JP3034580B2 - スケジュール作成方法 - Google Patents
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- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y02—TECHNOLOGIES OR APPLICATIONS FOR MITIGATION OR ADAPTATION AGAINST CLIMATE CHANGE
- Y02P—CLIMATE CHANGE MITIGATION TECHNOLOGIES IN THE PRODUCTION OR PROCESSING OF GOODS
- Y02P90/00—Enabling technologies with a potential contribution to greenhouse gas [GHG] emissions mitigation
- Y02P90/02—Total factory control, e.g. smart factories, flexible manufacturing systems [FMS] or integrated manufacturing systems [IMS]
-
- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
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- Control By Computers (AREA)
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- Multi-Process Working Machines And Systems (AREA)
- General Factory Administration (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 この発明は、製品を製造するための複数個の工程を順
次使用する各装置に割り付け、製品製造における装置資
源の利用スケジュールを作成するスケジュール作成方法
に関するものである。
次使用する各装置に割り付け、製品製造における装置資
源の利用スケジュールを作成するスケジュール作成方法
に関するものである。
第13図は従来のスケジュール作成装置の機能ブロック
図である。
図である。
各工程に使用する各装置により複数の製品を処理する
生産ラインにおいて、 処理候補製品群作成手段100は、現スケジューリング
時刻で、ある装置によって処理可能な製品群から処理候
補製品群を作成する手段であり、全ての製品群の中から
処理ステータスが“待ち”状態でしかも該当する装置
(以下「該当装置」という。)によって処理されるべき
製品を探索することにより、処理候補製品群を作成す
る。
生産ラインにおいて、 処理候補製品群作成手段100は、現スケジューリング
時刻で、ある装置によって処理可能な製品群から処理候
補製品群を作成する手段であり、全ての製品群の中から
処理ステータスが“待ち”状態でしかも該当する装置
(以下「該当装置」という。)によって処理されるべき
製品を探索することにより、処理候補製品群を作成す
る。
工程処理優先度作成手段101は、処理候補製品群の各
処理候補製品に対して、該当装置による処理の優先度を
表わす工程処理優先度を作成する手段であり、処理待ち
状態の時間などを用いて作成する。
処理候補製品に対して、該当装置による処理の優先度を
表わす工程処理優先度を作成する手段であり、処理待ち
状態の時間などを用いて作成する。
処理製品決定手段102は、現スケジューリング時刻に
おいて処理候補製品群作成手段100により作成した処理
候補製品群の中から、該当装置に割り付ける製品を、工
程処理優先度作成手段101により作成した工程処理優先
度を用いて評価し、決定する。例えば、最も処理待ち時
間の長い製品を該当装置に割り付ける。
おいて処理候補製品群作成手段100により作成した処理
候補製品群の中から、該当装置に割り付ける製品を、工
程処理優先度作成手段101により作成した工程処理優先
度を用いて評価し、決定する。例えば、最も処理待ち時
間の長い製品を該当装置に割り付ける。
以上のように構成された従来のスケジュール作成装置
は、現スケジューリング時刻で、処理候補製品群の各処
理候補製品に対する工程処理優先度のみを評価した結果
を用い、処理候補製品群の中から該当装置に割り付ける
べき製品を決定している。
は、現スケジューリング時刻で、処理候補製品群の各処
理候補製品に対する工程処理優先度のみを評価した結果
を用い、処理候補製品群の中から該当装置に割り付ける
べき製品を決定している。
しかしながら、このように従来のスケジュール作成装
置では、処理候補製品群の中から該当する装置に割り付
けるべき製品を決定する際に、現スケジューリング時刻
における処理候補製品群の各処理候補製品に対する工程
処理優先度のみを評価した結果を用いて、該当装置に製
品を割り付けていた。すなわち、割り付ける製品の次工
程に対する装置による処理可能性度を全く評価せずに割
り付けを行っているため、種々の状況に応じた柔軟、か
つ最適なスケジューリングができないという問題があっ
た。
置では、処理候補製品群の中から該当する装置に割り付
けるべき製品を決定する際に、現スケジューリング時刻
における処理候補製品群の各処理候補製品に対する工程
処理優先度のみを評価した結果を用いて、該当装置に製
品を割り付けていた。すなわち、割り付ける製品の次工
程に対する装置による処理可能性度を全く評価せずに割
り付けを行っているため、種々の状況に応じた柔軟、か
つ最適なスケジューリングができないという問題があっ
た。
この発明の目的は、上記問題点に鑑み、処理候補製品
群の各処理候補製品の次工程で使用する装置の状態を加
味し、処理候補製品群の中から装置に割り付ける製品を
決定することにより種々の状況に応じ、柔軟かつ最適な
スケジューリングを行うことができるスケジュール作成
方法を提供することである。
群の各処理候補製品の次工程で使用する装置の状態を加
味し、処理候補製品群の中から装置に割り付ける製品を
決定することにより種々の状況に応じ、柔軟かつ最適な
スケジューリングを行うことができるスケジュール作成
方法を提供することである。
本発明のスケジュール作成方法は、複数の工程を複数
の装置によって処理しながら複数の製品を製造する生産
ラインで、特定の装置において処理待ちとなっている複
数の製品の処理順序を決定する際に、処理待ちとなって
