JP2957711B2 - スケジューリング方法 - Google Patents

スケジューリング方法

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JP2957711B2 JP40881990A JP40881990A JP2957711B2 JP 2957711 B2 JP2957711 B2 JP 2957711B2 JP 40881990 A JP40881990 A JP 40881990A JP 40881990 A JP40881990 A JP 40881990A JP 2957711 B2 JP2957711 B2 JP 2957711B2
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    • Y02TECHNOLOGIES OR APPLICATIONS FOR MITIGATION OR ADAPTATION AGAINST CLIMATE CHANGE
    • Y02PCLIMATE CHANGE MITIGATION TECHNOLOGIES IN THE PRODUCTION OR PROCESSING OF GOODS
    • Y02P90/00Enabling technologies with a potential contribution to greenhouse gas [GHG] emissions mitigation
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    • Y02P90/30Computing systems specially adapted for manufacturing

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  • General Factory Administration (AREA)
  • Management, Administration, Business Operations System, And Electronic Commerce (AREA)

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】この発明は、製品を製造するため
の複数個の工程を順次使用する各装置に割り付けて、製
品製造における装置資源の利用スケジュールを作成する
スケジューリング方法に関するものである。
【0002】
【従来の技術】従来のスケジューリング方法を図6に基
づいて説明する。図6は従来のスケジューリング方法を
実現するスケジュール作成装置の機能ブロック図であ
る。複数の製品を各工程の装置で処理する生産ラインに
おいて、処理候補製品群作成手段100は、現スケジュ
ーリング時刻で、ある装置によって処理可能な処理候補
製品群を作成するものであり、全ての製品群の中で処理
状態が“待ち”状態で、しかも該当する装置によって処
理されるべき製品群を探索し、処理候補製品群を作成す
る。
【0003】工程処理優先度評価手段101は、それぞ
れの処理候補製品の該当する装置による処理の優先度を
示す工程処理優先度を評価するものであり、処理待ち時
間などを評価する。処理製品決定手段102は、現スケ
ジューリング時刻で処理候補製品群作成手段100によ
り作成した処理候補製品群の中から該当装置に割り付け
る製品を、工程処理優先度評価手段101の評価結果を
用いて決定するものである。例えば、最も処理待ち時間
が長い製品を該当する装置に割り付ける。
【0004】以上のように構成された従来のスケジュー
ル作成装置では、現スケジューリング時刻での処理候補
製品群の工程処理優先度を評価した結果に基づき、処理
候補製品群の中から装置に割り付ける製品を決定してい
る。
【0005】
【発明が解決しようとする課題】上記従来のスケジュー
リング方法によれば、処理候補製品群の中から該当する
装置(以下「特定装置」という)に割り付ける製品を決
定する際、現スケジューリング時刻に、特定装置で処理
待ち状態の処理候補製品群の中からのみ、それらの製品
の特定装置での処理優先度によって、特定装置で処理す
べき製品を決定していたために、特定装置で処理する工
程の前工程の装置で処理中であって、かつ特定装置での
