JP3227736B2 - 作業内容切換指示装置 - Google Patents
作業内容切換指示装置Info
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Classifications
-
- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y02—TECHNOLOGIES OR APPLICATIONS FOR MITIGATION OR ADAPTATION AGAINST CLIMATE CHANGE
- Y02P—CLIMATE CHANGE MITIGATION TECHNOLOGIES IN THE PRODUCTION OR PROCESSING OF GOODS
- Y02P90/00—Enabling technologies with a potential contribution to greenhouse gas [GHG] emissions mitigation
- Y02P90/02—Total factory control, e.g. smart factories, flexible manufacturing systems [FMS] or integrated manufacturing systems [IMS]
-
- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y02—TECHNOLOGIES OR APPLICATIONS FOR MITIGATION OR ADAPTATION AGAINST CLIMATE CHANGE
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- Y02P90/00—Enabling technologies with a potential contribution to greenhouse gas [GHG] emissions mitigation
- Y02P90/30—Computing systems specially adapted for manufacturing
Landscapes
- Multi-Process Working Machines And Systems (AREA)
- General Factory Administration (AREA)
- Management, Administration, Business Operations System, And Electronic Commerce (AREA)
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、作業内容切換指示装
置、特にコンピュータによる生産管理システムにおいて
作業条件の変更指令が為された場合、各製造ロットに対
して作業内容を正しく指示する作業内容切換指示装置に
関する。
置、特にコンピュータによる生産管理システムにおいて
作業条件の変更指令が為された場合、各製造ロットに対
して作業内容を正しく指示する作業内容切換指示装置に
関する。
【０００２】
【従来の技術】半導体装置はそれぞれのその型式に応じ
て一定の順序に従っての多数（数百）の作業を経て製造
され、その製造は例えば半導体ウェハの段階では例えば
２５乃至５０枚程度のウェハからなる製造ロット単位で
の製造管理の下で行われる。そして、半導体ウェハに対
する製造ロットでの生産管理は、コンピュータシステム
により情報処理して作業員を指示し、あるいは直接製造
装置を制御することにより行われる。
て一定の順序に従っての多数（数百）の作業を経て製造
され、その製造は例えば半導体ウェハの段階では例えば
２５乃至５０枚程度のウェハからなる製造ロット単位で
の製造管理の下で行われる。そして、半導体ウェハに対
する製造ロットでの生産管理は、コンピュータシステム
により情報処理して作業員を指示し、あるいは直接製造
装置を制御することにより行われる。
【０００３】ところで、各製造ロットはその型式が決ま
ればそれに伴って一連の作業が決まる。具体的には、各
作業の内容、条件及び作業順序が決まる。そして、一旦
その一連の作業が決まるとそれは変更しないのが原則で
ある。尚、その一連の作業は多数種あり、それぞれ一つ
ずつ異なる認識番号が与えられ、例えばプロセス０１、
