JPS63193829A - 印刷配線用金属張り積層板 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 ［産業上の利用分野］ 本発明は、金属酸化物が均一に分散配合された芳香族系
重合体フィルムあるいはシートなどの薄板体と金属箔と
が積層されてなる印刷配線用金属張り積層板に関するも
のである。

［従来の技術］ 従来、電子部品における印刷配線用基板としてのフレキ
シブルプリント基板や半導体集積回路の実装用フィルム
キャリアテープの絶縁材あるいは電気機器における各種
電気モーター、変圧器、発電機などに用いられる電気絶
縁体には、ポリイミドフィルム、芳香族ボリアミドペー
　バー　、ポリエステルフィルム、エポキシ樹脂含浸ガ
ラスクロス等が用いられている。

特に、ポリミドフィルムは耐熱性や機械的強度に優れて
いることから、印刷配線用基板において金属箔張り積層
フィルムの絶縁フィルムとして広く用いられている。

しかしながら、一般に有機系重合体は無機物に比して熱
膨張率が大きいという欠点があり、芳香族ポリイミド系
重合体においてもその例外ではない、それ故に、例えば
、フレキシブルプリント基板としての使用において、ポ
リイミドフィルムに金属箔を接着する際、熱膨張率の差
に起因して発生するカールを防ぐためにポリイミドフィ
ルムと金属箔との間に他の材料からなる接着層を設ける
ことを必要としている。而して、かかる接着層に用いら
れる材料は一般的に耐熱性に劣ることから、ポリイミド
フィルの有する耐熱性を充分に活かすことができないと
いう問題点がある。

したがって、ポリイミド系重合体の熱膨張率の改善につ
いて多くの試みが行なわれ、種々の構造のポリイミドが
提案されている。例えば。

特開昭ｆ３０−２５００３１号公報には低膨張性を有す
るものとして から選ばれるジアミン成分を用いたポリイミドが開示さ
れ、これらの銅張り積層板などへの応用が特開昭８０−
２２１４２８号公報に開示されている。また、他の例と
してポリイミドの構成成分である酸二無水物、あるいは
ジアミン成分に特殊な構造の化合物を用いて寸法安定性
を改善する試みもある。

しかしながら、上記の如く、特殊な構造の化合物の使用
は原料の入手難や毒性についての問題点を残している。

［発明の解決しようとする問題点］ 本発明は、前記の如き問題点に鑑みなされたものであっ
て、加熱処理によって金属酸化物となりうる金属酸化物
ゾルまたは金属アルコキシドなどと入手の容易な原料よ
りなる芳香族系重合体のワニスとよりなる組成物を製膜
するとともに加熱処理することによって得られる金属酸
化物含有フィルムあるいはシートなどの薄板体が金属箔
に、ｔｉ１層されてなる金属張り積層板が、従来公知の
芳香族系重合体フィルムあるいはシートを用いた積層板
に比して著しく高い耐熱性、機械的強度１寸法安定性を
示し、接着層を介することなく金属箔との積層が可能で
あり、したがって、従来の欠点であったカールの発生も
ないという知見を得て本発明を完成するに至ったもので
ある。

本発明の目的は、金属箔との積層において接着層を必要
とすることのない、耐熱性、機械的強度、寸法安定性に
優れた印刷配線用金属張り積層板を新規に提供すること
にある。

［問題点を解決するための手段］ 即ち１本発明は、加熱処理によって金属酸化酸化物とな
りうる金属酸化物ゾルまたは金属アルコキシドあるいは
その部分縮合物と芳香族系重合体のワニスとからなる組
成物を製膜するとともに加熱処理して得られる金属酸化
物含有薄板体が金属箔に積層されてなる印刷配線用金属
張り積層板を提供するものである。

本発明において、芳香族系重合体のワニスとして好適な
のは芳香族ポリイミド系重合体、およびその前駆体であ
る芳香族ポリアミック酸系重合体あるいは芳香族ポリス
ルホン系重合体のワニスである。

上記の芳香族ポリイミド系重合体は具体的には下記一般
式［Ｉ］ より選ばれ：Ｒは炭素数　１〜３のアルキル基、アルコ
キシ基、ハロゲンを示し；Ｘは単結合、−ｏ−、−ｓ−
、−５ｏ２−、−ｃ−、炭素数ｌ〜Ｂのアルキレン基、
パーフルオロアルキレン基のいずれかを示し；ｎは０〜
２の整数を示す。） で表わされる繰返し単位を有する重合体であって、通常
の酸二無水物とジアミン成分とより製造される。ワニス
としての調製は重合体を溶解しうる有機溶媒、例えば、
Ｎ、Ｎ−ジメチルアセトアミドによって調製される。

