JPH04146055A - スケジュール作成方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 この発明は、製品を製造するための複数個の工程を順次
使用する各装置に割り付け、製品製造における装置資源
の利用スケジュールを作成するスケジュール作成装置に
関するものである。

〔従来の技術〕

第１３図は従来のスケジュール作成装置の機能ブロック
図である。

各工程に使用する各装置により複数の製品を処理する生
産ラインにおいて、 処理候補製品群作成手段１００は、現スケジューリング
時刻で、ある装置によって処理可能な製品群からなる処
理候補製品群を作成する手段であり、全ての製品群の中
から処理ステータスが“待ち”状態でしかも該当する装
置（以下「該当装置」という。）によって処理されるべ
き製品を探索することにより、処理候補製品群を作成す
る。

工程処理優先度作成手段１０１は、処理候補製品群の各
処理候補製品に対して、該当装置による処理の優先度を
表わす工程処理優先度を作成する手段であり、処理待ち
状態の時間などを用いて作成する。

処理製品決定手段１０２は、現スケジューリング時刻に
おいて処理候補製品群作成手段１００により作成した処
理候補製品群の中から、該当装置に割り付ける製品を、
工程処理優先度作成手段１０１により作成した工程処理
優先度を用いて評価し、決定する。例えば、最も処理待
ち時間の長い製品を該当装置に割り付ける。

以上のように構成された従来のスケジュール作成装置は
、現スケジューリング時刻で、処理候補製品群の各処理
候補製品に対する工程処理優先度のみを評価した結果を
用い、処理候補製品群の中から該当装置に割り付けるべ
き製品を決定している。

〔発明が解決しようとする課題〕

しかしながら、このように従来のスケジュール作成装置
では、処理候補製品群の中から該当する装置に割り付け
るべき製品を決定する際に、現スケジューリング時刻に
おける処理候補製品群の各処理候補製品に対する工程処
理優先度のみを評価した結果を用いて、該当装置に製品
を割り付けていた。すなわち、割り付ける製品の次工程
に対する装置による処理可能性度を全く評価せずに割り
付けを行っているため、種々の状況に応じた柔軟、か、
つ最適なスケジューリングができないという問題があっ
た。

この発明の目的は、上記問題点に鑑み、処理候補製品群
の各処理候補製品の次工程で使用する装置の状態を加味
し、処理候補製品群の中から装置に割り付ける製品を決
定することにより種々の状況に応じ、柔軟かつ最適なス
ケジューリングを行うことができるスケジュール作成装
置を提供することである。

〔課題を解決するための手段〕

請求項（１，）記載のスケジュール作成装置は、処理候
補製品群作成手段と工程処理優先度作成手段と次装置処
理可能性度作成手段と処理製品決定手段とを備えたもの
である。

各工程に使用する各装置により複数の製品を処理する生
産ラインにおいて、処理候補製品群作成手段は、現スケ
ジューリング時刻で、ある装置によって処理可能な製品
群からなる処理候補製品群を作成する。工程処理優先度
作成手段は、処理候補製品群の各処理候補製品に対する
装置による処理の優先度を表す工程処理優先度を作成す
る。次装置処理可能性度作成手段は、任意のスケジュー
ル時刻で、装置により処理候補製品群の各処理候補製品
の処理を終了した後、各製品の次工程に使用する装置に
よる処理の可能性を表す次装置処理可能性度を作成する
。処理製品決定手段は、工程処理優先度作成手段による
工程処理優先度および次装置処理可能性度作成手段によ
る次装置処理可能性度に基づいて、現スケジューリング
時刻で処理候補製品群の中から装置に割り付ける製品を
特徴する 請求項（２）記載のスケジュール作成装置は、処理候補
製品群作成手段と次装置処理可能性度作成手段と処理製
品決定手段とを備えたものである。