プロセス０２というように呼ばれる。また、プロセス何
々と称される数百という多数の作業からなる一連の作業
は、コスト計算等の便宜のために複数の作業群に分割さ
れ、一つの作業群は工程と称される。
ればそれに伴って一連の作業が決まる。具体的には、各
作業の内容、条件及び作業順序が決まる。そして、一旦
その一連の作業が決まるとそれは変更しないのが原則で
ある。尚、その一連の作業は多数種あり、それぞれ一つ
ずつ異なる認識番号が与えられ、例えばプロセス０１、
プロセス０２というように呼ばれる。また、プロセス何
々と称される数百という多数の作業からなる一連の作業
は、コスト計算等の便宜のために複数の作業群に分割さ
れ、一つの作業群は工程と称される。
【０００４】さて、製造ロットに対して行うべき一連の
作業（プロセス）が決まるとそれを変更しないのが原則
であるが、例外的に変更しなければならないときもあ
る。例えば、拡散のための工程において、前処理作業と
しての洗浄の条件を変えるとか、前処理作業を追加する
とか、削除するとかの変更をすることが好ましい場合が
ある。具体的なケースを挙げると、前処理作業による洗
浄効果が期待した程は得られずこのままでは歩留り低下
を招くので、洗浄条件を変える必要がある場合がそれで
ある。逆に、洗浄効果が過剰になりオーバーエッチング
になるので、洗浄時間を短縮するとかあるいは今まで行
っていた前処理を削除することが好ましい場合もある。
作業（プロセス）が決まるとそれを変更しないのが原則
であるが、例外的に変更しなければならないときもあ
る。例えば、拡散のための工程において、前処理作業と
しての洗浄の条件を変えるとか、前処理作業を追加する
とか、削除するとかの変更をすることが好ましい場合が
ある。具体的なケースを挙げると、前処理作業による洗
浄効果が期待した程は得られずこのままでは歩留り低下
を招くので、洗浄条件を変える必要がある場合がそれで
ある。逆に、洗浄効果が過剰になりオーバーエッチング
になるので、洗浄時間を短縮するとかあるいは今まで行
っていた前処理を削除することが好ましい場合もある。
【０００５】ところで、従来において、コンピュータに
よる生産管理システムは、かかる作業変更があった場
合、変更前の作業条件に関する情報を消滅させ、変更後
の作業条件、即ち新規作業条件に関する情報のみを持つ
ようにしていた。そして、変更がある毎に作業を停止し
作業者にその変更について口頭あるいは書類により説明
し、作業者により、即ち人手によりその変更に対処する
ようにしていた。
よる生産管理システムは、かかる作業変更があった場
合、変更前の作業条件に関する情報を消滅させ、変更後
の作業条件、即ち新規作業条件に関する情報のみを持つ
ようにしていた。そして、変更がある毎に作業を停止し
作業者にその変更について口頭あるいは書類により説明
し、作業者により、即ち人手によりその変更に対処する
ようにしていた。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、変更に
対する人手による対処は間違いが起き易い。というの
は、例えば１２３番目の作業と第１５６番目の作業とに
ついて変更があった場合、第１２３番目の作業において
新しい作業条件で作業が行われた製造ロットに対して
は、第１５６番目の作業においても変更後の新しい作業
条件で作業を行わなければならない。しかし、１２３番
目の作業において旧作業条件で作業が行われた製造ロッ
トに対しては第１５６番目の作業においても変更前の旧
作業条件で作業を行わなければならない。従って、第１
５６番目の作業を行う作業員は製造ロットが変更の対象
であるか否かを判断しなければならず、間違い易いので
ある。
対する人手による対処は間違いが起き易い。というの
は、例えば１２３番目の作業と第１５６番目の作業とに
ついて変更があった場合、第１２３番目の作業において
新しい作業条件で作業が行われた製造ロットに対して
は、第１５６番目の作業においても変更後の新しい作業
条件で作業を行わなければならない。しかし、１２３番
目の作業において旧作業条件で作業が行われた製造ロッ
トに対しては第１５６番目の作業においても変更前の旧
作業条件で作業を行わなければならない。従って、第１
５６番目の作業を行う作業員は製造ロットが変更の対象
であるか否かを判断しなければならず、間違い易いので
ある。
【０００７】殊に、生産システム（ライン）は多数の製