いる製品の次工程の装置における予め与えられた評価値
に基づく処理可能性度の大きさを比較して、処理順序を
決定するようにしたものである。装置における予め与え
られた評価値としては、処理可能状態、処理待ちロット
数、処理時間のうち少なくとも1つを用いるようにす
る。
の装置によって処理しながら複数の製品を製造する生産
ラインで、特定の装置において処理待ちとなっている複
数の製品の処理順序を決定する際に、処理待ちとなって
いる製品の次工程の装置における予め与えられた評価値
に基づく処理可能性度の大きさを比較して、処理順序を
決定するようにしたものである。装置における予め与え
られた評価値としては、処理可能状態、処理待ちロット
数、処理時間のうち少なくとも1つを用いるようにす
る。
上記構成によれば、特定の装置において処理待ちとな
っている複数の製品の処理順序を、次工程で使用する装
置の処理状況に応じて決定することにより、装置に割り
付ける製品を柔軟かつ最適にスケジューリングができ
る。
っている複数の製品の処理順序を、次工程で使用する装
置の処理状況に応じて決定することにより、装置に割り
付ける製品を柔軟かつ最適にスケジューリングができ
る。
この発明の第1および第2の実施例のスケジュール作
成装置をコンピュータを用いた半導体プロセスロットに
適用した例を第1図から第12図に基づいて説明する。
成装置をコンピュータを用いた半導体プロセスロットに
適用した例を第1図から第12図に基づいて説明する。
第1図はこの発明の第1の実施例のスケジュール作成
装置の機能ブロック図、第2図はこの発明の第2の実施
例のスケジュール作成装置の機能ブロック図、第3図は
この発明の第1の実施例のスケジュール作成装置を構成
する処理候補製品群作成手段10の構成ブロック図、第4
図はこの発明の第2の実施例のスケジュール作成装置を
構成する処理候補製品群作成手段15の構成ブロック図、
第5図はこの発明の第1の実施例のスケジュール作成装
置を構成する次装置処理可能性度作成手段30の構成ブロ
ック図、第6図はこの発明の第2の実施例のスケジュー
ル作成装置を構成する次装置処理可能性度作成手段35の
構成ブロック図、第7図はこの発明の第1および第2の
実施例のスケジュール作成装置による第1ロット情報テ
ーブルの例を示す図、第8図はこの発明の第1および第
2の実施例のスケジュール作成装置による第2ロット情
報テーブルの例を示す図、第9図はこの発明の第1およ
び第2の実施例のスケジュール作成装置による仮想第2
ロット情報テーブルの例を示す図、第10図はこの発明の
第1および第2の実施例のスケジュール作成装置による
第1装置情報テーブルの例を示す図、第11図はこの発明
の第1の実施例のスケジュール作成装置による第2装置
情報テーブルの例を示す図、第12図はこの発明の第2の
実施例のスケジュール作成装置による第2装置情報テー
ブルの例を示す図である。
装置の機能ブロック図、第2図はこの発明の第2の実施
例のスケジュール作成装置の機能ブロック図、第3図は
この発明の第1の実施例のスケジュール作成装置を構成
する処理候補製品群作成手段10の構成ブロック図、第4
図はこの発明の第2の実施例のスケジュール作成装置を
構成する処理候補製品群作成手段15の構成ブロック図、
第5図はこの発明の第1の実施例のスケジュール作成装
置を構成する次装置処理可能性度作成手段30の構成ブロ
ック図、第6図はこの発明の第2の実施例のスケジュー
ル作成装置を構成する次装置処理可能性度作成手段35の
構成ブロック図、第7図はこの発明の第1および第2の
実施例のスケジュール作成装置による第1ロット情報テ
ーブルの例を示す図、第8図はこの発明の第1および第
2の実施例のスケジュール作成装置による第2ロット情
報テーブルの例を示す図、第9図はこの発明の第1およ
び第2の実施例のスケジュール作成装置による仮想第2
ロット情報テーブルの例を示す図、第10図はこの発明の
第1および第2の実施例のスケジュール作成装置による
第1装置情報テーブルの例を示す図、第11図はこの発明
の第1の実施例のスケジュール作成装置による第2装置
情報テーブルの例を示す図、第12図はこの発明の第2の
実施例のスケジュール作成装置による第2装置情報テー
ブルの例を示す図である。
以下、この発明の第1の実施例のスケジュール作成装
置を第1図,第3図,第5図および第7図〜第11図に基
づいて説明する。
置を第1図,第3図,第5図および第7図〜第11図に基
づいて説明する。
第1図はこの発明の第1の実施例のスケジュール作成
装置の機能ブロック図である。
装置の機能ブロック図である。
第1図に示すように、スケジュール作成装置は処理候
補製品群作成手段10と工程処理優先度作成手段20と次装
置処理可能性度作成手段30と処理製品決定手段40とを備
えたものである。
補製品群作成手段10と工程処理優先度作成手段20と次装
置処理可能性度作成手段30と処理製品決定手段40とを備
えたものである。
処理候補製品群作成手段10は、第3図に示すように、
ロット情報記憶手段11と装置情報記憶手段12とロット状
態登録手段13と処理待ちロット群作成手段14とから構成
される。
ロット情報記憶手段11と装置情報記憶手段12とロット状
態登録手段13と処理待ちロット群作成手段14とから構成
される。
ロット情報記憶手段11は、第7図に示すような、工程
処理条件としてロット名52,工程名53,使用装置54,処理
条件55および処理時間56のアイテムを1レコードとした
補助記憶上の第1ロット情報テーブル51の全アイテム
に、各レコードごとにロットに対する工程処理条件を登
録し、さらに、第8図に示すロット名62,処理状態63,処
理待ち時間64および使用装置65のアイテムを1レコード
とした補助記憶上の第2ロット情報テーブル61およびこ
の第2ロット情報テーブル61と同一構成の第9図に示す
補助記憶上の仮想第2ロット情報テーブル66のロット名
62のアイテムに各レコードごとにロット名を登録する。
処理条件としてロット名52,工程名53,使用装置54,処理
条件55および処理時間56のアイテムを1レコードとした
補助記憶上の第1ロット情報テーブル51の全アイテム
に、各レコードごとにロットに対する工程処理条件を登
録し、さらに、第8図に示すロット名62,処理状態63,処
理待ち時間64および使用装置65のアイテムを1レコード
とした補助記憶上の第2ロット情報テーブル61およびこ
の第2ロット情報テーブル61と同一構成の第9図に示す
補助記憶上の仮想第2ロット情報テーブル66のロット名
62のアイテムに各レコードごとにロット名を登録する。
