処理すべき予定日時、および各工程の処理を行う処
理装置が複数の製品を同時にバッチ処理することが可能
かどうかを表わすバッチフラグなどを登録する。
生産ラインにおいて、処理計画作成手段４１は、製品処
理計画テーブルに、複数の製品を生産するための処理フ
ロー、各工程の処理条件、製品を各工程の処理装置によ
って処理すべき予定日時、および各工程の処理を行う処
理装置が複数の製品を同時にバッチ処理することが可能
かどうかを表わすバッチフラグなどを登録する。
【０００４】処理進行管理手段４２は、各工程の処理装
置によって製品の処理が開始および終了する毎に、製品
の工程番号および工程の処理状況などを製品処理進行管
理テーブルに登録すると同時に、製品処理計画テーブル
のバッチフラグ、処理装置および処理予定日時情報に基
づいて、製品処理進行管理テーブルにバッチフラグ、次
工程の処理装置および処理予定日時から現在日時を減算
した処理予定日時とのずれなどを登録する。また、処理
予定日時とのずれに基づいてその製品の処理優先度を決
定し、製品処理進行管理テーブルに登録する。即ち、処
理予定日時からの遅れが大きい製品ほど、その処理優先
度を高く設定する。
置によって製品の処理が開始および終了する毎に、製品
の工程番号および工程の処理状況などを製品処理進行管
理テーブルに登録すると同時に、製品処理計画テーブル
のバッチフラグ、処理装置および処理予定日時情報に基
づいて、製品処理進行管理テーブルにバッチフラグ、次
工程の処理装置および処理予定日時から現在日時を減算
した処理予定日時とのずれなどを登録する。また、処理
予定日時とのずれに基づいてその製品の処理優先度を決
定し、製品処理進行管理テーブルに登録する。即ち、処
理予定日時からの遅れが大きい製品ほど、その処理優先
度を高く設定する。
【０００５】バッチ処理待ち製品群作成手段４３は、製
品処理進行管理テーブルおよび製品処理計画テーブルか
ら、バッチ処理可能な（バッチフラグが１となってい
る）各処理装置に関して、現在処理待ち状態である（現
在ステータスがＷとなっている）製品群の中から同一処
理条件を持つ製品群を検索し、これらの製品群をバッチ
処理可能製品群としてバッチ処理管理テーブルに登録す
る。
品処理進行管理テーブルおよび製品処理計画テーブルか
ら、バッチ処理可能な（バッチフラグが１となってい
る）各処理装置に関して、現在処理待ち状態である（現
在ステータスがＷとなっている）製品群の中から同一処
理条件を持つ製品群を検索し、これらの製品群をバッチ
処理可能製品群としてバッチ処理管理テーブルに登録す
る。
【０００６】バッチ処理決定手段４４は、各処理装置に
おけるバッチ処理可能製品群の中から、実際にバッチ処
理を行う製品群を決定するものであり、バッチ処理管理
テーブルの各処理装置毎のバッチ処理可能製品群の中か
ら処理優先度の高いものを順々に検索し、バッチを組ん
で処理することを決定する。
おけるバッチ処理可能製品群の中から、実際にバッチ処
理を行う製品群を決定するものであり、バッチ処理管理
テーブルの各処理装置毎のバッチ処理可能製品群の中か
ら処理優先度の高いものを順々に検索し、バッチを組ん
で処理することを決定する。
【０００７】以上のように構成された従来の製品処理装
置においては、バッチ処理を行う製品群を決定する時
に、現在処理待ち状態に製品群の中から処理優先度に基
づいてバッチ処理を行う製品群を決定していた。
置においては、バッチ処理を行う製品群を決定する時
に、現在処理待ち状態に製品群の中から処理優先度に基
づいてバッチ処理を行う製品群を決定していた。
【０００８】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら上記従来
構成の製品処理装置では、バッチ処理可能な各処理装置
に関して、現在処理待ち状態にある特定製品群の処理優
先度のみに基づいてバッチ処理する製品群を決定してお
り、現在他の処理装置で処理中の製品群を含めて一定時
間内にその処理装置で処理する予定の製品群の処理優先
度を考慮したバッチ処理ができず、全製品の処理優先度
に応じた最適なバッチ処理が行えないという問題を有し
ていた。
構成の製品処理装置では、バッチ処理可能な各処理装置
に関して、現在処理待ち状態にある特定製品群の処理優
先度のみに基づいてバッチ処理する製品群を決定してお
り、現在他の処理装置で処理中の製品群を含めて一定時
間内にその処理装置で処理する予定の製品群の処理優先
度を考慮したバッチ処理ができず、全製品の処理優先度
に応じた最適なバッチ処理が行えないという問題を有し
ていた。
【０００９】本発明は上記問題を解決するもので、バッ
チ処理可能な各処理装置に関して、バッチ処理する製品
群を決定する際に、現在他の処理装置で処理中の製品群
を含めて一定時間内にその処理装置で処理する予定の製
品群の処理優先度を考慮し、全製品の処理優先度に応じ
た最適なバッチ処理を行うことができる製品処理装置を
提供することを目的とする。
チ処理可能な各処理装置に関して、バッチ処理する製品
群を決定する際に、現在他の処理装置で処理中の製品群
を含めて一定時間内にその処理装置で処理する予定の製
品群の処理優先度を考慮し、全製品の処理優先度に応じ
た最適なバッチ処理を行うことができる製品処理装置を
