JP3119285B2 - 光陰極とこれを用いた電子銃並びに加速器 - Google Patents

光陰極とこれを用いた電子銃並びに加速器

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JP3119285B2 JP05209400A JP20940093A JP3119285B2 JP 3119285 B2 JP3119285 B2 JP 3119285B2 JP 05209400 A JP05209400 A JP 05209400A JP 20940093 A JP20940093 A JP 20940093A JP 3119285 B2 JP3119285 B2 JP 3119285B2
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Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は光電効果を用いた光陰極
に係り、特に、長時間連続的に使用するのに好適な光陰
極とこれを用いた電子銃並びに加速器に関する。
【0002】
【従来の技術】高エネルギの電子を得る場合、電子銃か
ら電子を出射させ、これを粒子加速器内に導入して加速
する。CRTなどの表示装置では、電子銃から出射させ
た電子を蛍光面に当てて発光させ、様々な映像を表現す
る。電子顕微鏡では、電子銃から出射させた電子を静電
レンズ等で集束させ、被検査体に照射する。このよう
に、電子銃は様々な装置に利用されており、その電子銃
の構造は、従来から種々のものがあるが、光陰極を利用
しようとするものはなかった。
【0003】光陰極は、光電効果の原理により電子を発
生させる陰極であり、光電子を放出する物質を備え、光
を照射することで電子を発生させるものである。この性
質を示す物質としては、銅,イットリウム,銀などの金
属、砒化ガリウムなどの半導体、またはアンチモンとア
ルカリまたは銀とビスマスとアルカリと酸素などの化合
物などの種々のものがある。金属型光陰極は、寿命は長
いが、光子1個あたりに発生する電子数を表す量である
量子効率が0.0001%から0.001%と低く、ま
た有感波長領域が紫外線領域にあるため、大強度の照射
光源が要求される。これに対し、半導体や化合物の光陰
極では、量子効率は1%から10数%と高く、有感波長
領域が可視光領域であるため、照射光に対する要求は緩
和される。
【0004】しかしながら、真空中に電子を引き出す型
の光陰極では、短時間で特性が悪化してしまうという問
題があるので、電子銃には向いておらず、この種の光陰
極は、例えば特開昭52ー112271号公報等に見ら
れる様に、光電管に使用されるにすぎなかった。
【0005】このように光陰極は電子銃に不向きであ
る。しかし、大電流がとれるという利点、クリアなパル
ス的電子ビームが取り出せるという利点、レーザーパル
ス波形に忠実に応じた電子ビームが取り出せるという利
点があり、電子銃に利用する試みがある。例えば、19
91年埼玉で開催された第8回加速器科学研究会(The8
th Symp. on Accelerator Science and Technology, 19
91. Saitama, Japan)の第67頁「RFガン・ユージン
グ・レーザ・トリガード・フォトカソード」("RF gun
using laser-triggered photocathode")秋山等では、
加速器用の電子銃が提案されている。
【0006】図8は、半導体や化合物の光陰極を電子銃
に用いたときの従来技術を示す図である。電子銃部とな
る真空容器2と、光陰極を作成する真空容器13とを、
ゲートバルブ19で区切る構成となっており、真空容器
13内で光陰極を作成し、これを真空容器2に持ち込
み、ここで発生させた電子を真空中に引き出す構成とし
ている。まず、真空容器13中に設置した金属棒20の
先端表面を基板30に対向させ、基板30を加熱するこ
とで、この基板30中に含浸させてある物質31を蒸発
させて、金属棒20の先端表面に蒸着させる。このと
き、光陰極構成物質を蒸着し光陰極活性化物質を付着さ
せるか、又は光陰極構成物と光陰極活性化物質を交互に
蒸着することにより、金属棒20の先端表面に光陰極を
作成する。そして、その後に基板30を下降させ、ゲー
トバルブ19を開放して、金属棒20を真空容器2にま
で挿入し、ここで光陰極に光を照射して、光電子を放出
させ、これを電界で真空中に引き出す様にしている。
【0007】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記従