一方、芳香族ポリスルホン系重合体は基本骨格として下
記一般式［ＩＩ］ より選°ばれ；Ｒ１−Ｒ７は水素、炭素数１〜８炭化水
素基を示し、互いに同一または異なっていてもよい；ａ
−ｅは０〜４．ｆ、ｇはθ〜３の整数で同一または異な
っていてもよい；ＸＩ、Ｘ２は単結合、−０−、−３−
ヨり選ばし；　Ｙ　４ｔＵ　　　　　事 より選ばれ；Ｒは水素、炭素数１〜Ｂの炭化水素基を示
す。） で表わされる単位構造を有し、その基本骨格単位の同一
繰返しからなる単一重合体あるいは二種以上の基本単位
からなる共重合体である。かかる芳香族ポリスルホン系
重合体としては、例えばポリスルホン、ポリエーテルス
ルホン、ポリチオエーテルスルホンおよびそれらの共重
合体である。その製造方法は本発明者らによる特開昭８
１−７２０２０号公報に開示されている。ワニスとして
の調製における有機溶媒としてはこれら重合体を溶解し
うるちのであれば特に限定されないが、好適なものとし
てＮ−メチル−２−ピロリドンなどを例示しうる。（尚
以下、芳香族ポリイミド系重合体およびポリアミック酸
系重合体あるいは芳香族ポリスルホン系重合体を総称し
て重合体と称する。） 本発明における加熱処理によって金属酸化物となりうる
金属酸化ゾルまたは金属アルコキシドは重合体の分解温
度以下の加熱処理温度下に金属酸化物となるものである
ことが必要である。

金属アルコキシドとしてはＳｉ、　ＡＩ、　Ｓｎ、　Ｔ
ｉ。

Ｚｒから選ばれる少なくとも１種であるのが好適である
。具体的にはシリコンテトラエトキシドの如きＳｉのア
ルコキシド、アルミニウムトリイソプロポキシドの如き
ＡＩのアルコキシド、チンテトラブトキシドの如きＳｎ
のアルコキシド、チタンテトライソプロポキシドの如き
Ｔｉのアルコキシド、ジルコニウムテトラブトキシドの
如きＺｒのアルコキシド等を例示し得る。これらは予＠
縮合させた部分縮合物も用いられる。また、金属アルコ
キシドまたは部分縮合物を単独、あるいはそれらを併用
することができる。

（以下、特に部分縮合物と明記のない場合、金属アルコ
キシドには部分縮合物を含む、）次に、本発明における
金属酸化物ゾルとしては水性あるいは有機性ゾルが用い
られ、例えばシリカゾル、アルミナゾル、酸化アンチモ
ンゾル、酸化鉄ゾル、ジルコニアゾル、チタニアゾル、
酸化錫ゾルが挙げられる。水性金属酸化物ゾルは、コロ
イドの大きさの金属酸化物粒子に水が分散したものであ
り、有機性ゾルは金属酸化物表面の疎水化処理により有
機化されて、分散媒はアルコール系、例えばメチルアル
コール、エチルアルコール、ｎ−プロピルアルコール、
イソプロピルアルコールなどよりなるものが市販されて
いる０本発明において、有機性ゾルは必要に応じて金属
酸化物の表面をさらに疎水化処理して分散媒を他の疎水
性有機溶媒に転相したり、混合溶媒としたものを用いる
こともできる。

金属アルコキシドと金属酸化物ゾルは併用してもよい。

本発明において、金属箔に積層される金属酸化物含有薄
板体はフィルムあるいはシートなどであって、厚さの薄
い板状体を含む。

薄板体中に含まれる金属酸化物の量は重合体１００重量
部に対して１〜２００重量部の割合であるのが望ましく
、金属酸化物の量が多くなるにしたがい耐熱性、寸法安
定性は向上するが、多過ぎる場合は脆くなる傾向が、ま
た少な過ぎる場合は効果は発現され難く、したがって好
ましくは１０〜１００重量部である。

重合体に金属酸化物を配合して組成物を調製し、製膜し
てフィルムを得る方法として、金属酸化物を粉体の形態
で直接配合する方法が公知であるが、かかる方法におい
ては、通常二次粒子として存在している粉体を完全に一
次粒子化することが困難であって、この結果、粒子その
ものがフィルムの欠陥点となり、フィルムの強度を低下
させたり、脆くさせ、極端な場合には製膜によるフィル
ム化が困難となることもある。