提供することを目的とする。
【００１０】
【課題を解決するための手段】上記問題を解決するため
に本発明の第１の手段は、製品の処理計画を作成する処
理計画作成手段と、各工程の処理装置における前記処理
計画作成手段で作成した製品の処理計画に基づく製品の
処理の進行状況を管理する処理進行管理手段と、前記処
理進行管理手段で管理するバッチ処理可能な処理装置に
おいて現在他の処理装置で処理中の製品群も含めて一定
時間内に前記処理装置で処理予定の製品群の中から同時
にバッチ処理可能な製品群を作成するとともに各製品の
処理優先度を表わすバッチ指数を算出するバッチ処理可
能製品群作成手段と、前記バッチ指数を評価した結果に
基づいて前記処理装置においてバッチ処理する製品群を
決定するバッチ処理決定手段とを備えたものである。
に本発明の第１の手段は、製品の処理計画を作成する処
理計画作成手段と、各工程の処理装置における前記処理
計画作成手段で作成した製品の処理計画に基づく製品の
処理の進行状況を管理する処理進行管理手段と、前記処
理進行管理手段で管理するバッチ処理可能な処理装置に
おいて現在他の処理装置で処理中の製品群も含めて一定
時間内に前記処理装置で処理予定の製品群の中から同時
にバッチ処理可能な製品群を作成するとともに各製品の
処理優先度を表わすバッチ指数を算出するバッチ処理可
能製品群作成手段と、前記バッチ指数を評価した結果に
基づいて前記処理装置においてバッチ処理する製品群を
決定するバッチ処理決定手段とを備えたものである。
【００１１】また、本発明の第２の手段は、複数の製品
を各工程の処理装置で処理する生産ラインにおいて、製
品の処理計画を作成する処理計画作成手段と、各工程の
処理装置における前記処理計画作成手段で作成した製品
の処理計画に基づく製品の処理の進行状況を管理する処
理進行管理手段と、前記処理進行管理手段で管理するバ
ッチ処理可能な処理装置において現在他の処理装置で処
理中の製品群も含めて一定時間内に前記処理装置で処理
予定の製品群の中から同時にバッチ処理可能な製品群を
作成するとともに各製品の処理優先度を表わすバッチ指
数を算出するバッチ処理可能製品群作成手段と、前記バ
ッチ指数を評価した結果に基づいて前記処理装置におい
てバッチ処理を行うことなく製品を単一で処理すること
を決定する単一処理決定手段とを備えたものである。
を各工程の処理装置で処理する生産ラインにおいて、製
品の処理計画を作成する処理計画作成手段と、各工程の
処理装置における前記処理計画作成手段で作成した製品
の処理計画に基づく製品の処理の進行状況を管理する処
理進行管理手段と、前記処理進行管理手段で管理するバ
ッチ処理可能な処理装置において現在他の処理装置で処
理中の製品群も含めて一定時間内に前記処理装置で処理
予定の製品群の中から同時にバッチ処理可能な製品群を
作成するとともに各製品の処理優先度を表わすバッチ指
数を算出するバッチ処理可能製品群作成手段と、前記バ
ッチ指数を評価した結果に基づいて前記処理装置におい
てバッチ処理を行うことなく製品を単一で処理すること
を決定する単一処理決定手段とを備えたものである。
【００１２】
【作用】上記第１の手段において、処理計画作成手段に
より製品の処理フロー、処理条件及び処理計画を作成
し、処理進行管理手段により処理計画に基づく製品の各
工程の処理装置における処理進行状況を管理し、バッチ
処理可能製品群作成手段によりバッチ処理可能な各処理
装置に関して、現在他の処理装置で処理中の製品群を含
めて一定時間内にその処理装置で処理する予定の製品群
を考慮してバッチ処理可能な製品群を作成し、バッチ処
理決定手段によりバッチ処理可能製品群の中から各製品
の処理優先度を表わすバッチ指数を評価した結果に基づ
いてその処理装置においてバッチ処理する製品群を決定
することにより、バッチ処理可能な処理装置においてバ
ッチ処理を行う製品群を決定する際に、現在処理待ち状
態である製品群の処理優先度だけでなく、現在他の処理
装置で処理中の製品群を含めて一定時間内にその処理装
置で処理する予定の製品群の処理優先度を考慮すること
ができる。
より製品の処理フロー、処理条件及び処理計画を作成
し、処理進行管理手段により処理計画に基づく製品の各
工程の処理装置における処理進行状況を管理し、バッチ
処理可能製品群作成手段によりバッチ処理可能な各処理
装置に関して、現在他の処理装置で処理中の製品群を含
めて一定時間内にその処理装置で処理する予定の製品群
を考慮してバッチ処理可能な製品群を作成し、バッチ処
理決定手段によりバッチ処理可能製品群の中から各製品
の処理優先度を表わすバッチ指数を評価した結果に基づ
いてその処理装置においてバッチ処理する製品群を決定
することにより、バッチ処理可能な処理装置においてバ
ッチ処理を行う製品群を決定する際に、現在処理待ち状
態である製品群の処理優先度だけでなく、現在他の処理
装置で処理中の製品群を含めて一定時間内にその処理装
置で処理する予定の製品群の処理優先度を考慮すること
ができる。
【００１３】また、上記第１の手段におけるバッチ処理
決定手段の代わりに、バッチ処理可能製品群作成手段で
作成した各製品の処理優先度を表わすバッチ指数を評価
した結果に基づいて前記処理装置においてバッチ処理を