造ロットを処理する能力を持っており、ラインの構成も
きわめて複雑であり、そのため、多数の製造ロットが生
産システムに投入されて順序どおりにシステムから出さ
れるとは限らない。後から投入された製造ロットが先に
投入された製造ロットを追い越して生産システムを流れ
ることもある。従って、ある変更に係る作業のとこまで
きた製造ロットについて変更後の作業条件を行うべきか
否かについて混乱し易い。
造ロットを処理する能力を持っており、ラインの構成も
きわめて複雑であり、そのため、多数の製造ロットが生
産システムに投入されて順序どおりにシステムから出さ
れるとは限らない。後から投入された製造ロットが先に
投入された製造ロットを追い越して生産システムを流れ
ることもある。従って、ある変更に係る作業のとこまで
きた製造ロットについて変更後の作業条件を行うべきか
否かについて混乱し易い。
【０００８】また、変更に係る作業について変更後の作
業条件を行った後、次の製造ロットに対しては変更前の
作業条件を行わなければならないことも起り得るが、従
来の管理システムは変更前の作業条件に関する条件を消
滅させていたので、作業者はそのシステムから作業条件
についての指示を受け得ず、作業者の記憶、別途用意し
たマニュアルによって変更前の作業条件で作業を行わな
ければならず、間違いが起き易いうえに作業員にかかる
負担が重くなり、また、作業遅延も起きた。
業条件を行った後、次の製造ロットに対しては変更前の
作業条件を行わなければならないことも起り得るが、従
来の管理システムは変更前の作業条件に関する条件を消
滅させていたので、作業者はそのシステムから作業条件
についての指示を受け得ず、作業者の記憶、別途用意し
たマニュアルによって変更前の作業条件で作業を行わな
ければならず、間違いが起き易いうえに作業員にかかる
負担が重くなり、また、作業遅延も起きた。
【０００９】本発明はこのような問題点を解決すべく為
されたものであり、作業内容の変更指令があった時それ
に応じて各製造ロットについて適切に自動的に作業内容
について指示できる作業内容切換指示装置を提供するこ
とを目的とする。
されたものであり、作業内容の変更指令があった時それ
に応じて各製造ロットについて適切に自動的に作業内容
について指示できる作業内容切換指示装置を提供するこ
とを目的とする。
【００１０】
【課題を解決するための手段】本発明作業内容切換指示
装置は、作業条件の変更日時と、製造ロットの変更基準
作業についての作業日時とを日時比較手段により比較
し、上記変更日時記憶手段に記憶された変更日時より上
記作業日時記憶手段に記憶された作業日時が遅いという
比較結果が得られた場合には、次の作業内容である作業
条件を旧作業条件に決定し、上記変更日時記憶手段に記
憶された変更日時より上記作業日時記憶手段に記憶され
た作業日時が早いという比較結果が得られた場合には、
当該製造ロットが作業条件変更後の新作業条件で処理す
べき製造ロットであるとして次の作業内容である作業条
件を新作業条件に決定するようにしてなることを特徴と
する。
装置は、作業条件の変更日時と、製造ロットの変更基準
作業についての作業日時とを日時比較手段により比較
し、上記変更日時記憶手段に記憶された変更日時より上
記作業日時記憶手段に記憶された作業日時が遅いという
比較結果が得られた場合には、次の作業内容である作業
条件を旧作業条件に決定し、上記変更日時記憶手段に記
憶された変更日時より上記作業日時記憶手段に記憶され
た作業日時が早いという比較結果が得られた場合には、
当該製造ロットが作業条件変更後の新作業条件で処理す
べき製造ロットであるとして次の作業内容である作業条
件を新作業条件に決定するようにしてなることを特徴と
する。
【００１１】
【実施例】以下、本発明作業内容切換指示装置を図示実
施例に従って詳細に説明する。図１及び図２は本発明作
業内容切換指示装置の一つの実施例を説明するためのも
ので、図１は構成図、図２は動作を示すフローチャート
である。図面において、１はＣＰＵ、２はＲＯＭ、３は
ＲＡＭ、４は入出力装置、５は各製造ロットについての
仕掛情報を記憶するロットマスターファイルで、具体的
にはロット番号をキーとして仕掛作業名等を記憶する。
施例に従って詳細に説明する。図１及び図２は本発明作
業内容切換指示装置の一つの実施例を説明するためのも
ので、図１は構成図、図２は動作を示すフローチャート
である。図面において、１はＣＰＵ、２はＲＯＭ、３は