処理優先度の非常に高い製品が、特定装置のところにき
た時に処理待ち状態になり、結果としてその製品の完成
が遅れてしまうことになり、最適なスケジューリングが
できないという問題があった。
【0006】この発明の目的は、処理優先度の非常に高
い製品が処理待ち状態となるのを防止し、その製品の完
成時間を大幅に短縮することができるスケジューリング
方法を提供することである。
【0007】
【課題を解決するための手段】この発明のスケジューリ
ング方法は、複数の工程を複数の装置によって処理しな
がら製品を製造するLSIの生産ラインにおいて、複数
の装置のうちの特定の装置に製品を割り当てる際の処理
順序を決定するためのコンピュータにより実行されるス
ケジューリング方法であって、製品情報として、各製品
の処理状態、処理装置及び優先度を記憶装置上の製品状
態テーブルに記憶する製品状態記憶工程と、製品状態テ
ーブルに記憶されている製品情報を抽出し、処理待ち状
態の製品のうち、特定の装置による処理が現在のところ
可能である製品の優先度を、現在、特定の装置で処理を
待っている製品の処理優先度として記憶装置上の装置情
報テーブルに記憶する工程処理優先度評価工程と、製品
状態テーブルに記憶されている製品情報を抽出し、処理
中状態の製品のうち、次の工程の処理が、特定の装置に
よって後に可能となる製品の優先度を、特定の装置で処
理を行う予定の製品の処理優先度として装置情報テーブ
ルに記憶する次工程処理優先度評価工程と、装置情報テ
ーブルに記憶された、特定の装置で処理を待っている製
品の処理優先度、及び特定の装置で処理を行う予定の製
品の処理優先度を抽出し、抽出した処理優先度の大きさ
によって特定の装置での製品の処理順序を決定する処理
製品決定工程とを含むことを特徴とする。 なお、製品状
態テーブルは、実施例ではロット状態テーブル61(図
4)に相当し、装置情報テーブルは、実施例では装置情
報テーブル81(図5)に相当するものである。
【0008】
【作用】この発明によれば、特定の装置で処理待ち状態
の製品の特定の装置に対する処理優先度と、処理中状態
の製品のうち次の工程の処理が特定の装置によって可能
となる製品の特定の装置に対する処理優先度とを算出
し、それらの処理優先度に基づいて、特定の装置での製
品の処理順序を決定するようにしているため、前工程で
処理中の製品に特定装置での処理優先度が非常に高い
製品がある場合には、その製品を特定の装置で優先して
処理すべき製品とすることにより、処理優先度の非常に
高い製品が処理待ち状態となるのを防止でき、このよう
に各工程で処理待ち時間をなくすことによりその製品の
完成時間を大幅に短縮することができる。
【0009】
【実施例】この発明によるスケジューリング方法をコン
ピュータを用いた半導体プロセスロットに適用した例
を、図1ないし図5に基づいて説明する。図1はこの発
によるスケジューリング方法を実現する一実施例のス
ケジュール作成装置の機能ブロック図であり、図2は同
実施例のスケジュール作成装置の処理候補製品群作成手
段の構成ブロック図であり、図3は同実施例のスケジュ
ール作成装置のロット情報テーブルの一例を示す図であ
り、図4は同実施例のスケジュール作成装置のロット状
態テーブルの一例を示す図であり、図5は同実施例のス
ケジュール作成装置の装置情報テーブルの一例を示す図
である。
【0010】このスケジュール作成装置は、図1に示す
ように、処理候補製品群作成手段10,工程処理優先度
評価手段20,次工程処理優先度評価手段30および処
理製品決定手段40から構成される。以下、それぞれに
ついて詳しく説明する。まず、処理候補製品群作成手段
10は、図2に示すように、ロット情報記憶手段11,
ロット状態登録手段13および処理待ちロット群作成手
段14から構成される。
【0011】ロット情報記憶手段11は、ロット名5
2,工程名53,使用装置54,処理条件55および処
理時間56をアイテムとして持つ補助記憶上のロット情
報テーブル51(図3)に、レコード毎にロットの各工
程処理条件を登録する。この登録はロット数だけ繰り返
す。また、ロット名62,処理状態63,処理待ち時間
64,現使用装置65,次使用装置66および処理優先
度67をアイテムとしてもつ補助記憶上のロット状態テ
ーブル61(図4)のロット名62のアイテムに、レコ
