JPS63175211A - 複合磁気ヘツド - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 ［ｉｉ業上の利用分野］ 本発明は磁気記録・再生装置に用いられる磁気へ叩ドに
関する。

［従来の技術］ 従来のギャップ対向面に磁性薄膜を形成した磁気ヘッド
ブロックで磁気ギャップを形成しつつ接合部材を用いて
接合してなる磁気ヘッドは、特開昭６０−１２５９０６
により第１０図に示すように前記磁性薄膜２２を前記ｒ
＃１気ギャップ２３に対して傾斜するように形成するこ
とにより、磁性薄膜と磁気ヘッドブロック２４との間に
形成される磁気的な不連続面１２が媒体上の信号（前記
磁気ギャップ２３と平行）を再生する時に傾斜損失をお
こすようにし、前記不連続面１２が再生する擬似出力を
小さくするようにした構造であった。

［発明が解決しようとする問題点］ しかし前述の従来技術では磁性薄膜の厚みが記ＲＦ！号
幅に関係するために１１り厚さを２０１Ｌｍ前後にする
必要があり、成膜には２０時間程度の長い時間がかかる
という問題点があった。また膜は厚くなるに従い、内部
応力が大きくなり剥離しやすくなるため製造上の歩留り
が悪いという問題点もあった。さらにギャップ形成は二
つの磁気ヘッドブロックに所望の記録信号幅を設けた後
にｆｌｆＪ期二つの磁気ヘッドブロックを突き合わせて
形成するために位置ずれを厳しく管理する必要があり、
工数の増加と歩留りの低下という問題点も有していた。

また傾斜損失は信号と不連続面の角度により損失の大き
さが決まるため磁気ディスク装置に用いる場合ではディ
スクの外周と内周においては角度が異なるため擬似出力
の大きさがディスク内において異なってしまい、最適な
設計をすることが非常に炸かしいという問題点も有して
いた。すなわち擬似出力自身を小さくするという構造で
はないことが大きな問題点であった。

そこで本発明はこのような問題点を解決するものであり
、その目的どするところは磁性薄膜と磁気ヘッドブロッ
クとの間の不連続面から再生される擬似出力を小さくあ
るいはまったく無くし、高配ｔα容最の磁気ディスク装
置を対応でさる磁気ヘッドを安価に提供するところにあ
る。

［問題点を解決するための手段］ 本発明はギャップ対向面に磁性ＰＩ膜を形成したｔｄ匁
−ラドブロックで磁気ギヤングを形成しつつ接合部材を
用いて接合してなる複合磁気ヘッドにおいて、１漠のギ
ャップ深さ方向の長さが前記複合磁気ヘッドのギャップ
深さの少なくとも５倍以」二であることを！特徴とする
。

詳しくは、木兄り」の複合磁気ヘッドは、磁性薄膜を磁
気ギャップのギャップ深さよりさらにパックギャップ方
向に深く成膜するようにし、不連続面を擬似的ギャップ
と考えた場合のギャップ深さを深く形成し、再生磁束の
流れの大部分をギャップ深さの部分で閉じるようにしコ
イルと鎖交し再生出力となる磁束を少なくすることを４
、シ徴とする。

［実施例］ ＠１図（ａ）は本発明による一実施例の斜視図であり、
第２図はｆｆ１１図を底面から見た時の正面図である０
本実施例は一般的な磁気ディスク装置用の磁気へラドコ
アであり、Ｕコア１とＩコア２の二つの磁ｇ−・ラドブ
ロックによって植成されている。又第１図（ｂ）は木実
施例の磁気ギャップの部分を拡大した正面図であり、磁
性薄膜３は磁気ギャップ４と平行につけられている。

第４図（ａ）〜（ｇ）は本実施例の製造工程を簡単に示
すｊ、１視図である。二つの磁性体ブロックＵコア１と
Ｉコア２とを用意し、■コア２には横方向の溝５と縦方
向のＷ６をｆｆ１４図（ｂ）に示すように形成し、（Ｃ
）に示すように磁性薄膜（３）を形成して磁気ヘッドブ
ロック１１とする０次に（ｄ）のようにＵコアｌと磁気
ヘッドブロックｌｌとをガラスポンディングした後に（
ｅ）に示すようにトラック幅を規制する溝７を入れる。

