JPS6316928A - 部品取上げ・運搬装置 - Google Patents

部品取上げ・運搬装置

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JPS6316928A
JPS6316928A JP61270820A JP27082086A JPS6316928A JP S6316928 A JPS6316928 A JP S6316928A JP 61270820 A JP61270820 A JP 61270820A JP 27082086 A JP27082086 A JP 27082086A JP S6316928 A JPS6316928 A JP S6316928A
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JP
Japan
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catcher
movable
catching
centering
jaw
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JP61270820A
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マーティン グフェラー
ルドルフ ヴァナー
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ZEBATETSUCHI AG
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ZEBATETSUCHI AG
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Publication date
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    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B65CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
    • B65GTRANSPORT OR STORAGE DEVICES, e.g. CONVEYORS FOR LOADING OR TIPPING, SHOP CONVEYOR SYSTEMS OR PNEUMATIC TUBE CONVEYORS
    • B65G47/00Article or material-handling devices associated with conveyors; Methods employing such devices
    • B65G47/74Feeding, transfer, or discharging devices of particular kinds or types
    • B65G47/90Devices for picking-up and depositing articles or materials
    • B65G47/91Devices for picking-up and depositing articles or materials incorporating pneumatic, e.g. suction, grippers
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/683Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for supporting or gripping
    • H01L21/6838Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for supporting or gripping with gripping and holding devices using a vacuum; Bernoulli devices
    • YGENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y10TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
    • Y10TTECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER US CLASSIFICATION
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  • Manipulator (AREA)
  • Branching, Merging, And Special Transfer Between Conveyors (AREA)
  • Feeding Of Articles To Conveyors (AREA)
  • Automatic Assembly (AREA)
  • Supply And Installment Of Electrical Components (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔発明の属する技術分野〕 この発明は、部品に対して往復方向に移動自在なキャッ
ヂャーを備え、該キャッチャ−を、終端、が解放された
長い中空体として構成するとともにこれに負圧接続部を
設けた、部品取上げ・運搬用の装置に関する。
こごでいう「部品1としては、まず電子部品が挙げられ
るが、こわらの部品(,1、送り込み装置やコンベヤベ
ルト等で組み〜yて二1稈に運ばれ、そこで組み込み対
象物」−に移される。またこのr部品Jは、寸法力<a
ぼ5 (I X 5(l m−稈度で、所定場所まで運
搬され、そこで取1−げらねろようなあらゆる種類の極
小型ないし小型部品をも意味する。
〔従来技術とその問題J:、< 3 」二記のよう7.i:部品をIll! Lげるのに、従
来、さまざまな仕様のいわゆる「−リクションペン」が