ード毎にロット名を登録する。この登録はロット数だけ
繰り返す。
【0012】ロット状態登録手段13は、任意スケジュ
ーリング時刻での全ロットの状態、すなわち、処理状
態,処理待ち時間,現使用装置,次使用装置および処理
優先度を、図4に示すロット状態テーブル61の該当す
るロット名を含むレコードの処理状態63,処理待ち時
間64,現使用装置65,次使用装置66および処理優
先度67のアイテムに登録する。この登録はロット数だ
け繰り返す。
【0013】処理待ちロット群作成手段14は、任意ス
ケジューリング時刻でのロット状態テーブル61の処理
状態63の値が“待ち”のレコードの現使用装置65お
よびロット名62のアイテムの値を、装置名82,ロッ
ト名83,現工程処理優先度84,次工程処理優先度8
5および順位86をアイテムとして持つ補助記憶上の装
置情報テーブル81(図5)の装置名82およびロット
名83のアイテムに登録する。この登録は該当するロッ
ト数、すなわち、“待ち”状態のロット数だけ繰り返
す。
【0014】なお、図4に示すロット状態テーブル61
の処理状態63のアイテムの値は、現スケジューリング
時刻において、“待ち”はロットが装置による処理を待
っていることを示し、“処理中”はロットが装置によっ
て処理中であることを示す。処理待ち時間64のアイテ
ムの値は、現スケジューリング時刻において、処理状態
63が“待ち”であるロットの“待ち”状態になってか
らの累計時間である。現使用装置65のアイテムの値
は、現スケジューリング時刻において、ロットが待って
いるまたは処理中の装置であり、次使用装置66のアイ
テムの値はロットの処理される次の工程の装置を示す。
処理優先度67のアイテムの値は、現スケジューリング
時刻におけるロットの処理優先度を示す。
【0015】つぎに、工程処理優先度評価手段20は、
ロット状態テーブル61の処理状態63の値が“待ち”
のレコードの処理待ち時間64のアイテムの値に演算
(例えば100で除算)を施し、装置情報テーブル81
の該当する装置名およびロット名を含むレコードの現工
程処理優先度84のアイテムに登録する。この登録は該
当するロット数、すなわち、“待ち”状態のロット数だ
け繰り返す。なお、この工程処理優先度を評価するとき
は、ロット自身の優先度,生産計画とのずれ,工程処理
時間などを加味してもよい。また、演算方法は特に限定
しない。
【0016】次工程処理優先度評価手段30は、現スケ
ジューリング時刻で“処理中”状態のロットの次の工程
の装置による処理優先度を評価するものであり、装置情
報テーブル81の装置名82のアイテムの値と同一のロ
ット状態テーブル61の次使用装置66のアイテムの値
を含み、しかも処理状態63のアイテムの値が“処理
中”のレコードの処理優先度67のアイテムの値に演算
(例えば10で除算)を施し、装置情報テーブル81の
次工程処理優先度85のアイテムに登録する。この登録
は該当する装置数だけ繰り返す。なお、この次工程処理
優先度評価手段30は、現在処理中のロットの次の工程
の装置による処理優先度ばかりに留まらず、何工程か先
の工程の処理優先度を加味してもよい。
【0017】処理製品決定手段40は、装置にロットを
割り付けるものであり、装置情報テーブル81の現工程
処理優先度84と次工程処理優先度85のアイテムの値
に演算(例えば加算)を施した結果を評価し、そのロッ
トの割り付け順位として評価値を該当する順位86のア
イテムに登録する。なお、評価方法は特に限定しない
が、例えば演算値が大きいものから順に1,2,3,・
・・と順位付けする。
【0018】最後に、現スケジューリング時刻で、装置
情報テーブル81の順位86のアイテムの値に基づき、
ロットを装置に割り付ける。なお、割り付け方法は、例
えば順位の高いロットから装置に割り付ける。以上のよ
うにこの実施例によれば、処理製品決定手段40によ
り、現工程処理優先度および次工程処理優先度の評価結
果に基づき、現スケジューリング時刻で、処理中ロット
の次の工程の装置による処理優先度を加味した上で、現
スケジューリング時刻で、処理待ちロット群または処理
中ロット群の中から装置に割り付けるロットを決定する
ようにしている。このため、処理中ロット群に装置での
処理優先度が非常に高いロットがあっても、それを装置