そして（ｆ）に示すようにトラック８の補強のためにガ
ラスを充填した後（ｇ）に示す点線９に沿ってスライス
することによりｉｆ図の磁気へラドコア１０を得る。

ｉ４図（Ｃ）に示す様に磁性薄１１りは！＝７２のギャ
ップ対向面に形成されているため成膜は非常に簡単であ
り、また（ｅ）に示す様にギャップを形成した後にトラ
ック加工をするために粘度の良い突き合わせ工程は不要
である。

以下本発明の目的である擬似出力を小さくすることにつ
いて磁束の流れをもとに説明し本実施例の特徴を詳細に
述べる。第５図は磁性薄ｎ！１３と磁気ヘッドブロック
１１との間の不連続面１２から再生される磁束の流れを
示す側面図である。第５図に示すように不連続面１２か
ら＋ｌＴ生された磁束はコイル１３を鎖交する磁束１４
と不連続面１２で閉じる磁束１５とに分れるから擬似出
力を小さくするためにはコイルと鎖交する？ｉａ末１４
を少なくすれば良い、そして不連続面１２で閉じる磁束
を多くすること、及び不連続面１２で再生する磁束を少
なくする必要がある０本実施例においては不連続面で閉
じる磁束を多くするために膜をパックギャップ方向に１
００　ｐｍ＊ｌＦＪしている。第６図は膜の長さ１６と
擬似出力との関係を示す特性図であり、膜の長さ１６は
３０ＩＬｍ以上あれば充分であるが製造しやすいように
１００７ｚｍとしである。このように膜の長さ１６は正
規のギャップ４のギャップ深さ１７より充分大きく形成
しておく必要がありギャップ深さ１７を規制するＵコア
１に形成することは適切でない、そのため本実施例にお
いては！コア２に成１１りしである。特性的には膜の形
成されているギャップ端を媒体が流出する側になるよう
に配置する方が良いが、この逆でも大きな問題はない０
以上が木実施例の中における木兄りｊの特徴である。

次にコイルを鎖交する磁束を小さくするためには第５図
に示す正規のギャップのギャップ深さ１７を小さくすれ
ばｊ：い、これは擬似ギャップとなる不連続面１２から
コイルと鎖交する磁束の磁気回路の磁気抵抗を大きくす
るのに効果がある０本実施例においてはギャップ深さ１
７を２〜８ＪＬｍの間に入れている。ギャップ深さ１７
は正規のギャップ４のヘッド効率にも関係しこの点から
も小さい方が望ましい。

さて不連続面１２から再生される磁束を少なくするため
には膜と１コアとの密着を強くする必要がある。本実施
例においては膜の密着性が向上するように成膜面の形状
を磁気コアを形成するために必要となる部分以外には膜
をつけないように逃げ溝を形成している。これは膜面積
を大きくすると後工程のギャップ形成時に高温に保持す
るため磁気コアと１１臭の熱膨張係数に差があるために
膜剥離が生じやすくなり不連続面の間隔が大きくなるこ
とを防ぐためである。第７図に示すように磁気へフドブ
ロック１１に磁性薄ｎｌｌ３を形成する前に横方向の溝
５と縦方向の溝６とを形成している。

この時縦方向の溝６の間隔は７０ＩＬｍ以下が膜の密着
性の点からは望ましいが、この間隔は第２図に示すパッ
クギャップ１８の幅になるためヘッド効率に関係し、極
端な小さくすることはできない。

そこで本実施例では５０ＩＬｍに設定しである。ただし
バックギャップの深さを大きくすることができればこの
間隔は２０ｐｍ程度まで小さくできる・本実施例におけ
る磁性薄膜はＦ　ｅ　−ＡＩ　−５ｔをスパッタにより
形成している。ターゲット組成は約９．５ｗｔ％Ｓｉ、
５．５ｗｔ％Ａ＋、及びバルクのＦｅの合金であるがｏ
、ｓｗｔ％以上程度のばらつきは持っている。スパッタ
条件は初期圧力８Ｘ１０−７ｔｏｒｒ、Ａｒガス圧３ｍ
ｔ　ｏ　ｒ　ｒで投入パワーＤＣ３００Ｖ、３．２Ａの
条件のもとで約１０分間プレスパツタした後に約１００
０Ａ／ｍｉｎのレートで３０分木本パッタし３ＩＬｍの
磁性薄膜を形成する。基板バイアスはＲｆｌｏｏＷをか
けている。