各工程に使用する各装置により複数の製品を処理する生
産ラインにおいて、処理候補製品群作成手段は、現スケ
ジューリング時刻で、ある装置によって処理可能な製品
群からなる処理候補製品群を作成する。次装置可能性度
作成手段は、任意のスケジュール時刻で、装置により処
理候補製品群の各処理候補製品の処理を終了した後、各
製品の次工程に使用する装置による処理の可能性を表す
次装置処理可能性度を作成する。処理製品決定手段は、
次装置処理可能性度作成手段による次装置処理可能性度
に基づいて、現スケジューリング時刻で処理候補製品群
の中から前記装置に割り付ける製品を決定する。

〔作用〕

請求項（１）記載の構成によれば、処理候補製品作成手
段により、現スケジューリング時刻で、ある装置によっ
て処理可能な製品群からなる処理候補製品群を作成し、
工程処理優先度作成手段により処理候補製品群の各処理
候補製品に対し、使用する装置による処理の優先度を表
す工程処理優先度を作成し、次装置処理可能性度作成手
段により、任意のスケジュール時刻で、装置による処理
候補製品群の各処理候補製品の処理を終了した後、各製
品の次工程に使用する装置による処理の可能性を表す次
装置処理可能性度を作成し、処理製品決定手段により、
工程処理優先度作成手段による工程処理優先度および次
装置処理可能性度作成手段による次装置処理可能性度に
基づき、次工程で使用する装置の状態を加味した上で、
現スケジューリング時刻で処理候補製品群の中から装置
に割り付ける製品を特徴する 請求項（２）記載の構成によれば、処理候補製品作成手
段により、現スケジューリング時刻で、ある装置によっ
て処理可能な製品群からなる処理候補製品群を作成し、
次装置処理可能性度作成手段により、任意のスケジュー
ル時刻で、装置による処理候補製品群の各処理候補製品
の処理を終了した後、各製品の次工程に使用する装置に
よる処理の可能性を表す次装置処理可能性度を作成し、
処理製品決定手段により、次装置処理可能性度作成手段
による次装置処理可能性度に基づき、次工程で使用する
装置の状態を加味した上で、現スケジューリング時刻で
処理候補製品群の中から装置に割り付ける製品を決定す
る。

〔実施例〕

この発明の第１および第２の実施例のスケジュール作成
装置をコンピュータを用いた半導体プロセスロットに適
用した例を第１図から第１２図に基づいて説明する。

第１図はこの発明の第１の実施例のスケジュール作成装
置の機能ブロック図、第２図はこの発明の第２の実施例
のスケジュール作成装置の機能ブロック図、第３図はこ
の発明の第１の実施例のスケジュール作成装置を構成す
る処理候補製品群作成手段ｌＯの構成ブロック図、第４
図はこの発明の第２の実施例のスケジュール作成装置を
構成する処理候補製品群作成手段１５の構成ブロック図
、第５図はこの発明の第１の実施例のスケジュール作成
装置を構成する次装置処理可能性度作成手段３０の構成
ブロック図、第６図はこの発明の第２の実施例のスケジ
ュール作成装置を構成する次装置処理可能性度作成手段
３５の構成ブロック図、第７図はこの発明の第１および
第２の実施例のスケジュール作成装置による第１０ツト
情報テーブルの例を示す図、第８図はこの発明の第１お
よび第２の実施例のスケジュール作成装置による第２０
ツト情報テーブルの例を示す図、第９図はこの発明の第
１および第２の実施例のスケジュール作成装置による仮
想第２０ツト情報テーブルの例を示す図、第１０図はこ
の発明の第１および第２の実施例のスケジュール作成装
置による第１装置情報テーブルの例を示す図、第１）図
はこの発明の第１の実施例のスケジュール作成装置によ
る第２装置情報テーブルの例を示す図、第１２図はこの
発明の第２の実施例のスケジュール作成装置による第２
装置情報テーブルの例を示す図である。

以下、この発明の第１の実施例のスケジュール作成装置
を第１図、第３図、第５図および第７図〜第１）図に基
づいて説明する。

第１図はこの発明の第１の実施例のスケジュール作成装
置の機能ブロック図である。

第１図に示すように、スケジュール作成装置は処理候補
製品群作成手段１０と工程処理優先度作成手段２０と次
装置処理可能性度作成手段３０と処理製品決定手段４０
とを備えたものである。