用いられている。この種のサクシ−lンペンは、終端が
解放された中空の手中・y 4〜や−で主体が構成され
、その内部が負11E i+r7に連結され′(いる。
先端が4状のこのキャッチャ−機構を捕捉・運搬対象の
部品の上に当接させる。!、キ、トソチャー内部の負圧
によって部品がhlMさね、所定の場所までM1駁され
る。
しかし実際には、例えば数1°〕方ミリから数百立方ミ
リにまで及ぶ、さ;Lざ:1−な→ノ゛イズの部品を取
り扱わなければならない。この場合、部品サイズが大き
い程、サクシコンベンは大きな吸引力と大きな捕捉面と
を必要とし、またサイズが小さいときにはこれと逆にな
ることを考えると、サクションペンに対しては、部品サ
イズに応じてそれぞれ異なった条件が要求されることに
なる。
小型ならびに極小型の部品用の男りションペンは、可及
的小さな直径と、またこれに相応した僅かな吸引力とを
備えていなければならない。これに反し、大型部品用サ
クションペンでlet寸法そのものはあまり問題とはさ
れず、部品を確実に捕捉しかつ運搬するのに十分な吸引
力がキーポイントになる。この問題に対しては、従来、
サクションペンのサイズを捕捉・運搬対象となる部品に
マツチさせることによって対処されてきたが、これには
同一のサクションペンをやむを11ず使用するか、ある
いはこれを対象部品に応じてその都度交換するという不
便さを甘受しなければならなかった。
〔発明の目的〕
この発明は、」二記のような欠点をJ′J[除し、かつ
冒頭に述べた様式の部品取上げ・運搬装置を、さまさま
なサイズのあらゆる種類の部品に適合するように構成す
ることを、「1的とする。
〔発明の要点〕
この目的は、特j’l’ +R?求の範囲第1項記載の
特徴によって達成されるが、こねには、これに従属した
他の項記載の胃な−、た実施態様も包含される。
〔発明の実施例〕
第1図ないし第3図に、この発明に基づく装置の軸対称
の片側部分を示゛・;゛が、これらの図は、この装置の
第1ないし第3の作動位置をそれぞれに示したものであ
る。これらの図において、全体を1で表したキャッチャ
−が、中空体として形成されたベース部分2を備え、該
部分に、その内部に通じる放射方向の孔3が設けられて
おり、これが負圧源(ここには描かれていない)への接
続部となる。このベース部分2の中空内部に、第1の一
トトソヂングエレメン1〜4が滑動自在に収容されてお
り、これとベース部分2との間が、溝5の中に装着され
たO−リングにでシールされている。
キャッチングエレメント4がどのような位置にあっても
、中空体として形成されたこのエレメント4の内室が、
放射方向孔7によって常に負圧接続部3に連通される。
ここに示した実施例では、第1キャッチングニレメンl
−4の内部に、これも軸方向に滑動自在に第2のキャッ
チングエレメント8が配置されている。そして溝9内の
O−リング10で、第1キヤソヂングエレメント4との
間がシールされる。
第2キャッチングエレメント8の内部に、第3のキャッ
チングエレメント11が、これも軸方向に滑動自在に装
着される。そして負圧接続部3ないしこれに連通した、
キャッチャー・ベースエレメント2と第1キヤツチング
エレメント4との間に位置する中間室12が、放射方向
の孔7を経由して、第1.第2キャッチングエレメント
(4と8)間に位置する第2の中間室13に連通ずる。
また、第2.第3キャッチングエレメント(8と11)
間に位置する第3の中間室が、放射方向の孔15を経由
して第2中間室13に、そしてそこから更に負圧接続部
3へ連通ずる。ノ16.後にm3キソヂングエレメント
IIの内部11bが、放射方向の孔16を経III L
、−C第3中間室、そこがら更に負圧接続部3に連通す
る。
ff11図に、この装置の、;(II^1の・トヤソヂ
ングエレメント (4,8;Ilj、l、σ11)か突
き出されたときの状態が示されて、1?す、この図によ
って、最内側の第3キヤy 4−ングエレメンL l 
lが最小の直径を持つことが分かる。そしてこれが、小
型および極小型部品捕捉用となる。使用に際しては、第
3キャッチングエレメント11の先端11 cが捕捉対
象部品の表面(1γ置に達するまで、キャッチャ−全体
1が軸方向1)に引き伸ばされる。このときの先端位置
を、第1ないし第3図に何れもX−Xラインで示す。先
端1!(7が部品表面に当接すると、第1中間室12.
孔7.第2中間室13.孔15、第3中間室14を逐次
経由して接続部3から負圧が印加されるので、第3キャ
ッチングエレメント11端部に設置Jられた吸引112
0によって部品が捕捉される。この第1図に、1;って
、第2キャッチングエレメントE(に設4Jられた吸引
1117が、第1キャッチングエレメントの吸引口18
と同様、ここに示した状態では封鎖され−Cいることが
分かる。
より大きな部品を捕捉・運I駁しなければならない場合
には、キャッチャ−1を、その部品高さのレヘルX−X
ラインまで第1図の矢印Pと反対方向に縮めて第2図に
示した状態とする。このとき第3キヤツチングエレメン
ト11を矢印Pと反対の方向に、第2キャッチングエレ
メント8の端面19のレベルまで移動させるごとにより
、吸入口17が捕捉対象部品の表面に当接する。
キャッチングエレメントをこのように相対運動さセるこ
とにより、第2キヤツチングエレメント8の部品側端面
の吸入口17が、孔15と7.ならびに中間室14.1
3.12を経由して負圧接続部3連通ずるようになる。
このことは、二つの同心吸入口、すなわち第3キヤツチ
ングエレメント11の吸入口20と第2ギヤソチングエ
レメント8の吸入口17とが、共に活かされることを意
味する。従って吸入面積が増大してより強力な吸引効果
が得られるので、大面積の部品を捕捉・運1駁可能とな
る。
ff13図に、ff13=tヤソーf−ンクエレメント
11だけではなく、第2キ中ソ(〜フグエレメント8も
矢印Pと反対方向に移動し、IIキャッチングエレメン
ト4の吸入し118も6へかされた状態を示す。
すなわち、面積が大きな部品を捕捉するため、三つのキ
ャッチングエレメント4,8および11ずべてが捕捉対
象部品の表向に当接するとともに、中間室12.孔7.
