JPS63172121A - 液晶表示パネルの製造法 - Google Patents
液晶表示パネルの製造法Info
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- JPS63172121A JPS63172121A JP351887A JP351887A JPS63172121A JP S63172121 A JPS63172121 A JP S63172121A JP 351887 A JP351887 A JP 351887A JP 351887 A JP351887 A JP 351887A JP S63172121 A JPS63172121 A JP S63172121A
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Landscapes
- Liquid Crystal (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
産業上の利用分野
本発明は表示装置に係わり、特に液晶表示パネルの製造
法に関するものである。
法に関するものである。
従来の技術
近年、マイコン、ＬＳＩを内蔵した機器の増加に伴って
、簡易な表示用デバイスとして、ド−／ トマトリクス
型表示器のニーズが高まっている。また高度情報化社会
への対応からそれにふされしい高度の表示能力を持った
簡便なディスプレイの出現が望まれている。すなわち液
晶パネルとしては、高視認性でかつ表示容量の大きなも
のが望まれている。
、簡易な表示用デバイスとして、ド−／ トマトリクス
型表示器のニーズが高まっている。また高度情報化社会
への対応からそれにふされしい高度の表示能力を持った
簡便なディスプレイの出現が望まれている。すなわち液
晶パネルとしては、高視認性でかつ表示容量の大きなも
のが望まれている。
従来、液晶を配向させる手段として点源による斜方蒸着
法を用いていた。
法を用いていた。
以下図面を参照しながら上述した従来の液晶表示パネル
の製造法について説明する。
の製造法について説明する。
第２図は、従来の液晶表示パネルの製造法の構成図であ
る。第２図において、７は基板、８はへルジャー、９は
傾き角（蒸着源と基板法線方向とのなす角）、１０は蒸
着方向、１）は点蒸着源である。ペルジャー８の内部を
十分に真空にひき（１０’ Ｔｏ ｒ ｒ程度）、蒸着
ａＺを加熱し、あらかしめ蒸着ａ１）と傾き角θ９でセ
ットしである基板７に蒸着を行う。
る。第２図において、７は基板、８はへルジャー、９は
傾き角（蒸着源と基板法線方向とのなす角）、１０は蒸
着方向、１）は点蒸着源である。ペルジャー８の内部を
十分に真空にひき（１０’ Ｔｏ ｒ ｒ程度）、蒸着
ａＺを加熱し、あらかしめ蒸着ａ１）と傾き角θ９でセ
ットしである基板７に蒸着を行う。
発明が解決しようとする問題点
しかしながら上記のような方法では、基板の上下方向で
傾き角（蒸着源と基板法線方向とのなす角）が異なり基
板全体で蒸着が一様になりにくい。
傾き角（蒸着源と基板法線方向とのなす角）が異なり基
板全体で蒸着が一様になりにくい。
また基板に対する蒸着源のひろがりを小さくしようとす
ると、ペルジャーに高さが必要になる。さらに、茎着の
均一性という点でパネルの大型化は困難であり、工業的
に能率が悪いという問題点を有していた。
ると、ペルジャーに高さが必要になる。さらに、茎着の
均一性という点でパネルの大型化は困難であり、工業的
に能率が悪いという問題点を有していた。
本発明は上記問題点に鑑み、基板と蒸着源との間にスリ
ットを設けて斜方蒸着を行うことにより、配向の良好な
均一で大面積の液晶表示パネルを提供するものである。
ットを設けて斜方蒸着を行うことにより、配向の良好な
均一で大面積の液晶表示パネルを提供するものである。
問題点を解決するための手段
上記問題点を解決するために本発明の液晶表示パネルは
、基板と蒸着源との間にスリットを設け、茎着源とスリ
ットのなす角度で傾き角を決定し、基板に対して斜め方
向から無機物質を蒸着することにより液晶の配向制御を
行うものである。
、基板と蒸着源との間にスリットを設け、茎着源とスリ
ットのなす角度で傾き角を決定し、基板に対して斜め方
向から無機物質を蒸着することにより液晶の配向制御を
行うものである。
作用
本発明は上記した方法によって、常に基板と蒸着源との
なす角が一定であるため、同一基板内での蒸着ムラがな
（なり、大面積の基板でも均一な配向の液晶パネルを得
ることができる。
なす角が一定であるため、同一基板内での蒸着ムラがな
（なり、大面積の基板でも均一な配向の液晶パネルを得
ることができる。
一実施例
以下本発明の一実施例の液晶表示パネルの製造法につい
て、図面を参照しながら説明する。
て、図面を参照しながら説明する。
第１図は本発明の一実施例における液晶表示パネルの製
造法の構成図である。第１図において、１は基板、２は
傾き角（蒸着源と基板法線とのなす角）、３はマスク、
４はスリット、５は蒸着源、６はペルジャーである。
造法の構成図である。第１図において、１は基板、２は
傾き角（蒸着源と基板法線とのなす角）、３はマスク、
４はスリット、５は蒸着源、６はペルジャーである。
以下、第１図を用いて液晶表示パネルの製造法について
説明する。ベルジャ−６内を十分真空にひいた後（１０
’Ｔｏｒｒ程度）、蒸着源５を加熱し、蒸着を行う。本
発明では蒸着源として酸化ケイ素を用いた。十分に加熱
された酸化ケイ素は、同心円状にひろがりとんでいくが
、基板と蒸着源との間にマスク３があるため、加熱され
た酸化ケイ素はスリットを通りぬけたちの以外は、基板
に到達することができない。蒸着源とスリットの位置関
係をしっかりと固定してやると、蒸着源と基板のなす角
は常に一定となる。基板を平行移動し、基板のどの部分
も、常に一定の角度で蒸着できた。
説明する。ベルジャ−６内を十分真空にひいた後（１０
’Ｔｏｒｒ程度）、蒸着源５を加熱し、蒸着を行う。本