処理候補製品群作成手段１０は、第３図に示すように、
ロフト情報記憶手段１）と装置情報記憶手段１２とロフ
ト状態登録手段１３と処理待ちロフト群作成手段１４と
から構成される。

ロフト情報記憶手段１）は、第７図に示すような、工程
処理条件としてロフト名５２．工程名５３゜使用装置５
４．処理条件５５および処理時間５６のアイテムをルー
コードとした補助記憶上の第１０ツト情報テーブル５１
の全アイテムに、各レコードごとにロットに対する工程
処理条件を登録し、さらに、第８図に示すロット名６２
．処理状態６３゜処理待ち時間６４および使用装置６５
のアイテムをルーコードとした補助記憶上の第２０ツト
情報テーブル６１およびこの第２０ツト情報テーブル６
１と同一構成の第９図に示す補助記憶上の仮想第２０ツ
ト情報テーブル６６のロフト塩６２のアイテムに各レコ
ードごとにロット塩を登録する。

なお、このロフト情報記憶手段１）による第１０ット情
報テーブル５１．第２０ツト情報テーブル６１および仮
想第２０ツト情報テーブル６６のロット塩６２の登録は
ロット数だけ繰り返す。

また、装置情報記憶手段１２は、第１０図に示す装置名
７２．使用開始時間７３および使用終了時間７４のアイ
テムをルーコードとした補助記憶上の第１装置情報テー
ブル７１の全アイテムに、各レコードごとに各装置の連
続使用可能時間帯を登録する。この登録は全装置の連続
使用可能時間帯数だけ繰り返す。

また、ロフト状態登録手段１３は、現スケジューリング
時刻におけるロフト群の状態、すなわち各ロットの処理
状態、処理待ち時間および使用装置を、第８図に示す第
２０ツト情報テーブル６１のロフト塩６２で該当するロ
ットを含むレコードの処理状態６３．処理待ち時間６４
および使用装置６５に登録する。この登録はロット数だ
け繰り返す。

また、処理待ちロフト群作成手段１４は、第８図に示す
第２０ツト情報テーブル６１の処理状態６３が、“待ち
”の状態となっているレコードの使用装置６５およびロ
ット塩６２を、第１）図に示す装置名８２．ロット名８
３．工程処理優先度８４、次装置処理可能性度８５およ
び順位８６のアイテムをルーコードとした補助記憶上の
第２装置情報テーブル８１の装置名８２およびロット塩
８３に登録する。この登録は該当するロット数だけ繰り
返す。

なお、ロット情報記憶手段１）と装置情報記憶手段１２
との実行順序は特に限定されない。

以上、第１図に示す処理候補製品作成手段ｌＯは、第３
図に示すロフト情報記憶手段１）．装置情報記憶手段１
２．ロフト状態登録手段１３および処理待ちロフト群作
成手段１４により構成される。

次に、工程処理優先度作成手段２０（第１図参照。）は
、第８図に示す第２０ツト情報テーブル６１における処
理状態６３が“待ち”状態となっているレコードの処理
待ち時間６４に演算（例えば１０００で除算）を施した
後、この演算を施したレコードのロフト塩６２および使
用装置６５と、第１Ｉ図に示す第２装置情報テーブル８
１の装置名８２およびロット塩８３とが一致したレコー
ドの工程処理優先度８４に演算を施した処理待ち時間６
４を登録する。この登録は該当するロット数だけ繰り返
す。なお、この工程処理優先度作成手段２０により工程
処理優先度８４を作成するときは、例えばロフト自身の
優先度、工程処理時間および生産計画とのずれなどを加
味してもよい。また、演算方法は特に限定しない。

次に、次装置処理可能性度作成手段３０は、第５図に示
すように、シミュレーション手段３１と次装置可能性度
評価手段３２とから構成され、ｌ工程光の装置の状態を
評価する。