行うことなく製品を単一で処理することを決定する単一
処理決定手段を設けることにより、バッチ処理可能な処
理装置においてバッチ処理を行うロット群を決定する際
に、上限値を越えるような非常に高いバッチ指数、即ち
処理優先度を持つロットはバッチ処理を行わず単独で優
先して処理を行うことができ、高優先度のロットの処理
時間を短縮することができる。
決定手段の代わりに、バッチ処理可能製品群作成手段で
作成した各製品の処理優先度を表わすバッチ指数を評価
した結果に基づいて前記処理装置においてバッチ処理を
行うことなく製品を単一で処理することを決定する単一
処理決定手段を設けることにより、バッチ処理可能な処
理装置においてバッチ処理を行うロット群を決定する際
に、上限値を越えるような非常に高いバッチ指数、即ち
処理優先度を持つロットはバッチ処理を行わず単独で優
先して処理を行うことができ、高優先度のロットの処理
時間を短縮することができる。
【００１４】
【実施例】以下、本発明の実施例にかかる製品処理装置
をコンピュータを用いた半導体プロセスロット処理装置
に適用した例を、図１〜図４に基づいて説明する。
をコンピュータを用いた半導体プロセスロット処理装置
に適用した例を、図１〜図４に基づいて説明する。
【００１５】ここで、図１は本発明の一実施例の製品処
理装置の機能ブロック図、図２は同製品処理装置のロッ
ト処理計画テーブルの一例を示す図、図３は同製品処理
装置のロット処理進行管理テーブルの一例を示す図、図
４は同製品処理装置の処理可能ロットテーブルの一例を
示す図である。
理装置の機能ブロック図、図２は同製品処理装置のロッ
ト処理計画テーブルの一例を示す図、図３は同製品処理
装置のロット処理進行管理テーブルの一例を示す図、図
４は同製品処理装置の処理可能ロットテーブルの一例を
示す図である。
【００１６】製品処理装置は、図１に示すように、処理
計画作成手段１と、処理進行管理手段２と、バッチ処理
可能製品群作成手段３と、バッチ処理決定手段４とから
構成されている。以下に各手段について詳しく説明す
る。
計画作成手段１と、処理進行管理手段２と、バッチ処理
可能製品群作成手段３と、バッチ処理決定手段４とから
構成されている。以下に各手段について詳しく説明す
る。
【００１７】処理計画作成手段１は、図２に示すよう
に、ロット名アイテム１１、工程番号アイテム１２、工
程名アイテム１３、処理装置アイテム１４、バッチフラ
グアイテム１５、処理条件アイテム１６、処理時間アイ
テム１７、処理予定日時アイテム１８を有する補助記憶
装置上のロット処理計画テーブル１０に、レコード毎に
ロットの各工程の処理装置、処理条件および処理予定日
時などを登録する。特に、バッチフラグアイテム１５に
は、処理装置が同一処理条件の複数ロットを同時に処理
できる場合にはバッチ処理可能な処理装置として１を登
録し、バッチ処理不可能な処理装置の場合は０を登録す
る。
に、ロット名アイテム１１、工程番号アイテム１２、工
程名アイテム１３、処理装置アイテム１４、バッチフラ
グアイテム１５、処理条件アイテム１６、処理時間アイ
テム１７、処理予定日時アイテム１８を有する補助記憶
装置上のロット処理計画テーブル１０に、レコード毎に
ロットの各工程の処理装置、処理条件および処理予定日
時などを登録する。特に、バッチフラグアイテム１５に
は、処理装置が同一処理条件の複数ロットを同時に処理
できる場合にはバッチ処理可能な処理装置として１を登
録し、バッチ処理不可能な処理装置の場合は０を登録す
る。
【００１８】また、処理計画作成手段１は、図３に示す
ように、ロット名アイテム２１、現処理工程番号アイテ
ム２２、現在ステータスアイテム２３、処理予定日時と
のずれアイテム２４、処理優先度アイテム２５、次工程
の処理装置アイテム２６、次工程処理開始可能までの時
間アイテム２７、バッチフラグアイテム２８を有する補
助記憶装置上のロット処理進行管理テーブル２０におい
て、ロット名アイテム２１にロット名を登録する。
ように、ロット名アイテム２１、現処理工程番号アイテ
ム２２、現在ステータスアイテム２３、処理予定日時と
のずれアイテム２４、処理優先度アイテム２５、次工程
の処理装置アイテム２６、次工程処理開始可能までの時
間アイテム２７、バッチフラグアイテム２８を有する補
助記憶装置上のロット処理進行管理テーブル２０におい
て、ロット名アイテム２１にロット名を登録する。
【００１９】さらに、処理計画作成手段１は、ロット処
理計画テーブル１０の工程番号アイテム１２の値が１で
あるレコードを検索し、このレコードにおける工程番号
アイテム１２、処理装置アイテム１４、バッチフラグア
イテム１５の各値を、ロット名アイテム１１の値と同一
のロット名アイテム２１の値を含むロット処理進行管理
テーブル２０のレコードにおける現処理工程番号アイテ
ム２２、次工程の処理装置アイテム２６、バッチフラグ
アイテム２８に登録する。また、同じレコードにおける
現在ステータスアイテム２３、処理予定日時とのずれア
イテム２４、処理優先度アイテム２５、次工程処理開始
可能までの時間アイテム２７に、Ｗ、０、１、０をそれ
ぞれ登録する。
理計画テーブル１０の工程番号アイテム１２の値が１で
あるレコードを検索し、このレコードにおける工程番号