なお、このロット情報記憶手段11による第1ロット情
報テーブル51,第2ロット情報テーブル61および仮想第
2ロット情報テーブル66のロット名62の登録はロット数
だけ繰り返す。
報テーブル51,第2ロット情報テーブル61および仮想第
2ロット情報テーブル66のロット名62の登録はロット数
だけ繰り返す。
また、装置情報記憶手段12は、第10図に示す装置名7
2,使用開始時間73および使用終了時間74のアイテムを1
レコードとした補助記憶上の第1装置情報テーブル71の
全アイテムに、各レコードごとに各装置の連続使用可能
時間帯を登録する。この登録は全装置の連続使用可能時
間帯数だけ繰り返す。
2,使用開始時間73および使用終了時間74のアイテムを1
レコードとした補助記憶上の第1装置情報テーブル71の
全アイテムに、各レコードごとに各装置の連続使用可能
時間帯を登録する。この登録は全装置の連続使用可能時
間帯数だけ繰り返す。
また、ロット状態登録手段13は、現スケジューリング
時刻におけるロット群の状態、すなわち各ロットの処理
状態,処理待ち時間および使用装置を、第8図に示す第
2ロット情報テーブル61のロット名62で該当するロット
を含むレコードの処理状態63,処理待ち時間64および使
用装置65に登録する。この登録はロット数だけ繰り返
す。
時刻におけるロット群の状態、すなわち各ロットの処理
状態,処理待ち時間および使用装置を、第8図に示す第
2ロット情報テーブル61のロット名62で該当するロット
を含むレコードの処理状態63,処理待ち時間64および使
用装置65に登録する。この登録はロット数だけ繰り返
す。
また、処理待ちロット群作成手段14は、第8図に示す
第2ロット情報テーブル61の処理状態63が、“待ち”の
状態となっているレコードの使用装置65およびロット名
62を、第11図に示す装置名82,ロット名83,工程処理優先
度84,次装置処理可能性度85および順位86のアイテムを
1レコードとした補助記憶上の第2装置情報テーブル81
の装置名82およびロット名83に登録する。この登録は該
当するロット数だけ繰り返す。
第2ロット情報テーブル61の処理状態63が、“待ち”の
状態となっているレコードの使用装置65およびロット名
62を、第11図に示す装置名82,ロット名83,工程処理優先
度84,次装置処理可能性度85および順位86のアイテムを
1レコードとした補助記憶上の第2装置情報テーブル81
の装置名82およびロット名83に登録する。この登録は該
当するロット数だけ繰り返す。
なお、ロット情報記憶手段11と装置情報記憶手段12と
の実行順序は特に限定されない。
の実行順序は特に限定されない。
以上、第1図に示す処理候補製品作成手段10は、第3
図に示すロット情報記憶手段11,装置情報記憶手段12,ロ
ット状態登録手段13および処理待ちロット群作成手段14
により構成される。
図に示すロット情報記憶手段11,装置情報記憶手段12,ロ
ット状態登録手段13および処理待ちロット群作成手段14
により構成される。
次に、工程処理優先度作成手段20(第1図参照。)
は、第8図に示す第2ロット情報テーブル61における処
理状態63が“待ち”状態となっているレコードの処理待
ち時間64に演算(例えば1000で除算)を施した後、この
演算を施したレコードのロット名62および使用装置65
と、第11図に示す第2装置情報テーブル81の装置名82お
よびロット名83とが一致したレコードの工程処理優先度
84に演算を施した処理待ち時間64を登録する。この登録
は該当するロット数だけ繰り返す。なお、この工程処理
優先度作成手段20により工程処理優先度84を作成すると
きは、例えばロット自身の優先度,工程処理時間および
生産計画とのずれなどを加味してもよい。また、演算方
法は特に限定しない。
は、第8図に示す第2ロット情報テーブル61における処
理状態63が“待ち”状態となっているレコードの処理待
ち時間64に演算(例えば1000で除算)を施した後、この
演算を施したレコードのロット名62および使用装置65
と、第11図に示す第2装置情報テーブル81の装置名82お
よびロット名83とが一致したレコードの工程処理優先度
84に演算を施した処理待ち時間64を登録する。この登録
は該当するロット数だけ繰り返す。なお、この工程処理
優先度作成手段20により工程処理優先度84を作成すると
きは、例えばロット自身の優先度,工程処理時間および
生産計画とのずれなどを加味してもよい。また、演算方
法は特に限定しない。
次に、次装置処理可能性度作成手段30は、第5図に示
すように、シミュレーション手段31と次装置可能性度評
価手段32とから構成され、1工程先の装置の状態を評価
する。
すように、シミュレーション手段31と次装置可能性度評
価手段32とから構成され、1工程先の装置の状態を評価
する。
以下、この次装置処理可能性度作成手段30を構成する
シミュレーション手段31および次装置可能性度評価手段
32について説明する。
シミュレーション手段31および次装置可能性度評価手段
32について説明する。
シミュレーション手段31は、装置に割り付け可能なロ
ット群の中から1ロットずつ順に仮に装置に割り付け
て、スケジューリングをシミュレートし、各装置にロッ
トを割り付けたシミュレート結果を導出する。第11図に
示す第2装置情報テーブル81の装置名82が同一であるレ
コードのロット名83群、すなわち現スケジューリング時
刻において、ある装置に割り付け可能であるロット名群
の中から1ロットを仮に抽出し、仮想第2ロット情報テ
ーブル66(第9図参照。)のロット名62の該当するロッ
トを含むレコードの処理状態63′,処理待ち時間64′お
よび使用装置65′を、スケジューリングルールを適用す
ることによりそれぞれ更新する。さらに仮にロットを割
り付けた装置以外で、第2装置情報テーブル81に登録さ
れている装置については、仮に装置に割り付けたロット
の処理が終わるスケジューリング時刻まで、第2装置情
報テーブル81の工程処理優先度84を利用し、スケジュー
リングルールを適用することによって、各装置にロット
を割り付け、仮想第2ロット情報テーブル66のロット名
62の該当するロットを含むレコードの処理情報63′,処
理待ち時間64′および使用装置65′をそれぞれ更新す
る。
ット群の中から1ロットずつ順に仮に装置に割り付け
て、スケジューリングをシミュレートし、各装置にロッ
トを割り付けたシミュレート結果を導出する。第11図に
示す第2装置情報テーブル81の装置名82が同一であるレ
コードのロット名83群、すなわち現スケジューリング時