以下、この次装置処理可能性度作成手段３ｏを構成する
シミュレーション手段３１および次装置可能性度評価手
段３２について説明する。

シミュレーション手段３１は、装置に割り付は可能なロ
フト群の中から１０ツトずつ順に仮に装置に割り付けて
、スケジューリングをシミュレートし、各装置にロフト
を割り付けたシミュレート結果を導出する。第１）図に
示す第２装置情報テーブル８１の装置名８２が同一であ
るレコードのロ、ット名８３群、すなわち現スケジュー
リング時刻において、ある装置に割り付は可能であるロ
ット泡群の中から１０ツトを仮に抽出し、仮想第２０ツ
ト情報テーブル６６（第９図参照。）のロフト塩６２の
該当するロットを含むレコードの処理状態６３′、処理
待ち時間６４゛および使用装置６５′を、スケジューリ
ングルールを適用することによりそれぞれ更新する。さ
らに仮にロットを割り付けた装置以外で、第２装置情報
テーブル８１に登録されている装置については、仮に装
置に割り付けたロフトの処理が終わるスケジューリング
時刻まで、第２装置情報テーブル８１の工程処理優先度
８４を利用し、スケジューリングルールを適用すること
によって、各装置にロットを割り付け、仮想第２０ツト
情報テーブル６６のロフト塩６２の該当するロットを含
むレコードの処理情報６３°、処理待ち時間６４゛およ
び使用装置６５゜をそれぞれ更新する。

ここで、第９図に示す仮想第２０ツト情報テーブル６６
の処理状態６３′に“待ち“が登録されている場合は、
そのレコードのロフトが装置による処理を待っているこ
とを示し、“処理中″が登録されている場合は、そのレ
コードのロフトが装置によって処理中であることを示す
。また処理待ち時間６４′は、処理状態が“待ち″であ
るロフトが、待ち状態となってからの累計時間である。

使用装置６５″はロットが待っている装置、またはロフ
トを処理中の装置である。また第２０ツト情斡テーブル
６１の各アイテムも同様の意味である。

なお、上記スケジューリングルールは特に限定しないが
、例えば、スケジューリング時刻を進めながら、装置が
処理可能状態であるとともに、この装置による処理を待
っているロフト群の中のロフトで優先度の高いロフトを
装置に割り付けるルールを使用する。

また、次装置可能性度評価手段３２は、装置に割り付は
可能なロフト群の中から１０ツトずつ順に仮に装置に割
りつけてスケジューリングをシミュレートした結果、各
シミュレート毎における該当ロットの次工程の装置によ
る処理の可能性を表す装置処理可能仕度を評価し、シミ
ュレーション手段３１により装置に割り付は可能なロッ
ト群の中から仮に装置に１０ツトを割り付けたスケジュ
ーリングをシミュレートすることにより作成した仮想第
２０ツト情報テーブル６６の処理状態６３′処理待ち時
間６４′および使用装置６５°をもとに、割り付けたロ
フトの次工程の処理可能状態を評価し、第２装置情報テ
ーブル８１の装置名８２のおよびロット塩８３の装置お
よびロフトを含むレコードの次装置処理可能性度８５に
登録する。

すなわち、装置に仮に割り付けたロフトの次工程で使用
する装置がロフト処理可能な状態か否か、また次工程で
使用する装置に対して、どの程度処理を待っているロフ
トがあるかを評価し、次装置可能性度アイテム８５に評
価値として登録する。

この評価値の算出方法は特に限定しないが、例えば、評
価値＝装置状態Ｘ［１／（処理待ちロット数×（ロット
１処理時間十ロット２処理時間士・・・））］　とする
。

但し、上記、評価値の算出式において、装置状態は、第
１装置情報テーブル７１の装置名７２の該当する装置を
含むレコードの使用開始時間７３および使用終了時間７
４により、現シミュレート時刻で該当する装置が使用可
能か否かを判断し、使用可能の場合はｌとし、使用不能
の場合は０とする。また、処理待ちロフト数は該当する
装置に処理待ちのロフトが何ロットあるかを示し、仮想
第２０ツト情報テーブル６６の処理状態６３′が“待ち
″であり、かつ該当する装置と同一の使用装置６５°を
含むレコードが何レコードあるかによって求める（処理
待ちロフトが００場合は分母はｌとする）。またロット
処理時間は、各処理待ちロフトに対して、該当する装置
による処理時間である。なお、この評価値の算出には、
各ロットの工程処理待ち時間などの要因を取り入れても
よい。