アイテム１２、処理装置アイテム１４、バッチフラグア
イテム１５の各値を、ロット名アイテム１１の値と同一
のロット名アイテム２１の値を含むロット処理進行管理
テーブル２０のレコードにおける現処理工程番号アイテ
ム２２、次工程の処理装置アイテム２６、バッチフラグ
アイテム２８に登録する。また、同じレコードにおける
現在ステータスアイテム２３、処理予定日時とのずれア
イテム２４、処理優先度アイテム２５、次工程処理開始
可能までの時間アイテム２７に、Ｗ、０、１、０をそれ
ぞれ登録する。
【００２０】これらの登録はロット数だけ繰り返す。処
理進行管理手段２は、各処理装置からロットの処理開始
情報を受信する毎に、ロット名、処理開始工程番号、現
在ステータスなどから構成される処理開始情報のロット
名および処理開始工程番号に１を加算した値と同一の値
を含むロット処理計画テーブル１０のレコードにおける
処理装置アイテム１４、バッチフラグアイテム１５、処
理時間アイテム１７、処理予定日時アイテム１８の各値
を、同一のロット名を含むロット処理進行管理テーブル
２０のレコードにおける次工程処理装置アイテム２６、
バッチフラグアイテム２８、次工程の処理開始可能まで
の時間アイテム２７、処理予定日時とのずれアイテム２
４に登録する。
理進行管理手段２は、各処理装置からロットの処理開始
情報を受信する毎に、ロット名、処理開始工程番号、現
在ステータスなどから構成される処理開始情報のロット
名および処理開始工程番号に１を加算した値と同一の値
を含むロット処理計画テーブル１０のレコードにおける
処理装置アイテム１４、バッチフラグアイテム１５、処
理時間アイテム１７、処理予定日時アイテム１８の各値
を、同一のロット名を含むロット処理進行管理テーブル
２０のレコードにおける次工程処理装置アイテム２６、
バッチフラグアイテム２８、次工程の処理開始可能まで
の時間アイテム２７、処理予定日時とのずれアイテム２
４に登録する。
【００２１】この時、処理予定日時とのずれアイテム２
４には、処理予定日時アイテム１８の値から現在日時を
減算した値を登録する。また、現在ステータスアイテム
２３にはＰを登録し、処理優先度アイテム２５には、処
理予定日時とのずれアイテム２４の値に応じて演算を施
して登録する。この演算方法は特に限定しないが、ずれ
が正の時は処理優先度を１に設定し、ずれが負の時は、
ずれを−１０で除算した値を処理優先度とする。
４には、処理予定日時アイテム１８の値から現在日時を
減算した値を登録する。また、現在ステータスアイテム
２３にはＰを登録し、処理優先度アイテム２５には、処
理予定日時とのずれアイテム２４の値に応じて演算を施
して登録する。この演算方法は特に限定しないが、ずれ
が正の時は処理優先度を１に設定し、ずれが負の時は、
ずれを−１０で除算した値を処理優先度とする。
【００２２】また、処理進行管理手段２は、各処理装置
よりロットの処理終了情報を受信する毎に、ロット名、
処理終了工程番号、現在ステータスなどから構成される
処理終了情報のロット名と同一の値を含むロット処理進
行管理テーブル２０のレコードにおける現処理工程番号
アイテム２２に、受信した処理終了工程番号＋１を登録
し、現在ステータスアイテム２３にＷを登録し、次工程
処理開始可能までの時間アイテム２７に０を登録する。
よりロットの処理終了情報を受信する毎に、ロット名、
処理終了工程番号、現在ステータスなどから構成される
処理終了情報のロット名と同一の値を含むロット処理進
行管理テーブル２０のレコードにおける現処理工程番号
アイテム２２に、受信した処理終了工程番号＋１を登録
し、現在ステータスアイテム２３にＷを登録し、次工程
処理開始可能までの時間アイテム２７に０を登録する。
【００２３】なお、処理予定日時とのずれおよび処理優
先度を処理終了情報の受信時に演算、登録してもよい。
バッチ処理可能製品群作成手段３は、処理進行管理手段
２によって、ロットの処理開始情報を受信してロット処
理進行管理テーブル２０のレコードが更新される毎に、
更新されたレコードのロット名アイテム２１の値と同一
の値を含む補助記憶装置上の処理可能ロットテーブル３
０（図４参照）のレコードを削除し、次工程の処理装置
アイテム２６値、ロット名アイテム２１値、バッチ指数
を、処理可能ロットテーブル３０の処理装置アイテム３
１、処理可能ロットアイテム３２、バッチ指数アイテム
３３に登録する。ここでバッチ指数の演算方法は特に限
定しないが、例えば、バッチ処理可能なバッチフラグア
イテム２８の値が１の場合は、ロット処理進行管理テー
ブル２０の更新されたレコードの処理優先度アイテム２
５の値を次工程処理開始可能までの時間アイテム２７の
値に１０を加算した値で除算する。またバッチ処理が不
可能であってバッチフラグアイテム２８の値が０の場合
はバッチ指数を０とする。
先度を処理終了情報の受信時に演算、登録してもよい。
バッチ処理可能製品群作成手段３は、処理進行管理手段
２によって、ロットの処理開始情報を受信してロット処
理進行管理テーブル２０のレコードが更新される毎に、
更新されたレコードのロット名アイテム２１の値と同一
の値を含む補助記憶装置上の処理可能ロットテーブル３
０（図４参照）のレコードを削除し、次工程の処理装置