刻において、ある装置に割り付け可能であるロット名群
の中から1ロットを仮に抽出し、仮想第2ロット情報テ
ーブル66(第9図参照。)のロット名62の該当するロッ
トを含むレコードの処理状態63′,処理待ち時間64′お
よび使用装置65′を、スケジューリングルールを適用す
ることによりそれぞれ更新する。さらに仮にロットを割
り付けた装置以外で、第2装置情報テーブル81に登録さ
れている装置については、仮に装置に割り付けたロット
の処理が終わるスケジューリング時刻まで、第2装置情
報テーブル81の工程処理優先度84を利用し、スケジュー
リングルールを適用することによって、各装置にロット
を割り付け、仮想第2ロット情報テーブル66のロット名
62の該当するロットを含むレコードの処理情報63′,処
理待ち時間64′および使用装置65′をそれぞれ更新す
る。
ここで、第9図に示す仮想第2ロット情報テーブル66
の処理状態63′に“待ち”が登録されている場合は、そ
のレコードのロットが装置による処理を待っていること
を示し、“処理中”が登録されている場合は、そのレコ
ードのロットが装置によって処理中であることを示す。
また処理待ち時間64′は、処理状態が“待ち”であるロ
ットが、待ち状態となってからの累計時間である。使用
装置65′はロットが待っている装置、またはロットを処
理中の装置である。また第2ロット情報テーブル61の各
アイテムも同様の意味である。
の処理状態63′に“待ち”が登録されている場合は、そ
のレコードのロットが装置による処理を待っていること
を示し、“処理中”が登録されている場合は、そのレコ
ードのロットが装置によって処理中であることを示す。
また処理待ち時間64′は、処理状態が“待ち”であるロ
ットが、待ち状態となってからの累計時間である。使用
装置65′はロットが待っている装置、またはロットを処
理中の装置である。また第2ロット情報テーブル61の各
アイテムも同様の意味である。
なお、上記スケジューリングルールは特に限定しない
が、例えば、スケジューリング時刻を進めながら、装置
が処理可能状態であるとともに、この装置による処理を
待っているロット群の中のロットで優先度の高いロット
を装置に割り付けるルールを使用する。
が、例えば、スケジューリング時刻を進めながら、装置
が処理可能状態であるとともに、この装置による処理を
待っているロット群の中のロットで優先度の高いロット
を装置に割り付けるルールを使用する。
また、次装置可能性度評価手段32は、装置に割り付け
可能なロット群の中から1ロットずつ順に仮に装置に割
りつけてスケジューリングをシミュレートした結果、各
シミュレート毎における該当ロットの次工程の装置によ
る処理の可能性を表す装置処理可能性度を評価し、シミ
ュレーション手段31により装置に割り付け可能なロット
群の中から仮に装置に1ロットを割り付けたスケジュー
リングをシミュレートすることにより作成した仮想第2
ロット情報テーブル66の処理状態63′,処理待ち時間6
4′および使用装置65′をもとに、割り付けたロットの
次工程の処理可能性度を評価し、第2装置情報テーブル
81の装置名82のおよびロット名83の装置およびロットを
含むレコードの次装置処理可能性度85に登録する。すな
わち、装置に仮に割り付けたロットの次工程で使用する
装置がロット処理可能な状態か否か、また次工程で使用
する装置に対して、どの程度処理を待っているロットが
あるかを評価し、次装置可能性度アイテム85に評価値と
して登録する。
可能なロット群の中から1ロットずつ順に仮に装置に割
りつけてスケジューリングをシミュレートした結果、各
シミュレート毎における該当ロットの次工程の装置によ
る処理の可能性を表す装置処理可能性度を評価し、シミ
ュレーション手段31により装置に割り付け可能なロット
群の中から仮に装置に1ロットを割り付けたスケジュー
リングをシミュレートすることにより作成した仮想第2
ロット情報テーブル66の処理状態63′,処理待ち時間6
4′および使用装置65′をもとに、割り付けたロットの
次工程の処理可能性度を評価し、第2装置情報テーブル
81の装置名82のおよびロット名83の装置およびロットを
含むレコードの次装置処理可能性度85に登録する。すな
わち、装置に仮に割り付けたロットの次工程で使用する
装置がロット処理可能な状態か否か、また次工程で使用
する装置に対して、どの程度処理を待っているロットが
あるかを評価し、次装置可能性度アイテム85に評価値と
して登録する。
この評価値の算出方法は特に限定しないが、例えば、
評価値=装置状態×[1/{処理待ちロット数×(ロット
1処理時間+ロット2処理時間+…)}]とする。
評価値=装置状態×[1/{処理待ちロット数×(ロット
1処理時間+ロット2処理時間+…)}]とする。
但し、上記、評価値の算出式において、装置状態は、
第1装置情報テーブル71の装置名72の該当する装置を含
むレコードの使用開始時間73および使用終了時間74によ
り、現シミュレート時刻で該当する装置が使用可能か否
かを判断し、使用可能の場合は1とし、使用不能の場合
は0とする。また、処理待ちロット数は該当する装置に
処理待ちのロットが何ロットあるかを示し、仮想第2ロ
ット情報テーブル66の処理状態63′が“待ち”であり、
かつ該当する装置と同一の使用装置65′を含むレコード
が何レコードあるかによって求める(処理待ちロットが
0の場合は分母は1とする)。またロット処理時間は、
各処理待ちロットに対して、該当する装置による処理時
間である。なお、この評価値の算出には、各ロットの工
程処理待ち時間などの要因を取り入れてもよい。
第1装置情報テーブル71の装置名72の該当する装置を含
むレコードの使用開始時間73および使用終了時間74によ
り、現シミュレート時刻で該当する装置が使用可能か否
かを判断し、使用可能の場合は1とし、使用不能の場合
は0とする。また、処理待ちロット数は該当する装置に
処理待ちのロットが何ロットあるかを示し、仮想第2ロ
ット情報テーブル66の処理状態63′が“待ち”であり、
かつ該当する装置と同一の使用装置65′を含むレコード
が何レコードあるかによって求める(処理待ちロットが
0の場合は分母は1とする)。またロット処理時間は、
各処理待ちロットに対して、該当する装置による処理時
間である。なお、この評価値の算出には、各ロットの工
程処理待ち時間などの要因を取り入れてもよい。
そして、シミュレーション手段31および次装置可能性
度評価手段32により、仮に割り付けた1ロットのスケジ
ュールのシミュレートを終了した後、仮想第2ロット情
報テーブル66のアイテムである処理状態63′,処理待ち