中間室+3.孔15.中間室14、孔16を逐次4Y+
l t、て負11が、接続部3から部品表面上の、同心
環状に配列されたヨつの吸入口に作用する。
キャソチングエl/メンI・で構成したテレスコープ機
構により、軸方向の各ご1ヤノヂングエレメントの相対
移動運動に際L71.1・、トソチャーの下降運動中に
おいても第2.第1−1−ヤソヂングエレメント吸入口
の順に、当該吸入IIが部品表面に当接した途端に負圧
を接続部5号から作用させるという、コントロール機能
が其現される。このため、各キ1;3 ャソチングエレメントには、対になって機能するフンl
−o−ルエソジ4aと8a、8bとllaが設けられて
いる。第1図に相当した作動位置では、この2対のコン
トロールエツジで構成される通路が、何れも封鎖されて
おり、第2図の状態ではコントロールエツジ4aと8a
が構成する通路だけが封鎖され、また第3図の状態では
、両方のコントロールエツジ対の通路が何れも解放され
る。
」二連した装置を用いれば、吸引力が比較的僅かです、
む小型ならびに極小型の部品を、寸法の小さな第3キヤ
ツチングエレメント11だけで捕捉可能となる。中程度
の部品を捕捉しなければならない場合には、キャッチャ
−が直ちに下降し、第3キヤツチングエレメント11の
吸引能力を、第2キヤツチングエレメント8の吸引作用
で支援させる。またより大きな部品を捕捉するには、第
2キヤツチングエレメントに同心配置した第1キヤツヂ
ングエレメント4にも、前記同様な支援をさせる。
第4図に、この装置全体の概要を示すが、キャソチング
エレメント・テレスコープ機+R1aを包含したキャッ
チ中−1が、ここにブロックで概要を示した装置架台1
+に、ガ・イド兼駆動用ラック1bを介して上1・方向
に移動自在に装着されている。ラック1bは、こ、二に
kl 、l’l細が描かれていない歯車装置の出力ギャ
4介L−’(■j逆回転のコントロールモータ21にl
r’t’i合される。これに付属したt下制御装置22
は、mlンl o−ルモータに印加する直流電圧の極性
切換用の電気制御式切換スイッチ22aを備え°(いる
。このスイッチ22 ’aは、極性切り換え用の両側の
接点以外に、モータを静止状態に保つ中間オフ・ポイン
I・付である。スイッチ22aの」−記憶つの接点状態
は、制御回路22 c、のアウトプソ!・22dによっ
てコントロールされろ。
この制御回路22cの他のアウトプットは、旋回自在に
縦軸に装着さね、適当した駆動装置と組合わされたキャ
ツー1− 1− − 1の、ここには描かれていない2
軸水平:IントII−ルならびに旋回コントロール用で
ある,、こねらのコントロール装置5 置は公知の構成のものであればよいので、詳細な説明は
省略する。
この発明による装置で重要なことは、第4図に全体を2
3で示したプログラマブル命令記憶装置で、これは、例
えば書込・読出装置23b付の磁気テープ装置232等
で構成され、それ自体は公知の方法でプログラマブルな
命令シーケンス、特にキャッチングエレメント・テレス
コープ機構のそれぞれの」−下位置や作動位置に対応し
た多数の制御命令のインプットステーションとして構成
される。第1ないし第3図を参照しながら上述したよう
に、キャッチングエレメント・テレスコープ機構をさま
ざまなサイズや形状の部品表面に適合した作動位置に導
くことにより、それぞれにマツチした吸入口を機能させ
ることが、これらの制御命令によって実現される。
第4図に示したような実施例では、キャッチャ−1がセ
ンタリング装f24と組合わされ、該装置が、キャッチ
ャーによって適当した上下位置に保持される部品Bを、
キャッチャ−軸に対して同心となるように図中の矢印1
)「の方向に把持し、部品をキャッチャ−軸に対し7て
放射方向に移動させることにより、ご1・1を11−確
なイ1装置に合わせる。
第5ないし第7191に、キャッチャ−軸に対して同心
的に配置されたt!ンタリングショー25の第1のベア
を示すが、こねしl、その自沈」法が」二に向かって増
大する内面輪郭2 5 aを持ら、表面積が異なる3種
類の部品Ill,Ill,T33にマツチした3ステツ
プを形成しCいる。これらのサイズが異なった部品に対
15L、センタリング装置24に対して上下方向に相対