ＲＡＭ、４は入出力装置、５は各製造ロットについての
仕掛情報を記憶するロットマスターファイルで、具体的
にはロット番号をキーとして仕掛作業名等を記憶する。
【００１２】６は上記仕掛作業の作業条件を記憶する作
業条件ファイルで、具体的には作業名をキーとして作業
条件を記憶する。また、作業内容の変更（単なる作業条
件の変更のほか、作業の追加、削除も含む）が指示され
た場合、変更対象の製造ロットを特定するために変更日
時と、変更基準作業も記憶する。即ち、変更の指示は、
ある日時においてある作業が終った製造ロットについて
別の一つあるいは複数の作業についてそれぞれ作業条件
をどのように変更するという形で行われる。そして、変
更基準作業とはその日時において当該製造ロットが終了
しているか否かが問われている作業のことを指す。
業条件ファイルで、具体的には作業名をキーとして作業
条件を記憶する。また、作業内容の変更（単なる作業条
件の変更のほか、作業の追加、削除も含む）が指示され
た場合、変更対象の製造ロットを特定するために変更日
時と、変更基準作業も記憶する。即ち、変更の指示は、
ある日時においてある作業が終った製造ロットについて
別の一つあるいは複数の作業についてそれぞれ作業条件
をどのように変更するという形で行われる。そして、変
更基準作業とはその日時において当該製造ロットが終了
しているか否かが問われている作業のことを指す。
【００１３】７はロット作業履歴ファイルで、各製造ロ
ットの作業履歴を記憶する。具体的には製造ロットの番
号と作業名をキーとしてその作業の終了日時を記憶す
る。８は変更日時記憶手段で、作業変更指令があった場
合の変更日時を記憶する。９は製造ロットの上記変更基
準作業についての作業終了日時を記憶する。変更日時記
憶手段８は作業条件ファイルから、作業日時記憶手段９
はロット作業履歴ファイル７からロードされた日時情報
を記憶する。
ットの作業履歴を記憶する。具体的には製造ロットの番
号と作業名をキーとしてその作業の終了日時を記憶す
る。８は変更日時記憶手段で、作業変更指令があった場
合の変更日時を記憶する。９は製造ロットの上記変更基
準作業についての作業終了日時を記憶する。変更日時記
憶手段８は作業条件ファイルから、作業日時記憶手段９
はロット作業履歴ファイル７からロードされた日時情報
を記憶する。
【００１４】１０は変更日時記憶手段８と作業日時記憶
手段９に記憶された日時を比較する日時比較手段、１１
は作業条件指示手段で、日時比較手段１０の出力に応じ
て変更に係る作業について変更後か変更前の作業条件を
指示し、例えばＣＲＴあるいは液晶ディスプレイからな
る。具体的には、変更日時記憶手段８に記憶された変更
日時よりも作業日時記憶手段９に記憶された日時が遅い
ときは、変更前の作業条件を指示し、変更日時記憶手段
８の日時よりも作業日時記憶手段９の日時が早いときは
変更後の作業条件を指示する。
手段９に記憶された日時を比較する日時比較手段、１１
は作業条件指示手段で、日時比較手段１０の出力に応じ
て変更に係る作業について変更後か変更前の作業条件を
指示し、例えばＣＲＴあるいは液晶ディスプレイからな
る。具体的には、変更日時記憶手段８に記憶された変更
日時よりも作業日時記憶手段９に記憶された日時が遅い
ときは、変更前の作業条件を指示し、変更日時記憶手段
８の日時よりも作業日時記憶手段９の日時が早いときは
変更後の作業条件を指示する。
【００１５】図２は作業内容切換指示装置の動作を説明
するフローチャートである。先ず、作業開始指令が為さ
れ、作業する製造ロットのロット番号の読み込みが為さ
れる。次に、ロットマスターファイルから作業名が検索
される。次に、作業条件ファイルから作業条件について
データが読み出される。尚、作業条件の変更が指示され
ている場合には、変更日時、変更基準作業、変更前の作
業条件、変更後の作業条件が読み出される。
するフローチャートである。先ず、作業開始指令が為さ
れ、作業する製造ロットのロット番号の読み込みが為さ
れる。次に、ロットマスターファイルから作業名が検索
される。次に、作業条件ファイルから作業条件について
データが読み出される。尚、作業条件の変更が指示され
ている場合には、変更日時、変更基準作業、変更前の作
業条件、変更後の作業条件が読み出される。
【００１６】次に、当該製造ロットについてのロット作
業履歴をロット作業履歴ファイルから読み出す。そし