アイテム２６値、ロット名アイテム２１値、バッチ指数
を、処理可能ロットテーブル３０の処理装置アイテム３
１、処理可能ロットアイテム３２、バッチ指数アイテム
３３に登録する。ここでバッチ指数の演算方法は特に限
定しないが、例えば、バッチ処理可能なバッチフラグア
イテム２８の値が１の場合は、ロット処理進行管理テー
ブル２０の更新されたレコードの処理優先度アイテム２
５の値を次工程処理開始可能までの時間アイテム２７の
値に１０を加算した値で除算する。またバッチ処理が不
可能であってバッチフラグアイテム２８の値が０の場合
はバッチ指数を０とする。
【００２４】また、バッチ処理可能製品群作成手段３
は、処理進行管理手段２によってロットの処理終了情報
を受信してロット処理進行管理テーブル２０のレコード
が更新される毎に、更新されたレコードのロット名アイ
テム２１の値と同一の値を含む処理可能ロットテーブル
３０のレコードにおけるバッチ指数アイテム３３の値を
更新する。ここでのバッチ指数の演算方法は処理開始情
報時と同様である。
は、処理進行管理手段２によってロットの処理終了情報
を受信してロット処理進行管理テーブル２０のレコード
が更新される毎に、更新されたレコードのロット名アイ
テム２１の値と同一の値を含む処理可能ロットテーブル
３０のレコードにおけるバッチ指数アイテム３３の値を
更新する。ここでのバッチ指数の演算方法は処理開始情
報時と同様である。
【００２５】バッチ処理決定手段４は、バッチ処理可能
製品群作成手段３によって処理可能ロットテーブル３０
のレコードが更新される毎に、バッチ処理可能な処理可
能ロットテーブル３０のバッチ指数アイテム３３値が０
以外の値を持つレコードの中から、処理装置アイテム３
１値が同一のレコードを検索し、バッチ指数アイテム３
３値が大きいものから順々に乗算を繰り返し、総バッチ
指数が下限値である１未満になる直前まで乗算を繰り返
す。そして、乗算したバッチ指数アイテム３３値を含む
レコードの処理フラグアイテム３４に１を登録し、バッ
チ処理することを決定する。また総バッチ指数が下限値
である１未満になる残りのレコードの処理フラグアイテ
ム３４に０を登録する。
製品群作成手段３によって処理可能ロットテーブル３０
のレコードが更新される毎に、バッチ処理可能な処理可
能ロットテーブル３０のバッチ指数アイテム３３値が０
以外の値を持つレコードの中から、処理装置アイテム３
１値が同一のレコードを検索し、バッチ指数アイテム３
３値が大きいものから順々に乗算を繰り返し、総バッチ
指数が下限値である１未満になる直前まで乗算を繰り返
す。そして、乗算したバッチ指数アイテム３３値を含む
レコードの処理フラグアイテム３４に１を登録し、バッ
チ処理することを決定する。また総バッチ指数が下限値
である１未満になる残りのレコードの処理フラグアイテ
ム３４に０を登録する。
【００２６】例えば、処理可能ロットテーブル３０の処
理装置アイテム３１の値が装置２となっている５レコー
ドを検索し、バッチ指数が大きいものから順々に総バッ
チ指数が１未満になる直前まで乗算を繰り返す。つま
り、総バッチ指数＝３．６４×１．００×０．３３（＝
１．２０）まで乗算し、（処理）装置２においてバッチ
処理行うロットをＬＯＴ−１００、ＬＯＴ−２およびＬ
ＯＴ−３１に決定し、これらのロットの処理フラグアイ
テム３４に１を登録する。また、バッチ処理を行わない
ロットをＬＯＴ−８９およびＬＯＴ−４９に決定し、こ
れらのロットの処理フラグアイテム３４に０を登録す
る。
理装置アイテム３１の値が装置２となっている５レコー
ドを検索し、バッチ指数が大きいものから順々に総バッ
チ指数が１未満になる直前まで乗算を繰り返す。つま
り、総バッチ指数＝３．６４×１．００×０．３３（＝
１．２０）まで乗算し、（処理）装置２においてバッチ
処理行うロットをＬＯＴ−１００、ＬＯＴ−２およびＬ
ＯＴ−３１に決定し、これらのロットの処理フラグアイ
テム３４に１を登録する。また、バッチ処理を行わない
ロットをＬＯＴ−８９およびＬＯＴ−４９に決定し、こ
れらのロットの処理フラグアイテム３４に０を登録す
る。
【００２７】なお、ここでは下限値を１としているがこ
の限りではない。また、総バッチ指数の求め方もこの限
りではない。また、バッチ処理が不可能である、処理可
能ロットテーブル３０のバッチ指数アイテム３３の値が
０の場合は、処理フラグアイテム３４に１を登録する。
の限りではない。また、総バッチ指数の求め方もこの限
りではない。また、バッチ処理が不可能である、処理可
能ロットテーブル３０のバッチ指数アイテム３３の値が
０の場合は、処理フラグアイテム３４に１を登録する。
【００２８】この登録は処理装置の数の分だけ行う。さ
らに、バッチ処理決定手段４は、処理可能ロットテーブ
ル３０の処理フラグアイテム３４の値が１となっている
処理装置に対し、処理条件および処理可能ロットなどか
ら構成されるロット処理情報を送信する。これらの処理
装置は送られてきた情報に基づいてロットの処理を行
う。また、処理装置はロットの処理開始時および処理終
了時には、処理開始情報および処理終了情報をコンピュ
ータに送信する。
らに、バッチ処理決定手段４は、処理可能ロットテーブ
ル３０の処理フラグアイテム３４の値が１となっている