そして、シミュレーション手段３１および次装置可能性
度評価手段３２により、仮に割り付けた１０ツトのスケ
ジュールのシミュレートを終了した後、仮想第２０ツト
情報テーブル６６のアイテムである処理状態６３°、処
理待ち時間６４゛および使用装置６５°を更新し、次工
程の処理可能仕度の評価が終了すれば、スケジューリン
グ時刻を現スケジューリング時刻に戻し、仮想第２０ツ
ト情報テーブル６６の各アイテムの値を現スケジューリ
ング時刻の状態に戻す。

このようなシミュレーション手段３１および次装置可能
性度評価手段３２を一つの装置に割り付は可能な処理待
ちロット群の全てのロフトについて繰り返し、各ロフト
を仮に装置に割り付けたときの次工程の処理可能仕度を
それぞれ評価し、第２装置情報テーブル８１の装置名８
２およびロット塩８３の該当する装置およびロットを含
むレコードの次装置処理可能性度アイテム８５に登録す
る。さらに、第２装置情報テーブル８１に登録されてい
る全装置に対して、シミュレーション手段３１および次
装置可能性度評価手段３２を繰り返すことにより各装置
ごとに同様の処理を行い、それぞれの次工程の処理可能
仕度を評価し、第２装置情報テーブル８１の装置名８２
およびロット塩８３の該当する装置およびロフトを含む
レコードの次装置処理可能性度８５に登録する。

なお、シミュレーション手段３】および次装置可能性度
評価手段３２は、ｌ工程光の装置状態ばかりに留まらず
、何工程光の状態を加味してもよい。

以上、第１図に示す次装置処理可能性度作成手段３０は
、シミュレーション手段３１および次装置可能性度評価
手段３２から構成される。

そして、処理製品決定手段４０により、真に装置にロッ
トを割り付ける。第２装置情報テーブル８１の工程処理
優先度８４および次装置処理可能性度８５に演算（例え
ば、加算）を施した結果を評価し、そのロットの割り付
は順位として評価値を順位８６に登録する。なお、この
評価値の算出方法は特に限定しないが、例えば演算値が
大きいものから順位を付ける。そして、最後に現スケジ
ューリング時刻で、処理待ちロフト群の中から真に装置
にロットを割り付ける際には、ｌ工程光の状態を加味し
た第２装置情報テーブル８１の順位８６を評価し、装置
にロフトを割り付ける。

以上のように、この第１の実施例によれば、処理製品決
定手段４０による工程処理優先度８４および次装置処理
可能性度８５の評価結果、すなわち順位８６を用い、ｌ
工程光の装置の状態を加味した上で、現スケジューリン
グ時刻での処理待ちロット群の中から装置に割り付ける
ロフトを決定する。したがって、種々の状況に応じた柔
軟に、かつ最適なスケジューリングを行うことができる
。

次に、この発明の第２の実施例のスケジュール作成装置
を第２図、第４図、第６図、第７図〜第１０図および１
２１に基づいて説明する。但し、第１の実施例と異なる
部分のみ明記する。

第２図はこの発明の第２の実施例のスケジューリング作
成装置の機能ブロック図である。

第２図に示すように、スケジューリング作成装置は、処
理候補製品群作成手段１５と次装置処理可能性度作成手
段３５と処理製品決定手段４５とを備えたものである。

処理候補製品群作成手段１５は、第４図に示すロフト情
報記憶手段１）．装置情報記憶手段＋２゜ロット状態登
録手段１３および処理待ちロット群作成手段】６から構
成される。二〇ロット情報記憶手段１）．装置情報記憶
手段１２およびロット状態登録手段Ｉ３は、第１の実施
例と同様である。