本発明においては２重合体のワニスに金属酸化物ゾルま
たは金属アルコキシドを配合してなる組成物を製膜する
とともに加熱処理によって金属酸化物含有フィルムやシ
ートなどの薄板体とされることに特徴があり、得られる
薄板体は金属張り積層体としての使用において、上記の
如き問題点は全くない、金属アルコキシドの配合された
組成物の場合、製膜とともに加熱処理されることによっ
て縮合が進行して金属酸化物となり、その結果均一に分
散された薄板体が得られる。ここで、金属アルコキシド
は水および酸、塩基などの如き触媒を添加して加水分解
させ縮合を進行させて部分縮合物としておいてもよい、
この場合、添加する水の量は金属アルコキシドに含まれ
るアルコラードの当量以上であれば充分であるが、アル
コラードの出量以下の量で加水分解による縮合の程度を
調製することもできる。

金属酸化物ゾルについては、既に金属酸化物粒子が形成
されているため、基本的には重合体のワニスに配合され
てなる組成物を製膜する際の乾燥工程によって金属酸化
物が均一に分散された薄板体が得られる。

本発明において用いられる金属酸化物ゾルまたは金属ア
ルコキシドは特に、他の処理を要することなく使用しう
るが、重合体のワニスへの配合による組成物の調製にお
いて、混合性、分散性を向上させる目的から適当な溶媒
体を添加してもよい、さらに混合性などを向上させるた
めにシランカップリング剤を添加してもよく、この場合
のシランカップリング剤は重合体と分散された物質の単
なる分散改良剤、分散安定剤としての作用のみならず、
適当な官能基を有するものを選択することによって重合
体の有する官能基と結合させることが可能となり、得ら
れる薄板体の物性を著しく向上させることができる。か
かるシランカップリング剤として使用し得るものは例え
ば、メチルトリメトキシシランの如きアルキル系シラン
カップリング剤、γ−クロロプロピルトリメトキシシラ
ンの如きハロゲン系シランカップリング剤、ビニルトリ
エトキシシランの如きビニル系シランカップリング剤、
γ−メタクリロキシプロピルトリメトキシシランの如き
メタクリル系シランカップリング剤、γ−グリシドキシ
プロビルトリメト午ジシランの如きエポキシ系シランカ
ップリング剤、γ−メルカプトプロピルトリエトキシシ
ランの如きメルカプトシランカップリング剤、γ−（ジ
ェタノールアミン）プロピルトリエトキシシランの如き
ヒドロキシ系シランカップリング剤、γ−インシアナー
トプロピルトリメトキシシランの如きインシアネート系
シランカップリング剤、γ−アミノプロピルトリメトキ
シシランの如きアミン系シランカップリング剤あるいは
その塩タイプ等が挙げられ、これらは単独でも二種類以
上を併用してもよい、かかるシランカップリング剤は重
合体に金属または金属酸化物ゾルの配合時、あるいは製
膜時に単に添加混合するのみで良いが、重合体が官能基
を有し、シランカップリング剤と何らかの相互作用ある
いは結合形成が期待され得る場合は、あらかじめ重合体
に混合したり、加熱等の前処理を施すことも効果的であ
る。その他、チタネート系カップリング剤、アルミニウ
ム系カップリング剤を金属酸化物の必要とする特性に応
じて使用することもできる。また、金属アルコキシドや
組成物の安定化、反応を調製する目的でアセチルアセト
ンの如きキレート化剤、錯化剤を用いることも効果があ
る。

金属アルコキシドまたは金属酸化物ゾルと重合体のプレ
スとからなる組成物は製膜されるとともに加熱処理され
ることによって重縮合が進行し薄板体化され、金属酸化
物含有薄板体に成形されるが、この場合の加熱温度は５
０℃〜５００℃である。加熱温度が低温にすぎると溶媒
除去が不充分となり、上記の反応に対する加熱の寄与が
少なく、また高温にすぎると熱分解を生ずる。したがっ
て、好ましくは　１００℃〜４００℃である。かかる処
理によって得られる薄板体は延伸、硬化処理などの後処
理を行なうことによって、さらに物性を向上させること
ができる。また、液状の組成物にガラスクロス、カーボ
ンファイバー、アラミドクロス、ガラスペーパー、カー
ボンペーパー、アラミドペーパーなどを含浸させたりあ
るいは繊維質材料を分散させて、さらに耐熱性に優れた
薄板体とすることもできる。尚、得られる薄板体の熱膨
張率は含まれる金属酸化物の量を調整することによって
積層する金属箔と同程度に近づけることも可俺である。