処理装置に対し、処理条件および処理可能ロットなどか
ら構成されるロット処理情報を送信する。これらの処理
装置は送られてきた情報に基づいてロットの処理を行
う。また、処理装置はロットの処理開始時および処理終
了時には、処理開始情報および処理終了情報をコンピュ
ータに送信する。
【００２９】以上のように本実施例によれば、バッチ処
理可能な処理装置においてバッチ処理を行うロット群を
決定する際に、現在処理待ち状態にあるロット群の処理
優先度だけでなく、現在他の処理装置で処理中のロット
群を含めて一定時間内にその処理装置で処理する予定の
ロット群の処理優先度を考慮することができ、全ロット
の処理優先度に応じた最適なバッチ処理を行うことがで
きる。
理可能な処理装置においてバッチ処理を行うロット群を
決定する際に、現在処理待ち状態にあるロット群の処理
優先度だけでなく、現在他の処理装置で処理中のロット
群を含めて一定時間内にその処理装置で処理する予定の
ロット群の処理優先度を考慮することができ、全ロット
の処理優先度に応じた最適なバッチ処理を行うことがで
きる。
【００３０】なお、本実施例において、各テーブルの記
憶手段として補助記憶装置を用いた場合について述べた
が主記憶装置を用いてもよい。またテーブルの代わりに
リスト構造を用いた記憶手段を用いてもよい。
憶手段として補助記憶装置を用いた場合について述べた
が主記憶装置を用いてもよい。またテーブルの代わりに
リスト構造を用いた記憶手段を用いてもよい。
【００３１】本発明の他の実施例にかかる製品処理装置
をコンピュータを用いた半導体プロセスロット処理装置
に適用した例を、図５に基づいて説明する。図５は本発
明の他の実施例の製品処理装置の機能ブロック図で、同
製品処理装置のロット処理計画テーブルの一例、同製品
処理装置のロット処理進行管理テーブルの一例、同製品
処理装置の処理可能ロットテーブルの一例は図２〜図４
に示すものと同じである。
をコンピュータを用いた半導体プロセスロット処理装置
に適用した例を、図５に基づいて説明する。図５は本発
明の他の実施例の製品処理装置の機能ブロック図で、同
製品処理装置のロット処理計画テーブルの一例、同製品
処理装置のロット処理進行管理テーブルの一例、同製品
処理装置の処理可能ロットテーブルの一例は図２〜図４
に示すものと同じである。
【００３２】この製品処理装置は、図５に示すように、
処理計画作成手段１と、処理進行管理手段２と、バッチ
処理可能製品群作成手段３と、単一処理決定手段５とか
ら構成される。
処理計画作成手段１と、処理進行管理手段２と、バッチ
処理可能製品群作成手段３と、単一処理決定手段５とか
ら構成される。
【００３３】以下、上記実施例と異なる部分についての
み詳しく説明する。処理計画作成手段１、処理進行管理
手段２、バッチ処理可能製品群作成手段３は、上記実施
例の製品処理装置と同様である。
み詳しく説明する。処理計画作成手段１、処理進行管理
手段２、バッチ処理可能製品群作成手段３は、上記実施
例の製品処理装置と同様である。
【００３４】単一処理決定手段５は、バッチ処理可能製
品群作成手段３によって処理可能ロットテーブル３０の
レコードが更新される毎に、バッチ処理が可能である、
処理可能ロットテーブル３０のバッチ指数アイテム３３
の値が０以外の値を持つレコードの中から、処理装置ア
イテム３１の値が同一であるレコードを検索し、最も大
きいバッチ指数アイテム３３の値が上限値である３を越
えるときには、そのバッチ指数アイテム３３の値を含む
レコードの処理フラグアイテム３４にのみ１を登録し、
残りのレコードの処理フラグアイテム３４に０を登録す
る。即ちこの処理装置ではバッチ処理を行わず、バッチ
指数が上限値３を越えるロットのみを優先して単一処理
することを決定する。
品群作成手段３によって処理可能ロットテーブル３０の
レコードが更新される毎に、バッチ処理が可能である、
処理可能ロットテーブル３０のバッチ指数アイテム３３
の値が０以外の値を持つレコードの中から、処理装置ア
イテム３１の値が同一であるレコードを検索し、最も大
きいバッチ指数アイテム３３の値が上限値である３を越
えるときには、そのバッチ指数アイテム３３の値を含む
レコードの処理フラグアイテム３４にのみ１を登録し、
残りのレコードの処理フラグアイテム３４に０を登録す
る。即ちこの処理装置ではバッチ処理を行わず、バッチ
指数が上限値３を越えるロットのみを優先して単一処理
することを決定する。
【００３５】例えば、処理可能ロットテーブル３０の処
理装置アイテム３１の値が装置２である５レコードを検
索し、最も大きいバッチ指数を上限値である３と比較す
る。即ち、ＬＯＴ−１００のバッチ指数３．６４＞上限
値３となるため、装置２においてはバッチ処理を行わ
ず、ＬＯＴ−１００ロットを優先して単一処理すること
を決定し、このロットの処理フラグアイテム３４に１を
登録する。また、処理を行わないロットをＬＯＴ−２、
ＬＯＴ−３１、ＬＯＴ−８９およびＬＯＴ−４９に決定
し、これらのロットの処理フラグアイテム３４に０を登
録する。また、最も大きいバッチ指数アイテム３３の値
が上限値である３以下のときには、上記実施例の製品処
理装置におけるバッチ処理決定手段４と同様にバッチ処
理を行うロット群を決定する。