処理待ちロット群作成手段１６は、第８図に示す第２０
ツト情報テーブル６１の処理状態６３が“待ち”状態と
なっているレコードの使用装置６５およびロット塩６２
を、第１２図に示す装置名９２゜ロット名９３２次装置
処理可能性度９５および順位９６のアイテムをルコード
とした補助記憶上の第２装置情報テーブル９１の装置名
９２およびロット塩９３に登録する。この登録は該当す
るロフト数だけ繰り返す。

次に、次装置処理可能性度評価手段３５は、第６図に示
すシミュレーション手段３６および次装置可能性度評価
手段３７から構成され、ｌ工程先の装置の状態を評価す
る。以下、この次装置処理可能性度作成手段３５を構成
するシミュレーション手段３６および次装置可能性度評
価手段３７について説明する。

第６図に示すシミュレーション手段３６は、装置に割り
付は可能なロフト群の中から１０・ットずつ順に装置に
仮に割り付けてスケジューリングをシミュレートし、各
装置にロットを割り付けたシミュレート結果を導出する
。第１２図に示す第２装置情報テーブル９１の装置名９
２が同一であるレコードのロット名９３群、すなわち現
スケジューリング時刻において、ある装置に割り付は可
能なロット群の中から１０ツトを仮に抽出し、仮想第２
０ツト情報テーブル６６のロット塩６２゛　の該当する
ロフトを含むレコードの処理状態６３′処理待ち時間６
４゛および使用装置６５′をスケジューリングルールを
適用することによってそれぞれ更新する。さらに仮にロ
ットを割り付けた装置以外の第２装置情報テーブル９１
に登録されている装置について、装置に仮に割り付けた
ロットの処理が終わるスケジューリング時刻まで、スケ
ジューリングルールを適用することによって各装置にロ
ットを割り付け、仮想第２０ツト情報テーブル６６のロ
ット塩６２′の該当するロットを含むレコードの処理状
態６３′、処理待ち時間６４′および使用装置６５゛　
をそれぞれ更新する。

なお、上記スケジューリングルールは特に限定しないが
、例えばスケジューリング時刻を進めながら、装置が処
理可能状態であるとともに、その装置の処理を待ってい
るロフト群の中で優先度の高いロットを装置に割り付け
るルールを使用する。

また、次装置可能性度評価手段３７は、装置に割り付は
可能なロフト群の中から１０ツトずつ順に仮に装置に割
りつけてスケジューリングをシミュレートした結果、各
シミュレート毎における該当ロットの次工程の装置によ
る処理可能性度を評価する。シミュレーション手段３６
により装置に割り付は可能なロット群の中から仮に装置
に１０ツトを割り付けたスケジューリングをシミュレー
トすることにより作成した仮想第２０ツト情報テーブル
６６の処理状態６３′、処理待ち時間６４゜および使用
装置６５′をもとに、割り付けたロットの次工程の処理
可能性度を評価し、第２装置情報テーブル９１の装置名
９２のおよびロット塩９３の装置およびロットを含むレ
コードの次装置処理可能性度９５に登録する。すなわち
、装置に仮に割り付けたロフトの次工程で使用する装置
がロット処理可能な状態か否か、また次工程て使用する
装置に対して、との程度処理を待っているロフトがある
かを評価し、次装置可能性度アイテム９５に評価値とし
て登録する。

この評価値の算出方法は特に限定しないが、例えば、評
価値＝装置状態Ｘ　［１／　（処理待ちロット数×（ロ
ットｌ処理時間十ロット２処理時間十・・・））］　と
する。

但し、上記、評価値の算出式において、装置状態は、第
１装置情報テーブル７１の装置名７２の該当する装置を
含むレコードの使用開始時間７３および使用終了時間７
４により、現シミュレート時刻で該当する装置が使用可
能か否かを判断し、使用可能の場合はｌとし、使用不能
の場合はＯとする。また、処理待ちロット数は該当する
装置に処理待ちのロットが何ロットあるかを示し、仮想
第２０ツト情報テーブル６６の処理状態６３′が“待ち
”であり、かつ該当する装置と同一の使用装置６５′を
含むレコードが何レコードあるかによって求める（処理
待ちロフトが０の場合は分母はｌとする）。またロット
処理時間は、各処理待ちロフトに対して、該当する装置
による処理時間である。なお、この評価値の算出には、
各ロットの工程処理待ち時間などの要因を取り入れても
よい。

