JPH0582406A - 作業順設定装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】 半導体装置生産管理システムにおいて、作業
順の設定ミスの有無をクリーン度の面からチェックでき
るようにする。 【構成】 製造装置又はその機種毎にクリーン度を設定
するクリーン度登録手段と、作業フロー設定手段と、設
定された作業順が必要な設定クリーン度のランクに基づ
くルールを満たしているか否かを照合する照合部と、照
合結果が満たしているというものであれば設定された作
業順を登録する作業フロー登録手段と、照合結果が上記
ルールを満たしていないものであれば修正指示する修正
指示手段を設ける。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、作業順設定装置、特に
半導体装置を製造する作業順が設定されるときその設定
の誤りの有無をクリーン度の面からチェックすることの
できる作業順設定装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】半導体装置の製造は一つの生産システム
（生産ライン）に多数の半導体ウエハを製造ロット単位
で流して数十から数百の多数の作業を行うことにより行
われ、行う作業の数、順序、各作業の作業条件は製造し
ようとする半導体装置の品種によって異なる。この半導
体装置の品種によって異なる一連の作業はプロセスと称
され、各プロセスには、例えばプロセス００１、プロセ
ス００２というように認識番号が与えられている。

【０００３】そして、半導体装置の製造は、作業担当者
（以下「作業者」という）に対して作業指示を行う装置
（コンピュータ端末）を設け各装置をコンピュータによ
り制御する生産管理システムを用いて行われるのが普通
である。そして、半導体装置を製造する場合の一連の作
業の作業順は、設計者により設定され、設計者用の端末
を操作することにより生産管理システムのホストコンピ
ュータにより制御されるデータベースに登録するように
なっている。

【０００４】

【発明が解決しようとする課題】ところで、設計者によ
る作業順にはミスが生じることが少なくない。特に、試
作、研究の場合に作業順のミスが生じ易い。というの
は、試作が終り量産に入る場合には作業順について何度
も入念なチェックを重ねるが、試作や研究のために半導
体ウェハを生産ラインに流す場合は作業順のチェックに
は、量産化の場合のように大きなエネルギーを注ぐこと
が許されない。そのため、例えば拡散前に行わなければ
ならないエッチング工程を忘れてしまい大量の不良品が
出て試作に失敗するということが少なくなかった。

【０００５】また、作業順の設定ミスにより、内部に入
れるロットのクリーン度がある程度以上であることが要
求されている謂わばクリーン工程を行う装置の内部に誤
ってクリーン度が低いロットが入れられて作業され、そ
の装置がそのクリーン度の低いロットにより汚染されて
クリーン度が低下してしまい他のロットに対しての汚染
源となってしまうということも生じた。これは、単に作
業順設定ミスに係るロットだけでなく、他のロットをも
不良にしてしまう虞れがある。

【０００６】本発明はこのような問題点を解決すべく為
されたものであり、半導体装置を製造する作業順の設定
ミスの有無についてクリーン度の面からチェックできる
ようにすることを目的とする。

【０００７】

【課題を解決するための手段】本発明作業順設定装置
は、製造装置又はその機種毎にクリーン度を設定するク
リーン度登録手段と、作業順を設定する作業フロー設定
手段と、設定された作業順が前記クリーン度のランクを
基に設定されたルールを満たしているか否かを照合する
照合部と、照合結果が該ルールを満たしているというも
のであれば設定された作業順を登録する作業フロー登録
手段と、照合結果が該ルールを満たしていないものであ
れば修正指示する修正指示手段と、からなることを特徴
とする。

【０００８】

【実施例】以下、本発明作業順設定装置を図示実施例に
従って詳細に説明する。図面は本発明作業順設定装置の
一つの実施例を示すもので、図１は構成図、図２は機能
ブロック図である。

【０００９】図面において、１はホストコンピュータ
で、生産管理に必要なデータベースの集中管理を行う。
２は設計者用端末で、半導体装置の製造のための一連の
作業の作業順、各作業の作業条件等の各種設定を行うも
のであるが、その設定の種類の一つに、作業を行う各装
置それぞれにクリーン度を設定するクリーン度設定があ
る。このクリーン度設定については後で詳述する。

【００１０】３ａ、３ｂは作業指示端末であり、図面で
は作業指示端末の数が２個しか示されていないが、クリ
ーンルーム内の各作業を行う製造装置４（４ａ、４ｂ、
…と多数あるが、図面では４ａ、４ｂのみ示す）に対し
て１個ずつ設けられている。作業指示端末３ａ、３ｂ、
…は基本的には各作業の作業者（オペレータ）に対する
作業条件の表示、製造ロットの搬送の案内を行うもので
あるが、作業者が各種表示要求をしたり、測定データを
入力したりすることもできる。

【００１１】５はホストコンピュータにより管理される
作業フロー登録手段で、設計者用端末２の操作により設
定された作業順を登録する。６はホストコンピュータ１
により管理されるクリーン度登録手段で、作業を行う各
製造装置４に対してクリーン度のランク付けが設定され
たときその設定されたクリーン度のランクを登録する。
７はその他のデータベースファイルである。

【００１２】図２は本作業順設定装置の機能ブロック図
である。８は作業フロー設定手段で、設計者用端末２の
操作により作業順及び各作業の条件が入力されるとそれ
を一時的に記憶する。９は照合部で、作業フロー設定手
段８に作業順が設定されたとき、クリーン度登録手段６
からクリーン度のランクを読み出し、作業フロー設定手
段８において設定された作業がクリーン度に関するルー
ルを満たしているか否かを判断する。