来技術は、作成した光陰極面が真空中に露出する構成の
ため、光陰極面から光陰極活性化物質が真空中に離脱
し、また、真空中の残留ガスの影響によって、光陰極の
寿命を短くするという問題がある。また、光陰極表面よ
り光陰極活性化物質が離脱し光陰極の特性が悪化した場
合には、光陰極の使用を中断し、新たに光陰極活性化物
質を付着させ再活性化せざるを得ないという問題もあ
る。つまり、従来の光陰極を用いた電子銃は、長時間安
定に連続使用することができないという問題がある。
【0008】本発明の目的は、上記問題を解決し、長時
間安定に連続使用することができる光陰極とこれを用い
た電子銃並びに加速器を提供することにある。
【0009】
【課題を解決するための手段】上記目的は、開口面が光
陰極活性化物質を拡散させる拡散物質で閉塞され、内部
に光陰極活性化物質を封入し、前記拡散物質の外側表面
に光陰極面を有する容器を設けることで、達成される。
【0010】また、開口面が光陰極活性化物質を拡散さ
せる拡散物質で閉塞され、内部に光陰極活性化物質を封
入し、前記拡散物質の外側に光陰極構成物質でなる薄膜
を備え、該薄膜と前記拡散物質との境界面に光陰極面が
形成される構成の容器を備えることで、達成される。
【0011】また、好ましくは、前記拡散物質は前記光
陰極活性化物質を含浸し、該拡散物質を加熱する加熱手
段を備える。
【0012】また、開口面が多孔質板で閉塞され内部に
光陰極活性化物質を封入し、前記多孔質板の外側に接し
該多孔質板との境界面に光陰極面を有すると共に、光を
透過する光陰極構成物質とを有する容器を設けること
で、達成される。
【0013】
【0014】
【0015】また、光陰極面の一側に光陰極活性化物質
を含浸した拡散物質と、該光陰極面の他側に光を透過す
る光陰極構成物質と、前記拡散物質を加熱する加熱手段
とを備えた構成とすることで、達成される。
【0016】また、光陰極面の一側に光陰極活性化物質
との合金で構成される拡散物質を備え、該光陰極面の他
側に光を透過する光陰極構成物質を備えると共に、前記
拡散物質を加熱する加熱手段を備えた構成とすること
で、達成される。
【0017】
【作用】本発明では、開口面が光陰極活性化物質を拡散
させる拡散物質で閉塞され内部に光陰極活性化物質を封
入し、前記拡散物質の外側表面に光陰極面を備えた容器
を設けることにより、光陰極面から失われる光陰極活性
化物質を拡散物質を通して光陰極面に常時供給すること
ができるので、光陰極を長時間安定に連続して使用する
ことができる。
【0018】また、開口面が光陰極活性化物質を拡散さ
せる拡散物質で閉塞され内部に光陰極活性化物質を封入
し、前記拡散物質の外側に光陰極構成物質でなる薄膜を
備え、該薄膜と前記拡散物質との境界面に光陰極面が形
成される構成の容器を設けたので、更に、上記の作用に
加え、真空中の残留ガスの付着を防ぐことができ、光陰
極の連続使用時間を更に延ばすことができる。
【0019】また、好ましくは、前記拡散物質は前記光
陰極活性化物質を含浸し、該拡散物質を加熱する加熱手
段を備えたことにより、拡散物質に含浸された光陰極活
性化物質も光陰極面に供給することができ、光陰極を長
時間安定に連続して使用することができる。
【0020】
【0021】
【0022】また、光陰極面の一側に光陰極活性化物質
を含浸した拡散物質を備え、該光陰極面の他側に光を透
過する光陰極構成物質を備えると共に、前記拡散物質を
加熱する加熱手段を備えたことにより、拡散物質を加熱
してこれに含浸された光陰極活性化物質を光陰極面に供
給できるので、光陰極を長時間安定に連続して使用する
ことができる。
【0023】また、光陰極面の一側に光陰極活性化物質
との合金で構成される拡散物質を備え、該光陰極面の他
側に光を透過する光陰極構成物質を備えると共に、前記
拡散物質を加熱する加熱手段を備えたことにより、拡散
物質を加熱してこれに含まれる光陰極活性化物質を光陰
極面に供給できるので、光陰極を長時間安定に連続して
使用することができる。
【0024】
【実施例】以下、本発明の実施例を図面を参照して説明
する。図1は、本発明の第1実施例に係る光陰極を用い
た電子銃の構成図である。図1において、容器1の開口
端面は多孔質板4により閉塞されている。この容器1内
には光陰極活性化物質3が封入されており、且つ、この
容器1内に外部の光陰極活性化物質源10から光陰極活
性化物質3を供給するパイプ9が接続されており、容器
1内の光陰極活性物質3が多孔質板4を通して外部に拡