時間64′および使用装置65′を更新し、次工程の処理可
能性度の評価が終了すれば、スケジューリング時刻を現
スケジューリング時刻に戻し、仮想第2ロット情報テー
ブル66の各アイテムの値を現スケジューリング時刻の状
態に戻す。
度評価手段32により、仮に割り付けた1ロットのスケジ
ュールのシミュレートを終了した後、仮想第2ロット情
報テーブル66のアイテムである処理状態63′,処理待ち
時間64′および使用装置65′を更新し、次工程の処理可
能性度の評価が終了すれば、スケジューリング時刻を現
スケジューリング時刻に戻し、仮想第2ロット情報テー
ブル66の各アイテムの値を現スケジューリング時刻の状
態に戻す。
このようなシミュレーション手段31および次装置可能
性度評価手段32を一つの装置に割り付け可能な処理待ち
ロット群の全てのロットについて繰り返し、各ロットを
仮に装置に割り付けたときの次工程の処理可能性度をそ
れぞれ評価し、第2装置情報テーブル81の装置名82およ
びロット名83の該当する装置およびロットを含むレコー
ドの次装置処理可能性度アイテム85に登録する。さら
に、第2装置情報テーブル81に登録されている全装置に
対して、シミュレーション手段31および次装置可能性度
評価手段32を繰り返すことにより各装置ごとに同様の処
理を行い、それぞれの次工程の処理可能性度を評価し、
第2装置情報テーブル81の装置名82およびロット名83の
該当する装置およびロットを含むレコードの次装置処理
可能性度85に登録する。
性度評価手段32を一つの装置に割り付け可能な処理待ち
ロット群の全てのロットについて繰り返し、各ロットを
仮に装置に割り付けたときの次工程の処理可能性度をそ
れぞれ評価し、第2装置情報テーブル81の装置名82およ
びロット名83の該当する装置およびロットを含むレコー
ドの次装置処理可能性度アイテム85に登録する。さら
に、第2装置情報テーブル81に登録されている全装置に
対して、シミュレーション手段31および次装置可能性度
評価手段32を繰り返すことにより各装置ごとに同様の処
理を行い、それぞれの次工程の処理可能性度を評価し、
第2装置情報テーブル81の装置名82およびロット名83の
該当する装置およびロットを含むレコードの次装置処理
可能性度85に登録する。
なお、シミュレーション手段31および次装置可能性度
評価手段32は、1工程先の装置状態ばかりに留まらず、
何工程先の状態を加味してもよい。
評価手段32は、1工程先の装置状態ばかりに留まらず、
何工程先の状態を加味してもよい。
以上、第1図に示す次装置処理可能性度作成手段30
は、シミュレーション手段31および次装置可能性度評価
手段32から構成される。
は、シミュレーション手段31および次装置可能性度評価
手段32から構成される。
そして、処理製品決定手段40により、真に装置にロッ
トを割り付ける。第2装置情報テーブル81の工程処理優
先度84および次装置処理可能性度85に演算(例えば、加
算)を施した結果を評価し、そのロットの割り付け順位
として評価値を順位86に登録する。なお、この評価値の
算出方法は特に限定しないが、例えば演算値が大きいも
のから順位を付ける。そして、最後に現スケジューリン
グ時刻で、処理待ちロット群の中から真に装置にロット
を割り付ける際には、1工程先の状態を加味した第2装
置情報テーブル81の順位86を評価し、装置にロットを割
り付ける。
トを割り付ける。第2装置情報テーブル81の工程処理優
先度84および次装置処理可能性度85に演算(例えば、加
算)を施した結果を評価し、そのロットの割り付け順位
として評価値を順位86に登録する。なお、この評価値の
算出方法は特に限定しないが、例えば演算値が大きいも
のから順位を付ける。そして、最後に現スケジューリン
グ時刻で、処理待ちロット群の中から真に装置にロット
を割り付ける際には、1工程先の状態を加味した第2装
置情報テーブル81の順位86を評価し、装置にロットを割
り付ける。
以上のように、この第1の実施例によれば、処理製品
決定手段40による工程処理優先度84および次装置処理可
能性度85の評価結果、すなわち順位86を用い、1工程先
の装置の状態を加味した上で、現スケジューリング時刻
での処理待ちロット群の中から装置に割り付けるロット
を決定する。したがって、種々の状況に応じた柔軟に、
かつ最適なスケジューリングを行うことができる。
決定手段40による工程処理優先度84および次装置処理可
能性度85の評価結果、すなわち順位86を用い、1工程先
の装置の状態を加味した上で、現スケジューリング時刻
での処理待ちロット群の中から装置に割り付けるロット
を決定する。したがって、種々の状況に応じた柔軟に、
かつ最適なスケジューリングを行うことができる。
次に、この発明の第2の実施例のスケジュール作成装
置を第2図,第4図,第6図,第7図〜第10図および12
図に基づいて説明する。但し、第1の実施例と異なる部
分のみ明記する。
置を第2図,第4図,第6図,第7図〜第10図および12
図に基づいて説明する。但し、第1の実施例と異なる部
分のみ明記する。
第2図はこの発明の第2の実施例のスケジューリング
作成装置の機能ブロック図である。
作成装置の機能ブロック図である。
第2図に示すように、スケジューリング作成装置は、
処理候補製品群作成手段15と次装置処理可能性度作成手
段35と処理製品決定手段45とを備えたものである。
処理候補製品群作成手段15と次装置処理可能性度作成手
段35と処理製品決定手段45とを備えたものである。
処理候補製品群作成手段15は、第4図に示すロット情
報記憶手段11,装置情報記憶手段12,ロット状態登録手段
13および処理待ちロット群作成手段16から構成される。
このロット情報記憶手段11,装置情報記憶手段12および
ロット状態登録手段13は、第1の実施例と同様である。
報記憶手段11,装置情報記憶手段12,ロット状態登録手段
13および処理待ちロット群作成手段16から構成される。
このロット情報記憶手段11,装置情報記憶手段12および
ロット状態登録手段13は、第1の実施例と同様である。
処理待ちロット群作成手段16は、第8図に示す第2ロ
ット情報テーブル61の処理状態63が“待ち”状態となっ
ているレコードの使用装置65およびロット名62を、第12
図に示す装置名92,ロット名93,次装置処理可能性度95お
よび順位96のアイテムを1レコードとした補助記憶上の
第2装置情報テーブル91の装置名92およびロット名93に
登録する。この登録は該当するロット数だけ繰り返す。
ット情報テーブル61の処理状態63が“待ち”状態となっ