【００１３】そして、満たしているという判断結果が得
られた時は作業フロー設定手段８において設定された作
業順が作業フロー登録手段５に登録される。１０は修正
指示手段で、照合部９による判断結果が、ルールを満た
していないというものであるときは設定作業順の修正を
指示するものである。この指示は設計者用端末２のディ
スプレイによる表示により行われる。

【００１４】次に、動作を説明する。先ず、半導体装置
の製造のための作業を行う各製造装置４ａ、４ｂ、…の
情報をデータベースに書き込むが、そのときにクリーン
度のランクをフラグの形で書き込む。そのフラグは、例
えば、作業がクリーン工程に該当し、入るロットがクリ
ーンにされていることが必要な場合には「２」、作業が
ロットをクリーン工程の直前に通過する工程のものであ
る場合には「１」、それ以外の場合は「０」というよう
に設定される。このように設定されたクリーン度を登録
するものがクリーン度登録手段６である。

【００１５】次に、半導体装置を製造する一連の作業の
作業順を設計者用端末２の操作により入力する。このと
き、作業を行う製造装置も設定する。すると、入力に応
じて作業順が順次作業フロー設定手段８に書き込まれ
る。作業順が出来たら設計者はその作業順のデータベー
スファイルへの登録を要求する。

【００１６】すると、照合部９はクリーン度の面からそ
の作業順がルールに合致しているか否かを判断する。図
３はこの照合動作を説明するフローチャートである。登
録要求がかかると当該装置のクリーン度のフラグが
“２”か否かが判断される。この判断結果がＮｏの場合
には、即ち当該装置がクリーン工程を行うものでない場
合には合格という判断結果が得られる。即ち、クリーン
工程を行うものではない場合にはクリーン度の面から特
に問題はないから合格にするのである。

【００１７】クリーン度のランクを示すフラグが“２”
か否かの判断の結果がＹｅｓならば、即ち当該装置がク
リーン工程を行うものであれば次に当該装置の前の作業
を行う装置のクリーン度のランクを示すフラグが“０”
でないかどうかが判断される。そして、その判断でＹｅ
ｓという結果が得られたとき（フラグが“０”でないと
き）は、前の装置がクリーン工程の装置かクリーン工程
前の装置であるので合格という判断結果を出す。逆に、
Ｎｏという判断結果が得られたとき（フラグが“０”の
とき）は前の装置がクリーン工程前の装置ではないの
で、当該装置がロットにより汚染される可能性が大きい
といえ、従って不合格という判断結果を出す。

【００１８】そして、合格の場合には、作業フロー設定
手段８に一時的に記憶された作業順が作業フロー登録手
段５によりデータベースとして登録される。また、不合
格の場合には、作業順に誤りがあることと、その誤りの
ある箇所とが設計者用端末のディスプレイにより表示さ
れる。設計者はその指示に従って誤りを修正し、再度作
業順を設定した上で登録要求をする。修正が間違いなく
行われていれば、今度は作業フロー登録手段５に作業順
が登録されることになる。

【００１９】従って、本作業順設定装置によれば、クリ
ーン工程を行う装置に、クリーン工程前に行うべき作業
の装置以外の装置からのロットがくるような誤った作業
順が設定されたときその修正を指示することができる。
依って、クリーン工程を行う装置がクリーン度の低いロ
ットにより汚染されるという虞れ、ロットがクリーン度
の面から誤った作業順によって不良になるという虞れが
なくなる。尚、クリーン度は装置毎に行っても良いが、
同じような作業を行う装置毎にグループに分け、グルー
プ毎にクリーン度のランクを設定するようにしても良い
し、また装置の機種毎にクリーン度を設定するようにし
ても良い。

【００２０】

【発明の効果】本発明作業順設定装置は、半導体装置製
造装置又はその機種毎にクリーン度のランクを設定する
クリーン度登録手段と、半導体装置を製造するための作
業順を設定する作業フロー設定手段と、該作業フロー設
定手段により設定された作業順が前記クリーン度のラン
クを基に予め設定されたルールを満たしているか否かを
照合する照合部と、該照合部により該ルールを満たして
いるという照合結果が得られたとき上記設定された作業
順を登録する作業フロー登録手段と、上記照合部により
上記ルールを満たしていないという照合結果が得られた
とき上記作業順の設定のやり直しを指示する修正指示手
段と、を有することを特徴とするものである。従って、
本発明作業順設定装置によれば、クリーン度の面から作
業順に設定ミスがあるときはその作業順の作業フロー登
録手段への登録をせず作業順の設定のやり直しを指示す
ることができる。依って、クリーン工程を行う装置がク
リーン度の低いロットにより汚染されるという虞れ、ロ
ットがクリーン度の面から誤った作業順によって不良に
なるという虞れをなくすことができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明作業順設定装置の一つの実施例を示す構
成図である。

【図２】上記実施例の機能ブロック図である。

【図３】上記実施例における照合動作を示すフローチャ
ートである。

【符号の説明】

５ 作業フロー登録手段 ６ クリーン度登録手段 ８ 作業フロー設定手段 ９ 照合部 １０ 修正指示手段

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 半導体装置製造装置又はその機種毎にク
   リーン度のランクを設定するクリーン度登録手段と、 半導体装置を製造するための作業順を設定する作業フロ
   ー設定手段と、 上記作業フロー設定手段により設定された作業順が前記
   クリーン度のランクを基に予め設定されたルールを満た
   しているか否かを照合する照合部と、 上記照合部により上記ルールを満たしているという照合
   結果が得られたとき上記設定された作業順を登録する作
   業フロー登録手段と、 上記照合部により上記ルールを満たしていないという照
   合結果が得られたとき上記作業順の設定のやり直しを指
   示する修正指示手段と、 を有することを特徴とする作業順設定装置