散するようになっている。多孔質板4の外側表面には光
陰極構成物質の薄膜が蒸着されており、多孔質板4中を
拡散してきた光陰極活性化物質3と光陰極構成物質(薄
膜)とが反応して光陰極面6が形成される。容器1内に
は常に光陰極活性物質3が補給されるので、光陰極活性
化物質3が光陰極面6から離脱しても、その特性は劣化
しない。
【0025】照射光源33から出射した照射光7を、真
空窓35,反射鏡34を介して光陰極面6に照射する
と、光陰極面6から電子8が発生される。この電子8
を、絶縁体11と電源12によって与えられた電場によ
って加速し、図示しない加速器に入射する。
【0026】斯かる構成の光陰極では、電子8を加速す
る電場は、光陰極面6より発生した電子8を真空容器2
中に引き出し、かつ管32内に導入して加速することが
できる。また、容器1内の光陰極活性化物質3が減少し
た場合、容器1に取り付けたパイプ9を通して外部の光
陰極活性化物質源10より光陰極活性化物質3を供給す
ることができる。そのため、光陰極の使用を中断するこ
となく連続的に安定して使用することができる。
【0027】光陰極活性化物質3としては、セシウム,
カリウム,ナトリウム,、ルビンシウム,リチウムなど
のアルカリ金属を、単独または複数組み合わせて使用す
る。多孔質板4の表面に設ける光陰極構成物質の薄膜と
しては、アンチモンを使用する。
【0028】多孔質板4としては、光陰極活性化物質3
を光陰極構成物質の薄膜まで透過することが可能な空隙
を持つタングステン,モリブデン,タンタルあるいはセ
ラミックスを用いる。
【0029】光陰極活性化物質3としては、セシウム,
カリウム、ナトリウム、ルビンシウム、リチウムなどの
アルカリ金属及び酸素を単独または複数組み合わせて使
用し、光陰極構成物質としては、銀、または、銀及びビ
スマスを使用する場合も考えられる。また、光陰極活性
化物質3としてセシウムおよび酸素を使用し、光陰極構
成物質として砒化ガリウムを使用する場合もある。
【0030】図2は、本発明の第2実施例に係る光陰極
を用いた電子銃の構成図である。本実施例と第1実施例
とが異なる点は、多孔質板4の外側表面に設けた光陰極
構成物質の薄膜5と、多孔質板4との間に、光陰極面6
が形成されるようにしたところである。この様に、光陰
極面6を真空中に露出しない構成とすることで、真空容
器2内の残留ガスの影響は受けないようにすることがで
きる。
【0031】照射光源33から出射した照射光7を、真
空窓35,反射鏡34を用い、薄膜5を通して光陰極面
6に照射すると、光陰極面6から電子8が発生される。
この電子8を、絶縁体11と電源12によって与えられ
た電場によって加速し、図示しない加速器に入射する。
【0032】かかる構成の光陰極では、電子8を加速す
る電場は、薄膜5を通して光陰極面6に達し、照射光7
によって発生した電子8を真空中に引き出し管32内に
導入して加速することができる。密閉容器1内の光陰極
活性化物質3が減少した場合、密閉容器1に取り付けた
パイプ9を通して外部の光陰極活性化物質源10より光
陰極活性化物質3を供給することで、光陰極の使用を中
断することなく連続的に安定して使用することができる
ことは第1実施例と同様である。
【0033】図3は、本発明の第3実施例に係る光陰極
を用いた電子銃の構成図である。本実施例の光陰極で
は、光陰極活性化物質供給源10を密閉容器1内部に配
設し、光陰極活性化物質3が常に多孔質板4に供給さ
れ、光陰極面の連続使用を可能にしたものである。
【0034】この第3実施例においては、光陰極活性化
物質3を発生させる光陰極活性化物質供給源10とし
て、セシウム,カリウム,ナトリウム,ルビンシウム,
リチウムなどのアルカリ金属を単独または複数組み合わ
せて封じ込めた金属容器とそれを加熱するヒータを使用
する。光陰極活性化物質3を拡散させる多孔質板4とし
ては、光陰極活性化物質3を薄膜5まで透過することが
可能な空隙を持つタングステンを用いる。
【0035】また、光陰極活性化物質3を発生させる光
陰極活性化物質供給源10として、セシウム,カリウ
ム,ナトリウム,ルビンシウム,リチウムなどのアルカ
リ金属の重クロム酸化合物を単独または複数組み合わせ
たものとチタンなどの還元剤を封じ込めた金属容器およ
びそれを加熱するヒータで構成することもできる。この
とき、薄膜5を形成する光陰極構成物質としてはアンチ
モンを使用する。
【0036】図4は、本発明の第4実施例に係る光陰極
の構成図である。本実施例の光陰極では、光陰極活性化
物質を含浸させた拡散物質36と、それを加熱するヒ−