ているレコードの使用装置65およびロット名62を、第12
図に示す装置名92,ロット名93,次装置処理可能性度95お
よび順位96のアイテムを1レコードとした補助記憶上の
第2装置情報テーブル91の装置名92およびロット名93に
登録する。この登録は該当するロット数だけ繰り返す。
次に、次装置処理可能性度評価手段35は、第6図に示
すシミュレーション手段36および次装置可能性度評価手
段37から構成され、1工程先の装置の状態を評価する。
以下、この次装置処理可能性度作成手段35を構成するシ
ミュレーション手段36および次装置可能性度評価手段37
について説明する。
すシミュレーション手段36および次装置可能性度評価手
段37から構成され、1工程先の装置の状態を評価する。
以下、この次装置処理可能性度作成手段35を構成するシ
ミュレーション手段36および次装置可能性度評価手段37
について説明する。
第6図に示すシミュレーション手段36は、装置に割り
付け可能なロット群の中から1ロットずつ順に装置に仮
に割り付けてスケジューリングをシミュレートし、各装
置にロットを割り付けたシミュレート結果を導出する。
第12図に示す第2装置情報テーブル91の装置名92が同一
であるレコードのロット名93群、すなわち現スケジュー
リング時刻において、ある装置に割り付け可能なロット
群の中から1ロットを仮に抽出し、仮想第2ロット情報
テーブル66のロット名62′の該当するロットを含むレコ
ードの処理状態63′,処理待ち時間64′および使用装置
65′をスケジューリングルールを適用することによって
それぞれ更新する。さらに仮にロットを割り付けた装置
以外の第2装置情報テーブル91に登録されている装置に
ついて、装置に仮に割り付けたロットの処理が終わるス
ケジューリング時刻まで、スケジューリングルールを適
用することによって各装置にロットを割り付け、仮想第
2ロット情報テーブル66のロット名62′の該当するロッ
トを含むレコードの処理状態63′,処理待ち時間64′お
よび使用装置65′をそれぞれ更新する。
付け可能なロット群の中から1ロットずつ順に装置に仮
に割り付けてスケジューリングをシミュレートし、各装
置にロットを割り付けたシミュレート結果を導出する。
第12図に示す第2装置情報テーブル91の装置名92が同一
であるレコードのロット名93群、すなわち現スケジュー
リング時刻において、ある装置に割り付け可能なロット
群の中から1ロットを仮に抽出し、仮想第2ロット情報
テーブル66のロット名62′の該当するロットを含むレコ
ードの処理状態63′,処理待ち時間64′および使用装置
65′をスケジューリングルールを適用することによって
それぞれ更新する。さらに仮にロットを割り付けた装置
以外の第2装置情報テーブル91に登録されている装置に
ついて、装置に仮に割り付けたロットの処理が終わるス
ケジューリング時刻まで、スケジューリングルールを適
用することによって各装置にロットを割り付け、仮想第
2ロット情報テーブル66のロット名62′の該当するロッ
トを含むレコードの処理状態63′,処理待ち時間64′お
よび使用装置65′をそれぞれ更新する。
なお、上記スケジューリングルールは特に限定しない
が例えば、スケジューリング時刻を進めながら、装置が
処理可能状態であるとともに、その装置の処理を待って
いるロット群の中で優先度の高いロットを装置に割り付
けるルールを使用する。
が例えば、スケジューリング時刻を進めながら、装置が
処理可能状態であるとともに、その装置の処理を待って
いるロット群の中で優先度の高いロットを装置に割り付
けるルールを使用する。
また、次装置可能性度評価手段37は、装置に割り付け
可能なロット群の中から1ロットずつ順に仮に装置に割
りつけてスケジューリングをシミュレートした結果、各
シミュレート毎における該当ロットの次工程の装置によ
る処理可能性度を評価する。シミュレーション手段36に
より装置に割り付け可能なロット群の中から仮に装置に
1ロットを割り付けたスケジューリングをシミュレート
することにより作成した仮想第2ロット情報テーブル66
の処理状態63′,処理待ち時間64′および使用装置65′
をもとに、割り付けたロットの次工程の処理可能性度を
評価し、第2装置情報テーブル91の装置名92のおよびロ
ット名93の装置およびロットを含むレコードの次装置処
理可能性度95に登録する。すなわち、装置に仮に割り付
けたロットの次工程で使用する装置がロット処理可能な
状態か否か、または次工程で使用する装置に対して、ど
の程度処理を待っているロットがあるかを評価し、次装
置可能性度アイテム95に評価値として登録する。
可能なロット群の中から1ロットずつ順に仮に装置に割
りつけてスケジューリングをシミュレートした結果、各
シミュレート毎における該当ロットの次工程の装置によ
る処理可能性度を評価する。シミュレーション手段36に
より装置に割り付け可能なロット群の中から仮に装置に
1ロットを割り付けたスケジューリングをシミュレート
することにより作成した仮想第2ロット情報テーブル66
の処理状態63′,処理待ち時間64′および使用装置65′
をもとに、割り付けたロットの次工程の処理可能性度を
評価し、第2装置情報テーブル91の装置名92のおよびロ
ット名93の装置およびロットを含むレコードの次装置処
理可能性度95に登録する。すなわち、装置に仮に割り付
けたロットの次工程で使用する装置がロット処理可能な
状態か否か、または次工程で使用する装置に対して、ど
の程度処理を待っているロットがあるかを評価し、次装
置可能性度アイテム95に評価値として登録する。
この評価値の算出方法は特に限定しないが、例えば、
評価値=装置状態×[1/{処理待ちロット数×(ロット
1処理時間+ロット2処理時間+…)}]とする。
評価値=装置状態×[1/{処理待ちロット数×(ロット
1処理時間+ロット2処理時間+…)}]とする。
但し、上記、評価値の算出式において、装置状態は、
第1装置情報テーブル71の装置名72の該当する装置を含
むレコードの使用開始時間73および使用終了時間74によ
り、現シミュレート時刻で該当する装置が使用可能か否
かを判断し、使用可能の場合は1とし、使用不能の場合
は0とする。また、処理待ちロット数は該当する装置に
処理待ちのロットが何ロットあるかを示し、仮想第2ロ
ット情報テーブル66の処理状態63′が“待ち”であり、
かつ該当する装置と同一の使用装置65′を含むレコード
が何レコードあるかによって求める(処理待ちロットが
0の場合は分母は1とする)。またロット処理時間は、
各処理待ちロットに対して、該当する装置による処理時