て、作業条件ファイル６から読み出した変更日時と、ロ
ット作業履歴ファイル７から読み出したところの当該製
造ロットが変更基準作業を終了した作業日時とを比較す
る。
業履歴をロット作業履歴ファイルから読み出す。そし
て、作業条件ファイル６から読み出した変更日時と、ロ
ット作業履歴ファイル７から読み出したところの当該製
造ロットが変更基準作業を終了した作業日時とを比較す
る。
【００１７】そして、作業日時（即ち、当該製造ロット
が変更基準作業を終了した日時）の方が変更日時よりも
遅い時は変更前の作業条件で作業を行うことにする。逆
に作業日時が変更日時よりも早いときは変更後の作業条
件で作業を行うこととする。そして、決定に基づいて製
造ロットが次に行う作業条件を表示する。尚、単に作業
条件をディスプレイにより表示するのではなく、作業条
件どおりに作業が行われるように製造装置を自動的に制
御する態様でも実施できる。
が変更基準作業を終了した日時）の方が変更日時よりも
遅い時は変更前の作業条件で作業を行うことにする。逆
に作業日時が変更日時よりも早いときは変更後の作業条
件で作業を行うこととする。そして、決定に基づいて製
造ロットが次に行う作業条件を表示する。尚、単に作業
条件をディスプレイにより表示するのではなく、作業条
件どおりに作業が行われるように製造装置を自動的に制
御する態様でも実施できる。
【００１８】図３（Ａ）乃至（Ｃ）は作業内容の一つの
変更例を示すもので、（Ａ）はコンピュータ上での変更
データ、（Ｂ）は変更前の作業条件で為される作業シー
ケンス、（Ｃ）は変更後の作業条件で為される作業シー
ケンスを示すものである。本変更例は、図３（Ａ）に示
すように、第５番目の工程５の最終作業、作業番号５９
が変更基準作業であり、変更日時は６日午後１：００で
ある。
変更例を示すもので、（Ａ）はコンピュータ上での変更
データ、（Ｂ）は変更前の作業条件で為される作業シー
ケンス、（Ｃ）は変更後の作業条件で為される作業シー
ケンスを示すものである。本変更例は、図３（Ａ）に示
すように、第５番目の工程５の最終作業、作業番号５９
が変更基準作業であり、変更日時は６日午後１：００で
ある。
【００１９】そして、工程６の各作業は変更前作業条
件、即ち、旧作業条件は６０、６１、６４1 、６５の順
で、変更後作業条件、即ち新作業条件６１、６２、６
３、６４2 、６５の順で行わなければならないというよ
うに作業条件が設定されている。尚、６４1 と６４2 と
は同じ作業だが作業条件が異なるものである。また、破
線は作業を行わない場合を示す。
件、即ち、旧作業条件は６０、６１、６４1 、６５の順
で、変更後作業条件、即ち新作業条件６１、６２、６
３、６４2 、６５の順で行わなければならないというよ
うに作業条件が設定されている。尚、６４1 と６４2 と
は同じ作業だが作業条件が異なるものである。また、破
線は作業を行わない場合を示す。
【００２０】そこで、若しある製造ロットが図３（Ｂ）
に示すように第５番目の工程５の最終作業、作業番号５
９の作業が６日午後５時に終了した場合、その製造ロッ
トは工程６が６０、６１、６２、６４1 、６５というよ
うに作業が行われることになる。
に示すように第５番目の工程５の最終作業、作業番号５
９の作業が６日午後５時に終了した場合、その製造ロッ
トは工程６が６０、６１、６２、６４1 、６５というよ
うに作業が行われることになる。
【００２１】また、若し製造ロットが図３（Ｃ）に示す
ように、第５番目の工程５の最終作業、作業番号５９の
作業が６日午前１０時に終了した場合、その製造ロット
は６１、６２、６３、６４2 、６５というように行われ
ることになる。
ように、第５番目の工程５の最終作業、作業番号５９の
作業が６日午前１０時に終了した場合、その製造ロット
は６１、６２、６３、６４2 、６５というように行われ
ることになる。
【００２２】このように、本作業内容切換指示装置によ
れば、作業条件の変更があったとき変更後の新作業条件
だけでなく変更前の旧作業条件も作業条件ファイルに記
憶しておき、変更日時記憶手段と作業日時記憶手段で記
憶された日時どうしを日時比較手段により比較して製造
ロットについて変更前と変更後のどの作業条件で作業を
行うべきかを決定し、それに伴って各作業について作業
条件を決定して指示あるいは制御できる。従って、人手
による場合とは異なり製造ロットに対して新旧作業条件
