JPH0622917Y2 - 電子線照射装置 - Google Patents

Description

【考案の詳細な説明】 （産業上の利用分野） この考案は電子線照射装置に関する。

（従来の技術） 電子線照射装置において、真空チェンバ内のカソードか
らの電子線を、照射チェンバ内の被照射物に照射する場
合、照射チェンバ内の酸素濃度が高いと、オゾンが発生
して人体、被照射物に多大の影響を与えることがあり、
これを回避するため照射チェンバ内に窒素ガスを満たし
ておくのを普通としている。

第３図はその従来構成の一例を示し、１は真空チェン
バ、２は照射チェンバである。真空チェンバ１の内部に
設置されてあるカソードから放射される電子線は、照射
チェンバ２内の被照射物を照射する。

図の例はバッチ式のもので、照射チェンバ２内にコンベ
ア３が設置されてあり、これにより被照射物が載せられ
て搬送される。その搬送の過程で電子線が照射される。

照射チェンバ２の内部には窒素ガスを吹き出すノイズ４
が設置されてあり、これによって照射チェンバ２の内部
に窒素ガスを充満させている。

ところでこのような構成において、照射チェンバ２の内
部に被照射物を搬入するときに、外部から酸素を取り込
む恐れがある。このような酸素の取り込みを防ぐため、
照射チェンバ２の両端に予備室５，６を設置することが
行なわれている。

最初に予備室５と照射チェンバ２とを隔離する隔離扉７
を閉じておいてから、予備室５の外扉８を開いてそこか
ら被照射物を載せたパレットを搬入する。ついで外扉８
を閉じてから隔離扉７を開き、パレットを照射チェンバ
２内のコンベア３上に搬入する。そして電子線を照射す
る。

電子線の照射のあと、照射チェンバ２と予備室６とを隔
離している隔離扉９を開いて、パレットを予備室６内に
搬入してから隔離扉９を閉じ、ついで予備室６の外扉１
０を開いてここからパレットを外部に搬出する。

しかしこのような構成によると、予備室５，６の外扉
８，１０を開くと大気中の酸素が予備室内に入り、また
隔離扉７，９を開くと、予備室５，６内の酸素が照射チ
ェンバ２内に入り込み、そのため酸素濃度が高くなって
しまう。

第４図はウエブ処理する従来構成を示し、照射チェンバ
２を、照射チエンバ本体２Ａと、搬送室２Ｂとによって
構成する。そして搬入用のスリット１２を通して、外部
より被照射物であるウエブ１３を搬送し、ついでローラ
１４を利用してそのウエブ１３を、搬送室２Ｂから照射
チェンバ本体２Ａの内部を通過させ、再び搬送室２Ｂに
戻し、搬出用のスリット１５より外部に搬出する。

このような構成によれば各スリット１２，１５より、ウ
エブ１３に付着した状態で外部の酸素が搬入されてしま
う。スリット１２，１５を十分狭くしても、このような
酸素の搬入を回避することはできない。

（考案が解決しようとする問題点） この考案は被照射物を照射チェンバ内に搬入する際に持
ち込まれようとする外部の酸素の、その搬入量を極力低
減させることを目的とする。

（問題点を解決するための手段） この考案は照射チェンバ内に被照射物を搬入する入口を
囲むように予備室を設け、照射チェンバ内の窒素ガスを
この予備室を経て外部に排気させるべく、この予備室の
内部を排気するようにしたことを特徴とする。

（実施例） この考案の実施例を第１図によって説明する。この実施
例は第３図に示す構成に対応するもので、したがって第
３図と同じ符号を付した部分は、同一または対応する部
分を示す。この考案にしたがい、予備室５の内部を排気
するように構成する。

具体的には予備室５に排気用の配管２１を連結し、これ
をバルブ２２を介して排気ブロワー２３に接続してあ
る。なお予備室６にも同じように配管２１′を連結し、
これをバルブ２２′を介して排気ブロワー２３に接続し
てある。

以上の構成において、予備室５内に被照射物を搬入し、
扉８を閉じたあと排気ブロワー２３によって予備室５内
を排気する。この状態で被照射物を照射チェンバー２内
に搬入するために隔離扉７を開くと、照射チェンバ２内
の窒素ガスは、排気ブロワー２３によって吸引され、予
備室５を経て外部に排気される。この排気によって予備
室５内の酸素ガスが排出されるようになる。

照射チェンバ２内で電子線を照射している過程でも、排
気ブロワー２３によって排気を続けるようにしてもよ
い。これによるときは、照射チェンバ２内の窒素ガスは
隔離扉７から洩れて吸引されることがある。この吸引動
作によって隔離扉７を経て、外部から酸素ガスが侵入し
てくるようなことは、これをもって確実に回避される。

予備室６についても、同様に排気ブロワー２３によって
排気すると、被照射物の搬出の際に、予備室６の扉１０
なり隔離扉９を開いたときも、外部からの酸素ガスの侵
入を防ぐことができる。

第２図は第４図に対応するこの考案の実施例をを示すも
ので、搬送室２Ｂのスリット１２をその外側から囲むよ
うに予備室２５を設置し、これに配管２１を接続し、こ
の配管２１をバルブ２２を介して排気ブロワー２３に接
続する。ウエブ１３は予備室２５にスリット２６より搬
送される。

予備室２５の内部は排気ブロワー２３によって排気され
る。そのためウエブ１３に付着して予備室２５に侵入し
てきた酸素ガスは、予備室２５より排気ブロワー２３に
より排気される。また照射チェンバ本体２Ａ内に酸素ガ
スが侵入しようとしても、照射チェンバ本体２Ａの内部
の窒素ガスは、搬送室２Ｂより予備室２５内に吸引され
ようとしているので、酸素ガスは照射チェンバ本体２Ａ
内には侵入し得ない。

なお各実施例における排気ブロワー２３による排気は、
特別なプログラムを組むことなく連続して運転しておく
とよい。またバルブ２２などは、排気ブロワー２３によ
る排気量を、排気酸素ガスの量に応じて調整するのに使
用する。

（考案の効果） 以上詳述したようにこの考案によれば、被照射物を搬入
する予備室を排気するように構成したので、被照射物の
搬入にともなって照射チェンバ内に外部より侵入しよう
とする酸素ガスを、確実に阻止することができる効果を
奏する。

【図面の簡単な説明】

第１図はこの考案の実施例を示す断面図、第２図はこの
考案の他の実施例を示す断面図、第３図、第４図は従来
例の断面図である。 １……真空チェンバ、２……照射チェンバ、５，２５…
…予備室、２３……排気ブロワー、

Claims (1)

【実用新案登録請求の範囲】
1. 【請求項１】真空チェンバと、内部に窒素ガスが満たさ
   れてあって、前記真空チェンバから放射される電子線を
   被照射物に照射する照射チェンバとからなる電子線照射
   装置において、前記照射チェンバ内に前記被照射物を搬
   入する入口を囲むように予備室を設けるとともに、前記
   照射チエンバ内の窒素ガスを前記予備室を経て外部に排
   気するように、前記予備室の内部を排気する排気ブロワ
   ーを設置してなる電子線照射装置。