間である。なお、この評価値の算出には、各ロットの工
程処理待ち時間などの要因を取り入れてもよい。
第1装置情報テーブル71の装置名72の該当する装置を含
むレコードの使用開始時間73および使用終了時間74によ
り、現シミュレート時刻で該当する装置が使用可能か否
かを判断し、使用可能の場合は1とし、使用不能の場合
は0とする。また、処理待ちロット数は該当する装置に
処理待ちのロットが何ロットあるかを示し、仮想第2ロ
ット情報テーブル66の処理状態63′が“待ち”であり、
かつ該当する装置と同一の使用装置65′を含むレコード
が何レコードあるかによって求める(処理待ちロットが
0の場合は分母は1とする)。またロット処理時間は、
各処理待ちロットに対して、該当する装置による処理時
間である。なお、この評価値の算出には、各ロットの工
程処理待ち時間などの要因を取り入れてもよい。
そして、シミュレーション手段36および次装置可能性
度評価手段37により、仮に割り付けた1ロットのスケジ
ュールのシミュレートが終わり仮想第2ロット情報テー
ブル66のアイテムである処理状態63′,処理待ち時間6
4′および使用装置65′を更新し、次工程の処理可能性
度の評価が終了すれば、スケジューリング時刻を現スケ
ジューリング時刻に戻し、仮想第2ロット情報テーブル
66の各アイテムの値を現スケジューリング時刻の状態に
戻す。
度評価手段37により、仮に割り付けた1ロットのスケジ
ュールのシミュレートが終わり仮想第2ロット情報テー
ブル66のアイテムである処理状態63′,処理待ち時間6
4′および使用装置65′を更新し、次工程の処理可能性
度の評価が終了すれば、スケジューリング時刻を現スケ
ジューリング時刻に戻し、仮想第2ロット情報テーブル
66の各アイテムの値を現スケジューリング時刻の状態に
戻す。
このようにシミュレーション手段36および次装置可能
性度評価手段37を一つの装置に割り付け可能な処理待ち
ロット群の全てのロットについて繰り返し、各ロットを
仮に装置に割り付けたときの次工程の処理可能性度をそ
れぞれ評価し、第2装置情報テーブル91の装置名92およ
びロット名93の該当する装置およびロットを含むレコー
ドの次装置処理可能性度95に登録する。さらに、第2装
置情報テーブル91に登録されている全装置に対して、シ
ミュレーション手段36および次装置可能性度評価手段37
を繰り返すことにより各装置ごとに同様の処理を行い、
それぞれの次工程の処理可能性度を評価し、第2装置情
報テーブル91装置名92およびロット名93の該当する装置
およびロットを含むレコードの次装置処理可能性度95に
登録する。
性度評価手段37を一つの装置に割り付け可能な処理待ち
ロット群の全てのロットについて繰り返し、各ロットを
仮に装置に割り付けたときの次工程の処理可能性度をそ
れぞれ評価し、第2装置情報テーブル91の装置名92およ
びロット名93の該当する装置およびロットを含むレコー
ドの次装置処理可能性度95に登録する。さらに、第2装
置情報テーブル91に登録されている全装置に対して、シ
ミュレーション手段36および次装置可能性度評価手段37
を繰り返すことにより各装置ごとに同様の処理を行い、
それぞれの次工程の処理可能性度を評価し、第2装置情
報テーブル91装置名92およびロット名93の該当する装置
およびロットを含むレコードの次装置処理可能性度95に
登録する。
なお、シミュレーション手段36および次装置可能性度
評価手段37は、1工程先の装置状態ばかりに留まらず、
何工程先の状態を加味してもよい。
評価手段37は、1工程先の装置状態ばかりに留まらず、
何工程先の状態を加味してもよい。
以上、第2図に示す次装置処理可能性度作成手段35
は、シミュレーション手段36および次装置可能性度評価
手段37から構成される。
は、シミュレーション手段36および次装置可能性度評価
手段37から構成される。
そして、処理製品決定手段45により、真に装置にロッ
トを割り付ける。第2装置情報テーブル91の次装置処理
可能性度95を評価し、そのロットの割り付け順位として
評価値を順位アイテム96に登録する。なお、評価方法は
特に限定しないが、例えば値が大きいものから順位を付
ける。そして、最後に現スケジューリング時刻で、処理
待ちロット群の中から真に装置にロットを割り付ける際
には、1工程先の状態を基にした第2装置情報テーブル
91の順位96を評価し、ロットを装置に割り付ける。
トを割り付ける。第2装置情報テーブル91の次装置処理
可能性度95を評価し、そのロットの割り付け順位として
評価値を順位アイテム96に登録する。なお、評価方法は
特に限定しないが、例えば値が大きいものから順位を付
ける。そして、最後に現スケジューリング時刻で、処理
待ちロット群の中から真に装置にロットを割り付ける際
には、1工程先の状態を基にした第2装置情報テーブル
91の順位96を評価し、ロットを装置に割り付ける。
以上、この第2の実施例によれば、処理製品決定手段
45により次装置処理可能性度の評価結果を用い、1工程
先の装置の状態を基に、現スケジューリング時刻での処
理待ちロット群の中から装置に割り付けるロットを決定
する。したがって、種々の状況に応じた柔軟に、かつ最
適なスケジューリングを行うことができる。
45により次装置処理可能性度の評価結果を用い、1工程
先の装置の状態を基に、現スケジューリング時刻での処
理待ちロット群の中から装置に割り付けるロットを決定
する。したがって、種々の状況に応じた柔軟に、かつ最
適なスケジューリングを行うことができる。
なお、第1および第2の実施例において、各テーブル
の記憶手段として補助記憶装置を用いたが、主記憶装置
を用いてもよい。またテーブルの代わりにリスト構造を
用いた記憶手段を用いてもよい。
の記憶手段として補助記憶装置を用いたが、主記憶装置
を用いてもよい。またテーブルの代わりにリスト構造を
用いた記憶手段を用いてもよい。
本発明のスケジュール作成方法によれば、特定の装置
において処理待ちとなっている複数の製品の処理順序
を、次工程で使用する装置の処理状況に応じて決定する
ことにより、装置に割り付ける製品を柔軟かつ最適にス
ケジューリングができ、実用的効果は非常に大きい。
において処理待ちとなっている複数の製品の処理順序
を、次工程で使用する装置の処理状況に応じて決定する
ことにより、装置に割り付ける製品を柔軟かつ最適にス
ケジューリングができ、実用的効果は非常に大きい。
第1図はこの発明の第1の実施例のスケジュール作成装
置の機能ブロック図、第2図はこの発明の第2の実施例
のスケジュール作成装置の機能ブロック図、第3図はこ
