JPH0574671A - 処理条件データの設定支援方法 - Google Patents
処理条件データの設定支援方法Info
- Publication number
- JPH0574671A JPH0574671A JP23811891A JP23811891A JPH0574671A JP H0574671 A JPH0574671 A JP H0574671A JP 23811891 A JP23811891 A JP 23811891A JP 23811891 A JP23811891 A JP 23811891A JP H0574671 A JPH0574671 A JP H0574671A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- condition data
- processing condition
- semiconductor manufacturing
- processing
- input
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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- Management, Administration, Business Operations System, And Electronic Commerce (AREA)
- General Factory Administration (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】半導体製造装置に処理条件データ（レシピ）を
正確に設定する手段を提供する。 【構成】半導体製造装置１と工程ごとに設置されている
工程内コンピュータ２が、オンラインで結ばれる。工程
内コンピュータ２には入出力用端末３があり、半導体製
造装置１の近くに設置される。工程内コンピュータ２は
ホストコンピュータ４とオンラインで結ばれる。ホスト
コンピュータ４には、現在仕掛かっているウェハーの進
捗情報が格納されている進捗データベース５と、各半導
体製造装置において処理を行うために必要な処理条件デ
ータが格納されているマスタレシピデータベース６が存
在している。 【効果】半導体製造装置の近くに設置された入出力端末
からウェハー識別コードを入力するだけで、間違った処
理条件データが設定されることがなくなる。
正確に設定する手段を提供する。 【構成】半導体製造装置１と工程ごとに設置されている
工程内コンピュータ２が、オンラインで結ばれる。工程
内コンピュータ２には入出力用端末３があり、半導体製
造装置１の近くに設置される。工程内コンピュータ２は
ホストコンピュータ４とオンラインで結ばれる。ホスト
コンピュータ４には、現在仕掛かっているウェハーの進
捗情報が格納されている進捗データベース５と、各半導
体製造装置において処理を行うために必要な処理条件デ
ータが格納されているマスタレシピデータベース６が存
在している。 【効果】半導体製造装置の近くに設置された入出力端末
からウェハー識別コードを入力するだけで、間違った処
理条件データが設定されることがなくなる。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、半導体製造装置におけ
る処理条件データの設定支援方法に関する
る処理条件データの設定支援方法に関する
【０００２】
【従来の技術】従来、特に前工程とよばれるウェハープ
ロセス工程において、図２に示すように、処理を行う半
導体製造装置１ごとに処理のための処理条件データを登
録（記憶）しておく外部記憶装置７が設けられていて、
作業者は処理を行うウェハーと共に流動されてくる作業
指示書にもとづいて、必要な処理条件データを装置１に
付属の入力装置（多くの場合キーボード）にて選択し、
装置１ではそれにもとづいて装置１ごとに設けられてい
る外部記憶装置７から装置本体１に必要な処理条件デー
タが送り込まれ、装置１で処理を行うための設定を行っ
ていた。
ロセス工程において、図２に示すように、処理を行う半
導体製造装置１ごとに処理のための処理条件データを登
録（記憶）しておく外部記憶装置７が設けられていて、
作業者は処理を行うウェハーと共に流動されてくる作業
指示書にもとづいて、必要な処理条件データを装置１に
付属の入力装置（多くの場合キーボード）にて選択し、
装置１ではそれにもとづいて装置１ごとに設けられてい
る外部記憶装置７から装置本体１に必要な処理条件デー
タが送り込まれ、装置１で処理を行うための設定を行っ
ていた。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】しかし前述の従来技術
では、工場内に多数存在する半導体製造装置ごとにそれ
ぞれ処理をおこなうための処理条件データ（レシピ）が
多数登録（記録）されており、作業者による作業指示書
にもとづいた処理条件データ設定といった人手を介した
作業なため、間違った処理条件データ（レシピ）が選択