タ37を備え、ヒ−タ37により拡散物質36を加熱
し、この拡散物質36に含浸させてある光陰極活性化物
質を拡散させ光陰極を形成させる。かかる構成により第
1実施例と同様の効果を実現できる。
【0037】この第4実施例においては、拡散物質36
として、タングステン,タンタル,モリブデン,セラミ
ックスなどの多孔質板を用いる。
【0038】また、含浸させる光陰極活性化物質とし
て、セシウム,カリウム,ナトリウム,ルビンシウム,
リチウムなどのアルカリ金属を単独または複数組み合わ
せて使用する。このとき、光陰極構成物質5としてはア
ンチモンを使用する。
【0039】また、含浸させる光陰極活性化物質とし
て、セシウム,カリウム,ナトリウム,ルビンシウム,
リチウムなどのアルカリ金属を単独または複数組み合わ
せて使用する。このとき、光陰極構成物質5としては
銀、または、銀とビスマスを使用する。
【0040】また、含浸させる光陰極活性化物質とし
て、セシウム,カリウム,ナトリウム,ルビンシウム,
リチウムなどのアルカリ金属の重クロム酸化合物を単独
または複数組み合わせたものを用いることもできる。こ
のとき、光陰極構成物質5としてはアンチモンを使用す
る。
【0041】また、含浸させる光陰極活性化物質とし
て、セシウム,カリウム,ナトリウム,ルビンシウム,
リチウムなどのアルカリ金属の重クロム酸化合物を単独
または複数組み合わせたものを用いることもできる。こ
のとき、光陰極構成物質5としては銀、または、銀とビ
スマスを使用する。
【0042】また、第4実施例において、拡散物質36
としてアルミニウム・リチウム合金などの合金を用いる
こともできる。この場合、拡散物質36をヒータ37で
加熱することにより、光陰極活性化物質であるリチウム
を拡散物質36と光陰極面6との境界に析出させ、光陰
極活性化物質を補給することができる。
【0043】図5は、本発明の第5実施例に係る光陰極
を用いた高周波電子銃の構成図である。図5おいて、照
射光源33から出射した照射光7により発生した電子8
は、高周波電場により加速され、図5の右側に出射され
る。この加速用の高周波電場は、導波管15から加速空
胴14に供給された高周波電力により発生される。
【0044】図6は、本発明の第6実施例に係る光陰極
を用いた線形加速器の構成図である。図6において、光
陰極を用いた電子銃16より発生した電子は、加速管1
7によって高エネルギに加速され、加速管17から出射
される。
【0045】図7は、本発明の第7実施例にかかる光陰
極を用いた電子銃の構成図である。図7において、密閉
容器1の端面には細孔40が複数個穿設されている。容
器1内には光陰極活性化物質3が封入されており、且
つ、この容器1内に外部の光陰極活性化物質源10から
光陰極活性化物質3を供給するパイプ9が接続されてい
る。密閉容器1の端面には光陰極面が形成される。密閉
容器1の端面には開けられた細孔40より光陰極活性化
物質3が光陰極面6に連続的に供給されるため、光陰極
は劣化しない。
【0046】この第7実施例においては、光陰極活性化
物質3として、セシウム,カリウム,ナトリウム,ルビ
ンシウム,リチウムなどのアルカリ金属を単独または複
数組み合わせて使用する。また、光陰極面6を形成する
物質としては、アンチモンを用いる。
【0047】また、光陰極活性化物質3として、セシウ
ム及び酸素を使用し、光陰極面6を形成する物質として
砒化ガリウムを用いる。
【0048】また、光陰極活性化物質3としては、セシ
ウム,カリウム,ナトリウム,ルビンシウム,リチウム
などのアルカリ金属及び酸素を単独または複数組み合わ
せて使用し、光陰極面6を形成する物質としては銀、ま
たは、銀及びビスマスを使用する場合も考えられる。
【0049】尚、本発明による光陰極を用いた電子銃
は、加速器に使用できるだけでなく、CRT等の表示装
置や電子顕微鏡等、電子銃を使用する機器一般に使用で
きることはいうまでもない。
【0050】
【発明の効果】本発明によれば、光陰極面から失われる
光陰極活性化物質を補給することにより光陰極の寿命を
延ばすことができるので、光陰極の長時間の連続使用を
可能にする効果がある。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の第1実施例に係る光陰極を用いた電子
銃の構成図である。
【図2】本発明の第2実施例に係る光陰極を用いた電子
銃の構成図である。
【図3】本発明の第3実施例に係る光陰極を用いた電子
銃の構成図である。
【図4】本発明の第4実施例に係る光陰極を用いた電子