上記のようにして得られる金属酸化物含有薄板体を金属
箔に積層して金属張り積層板とするには、上記の製膜に
よる薄板体化の工程を利用する方法と得られた薄板体と
金属箔とを熱融着する２つの方法が採用される。即ち ■金属酸化物ゾルまたは金属アルコキシドと重合体のワ
ニスとからなる組成物を金属箔上に直接処理して製膜す
るとともに前記の加熱処理方法にしたがって金属箔上で
薄板体化することによって金属酸化物含有薄板体が積層
された金属張り積層板とする方法。

■金属酸化物ゾルまたは金属アルコキシドと重合体のワ
ニスとからなる組成物を製膜するとともに前記の加熱処
理方法にしたがって薄板体化することによって得られた
金属酸化物含有薄板体と金属箔とを熱融着することによ
って金属張り積層板とする方法。

上記■、■いずれの方法によっても良好な金属張り積層
板を得ることができる。ここで、金属酸化物含有フィル
ムとして熱可塑タイプであれば製膜の際の加熱温度に関
して前記の温度であるのが望ましいが、熱硬化タイプで
ある場合は、硬化が進行しすぎないように調整した状５
Ｂ　、いわゆるＢステージ化によって薄板体化し、これ
によって得られた金属酸化物含有フィルムを金属箔との
熱融着による積層時に完全に硬化させることもできる。

上記■の方法における熱融着による積層には加熱プレス
、ロールラミネーターなどの積層装置の使用が好適であ
る。また、熱融着の他に接着剤によって積層することも
できるが、金属酸化物含有薄板体の熱膨張率は金属箔と
同程度に小さいため接着剤を用いることなく単なる熱融
着によって金属箔と積層してカールやそりの発生などが
ない金属張り積層板とするのが好ましい。

［作用］ 本発明における金属酸化物含有フィルムやシートなどの
薄板体が金属箔に積層されてなる金属張り積層板が優れ
た耐熱性、寸法安定性などを有する作用機構については
必ずしも明確ではないが、金属酸化物が重合体のワニス
に金属酸化物ゾルまたは金属アルコキシドで配合される
ことにより、均一に混合分散されること、しかも製膜と
ともに加熱処理されて重縮合が進行することから、この
際、金属酸化物が重合体の有する官能基と何らかの相互
作用を生ずるか、あるいは化学結合が形成されることに
よるものと推測される。また、含有する金属酸化物を多
量とすることが可能であり、その量を調整して金属酸化
物含有薄板体の熱膨張率を金属箔のそれと同程度となし
うることから、金属箔との積層による金属張り積層板と
して、カールやそりの発生がない積層板となり得るもの
と考えられる。

［実施例］ 本発明を実施例によって、さらに具体的に説明するが、
かかる実施例のみによって本発明が限定されるものでな
いことは勿論である。

調製例１ シリコンテトラエトキシド溶液の調製 攪拌機および滴下ロートを装着した反応器内にＮ、Ｎ−
ジメチルアセトアミド８０ｇとシリコンテトラエトキシ
ド（東京化成社品）　　６９．４ｇを仕込み、激しく攪
拌しながら、ｐ−）ルエンスルホン酸０．８９ｇと水２
４．０ｇとの混合液を室温にて３０分を費やして滴下し
、さらに−昼夜攪拌して透明均一なシリコンテトラエト
キシドの溶液（Ｓ　ｉ０２換算濃度１１．５％）を調製
した。

調製例２ チタンテトライソプロポキシド溶液の調製攪拌機を装着
した反応器内にＮ、Ｎ−ジメチルアセトアミド５ｆ（ｇ
とチタンテトラ−イソプロ午シト（日本曹達社品）　　
７１．４ｇを仕込み激しく攪拌しなからアセチルアセト
ン２５．１ｇと水４．５ｇとを室温で加え、さらに−昼
夜攪拌して透明均一なチタンテトライソプロポキシドの
溶液（Ｔｉ０２換算濃度１２．８％）を調製した。

調製例３ シリカゾルの調製 攪拌機および滴下ロートを装着した反応器内にＮ−メチ
ル−２−ピロリドン１００ｇを仕込み、激しく攪拌しな
がら、シリカ３０％メタノールゾル（”０３ＣＡＬ−１
１３２”触媒化成工業社量）８３ｇを室温で１０分を費
やして滴下した後、加熱してゾル中のメタノール分を留
去し透明均一なシリカ２０％Ｎ−メチル−２−ピロリド
ンゾルを調製した。

調製例４ ポリアミック酸ワニスの調製 撹拌機、滴下ロート、還流冷却器を装着した反応器内に
４．４′−ジアミノジフェニルエーテル２０．０２ｇと
Ｎ、Ｎ−ジメチルアセトアミド２１３ｇとを仕込み、窒
素ガスを通じて激しく攪拌しながら１０℃以下に保持し
てピロメリット酸二無水物２１．８１ｇを２時間を費や
して添加した。その後、反応温度を室温としてピロメリ
ット酸二無水物が完全に溶解した溶液をさらに室温にて
６時間攪拌してポリアミック酸のワニスを得た。このポ
リアミック酸のワニスの対数粘度（η１ｎｈ）は１、Ｈ
ｄｌ／ｇ　（Ｑ、５ｇ／Ｎ、Ｎ−ジメチルアセトアミド
１０ｈ文の濃度、３０℃にて測定、以下同じ）であった
。

調製例５ 芳香族ポリスルホン系重合体ワニスの調製４．４−ジク
ロルジフェニルスルホン、ビスフェノールＡ、および炭
酸カリウムを反応させて得られるプレカーサーに　４，
４′−ジクロルジフェニルスルホンと硫酸ナトリムを加
えて反応させて下記式で表わされる芳香族ポリチオエー
テルスルホン系重合体を得た。（詳細は、前記特開昭８
１−７２０２０号公報参照、） ｍ／ｎ＝　１０／１ 対数粘度（７７−ｉｎｈ）は０．Ｅ１５　（０，５ｇ／
　７．ノール：　１，１，２．２−テトラクロルエチレ
ン＝３＝２重量比、１００＋１！；Ｌの濃度、３０℃に
て測定）この重合体２０ｇとへキサメトキシメチルメラ
ミン０．５８をＮ−メチル−２−ピロリドン８０ｇに溶
解し、不溶物を濾過によって除去してワニスを調製した
。

実施例１ 攪拌機、滴下ロート、還流冷却器とを装着した反応器内
に、調製例４にて得られたポリアミック酸のワニス１０
０ｇを仕込み、激しく攪拌しながら温度を室温に保持し
て、調製例１にて調製したシリコンテトラエトキシド溶
液３８ｇを約３０分を要して滴下し、茶色の透明な粘稠
液よりなる組成物を得た。

次に、この得られた粘稠液な組成物を厚さ３５ｕＬ１１
の圧延銅箔に塗布し、窒素ガス雰囲気中で１００℃にて
１時間乾燥し、続いて銅箔を固定枠にて固定して２００
℃にて２時間、３５０℃にて２時間それぞれ加熱を行な
うことによって、塗膜厚さが３呻１°に積層されてなる
フレキシブル印刷配線用金属張り積層板を得た。この積
層板は固定枠より取り外してもカールの発生はなく、ま
たハンダ耐熱試験として３５０℃に３０秒間保持しても
、膨れ、カールなどの発生は全く認められなかった。

実施例２ 実施例１と同様の反応器内に調製例４にて得られたポリ
アミック酸のワニス１００ｇを仕込み、激しく攪拌しな
がら室温にて、３−アミノプロピルトリエトキシシラン
０．１８ｇを加え、室温に保持して攪拌し、次いで、調
製例１にて調製されたシリコンテトラエトキシド溶液２
２ｇおよび調製例２にて調製されたチタンテトライソプ
ロポキシド溶液１１．５ｇを混合した溶液を約３０分を
要して滴下することによって茶色の透明な粘稠液よりな
る組成物を得た。

次に、この粘稠液を実施例１と同様に銅箔上に塗布、乾
燥、加熱して、銅箔と積層されたフレキシブル印刷配線
用金属張り積層板を得た。

この積層板は固定枠より取り外してもカールす−ること
なく、また、ハンダ耐熱試験の３５０℃、３０秒におい
ても膨れ、カールなどの発生は認められなかった。

実施例３ 実施例１と同様の反応器内に調製例５で得られた芳香族
ポリスルホン系重合体ワニス１００ｇを仕込み、激しく
攪拌しながら、室温にて調製例１で調製したシリコンテ
トラエトキシド溶液１１６ｇを約１時間を要して滴下す
ることによって、半透明な粘稠液よりなる組成物を得た
。

この粘稠液をガラス板上に流延し、１００℃にて１時間
、２００℃にて２時間熱処理した後、ガラス板上に形成
された塗膜を剥離して厚さ３０ル■のフィルムを得た。

このフィルムを厚さ３５用ｍの圧延銅箔上に重ねて、　
２８０℃、４０ｋｇ／ｃ＋ｅ２の条件で１時間プレスし
てフレキシブル印刷配線用金属張り積層板を得た。この
積層板はカールすることなく、またハンダ耐熱試験にお
いて、３５０℃、３０秒にても膨れ、カールなどの発生
は全く認められなかった。

実施例４ 実施例１と同様の反応器内に、市販の芳香族ポリスルホ
ン（“１ａｄｅ　１ｐ−１７００″＝ユニオン力−バイ
ド社製品）のＮ−メチル−２−ピロリドン２０％溶液１
００ｇを仕込み、激しく攪拌しながら室温にて、調製例
３で調製されたシリカゾル１０ｇを約１０分間を要して
滴下することによって無色透明な粘稠液よりなる組成物
を得た。

次に、この粘稠液に、　ｌｏｎｇ／腸２のガラスクロス
を浸漬した後、引上げて、１８０℃にて１５分乾燥させ
て樹脂含量７０％のプリプレグを製作し。

続いて、このプリプレグ８枚に厚さ３５ｇｍの圧延銅箔
を上下に挟み、　２８０℃にて４０ｋｇ／ｃｍ２の条件
にて３０分間プレスしてリジッド印刷配線用金属張り積
層板を得た。この積層板は、ハンダ耐熱試験において３
５０℃、３０秒にても膨れ、カールなどの発生は全く認
められなかった。

比較例１ 調製例４において得られたボリアミー２り酸のワニスの
みを実施例１と同様の方法で銅箔上に塗布、乾燥してフ
レキシブル印刷配線用金属張り積層板を作製した。しか
し、この積層板は加熱処理後固定枠から取り外したこと
ろ、カールしてしまった。この積層板を逆方向に巻き直
してカールを取り除き、平板とした後にハンダ耐熱試験
を行なったところ３５０℃、３０秒で再びカールしてし
まった。

比較例２ 実施例４にて用いた市販の芳香族ポリスルホンのワニス
に１００ｇ／ｍ２のガラスクロスを浸漬し、実施例４と
同様の方法によってリジッド印刷配線用金属張り積層板
を得た。この積層板は、ハンダ耐熱試験において３５０
℃、３０秒で膨れを生じてしまった。

［発明の効果］ 本発明の印刷配線用金属張り積層板は、金属箔上に、金
属醸化物を多量に含有する重合体のフィルム、あるいは
シートなどの薄板体が直接積層されてなることに特徴が
ある。したがって、金属箔と薄板体とは接着剤層を介し
て積層されることがないために、従来の積層板に比して
、耐熱性、寸法安定性が極めて良好であるという効果が
認められる。

Claims (5)

【特許請求の範囲】
1. （１）加熱処理によって金属酸化物となりうる金属酸化
   物ゾルまたは金属アルコキシドあるいはその部分縮合物
   と芳香族系重合体のワニスとからなる組成物を製膜する
   とともに加熱処理して得られる金属酸化物含有薄板体が
   金属箔に積層されてなる印刷配線用金属張り積層板。
2. （２）芳香族系重合体のワニスが芳香族ポリイミド系重
   合体のワニスあるいはその前駆体である芳香族ポリアミ
   ック酸系重合体のワニスである特許請求の範囲第１項記
   載の金属張り積層板。
3. （３）芳香族系重合体のワニスが芳香族ポリスルホン系
   重合体のワニスである特許請求の範囲第１項記載の金属
   張り積層板。
4. （４）金属張り積層板が金属酸化物ゾルまたは金属アル
   コキシドあるいはその部分縮合物と芳香族系重合体のワ
   ニスとからなる組成物を金属箔上に製膜するとともに加
   熱処理し積層されてなる特許請求の範囲第１項記載の金
   属張り積層板。
5. （５）金属張り積層板が金属酸化物含有薄板体を金属箔
   に熱融着されてなる特許請求の範囲第１項記載の金属張
   り積層板。