で次に処理すべきものとすることにより、装置を他のロ
ットの処理を開始せずに空き状態としておくため、処理
優先度の非常に高いロットが前工程の処理を終了した後
に処理待ち状態とならずにすぐに処理を開始でき、各工
程での処理待ち時間をなくし、そのロットの完成時間を
大幅に短縮することができる。このように、前工程で処
理中ロットの処理優先度をも考慮した最適なスケジュー
リングを行なうことができる。
【0019】なお、この実施例では、各テーブルの記憶
手段として補助記憶装置を用いたが主記憶装置を用いて
もよい。また、テーブルの代わりにリスト構造を用いた
記憶手段を用いてもよい。
【0020】
【発明の効果】この発明のスケジューリング方法は、
定の装置で処理待ち状態の製品の特定の装置に対する処
理優先度と、処理中状態の製品のうち次の工程の処理が
特定の装置によって可能となる製品の特定の装置に対す
る処理優先度とを算出し、それらの処理優先度に基づい
て、特定の装置での製品の処理順序を決定するようにし
ているため、前工程で処理中の製品に特定装置での処
理優先度が非常に高い製品がある場合には、その製品を
特定の装置で優先して処理すべき製品とすることによ
り、処理優先度の非常に高い製品が処理待ち状態となる
のを防止でき、このように各工程で処理待ち時間をなく
すことによりその製品の完成時間を大幅に短縮すること
ができる。このように、前工程で処理中の製品の特定
装置での処理優先度をも考慮した最適なスケジューリン
グを行なうことができ、その実用的効果は大きい。
【図面の簡単な説明】
【図1】この発明の一実施例のスケジュール作成装置の
機能ブロック図である。
【図2】同実施例のスケジュール作成装置の処理候補製
品群作成手段の構成ブロック図である。
【図3】同実施例のスケジュール作成装置のロット情報
テーブルの一例を示す図である。
【図4】同実施例のスケジュール作成装置のロット状態
テーブルの一例を示す図である。
【図5】同実施例のスケジュール作成装置の装置情報テ
ーブルの一例を示す図である。
【図6】従来のスケジュール作成装置の機能ブロック図
である。
【符号の説明】
10 処理候補製品群作成手段 20 工程処理優先度評価手段 30 次工程処理優先度評価手段 40 処理製品決定手段
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (58)調査した分野(Int.Cl.6,DB名) G06F 17/60 JICSTファイル(JOIS)

Claims (1)

    (57)【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 複数の工程を複数の装置によって処理し
    ながら製品を製造するLSIの生産ラインにおいて、前
    記複数の装置のうちの特定の装置に製品を割り当てる際
    の処理順序を決定するためのコンピュータにより実行さ
    れるスケジューリング方法であって、 製品情報として、各製品の処理状態、処理装置及び優先
    度を記憶装置上の製品状態テーブルに記憶する製品状態
    記憶工程と、 前記製品状態テーブルに記憶されている製品情報を抽出
    し、処理待ち状態の製品のうち、前記特定の装置による
    処理が現在のところ可能である製品の優先度を、現在、
    前記特定の装置で処理を待っている製品の処理優先度と
    して記憶装置上の装置情報テーブルに記憶する工程処理
    優先度評価工程と、 前記製品状態テーブルに記憶されている製品情報を抽出
    し、処理中状態の製品のうち、次の工程の処理が、前記
    特定の装置によって後に可能となる製品の優先度を、前
    記特定の装置で処理を行う予定の製品の処理優先度とし
    て前記装置情報テーブルに記憶する次工程処理優先度評
    価工程と、 前記装置情報テーブルに記憶された、前記特定の装置で
    処理を待っている製品の処理優先度、及び前記特定の装
    置で処理を行う予定の製品の処理優先度を抽出し、抽出
    した処理優先度の大きさによって前記特定の装置での製
    品の処理順序を決定する処理製品決定工程とを含むこと
    を特徴とする スケジューリング方法。
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