銃の構成図である。
【図5】本発明の第5実施例に係る光陰極を用いた高周
波電子銃の構成図である。
【図6】本発明の第6実施例に係る光陰極を用いた線形
加速器の構成図である。
【図7】本発明の第7実施例に係る光陰極を用いた電子
銃の構成図である。
【図8】従来の技術による光陰極の説明図である。
【符号の説明】
1…密閉容器、2…電子銃部真空容器、3…光陰極活性
化物質、4…多孔質板、5…光陰極構成物質の薄膜、6
…光陰極面、7…照射光、8…電子、9…パイプ、10
…光陰極活性化物質源、11…絶縁体、12…電源、1
3…真空容器、14…加速空胴、15…導波管、16…
光陰極を用いた電子銃、17…加速管又は加速空胴、1
9…ゲートバルブ、20…金属基板または金属棒、30
…基板、31…含浸させた物質の蒸気、32…管、33
…照射光源、34…反射鏡、35…真空窓、36…光陰
極活性化物質を含浸させた物質、37…ヒ−タ、40…
細孔。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (58)調査した分野(Int.Cl.7,DB名) H01J 1/34 H01J 37/073

Claims (10)

    (57)【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 開口面が光陰極活性化物質を拡散させる
    拡散物質で閉塞され、内部に光陰極活性化物質が封入さ
    れ、前記拡散物質の外側表面に光陰極面が設けられる容
    器を備えることを特徴とする光陰極。
  2. 【請求項2】 開口面が光陰極活性化物質を拡散させる
    拡散物質で閉塞され、内部に光陰極活性化物質が封入さ
    れ、前記拡散物質の外側に光陰極構成物質でなる薄膜を
    備え、該薄膜と前記拡散物質との境界面に光陰極面が形
    成される構成の容器を備えることを特徴とする光陰極。
  3. 【請求項3】 請求項1または請求項2において、前記
    拡散物質は前記光陰極活性化物質を含浸すると共に、該
    拡散物質を加熱する加熱手段を備えたことを特徴とする
    光陰極。
  4. 【請求項4】 開口面が多孔質板で閉塞され内部に光陰
    極活性化物質を封入した容器と、 前記多孔質板の外側に接し、該多孔質板との境界面に光
    陰極面を有すると共に、光を透過する光陰極構成物質と
    を備えたことを特徴とする光陰極。
  5. 【請求項5】 請求項2乃至請求項4のいずれかにおい
    て、前記光陰極構成物質は膜形状であることを特徴とす
    る光陰極。
  6. 【請求項6】 光陰極面の一側に光陰極活性化物質を含
    浸した拡散物質を備え、該光陰極面の他側に光を透過す
    る光陰極構成物質を備えると共に、前記拡散物質を加熱
    する加熱手段を備えたことを特徴とする光陰極。
  7. 【請求項7】 光陰極面の一側に光陰極活性化物質との
    合金で構成される拡散物質を備え、該光陰極面の他側に
    光を透過する光陰極構成物質を備えると共に、前記拡散
    物質を加熱する加熱手段を備えたことを特徴とする光陰
    極。
  8. 【請求項8】 請求項又は請求項において、前記拡
    散物質は、前記加熱手段で加熱されることにより前記光
    陰極活性化物質を前記光陰極面に拡散させることを特徴
    とする光陰極。
  9. 【請求項9】 請求項1乃至請求項のいずれかに記載
    の光陰極と、前記光陰極面に光を照射する光照射手段
    と、該光照射により前記光陰極面から放出される電子を
    加速する電場を印加する手段とを備えたことを特徴とす
    る電子銃。
  10. 【請求項10】 請求項の電子銃と、該電子銃から出
    射された電子を所要エネルギまで加速する加速管とを備
    えたことを特徴とする加速器。
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Publication number Priority date Publication date Assignee Title