理装置アイテム３１の値が装置２である５レコードを検
索し、最も大きいバッチ指数を上限値である３と比較す
る。即ち、ＬＯＴ−１００のバッチ指数３．６４＞上限
値３となるため、装置２においてはバッチ処理を行わ
ず、ＬＯＴ−１００ロットを優先して単一処理すること
を決定し、このロットの処理フラグアイテム３４に１を
登録する。また、処理を行わないロットをＬＯＴ−２、
ＬＯＴ−３１、ＬＯＴ−８９およびＬＯＴ−４９に決定
し、これらのロットの処理フラグアイテム３４に０を登
録する。また、最も大きいバッチ指数アイテム３３の値
が上限値である３以下のときには、上記実施例の製品処
理装置におけるバッチ処理決定手段４と同様にバッチ処
理を行うロット群を決定する。
【００３６】なお、ここでは上限値を３としているがこ
の限りではない。また、バッチ処理が不可能０である、
処理可能ロットテーブル３０のバッチ指数アイテム３３
の値が０の場合は、処理フラグアイテム３４に１を登録
する。
の限りではない。また、バッチ処理が不可能０である、
処理可能ロットテーブル３０のバッチ指数アイテム３３
の値が０の場合は、処理フラグアイテム３４に１を登録
する。
【００３７】この登録は処理装置の数の分だけ行う。さ
らに、処理可能ロットテーブル３０の処理フラグアイテ
ム３４の値が１の処理装置に対し、処理条件および処理
可能ロットなどから構成されるロット処理情報を送信す
る。処理装置は送られてきた情報に基づいてロットの処
理を行う。また、処理装置はロットの処理開始時および
処理終了時には、処理開始情報および処理終了情報をコ
ンピュータに送信する。
らに、処理可能ロットテーブル３０の処理フラグアイテ
ム３４の値が１の処理装置に対し、処理条件および処理
可能ロットなどから構成されるロット処理情報を送信す
る。処理装置は送られてきた情報に基づいてロットの処
理を行う。また、処理装置はロットの処理開始時および
処理終了時には、処理開始情報および処理終了情報をコ
ンピュータに送信する。
【００３８】以上のように本実施例によれば、バッチ処
理可能な処理装置においてバッチ処理を行うロット群を
決定する際に、上限値を越えるような非常に高いバッチ
指数、即ち処理優先度を持つロットはバッチ処理を行わ
ず単独で優先して処理を行うことができ、高優先度のロ
ットの処理時間を短縮することができる。
理可能な処理装置においてバッチ処理を行うロット群を
決定する際に、上限値を越えるような非常に高いバッチ
指数、即ち処理優先度を持つロットはバッチ処理を行わ
ず単独で優先して処理を行うことができ、高優先度のロ
ットの処理時間を短縮することができる。
【００３９】なお、本実施例において、各テーブルの記
憶手段として補助記憶装置を用いたが主記憶装置を用い
てもよい。またテーブルの代わりにリスト構造を用いた
記憶手段を用いてもよい。
憶手段として補助記憶装置を用いたが主記憶装置を用い
てもよい。またテーブルの代わりにリスト構造を用いた
記憶手段を用いてもよい。
【００４０】
【発明の効果】以上のように、本発明の製品処理装置に
よれば、処理進行管理手段で管理するバッチ処理可能な
処理装置において現在他の処理装置で処理中の製品群も
含めて一定時間内に前記処理装置で処理予定の製品群の
中から同時にバッチ処理可能な製品群を作成するバッチ
処理可能製品群作成手段を設け、バッチ処理可能製品群
作成手段で作成した各製品の処理優先度を表わすバッチ
指数を評価した結果に基づいて、処理装置においてバッ
チ処理する製品群を決定するバッチ処理決定手段、もし
くはバッチ処理を行うことなく製品を単一で処理するこ
とを決定する単一処理決定手段を設けることにより、バ
ッチ処理可能な処理装置においてバッチ処理を行う製品
群を決定する際に、現在処理待ち状態である製品群の処
理優先度だけでなく、現在他の処理装置で処理中の製品
群を含めて一定時間内にその処理装置で処理する予定の
製品群の処理優先度を考慮することができ、全製品の処
理優先度に応じた最適なバッチ処理を行うことができ
る。
よれば、処理進行管理手段で管理するバッチ処理可能な
処理装置において現在他の処理装置で処理中の製品群も
含めて一定時間内に前記処理装置で処理予定の製品群の
中から同時にバッチ処理可能な製品群を作成するバッチ
処理可能製品群作成手段を設け、バッチ処理可能製品群
作成手段で作成した各製品の処理優先度を表わすバッチ
指数を評価した結果に基づいて、処理装置においてバッ
チ処理する製品群を決定するバッチ処理決定手段、もし
くはバッチ処理を行うことなく製品を単一で処理するこ
とを決定する単一処理決定手段を設けることにより、バ
ッチ処理可能な処理装置においてバッチ処理を行う製品
群を決定する際に、現在処理待ち状態である製品群の処
理優先度だけでなく、現在他の処理装置で処理中の製品
群を含めて一定時間内にその処理装置で処理する予定の
製品群の処理優先度を考慮することができ、全製品の処
理優先度に応じた最適なバッチ処理を行うことができ
る。
【図１】本発明の一実施例に係る製品処理装置の機能ブ
ロック図である。
ロック図である。
【図２】同製品処理装置のロット処理計画テーブルの一
例を示す図である。
例を示す図である。
【図３】同製品処理装置のロット処理進行管理テーブル