の発明の第1の実施例のスケジュール作成装置を構成す
る処理候補製品群作成手段10の構成ブロック図、第4図
はこの発明の第2の実施例のスケジュール作成装置を構
成する処理候補製品群作成手段15の構成ブロック図、第
5図はこの発明の第1の実施例のスケジュール作成装置
を構成する次装置処理可能性度作成手段30の構成ブロッ
ク図、第6図はこの発明の第2の実施例のスケジュール
作成装置を構成する次装置処理可能性度作成手段35の構
成ブロック図、第7図はこの発明の第1および第2の実
施例のスケジュール作成装置による第1ロット情報テー
ブルの例を示す図、第8図はこの発明の第1および第2
の実施例のスケジュール作成装置による第2ロット情報
テーブルの例を示す図、第9図はこの発明の第1および
第2の実施例のスケジュール作成装置による仮想第2ロ
ット情報テーブルの例を示す図、第10図はこの発明の第
1および第2の実施例のスケジュール作成装置による第
1装置情報テーブルの例を示す図、第11図はこの発明の
第1の実施例のスケジュール作成装置による第2装置情
報テーブルの例を示す図、第12図はこの発明の第2の実
施例のスケジュール作成装置による第2装置情報テーブ
ルの例を示す図、第13図は従来のスケジュール作成装置
の機能ブロック図である。 10,15……処理候補製品群作成手段、20……工程処理優
先度作成手段、30,35……次装置処理可能性度作成手
段、40,45……処理製品決定手段
置の機能ブロック図、第2図はこの発明の第2の実施例
のスケジュール作成装置の機能ブロック図、第3図はこ
の発明の第1の実施例のスケジュール作成装置を構成す
る処理候補製品群作成手段10の構成ブロック図、第4図
はこの発明の第2の実施例のスケジュール作成装置を構
成する処理候補製品群作成手段15の構成ブロック図、第
5図はこの発明の第1の実施例のスケジュール作成装置
を構成する次装置処理可能性度作成手段30の構成ブロッ
ク図、第6図はこの発明の第2の実施例のスケジュール
作成装置を構成する次装置処理可能性度作成手段35の構
成ブロック図、第7図はこの発明の第1および第2の実
施例のスケジュール作成装置による第1ロット情報テー
ブルの例を示す図、第8図はこの発明の第1および第2
の実施例のスケジュール作成装置による第2ロット情報
テーブルの例を示す図、第9図はこの発明の第1および
第2の実施例のスケジュール作成装置による仮想第2ロ
ット情報テーブルの例を示す図、第10図はこの発明の第
1および第2の実施例のスケジュール作成装置による第
1装置情報テーブルの例を示す図、第11図はこの発明の
第1の実施例のスケジュール作成装置による第2装置情
報テーブルの例を示す図、第12図はこの発明の第2の実
施例のスケジュール作成装置による第2装置情報テーブ
ルの例を示す図、第13図は従来のスケジュール作成装置
の機能ブロック図である。 10,15……処理候補製品群作成手段、20……工程処理優
先度作成手段、30,35……次装置処理可能性度作成手
段、40,45……処理製品決定手段
フロントページの続き (58)調査した分野(Int.Cl.7,DB名) G05B 19/418 B23Q 41/08 G05B 15/02 G06F 17/60
Claims (2)
- 【請求項1】複数の工程を複数の装置によって処理しな
がら複数の製品を製造する生産ラインで、前記複数の装
置のうちの特定の装置において処理待ちとなっている複
数の製品の処理順序を決定するスケジュール作成方法で
あって、 前記設定の装置において処理待ちとなっている各製品の
次工程の処理を行う各装置における予め与えられた評価
値に基づく処理可能性度の大きさを比較して、前記特定
の装置において処理待ちとなっている複数の製品の処理
順序を決定し、前記装置における予め与えられた評価値
として、処理可能状態、処理待ちロット数、処理時間の
うち少なくとも1つを用いることを特徴とするスケジュ
ール作成方法。 - 【請求項2】特定の装置において処理待ちとなっている
各製品の次工程の処理を行う各装置における処理可能性
度の大きさと、前記特定の装置において処理待ちとなっ
ている各製品の処理優先度の大きさに基づいて前記特定
の装置において処理待ちとなっている複数の製品の処理
順序を決定することを特徴とする請求項(1)記載のス
ケジュール作成方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP26906990A JP3034580B2 (ja) | 1990-10-05 | 1990-10-05 | スケジュール作成方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP26906990A JP3034580B2 (ja) | 1990-10-05 | 1990-10-05 | スケジュール作成方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH04146055A JPH04146055A (ja) | 1992-05-20 |
JP3034580B2 true JP3034580B2 (ja) | 2000-04-17 |
Family
ID=17467226
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP26906990A Expired - Fee Related JP3034580B2 (ja) | 1990-10-05 | 1990-10-05 | スケジュール作成方法 |
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---|---|---|---|---|
JP3981983B2 (ja) * | 1993-09-02 | 2007-09-26 | 松下電器産業株式会社 | 製品処理装置および製品処理決定方法 |
JP3964171B2 (ja) * | 2001-10-04 | 2007-08-22 | 三菱電機株式会社 | 材料搬送装置、材料搬送方法及び材料搬送プログラム |
JP4530247B2 (ja) * | 2003-06-03 | 2010-08-25 | ルネサスエレクトロニクス株式会社 | 半導体装置の製造方法 |
-
1990
- 1990-10-05 JP JP26906990A patent/JP3034580B2/ja not_active Expired - Fee Related
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