EP3024012A1 (en) * 2013-07-16 2016-05-25 National University Corporation Nagoya University Activation chamber and kit used in treatment device for lowering electron affinity, treatment device that contains said kit and is used to lower electronic affinity, photocathode electron-beam source, electron gun containing photocathode electron-beam source, free-electron laser accelerator, transmission electron microscope, scanning electron microscope, electron-beam holography microscope, electron-beam lithography device, electron-beam diffraction device, and electron-beam scanning device

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JP5007034B2 (ja) * 2005-09-14 2012-08-22 公益財団法人高輝度光科学研究センター 光電変換素子及びそれを用いた電子線発生装置
KR101041271B1 (ko) * 2009-08-21 2011-06-14 포항공과대학교 산학협력단 전자빔 발생장치 및 전자빔 발생방법
JP5828429B2 (ja) 2010-09-27 2015-12-09 大学共同利用機関法人 高エネルギー加速器研究機構 光陰極高周波電子銃空洞装置
KR101364104B1 (ko) * 2012-08-21 2014-02-20 포항공과대학교 산학협력단 전자 빔 발생 장치 및 이를 이용한 전자 빔 발생 방법

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
EP3024012A1 (en) * 2013-07-16 2016-05-25 National University Corporation Nagoya University Activation chamber and kit used in treatment device for lowering electron affinity, treatment device that contains said kit and is used to lower electronic affinity, photocathode electron-beam source, electron gun containing photocathode electron-beam source, free-electron laser accelerator, transmission electron microscope, scanning electron microscope, electron-beam holography microscope, electron-beam lithography device, electron-beam diffraction device, and electron-beam scanning device
EP3024012A4 (en) * 2013-07-16 2016-06-15 Univ Nagoya Nat Univ Corp ACTIVATION OF APPEAL AND KIT FOR TREATMENT DEVICE FOR REDUCTION OF ELECTRON AFFINITY, TREATMENT DEVICE WITH THE KIT AND REDUCTION OF ELECTRON AFFINITY, PHOTO CATHODE ELECTRON SOURCE, ELECTRON GUN WITH PHOTO CATHODE ELECTRON SOURCE, FREE ELECTRON LASER ACCELERATOR, TRANSMISSION ELECTRON MICROSCOPE, scanning electron microscope, ELEKTRONENSTRAHLHOLOGRAFIEMIKROSKOP, ELECTRON LITHOGRAPHY DEVICE, ELEKTRONENSTRAHLDIFFRAKTIONSVORRICHTUNG AND ELECTRON SCANNING DEVICE

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