そして、シミュレーション手段３６および次装置可能性
度評価手段３７により、仮に割り付けた１０ツトのスケ
ジュールのシミュレートが終わり仮想第２０ツト情報テ
ーブル６６のアイテムである処理状態６３°、処理待ち
時間６４”および使用装置６５′を更新し、次工程の処
理可能性度の評価が終了すれば、スケジューリング時刻
を現スケジューリング時刻に戻し、仮想第２０ット情報
テーブル６６の各アイテムの値を現スケジューリング時
刻の状態に戻す。

このようにシミュレーション手段３６および次装置可能
性度評価手段３７を一つの装置に割り付は可能な処理待
ちロット群の全てのロフトについて繰り返し、各ロット
を仮に装置に割り付けたときの次工程の処理可能性度を
それぞれ評価し、第２装置情報テーブル９１の装置名９
２およびロット塩９３の該当する装置およびロットを含
むレコードの次装置処理可能性度９５に登録する。さら
に、第２装置情報テーブル９１に登録されている全装置
に対して、シミュレーション手段３６および次装置可能
性度評価手段３７を繰り返すことにより各装置ごとに同
様の処理を行い、それぞれの次工程の処理可能性度を評
価し、第２装置情報テーブル９Ｉの装置名９２およびロ
ット塩９３の該当する装置およびロフトを含むレコード
の次装置処理可能性度９５に登録する。

なお、シミュレーション手段３６および次装置可能性度
評価手段３７は、ｌ工程光の装置状態ばかりに留まらず
、何工程光の状態を加味してもよい。

以上、第２図に示す次装置処理可能性度作成手段３５は
、シミュレーション手段３６および次装置可能性度評価
手段３７から構成される。

そして、処理製品決定手段４５により、真に装置にロッ
トを割り付ける。第２装置情報テーブル９１の次装置処
理可能性度９５を評価し、そのロフトの割り付は順位と
して評価値を順位アイテム９６に登録する。なお、評価
方法は特に限定しないが、例えば値が大きいものから順
位を付ける。

そして、最後に現スケジューリング時刻で、処理待ちロ
フト群の中から真に装置にロットを割り付ける際には、
ｌ工程光の状態を基にした第２装置情報テーブル９１の
順位９６を評価し、ロットを装置に割り付ける。

以上、この第２の実施例によれば、処理製品決定手段４
５により次装置処理可能性度の評価結果を用い、ｌ工程
光の装置の状態を基に、現スケジューリング時刻での処
理待ちロット群の中から装置に割り付けるロフトを決定
する。したがって、種々の状況に応じた柔軟に、かつ最
適なスケジューリングを行うことができる。

なお、第１および第２の実施例において、各テーブルの
記憶手段として補助記憶装置を用いたが、主記憶装置を
用いてもよい。またテーブルの代わりにリスト構造を用
いた記憶手段を用いてもよい。

〔発明の効果〕

請求項（１ン記載のスケジュール作成装置によれば、工
程処理優先度作成手段により作成した工程処理優先度す
なわち使用する装置による各工程の優先度および次装置
処理可能性度作成手段により作成した次装置処理可能性
度すなわち各製品の次工程に使用する装置による処理の
可能性に基づき、次工程で使用する装置の状態を加味し
た上で、処理製品決定手段により、現スケジューリング
時刻で処理候補製品群の中から装置に割り付ける製品を
決定する。したがって、種々の状況に応じ、柔軟かつ最
適なスケジューリングを行うことができ、その実用的効
果は大きい。

請求項（２）記載のスケジュール作成装置によれば、次
装置処理可能性度作成手段により作成した次装置処理可
能性度すなわち各製品の次工程に使用する装置による処
理の可能性に基づき、次工程で使用する装置の状態を加
味した上で、処理製品決定手段により、現スケジューリ
ング時刻で処理候補製品群の中から装置に割り付ける製
品を決定する。