の一例を示す図である。
の一例を示す図である。
【図４】同製品処理装置の処理可能ロットテーブルの一
例を示す図である。
例を示す図である。
【図５】本発明の他の一実施例に係る製品処理装置の機
能ブロック図である。
能ブロック図である。
【図６】従来の製品処理装置の機能ブロック図である。
１ 処理計画作成手段 ２ 処理進行管理手段 ３ バッチ処理可能製品群作成手段 ４ バッチ処理決定手段 ５ 単一処理決定手段
Claims (2)
- 【請求項１】 複数の製品を各工程の処理装置で処理す
る生産ラインにおいて、製品の処理計画を作成する処理
計画作成手段と、各工程の処理装置における前記処理計
画作成手段で作成した製品の処理計画に基づく製品の処
理の進行状況を管理する処理進行管理手段と、前記処理
進行管理手段で管理するバッチ処理可能な処理装置にお
いて現在他の処理装置で処理中の製品群も含めて一定時
間内に前記処理装置で処理予定の製品群の中から同時に
バッチ処理可能な製品群を作成するとともに各製品の処
理優先度を表わすバッチ指数を算出するバッチ処理可能
製品群作成手段と、前記バッチ指数を評価した結果に基
づいて前記処理装置においてバッチ処理する製品群を決
定するバッチ処理決定手段とを備えた製品処理装置。 - 【請求項２】 複数の製品を各工程の処理装置で処理す
る生産ラインにおいて、製品の処理計画を作成する処理
計画作成手段と、各工程の処理装置における前記処理計
画作成手段で作成した製品の処理計画に基づく製品の処
理の進行状況を管理する処理進行管理手段と、前記処理
進行管理手段で管理するバッチ処理可能な処理装置にお
いて現在他の処理装置で処理中の製品群も含めて一定時
間内に前記処理装置で処理予定の製品群の中から同時に
バッチ処理可能な製品群を作成するとともに各製品の処
理優先度を表わすバッチ指数を算出するバッチ処理可能
製品群作成手段と、前記バッチ指数を評価した結果に基
づいて前記処理装置においてバッチ処理を行うことなく
製品を単一で処理することを決定する単一処理決定手段
とを備えた製品処理装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP29472491A JPH05135061A (ja) | 1991-11-12 | 1991-11-12 | 製品処理装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP29472491A JPH05135061A (ja) | 1991-11-12 | 1991-11-12 | 製品処理装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH05135061A true JPH05135061A (ja) | 1993-06-01 |
Family
ID=17811495
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP29472491A Pending JPH05135061A (ja) | 1991-11-12 | 1991-11-12 | 製品処理装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH05135061A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0744608A (ja) * | 1993-07-27 | 1995-02-14 | Nec Corp | ジョブディスパッチングシステム |
| JPH07129661A (ja) * | 1993-10-29 | 1995-05-19 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 生産進捗管理支援方法及び装置 |
| JP2011221714A (ja) * | 2010-04-07 | 2011-11-04 | Kobe Steel Ltd | 生産スケジュール立案装置 |
-
1991
- 1991-11-12 JP JP29472491A patent/JPH05135061A/ja active Pending
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0744608A (ja) * | 1993-07-27 | 1995-02-14 | Nec Corp | ジョブディスパッチングシステム |
| JPH07129661A (ja) * | 1993-10-29 | 1995-05-19 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 生産進捗管理支援方法及び装置 |
| JP3334970B2 (ja) * | 1993-10-29 | 2002-10-15 | 松下電器産業株式会社 | 生産進捗管理支援方法及び装置 |
| JP2011221714A (ja) * | 2010-04-07 | 2011-11-04 | Kobe Steel Ltd | 生産スケジュール立案装置 |
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