Ｆｅ−Ａｌ−６ｉｆｌｌのアニールはＵコア１とＩコア
２とをガラスボンディングし、ギャップを形成するとき
高温に保持するときに行なってい、る。

保持温度と保持時間は５８０σＸ６０分で行なう【いる
、ガラスボンディングの際にガラスと膜が接触するため
に膜がガラスに侵食され特性が劣化するのを防ぐために
本実施例では膜を形成した上に５０ＯＡのＣｒをスパッ
タし保護層としている。

ただし保持時間と温度を適切に決め・ることにより、Ｃ
ｒｇを彫成しなくても良い場合もある。

第３図は本実施例の磁気ヘッド＝７を固定磁気ディスク
装置用の磁気ヘッドスライダ−１９と組はこの磁気ヘッ
ドによる孤立波形の、特性図であるが擬似出力は殆ど現
われていない、第９図は従来技術による孤立波形の特性
図であるが擬似出力２１が観測されている。

［発明の効果］ 以上述べたように本発明によればギャップ対向面に磁性
薄膜を形成した磁気ヘッドブロックで磁気ギャップを形
成しつつ接合部材を用いて接合してなる複合磁気ヘッド
にわいて１１りのギャップ深さ方向の長さをギャップ深
さより大きくすることにより磁性薄膜と成膜面との間に
生じる不連続面から再生される擬似出力を非常に小さく
することができるという特徴を有する。また磁性薄１１
りは磁気へラドコアに平行につけるため、３１ｔ、ｍと
いうように薄くてよ＜ｒ＆ｌ＋！４に必要な時間は短か
くてすみ。

又膜剥離も生じにくく簡単に安価に製造することができ
るという特徴を有するｉ また擬似出力を根本的に無くすことが可能なため、磁気
ディスク装置にも応用できるという特徴も有する。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明による一実施例の斜視図。 第２図は第１図の底面の正面図。 第３図は本実施例の磁気ヘッドを固定磁気ディスク装置
用ヘッドに応用した斜視図。 第４図は本実施例の製造工程の斜視図。 第５図は再生磁束の流れを示す側面図。 第６図は膜の長さと擬似出力の関係を示す特性図。 第７図は逃げ溝の形状を示す斜視図。 第８図は応用例における出力波形の特性図。 ｆ５９図は従来技術による出力波形の特性図。 第１０図は従来技術による複合磁気ヘッドのギャップ近
傍の正面図。 １・・・・・・Ｕコア、２・０・・・■コア、３・・・
・・・磁性ｒ！Ｊｌ１ｇ　。 ４・・・・・・磁気ギャップ、５・・・・・・Ｉコアの
横方向の溝、６・・・・・・Ｉコアの縦方向の溝、７・
・・・・・トラック幅を規制する溝、８・・・・・・ト
ラック、９・・・・・・スライスする位置を示す点線、
１０・・・・・・未実施例の磁気へラドコア、１１・・
・・・・磁気ヘッドブロック（Ｉコア）。 １２・・・・・・不連続面、１３・・・・・・コ・ｆル
、１４・・・・・・コイルを鎖交する磁束、１５・・・
・・・不連続面で閉じる磁束、１６・・・・・・膜のバ
ックギャップ方向の長さ、１７・・・・・・ギャップ深
さ、１８・・・・・・パックギャンプ、１９・・・・・
・固定磁気ディスク装置の磁気ヘッド用スライダー、２
０・・・・・・正規のギャップからの出力波形、２１・
・・・・・不連続面からの擬似出力波形、２２・・・・
・・磁性薄膜、２３・・・・・・磁気ギャップ、２４・
・・・・・磁気ヘッドブロック、２５・・・・・・ガラ
ス、２６・・・・・・接合部材、２７・・・・・・パッ
クギャップ幅、以　　　　上 出ＩＪＬ人セイコーエプソン株式会社 代理人弁理士　最上　務　他１名 葛２図 第３図 輩Ｉ＋圓ｔｄ】 名任図（１〕 Ｋ長さくＰ） 笛乙回

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. ギャップ対向面に磁性薄膜を形成した磁気ヘッドブロッ
   クで磁気ギャップを形成しつつ接合部材を用いて接合し
   てなる複合磁気ヘッドにおいて、膜のギャップ深さ方向
   の長さが前記複合磁気ヘッドのギャップ深さの少なくも
   ５倍以上であることを特徴とする複合磁気ヘッド。