の間で間違いを侵す虞れがなく、変更前の作業条件を適
用しなければならないときにおいても正しく作業条件を
示すことができる。
れば、作業条件の変更があったとき変更後の新作業条件
だけでなく変更前の旧作業条件も作業条件ファイルに記
憶しておき、変更日時記憶手段と作業日時記憶手段で記
憶された日時どうしを日時比較手段により比較して製造
ロットについて変更前と変更後のどの作業条件で作業を
行うべきかを決定し、それに伴って各作業について作業
条件を決定して指示あるいは制御できる。従って、人手
による場合とは異なり製造ロットに対して新旧作業条件
の間で間違いを侵す虞れがなく、変更前の作業条件を適
用しなければならないときにおいても正しく作業条件を
示すことができる。
【００２３】
【発明の効果】本発明作業内容切換指示装置は、製造ロ
ットの仕掛情報を記憶するロットマスターファイルと、
該仕掛作業での作業条件についての情報である作業情報
を記憶する作業条件ファイルと、前記製造ロットの加工
履歴を記憶するロット作業履歴ファイルと、前記作業情
報として少なくとも作業条件の変更日時を記憶する変更
日時記憶手段と、加工履歴のうちの作業日時を記憶する
作業日時記憶手段と、上記変更日時記憶手段に記憶され
た変更日時と、上記作業日時記憶手段に記憶された作業
日時とを比較する比較手段と、を少なくとも備え、該比
較手段により上記変更日時記憶手段に記憶された変更日
時より上記作業日時記憶手段に記憶された作業日時が遅
いという比較結果が得られた場合には、当該製造ロット
が作業条件変更前の旧作業条件で処理すべき製造ロット
であるとして次の作業内容である作業条件を旧作業条件
に決定し、上記変更日時記憶手段に記憶された変更日時
より上記作業日時記憶手段に記憶された作業日時が早い
という比較結果が得られた場合には、当該製造ロットが
作業条件変更後の新作業条件で処理すべき製造ロットで
あるとして次の作業内容である作業条件を新作業条件に
決定するようにしてなることを特徴とする。従って、本
発明によれば、上記比較手段による比較の結果から、当
該製造ロットが作業条件変更前の旧作業条件で処理すべ
き製造ロットである場合である、上記変更日時記憶手段
に記憶された変更日時より上記作業日時記憶手段に記憶
された作業日時が遅い場合には、旧条件、即ち作業条件
変更前の作業条件で次の作業を行うことを決定し、当該
製造ロットが作業条件変更後の新作業条件で処理すべき
製造ロットである場合である、新条件、即ち作業条件変
更後の新作業条件で次の作業を行うことを決定するの
で、各ロット毎に、次の作業内容である作業条件を旧作
業条件にするか新作業条件にするかについて的確に決定
し、作業の指示、制御を行うことができる。依って、人
手による場合とは異なり、製造ロットに対して指示する
条件が新旧作業条件の間で間違いを侵す虞れがなく、変
更前の作業条件を適用しなければならないときにおいて
も正しく作業条件を示すことができる。
ットの仕掛情報を記憶するロットマスターファイルと、
該仕掛作業での作業条件についての情報である作業情報
を記憶する作業条件ファイルと、前記製造ロットの加工
履歴を記憶するロット作業履歴ファイルと、前記作業情
報として少なくとも作業条件の変更日時を記憶する変更
日時記憶手段と、加工履歴のうちの作業日時を記憶する
作業日時記憶手段と、上記変更日時記憶手段に記憶され
た変更日時と、上記作業日時記憶手段に記憶された作業
日時とを比較する比較手段と、を少なくとも備え、該比
較手段により上記変更日時記憶手段に記憶された変更日
時より上記作業日時記憶手段に記憶された作業日時が遅
いという比較結果が得られた場合には、当該製造ロット
が作業条件変更前の旧作業条件で処理すべき製造ロット
であるとして次の作業内容である作業条件を旧作業条件
に決定し、上記変更日時記憶手段に記憶された変更日時
より上記作業日時記憶手段に記憶された作業日時が早い
という比較結果が得られた場合には、当該製造ロットが
作業条件変更後の新作業条件で処理すべき製造ロットで
あるとして次の作業内容である作業条件を新作業条件に
決定するようにしてなることを特徴とする。従って、本
発明によれば、上記比較手段による比較の結果から、当
該製造ロットが作業条件変更前の旧作業条件で処理すべ
き製造ロットである場合である、上記変更日時記憶手段
に記憶された変更日時より上記作業日時記憶手段に記憶
された作業日時が遅い場合には、旧条件、即ち作業条件