・設定されてしまう可能性があり、その場合、間違った
処理条件データ（レシピ）により処理されたウェハーは
当然不良品となってしまい、通常、ロット単位で流動す
るウェハー群のすべてが使い物にならなくなってしまう
ためその被害は極めて大きい。また、間違った処理条件
データ（レシピ）を選択・設定しないように気を付ける
ことは、作業者にとって負荷となる。さらに、多数の処
理条件データを管理する管理者にとって、例えば処理条
件の変更に伴う処理条件データの更新作業は、困難を伴
う作業となる。特にそれが複数の装置にまたがる場合に
は一層困難となる。
では、工場内に多数存在する半導体製造装置ごとにそれ
ぞれ処理をおこなうための処理条件データ（レシピ）が
多数登録（記録）されており、作業者による作業指示書
にもとづいた処理条件データ設定といった人手を介した
作業なため、間違った処理条件データ（レシピ）が選択
・設定されてしまう可能性があり、その場合、間違った
処理条件データ（レシピ）により処理されたウェハーは
当然不良品となってしまい、通常、ロット単位で流動す
るウェハー群のすべてが使い物にならなくなってしまう
ためその被害は極めて大きい。また、間違った処理条件
データ（レシピ）を選択・設定しないように気を付ける
ことは、作業者にとって負荷となる。さらに、多数の処
理条件データを管理する管理者にとって、例えば処理条
件の変更に伴う処理条件データの更新作業は、困難を伴
う作業となる。特にそれが複数の装置にまたがる場合に
は一層困難となる。
【０００４】本発明は、このような問題点を解決するも
ので、その目的とするところは、人手を介さずに正確に
半導体製造装置に処理条件データ（レシピ）を設定する
手段（方法）を提供するところにある。
ので、その目的とするところは、人手を介さずに正確に
半導体製造装置に処理条件データ（レシピ）を設定する
手段（方法）を提供するところにある。
【０００５】
【課題を解決するための手段】本発明の処理条件データ
の設定支援方法は、半導体製造装置において処理を行う
ために必要な処理条件データを、装置とオンラインで接
続されたコンピュータから直接転送する手段を備えてい
ることを特徴とする。
の設定支援方法は、半導体製造装置において処理を行う
ために必要な処理条件データを、装置とオンラインで接
続されたコンピュータから直接転送する手段を備えてい
ることを特徴とする。
【０００６】
【実施例】以下に、本発明の実施例を図面をもとに説明
する。図１において、半導体製造装置１と工程ごとに設
置されている工程内コンピュータ２が、オンラインで結
ばれている。工程内コンピュータ２には入出力用端末３
があり、半導体製造装置１の近くに設置されている。工
程内コンピュータ２はホストコンピュータ４とオンライ
ンで結ばれている。そのホストコンピュータ４には、現
在仕掛かっているウェハーの進捗情報が格納されている
進捗データベース５と、各半導体製造装置において処理
を行うために必要な処理条件データが格納されているマ
スタレシピデータベース６が存在している。
する。図１において、半導体製造装置１と工程ごとに設
置されている工程内コンピュータ２が、オンラインで結
ばれている。工程内コンピュータ２には入出力用端末３
があり、半導体製造装置１の近くに設置されている。工
程内コンピュータ２はホストコンピュータ４とオンライ
ンで結ばれている。そのホストコンピュータ４には、現
在仕掛かっているウェハーの進捗情報が格納されている
進捗データベース５と、各半導体製造装置において処理
を行うために必要な処理条件データが格納されているマ
スタレシピデータベース６が存在している。
【０００７】作業者は、半導体製造装置１にこれから処
理を行うウェハーをセットした後、そのウェハーを識別
するコードを、半導体製造装置１の近くに設置されてい
る入出力用端末３より入力する。この時の入力方法とし
ては、バーコード等を利用した簡易入力方法が用いられ
る。これにより、工程内コンピュータ２はホストコンピ
ュータ４に対し、入出力用端末３から入力されたウェハ
ー識別コード対する処理条件データの要求を行う。その
要求に応じて、ホストコンピュータ４ではまずウェハー
識別コードをキーに進捗データベース５より、現在の仕
掛かり工程情報を検索する。ここで得られた仕掛かり工
程情報の中から、処理条件データを検索するのに必要な
レシピ番号を得る。次に、このレシピ番号をキーにマス
タレシピデータベース６より、必要な処理条件データを
検索する。ホストコンピュータ４にて、このようにして
得られた処理条件データを工程内コンピュータ２を介し
て半導体製造装置１に転送する。処理条件データが転送
された半導体製造装置１は、これでいつでも処理が開始
できる状態となる。
理を行うウェハーをセットした後、そのウェハーを識別
するコードを、半導体製造装置１の近くに設置されてい
る入出力用端末３より入力する。この時の入力方法とし
ては、バーコード等を利用した簡易入力方法が用いられ
る。これにより、工程内コンピュータ２はホストコンピ
ュータ４に対し、入出力用端末３から入力されたウェハ
ー識別コード対する処理条件データの要求を行う。その