発明では蒸着源として酸化ケイ素を用いた。十分に加熱
された酸化ケイ素は、同心円状にひろがりとんでいくが
、基板と蒸着源との間にマスク３があるため、加熱され
た酸化ケイ素はスリットを通りぬけたちの以外は、基板
に到達することができない。蒸着源とスリットの位置関
係をしっかりと固定してやると、蒸着源と基板のなす角
は常に一定となる。基板を平行移動し、基板のどの部分
も、常に一定の角度で蒸着できた。
茎着源をスリットに平行な線源にすると、基板の縦方向
も横方向も一定の角度で均一に蒸着される。
も横方向も一定の角度で均一に蒸着される。
酸化ケイ素の薄着膜厚および蒸着レイトは、蒸着源の加
熱や基板の移動速度を調節して行った０本実施例では蒸
着膜厚を１０００人とし、移動速度は１００ｘｍ／ｍ
ｉ ｎとした。蒸着角度は、６０゜と８５°の両方行っ
た。この後、本方式で形成した斜方蒸着基板に、ネマチ
ック液晶（チノ素社製Ｄ６４６０）および強誘電性液晶
（チッ素社製Ｃ５−１０１））をはさんで調べたところ
、均一な配向が得られた。
熱や基板の移動速度を調節して行った０本実施例では蒸
着膜厚を１０００人とし、移動速度は１００ｘｍ／ｍ
ｉ ｎとした。蒸着角度は、６０゜と８５°の両方行っ
た。この後、本方式で形成した斜方蒸着基板に、ネマチ
ック液晶（チノ素社製Ｄ６４６０）および強誘電性液晶
（チッ素社製Ｃ５−１０１））をはさんで調べたところ
、均一な配向が得られた。
発明の効果
以上のように本発明は、基板に対して斜め方向から無機
物質を蒸着して行う液晶表示パふルの配向制御において
、基板と蒸着源との間にスリットを設けることにより、
蒸着の角度依存の少ない、基板全体が均一で視認性の高
い液晶表示パネルを得ることができた。さらに、ペルジ
ャーの高さは低くでき、基板を移動して蒸着を行うため
流れ作業が可能であり、工業的に有用である。
物質を蒸着して行う液晶表示パふルの配向制御において
、基板と蒸着源との間にスリットを設けることにより、
蒸着の角度依存の少ない、基板全体が均一で視認性の高
い液晶表示パネルを得ることができた。さらに、ペルジ
ャーの高さは低くでき、基板を移動して蒸着を行うため
流れ作業が可能であり、工業的に有用である。
第１図は本発明の一実施例における液晶表示パネルの製
造法の構成図、第２図は従来の液晶表示パネルの製造法
の構成図である。 １・・・・・・基板、３・・・・・・マスク、４・・・
・・・スリット、５・・・・・・蒸着源。 代理人の氏名 弁理士 中尾敏男 はか１名＼ Ｎワ
寸つ ＬＳ ＼０７−
基板 Ｂ−へルシャー ９−−− イｌ：Ｘ き 角 １０− 蒸２着方自 第２図 ／／−蒸着源
造法の構成図、第２図は従来の液晶表示パネルの製造法
の構成図である。 １・・・・・・基板、３・・・・・・マスク、４・・・
・・・スリット、５・・・・・・蒸着源。 代理人の氏名 弁理士 中尾敏男 はか１名＼ Ｎワ
寸つ ＬＳ ＼０７−
基板 Ｂ−へルシャー ９−−− イｌ：Ｘ き 角 １０− 蒸２着方自 第２図 ／／−蒸着源
Claims (4)
- （１）基板に対して斜め方向から無機物質を蒸着して行
う、液晶表示パネルの配向制御において、基板と蒸着源
との間にスリットを設け、前記蒸着源と前記スリットの
なす角度で傾き角を決定することを特徴とする液晶表示
パネルの製造法。 - （２）基板が移動することを特徴とする特許請求の範囲
第（１）項記載の液晶表示パネルの製造法。 - （３）無機物質が酸化ケイ素であることを特徴とする特
許請求の範囲第（１）項または第（２）項のいずれかに
記載の液晶表示パネルの製造法。 - （４）液晶表示パネルにおける液晶材料が強誘電性液晶
であることを特徴とする特許請求の範囲第（１）項、第
（２）項または第（３）項のいずれかに記載の液晶表示
パネルの製造法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP351887A JPS63172121A (ja) | 1987-01-09 | 1987-01-09 | 液晶表示パネルの製造法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP351887A JPS63172121A (ja) | 1987-01-09 | 1987-01-09 | 液晶表示パネルの製造法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS63172121A true JPS63172121A (ja) | 1988-07-15 |
Family
ID=11559585
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP351887A Pending JPS63172121A (ja) | 1987-01-09 | 1987-01-09 | 液晶表示パネルの製造法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS63172121A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6667215B2 (en) * | 2002-05-02 | 2003-12-23 | 3M Innovative Properties | Method of making transistors |
-
1987
- 1987-01-09 JP JP351887A patent/JPS63172121A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6667215B2 (en) * | 2002-05-02 | 2003-12-23 | 3M Innovative Properties | Method of making transistors |
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