変更前の作業条件で次の作業を行うことを決定し、当該
製造ロットが作業条件変更後の新作業条件で処理すべき
製造ロットである場合である、新条件、即ち作業条件変
更後の新作業条件で次の作業を行うことを決定するの
で、各ロット毎に、次の作業内容である作業条件を旧作
業条件にするか新作業条件にするかについて的確に決定
し、作業の指示、制御を行うことができる。依って、人
手による場合とは異なり、製造ロットに対して指示する
条件が新旧作業条件の間で間違いを侵す虞れがなく、変
更前の作業条件を適用しなければならないときにおいて
も正しく作業条件を示すことができる。
【図１】本発明作業内容切換指示装置の一つの実施例を
示す構成図である。
示す構成図である。
【図２】上記実施例の動作を示すフローチャートであ
る。
る。
【図３】（Ａ）乃至（Ｃ）は作業条件の変更例を示す図
である。
である。
５ ロットマスターファイル ６ 作業条件ファイル ７ ロット作業履歴ファイル ８ 変更日時記憶手段 ９ 作業日時記憶手段 １０ 日時比較手段
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (58)調査した分野(Int.Cl.7，ＤＢ名) G06F 17/60 G06F 19/00 G05B 19/418 B23Q 41/00
Claims (1)
- 【請求項１】 製造ロットの仕掛情報を記憶するロット
マスターファイルと、 前記仕掛作業での作業条件についての情報である作業情
報を記憶する作業条件ファイルと、 前記製造ロットの加工履歴を記憶するロット作業履歴フ
ァイルと、 前記作業情報として少なくとも作業条件の変更日時を記
憶する変更日時記憶手段と、 加工履歴のうちの作業日時を記憶する作業日時記憶手段
と、 上記変更日時記憶手段に記憶された変更日時と、上記作
業日時記憶手段に記憶された作業日時とを比較する比較
手段と、 を少なくとも備え、 上記比較手段により上記変更日時記憶手段に記憶された
変更日時より上記作業日時記憶手段に記憶された作業日
時が遅いという比較結果が得られた場合には、当該製造
ロットが作業条件変更前の旧作業条件で処理すべき製造
ロットであるとして次の作業内容である作業条件を旧作
業条件に決定し、上記変更日時記憶手段に記憶された変
更日時より上記作業日時記憶手段に記憶された作業日時
が早いという比較結果が得られた場合には、当該製造ロ
ットが作業条件変更後の新作業条件で処理すべき製造ロ
ットであるとして次の作業内容である作業条件を新作業
条件に決定するようにしてなることを特徴とする作業内
容切換指示装置
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP26529791A JP3227736B2 (ja) | 1991-09-17 | 1991-09-17 | 作業内容切換指示装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP26529791A JP3227736B2 (ja) | 1991-09-17 | 1991-09-17 | 作業内容切換指示装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0573579A JPH0573579A (ja) | 1993-03-26 |
| JP3227736B2 true JP3227736B2 (ja) | 2001-11-12 |
Family
ID=17415248
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP26529791A Expired - Fee Related JP3227736B2 (ja) | 1991-09-17 | 1991-09-17 | 作業内容切換指示装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3227736B2 (ja) |
-
1991
- 1991-09-17 JP JP26529791A patent/JP3227736B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0573579A (ja) | 1993-03-26 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |