JPS63175322A - カソ−ドの前処理方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔概要〕 バリウムの含浸されたタングステンからなり電子線源と
するカソードを真空室に設置してそのカソードから所要
の電子線を出射させる際の、カソードの前処理において
、 付帯真空室を設け、カソードをその中で加熱処理してか
ら大気に曝すことなく真空室に設置することにより、 上記加熱処理の際に飛散するバリウムによる真空室の汚
染を防止したものである。

〔産業上の利用分野〕

本発明は、バリウムの含浸されたタングステンからなり
電子線源とするカソードを真空室に設置してそのカソー
ドから所要の電子線を出射させる際の、カソードの前処
理方法に関す。

上記の電子線は、電子線を利用する技術、例えば電子ビ
ーム衝撃によるＸ線の出射やホトリソグラフィにおける
電子ビーム露光などに用いられる。

そしてこれらのための装置のオーバホールなどによりカ
ソードを交換などした際には、大気に曝されたカソード
を設置するため、使用に先立ちカソードの前処理が必要
である。

〔従来の技術〕

第２図は上記カソードの前処理の従来方法例の説明図で
ある。

同図において、１はバリウムの含浸されたタングステン
からなり電子線源とするカソード、２はカソード１を設
置してカソード１から所要の電子線を出射させる真空室
、３は真空室２を真空引きする真空ポンプ、４はカソー
ド１加熱用の電源、である。

カソード１は、内部に電気ヒータが組み込まれており、
電源４からの電流供給により加熱されて電子線Ｅを出射
する。

一方、真空室２に設置された直後のカソード１は、その
以前に大気に曝されて表面が酸化バリウムとなっている
ため、電子線の出射が十分でない。

このため、使用に先立つ前処理として、表面にバリウム
を析出させるべく　、１Ｏ−５Ｔｏｒｒより真空度の高
い空間で１２００℃程度に加熱する加熱処理を行う必要
がある。

従来は、カソード１を真空室２に設置した状態で、真空
ポンプ３を作動させながら電源４からの電流供給により
加熱して、上記の前処理を行っていた。

〔発明が解決しようとする問題点〕

しかしながら、前処理となる上記の加熱処理は、カソー
ド１からバリウムなどを飛散させるので、上述した従来
の前処理方法では、飛散したものが真空室２内を例えば
真空室２の内壁や不図示の電極などを汚染して、電子線
を出射させる際に不要の放電が発生したり絶縁不良を起
こしたりする問題がある。

〔問題点を解決するための手段〕

上記問題点は、バリウムの含浸されたタングステンから
なり電子線源とするカソードを設置して該カソードから
所要の電子線を出射させる真空室に対し、閉塞可能に繋
げた付帯真空室を設け、上記カソードを閉塞状態の該付
帯真空室内において加熱処理してから、該カソードを大
気に曝すことなく該真空室に設置する本発明の前処理方
法によって解決される。

〔作用〕

従来方法において、電子線を出射させる真空室の先に述
べた汚染は、前処理となるカソードの加熱処理を該真空
室において行うことに起因している。

本発明の方法によれば、閉塞状態にした上記付帯真空室
内においてこの加熱処理を行うので、この際にカソード
から飛散するものは、電子線を出射させる真空室へ入り
込むことがない。このことから該真空室は、この加熱処
理による汚染が全くない。

また上記加熱処理の済んだカソードは、大気に曝される
ことなく該真空室に設置されるので、その設置がなされ
たところで電子線を出射させる状態となる。

〔実施例〕

以下本発明方法の実施例について第１図の説明図により
説明する。全図を通じ同一符号は同一対象物を示す。

第１図に示す実施例の前処理方法は、真空室２に対し閉
塞可能に繋げた付帯真空室５を付加し、その中でカソー
ド１の加熱処理を行い、加熱処理の済んだカソード１を
大気に曝すことなく真空室２に設置するものである。

同図における６は真空室２と付帯真空室５との間のゲー
トバルブ、７は付帯真空室５を真空引きする真空ポンプ
、８はカソード１加熱用の電源、９は付帯真空室５内の
カソード１を真空室２に搬送して設置する搬送機構、で
ある。

即ち、先ず、ゲートバルブ６を閉じた状態でカソード１
を付帯真空室５に入れ、真空ポンプ７により１０″″’
Ｔｏｒｒより真空度を高く引きながら、電源８からの電
流供給によりカソード１の温度を徐々に高め、１２００
℃程度になったところで約１０分間保持する。さすれば
、カソード１から飛散するバリウムは、一部が付帯真空
室５の内壁に付着し残部が上記真空引きにより排出され
る。そしてカソード１は、電子線を十分に出射し得る状
態になる。

次いで、ゲートバルブ６を開き、加熱処理の済ませたカ
ソード１を搬送機構９により真空室２に搬送して設置し
、ゲートバルブ６を閉じて所望の前処理を完了する。

かくすることにより、真空室２はカソード１の前処理に
より汚染されることが全くなく、真空室２に設置された
カソード１は、加熱処理の後に大気に曝されていないの
で、電子線Ｅを出射させる状態となっている。

なお上記の実施例において、真空ポンプ３および７と電
源４および８とは、それぞれにおいて共通にすることが
可能である。

〔発明の効果〕

以上説明したように本発明の構成によれば、バリウムの
含浸されたタングステンからなり電子線源とするカソー
ドを真空室に設置してそのカソードから所要の電子線を
出射させる際の、カソードの前処理において、加熱処理
の際に飛散するバリウムによる真空室の汚染を防止する
ことが出来て、電子線を出射させる際に真空室の上記汚
染に起因して生ずる不要の放電や絶縁不良を防止させる
効果がある。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明方法実施例の説明図、 第２図は従来方法例の説明図、 である。 図において、 １はカソード、 ２は真空室、 ３．７は真空ポンプ、 ４．８は電源、 ５は付帯真空室、 ６はゲートバルブ、 ９は搬送機構、 Ｅは電子線、 である。 パ；ノ゛

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. バリウムの含浸されたタングステンからなり電子線源と
   するカソードを設置して該カソードから所要の電子線を
   出射させる真空室に対し、閉塞可能に繋げた付帯真空室
   を設け、上記カソードを閉塞状態の該付帯真空室内にお
   いて加熱処理してから、該カソードを大気に曝すことな
   く該真空室に設置することを特徴とするカソードの前処
   理方法。