要求に応じて、ホストコンピュータ４ではまずウェハー
識別コードをキーに進捗データベース５より、現在の仕
掛かり工程情報を検索する。ここで得られた仕掛かり工
程情報の中から、処理条件データを検索するのに必要な
レシピ番号を得る。次に、このレシピ番号をキーにマス
タレシピデータベース６より、必要な処理条件データを
検索する。ホストコンピュータ４にて、このようにして
得られた処理条件データを工程内コンピュータ２を介し
て半導体製造装置１に転送する。処理条件データが転送
された半導体製造装置１は、これでいつでも処理が開始
できる状態となる。
【０００８】
【発明の効果】本発明の処理条件データの設定支援方法
は以上説明したように、半導体製造装置の近くに設置さ
れた入出力端末からウェハー識別コードを入力するだけ
で半導体製造装置に処理条件データが設定されるため、
間違った処理条件データが設定されることがなくなる。
これにより、処理条件データの設定間違いによる不良ウ
ェハーの発生を完全に防止することができる。また、作
業自体も極めて簡単であるため、ウェハー製造作業を直
接行う作業者の作業負荷の低減となる。更に、処理条件
データを管理する管理者にとって、処理条件データを変
更・修正する場合にホストコンピュータのマスタレシデ
ータベースのみを変更・更新するだけで良いため、確実
にその変更・修正が行える。
は以上説明したように、半導体製造装置の近くに設置さ
れた入出力端末からウェハー識別コードを入力するだけ
で半導体製造装置に処理条件データが設定されるため、
間違った処理条件データが設定されることがなくなる。
これにより、処理条件データの設定間違いによる不良ウ
ェハーの発生を完全に防止することができる。また、作
業自体も極めて簡単であるため、ウェハー製造作業を直
接行う作業者の作業負荷の低減となる。更に、処理条件
データを管理する管理者にとって、処理条件データを変
更・修正する場合にホストコンピュータのマスタレシデ
ータベースのみを変更・更新するだけで良いため、確実
にその変更・修正が行える。
【図１】本発明の処理条件データの設定支援方法の構成
図である。
図である。
【図２】従来の処理条件データの設定を行うための構成
図である。
図である。
【符号の説明】 １ 半導体製造装置 ２ 工程内コンピュータ ３ 入出力用端末 ４ ホストコンピュータ ５ 進捗データベース ６ マスタレシピデータベース ７ 処理条件データ保持用外部記憶装置
Claims (1)
- 【請求項１】半導体製造装置において処理を行うために
必要な処理条件データを、装置とオンラインで接続した
コンピュータから直接転送する手段を備えていることを
特徴とする処理条件データの設定支援方法
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP23811891A JPH0574671A (ja) | 1991-09-18 | 1991-09-18 | 処理条件データの設定支援方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP23811891A JPH0574671A (ja) | 1991-09-18 | 1991-09-18 | 処理条件データの設定支援方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0574671A true JPH0574671A (ja) | 1993-03-26 |
Family
ID=17025452
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP23811891A Pending JPH0574671A (ja) | 1991-09-18 | 1991-09-18 | 処理条件データの設定支援方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0574671A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6000830A (en) * | 1997-04-18 | 1999-12-14 | Tokyo Electron Limited | System for applying recipe of semiconductor manufacturing apparatus |
-
1991
- 1991-09-18 JP JP23811891A patent/JPH0574671A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6000830A (en) * | 1997-04-18 | 1999-12-14 | Tokyo Electron Limited | System for applying recipe of semiconductor manufacturing apparatus |
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