したがって、種々の状況に応じ、柔軟かつ最適なスケジ
ューリングを行うことができ、その実用的効果は大きい
。

【図面の簡単な説明】

第１図はこの発明の第１の実施例のスケジュール作成装
置の機能ブロック図、第２図はこの発明の第２の実施例
のスケジュール作成装置の機能ブロック図、第３図はこ
の発明の第１の実施例のスケジュール作成装置を構成す
る処理候補製品群作成手段１０の構成ブロック図、第４
図はこの発明の第２の実施例のスケジュール作成装置を
構成する処理候補製品群作成手段１５の構成ブロック図
、第５図はこの発明の第１の実施例のスケジュール作成
装置を構成する次装置処理可能性度作成手段３０の構成
ブロック図、第６図はこの発明の第２の実施例のスケジ
ュール作成装置を構成する次装置処理可能性度作成手段
３５の構成ブロック図、第７図はこの発明の第１および
第２の実施例のスケジュール作成装置による第１ロツト
情報テーブルの例を示す図、第８図はこの発明の第１お
よび第２の実施例のスケジュール作成装置による第２０
ツト情報テーブルの例を示す図、第９図はこの発明の第
１および第２の実施例のスケジュール作成装置による仮
想第２０ツト情報テーブルの例を示す図、第１０図はこ
の発明の第１および第２の実施例のスケジュール作成装
置による第１装置情報テーブルの例を示す図、第１）図
はこの発明の第１の実施例のスケジュール作成装置によ
る第２装置情報テーブルの例を示す図、第１２図はこの
発明の第２の実施例のスケジュール作成装置による第２
装置情報テーブルの例を示す図、第１３図は従来のスケ
ジュール作成装置の機能ブロック図である。 １０．１５・・・処理候補製品群作成手段、２ｏ・・・
工程処理優先度作成手段、３０．３５・・・次装置処理
可能性度作成手段、４０．４５・・・処理製品決定手段 第 図 第 図 第 図 第 図 区 ｕｌ 味 区 滌 区 Ｎ 味 第 図 第 図 第 １０図 箇

Claims (2)

【特許請求の範囲】
1. （１）各工程に使用する各装置により複数の製品を処理
   する生産ラインにおいて、現スケジューリング時刻で、
   ある装置によって処理可能な製品群からなる処理候補製
   品群を作成する処理候補製品群作成手段と、前記処理候
   補製品群の各処理候補製品に対する前記装置による処理
   の優先度を表す工程処理優先度を作成する工程処理優先
   度作成手段と、任意のスケジュール時刻で、前記装置に
   より前記処理候補製品群の各処理候補製品の処理を終了
   した後、各製品の次工程に使用する装置による処理の可
   能性を表す次装置処理可能性度を作成する次装置処理可
   能性度作成手段と、前記工程処理優先度作成手段による
   工程処理優先度および前記次装置処理可能性度作成手段
   による次装置処理可能性度に基づいて、現スケジューリ
   ング時刻で前記処理候補製品群の中から前記装置に割り
   付ける製品を決定する処理製品決定手段とを備えたスケ
   ジュール作成装置。
2. （２）各工程に使用する各装置により複数の製品を処理
   する生産ラインにおいて、現スケジューリング時刻で、
   ある装置によって処理可能な製品群からなる処理候補製
   品群を作成する処理候補製品群作成手段と、任意のスケ
   ジュール時刻で、前記装置により前記処理候補製品群の
   各処理候補製品の処理を終了した後、各製品の次工程に
   使用する装置による処理の可能性を表す次装置処理可能
   性度を作成する次装置処理可能性度作成手段と、この次
   装置処理可能性度作成手段による次装置処理可能性度に
   基づいて、現スケジューリング時刻で前記処理候補製品
   群の中から前記装置に割り付ける製品を決定する処理製
   品決定手段と備えたスケジュール作成装置。