移動°・1−るギャソチャー1が、部品表面積が異なる
たびに異なった上下位置を占める。ずなわら、キャッチ
ングエレメント・テレスコープ機構1aが、捕捉対象部
品の表面積に相応した吸入口が機能し得るように上下方
向に伸縮するのである。この作動位置は、例えばある定
められた出発点で当該部品を直ちにピックアップさせる
か、あるいはキャッチャ−を、特定の高さにセンタリン
グジ1−がイに1持している部品の位置に、予め設定し
゛(置いたブ11ゲラムに従って上下運動さゼることに
より、コントロールずれはよい。
そして部品を、部品サイズに対応したセンタリングジー
3−25の内面ステップ25aに杆1当した上下位置に
合わせる。この位置は、部品B1の場合には第5図に1
で示したレベルに相当した最下段ステップ、B2に対し
ては第6図のITのレベルに相当した下から2番目のス
テップである。
第8図に示したように、センタリングショー25の、キ
ャッチャ−軸に対して接線方向に測った幅を、上に向か
うにつれてステップ状25Cに増大するよう形成する。
そしてその各ステップの高さは、はぼ、内面輪郭25H
の各ステップの高さにそれぞれ相当する。また各ステッ
プは、極小サイズ部品の心出しに際し、センタリングジ
ョー25の下側エンドセクション25I)が、キャッチ
ャ−軸周りに90°回した位置にある第2のジョーペア
を接近させたセンタリングジョー26の間にがん合可能
となるような寸法とされている。この第2のジョーペア
を、付属の第5a,第6a図に示す。従って両方のジタ
ーペアは、部品B1ないしB2がそれぞれ高さレベルl
ないし■にあるとき、放射方向に移動することによって
矢印XおよびYの両水平座標方向のセンタリング機能を
実行可能である。
例えば第7ないし第721図に示したような大型な部品
B3のセンタリングを行・)場合には、センタリンクジ
ョー25の水東力向ストロークの限界を弯慮し、内面輪
郭25.」の内法幅を適当に拡大し、高さレベルI11
に才?りるY方向のセンタリングを行ったあと、それよ
り11(いレベル■のジョー25とは無関係に、シー+
2FiでX方向のセンタリングを行えばよい。このため
、レベル1■)\の下降を妨害しないよう、シl−25
を、ここには詳細を示していないツノ7ノ、て−1ント
い−ルすべきである。
【図面の簡単な説明】
第1図は、この発明の実施例が第1の作動位置にあると
きの軸対象の1°、側部分の図、第2図および第3図は
、第1図の実施例がそれぞれ第2.第3の作動位置にあ
るときの図、第4図は、前記各の発明の実施例の部品キ
ャッチャ−の先端と、それぞれ異なったレベルI、  
II、  IIIにセンタリング装置で保持された部品
との相互関係を示ず縦断面概要図である。 ■・・・キャッチャー、  4・・・第1キヤツチング
エレメント、  8・・・第2キャッチングエレメント
、   11・・・第3キヤツ・f−ングエレメント 
 21・・・コントロールモータ。 23・・・命令記憶装置、   25.26・・・セン
タリングジーa、   B・・・部品。 特許出願人   ゼバテ、チ アーゲー手続補正側 昭和62年 6月25日 特許庁長官  黒  1) 明  雄  殿1、事件の
表示 昭和61年特 許 願第270820号2、発明の名称 部品取上げ・運搬装置 3、補正をする老 事件との関係     特許出願人 氏名(名称)    ゼバテッヂ アーゲー4、代理人 住 所  東京都文京区白山5丁目14番7号5、補正
命令の日付(発送日) 昭和62年 1月27日 7、補正の内容 (1)代理権を証明する書面を別紙の通り補正する。 (2)図面の浄書(内容に変更イρし)を別紙の通り提
出づる。 (3)明細用の第20頁第4行目の1第8図1を「第7
図」と補正Jる。

Claims (1)

  1. 【特許請求の範囲】 1)部品に対して往復方向に移動自在なキャッチャーを
    備え、該キャッチャーを、終端か解放された長い中空体
    として構成するとともに、これに負圧接続部を設けた、
    部品取上げ・運搬用装置において、 キャッチャー(1)に、相互移動自在に同心配置した少
    なくとも2個のキャッチャーエレメント(4、8、11
    )を装着し、該各エレメントの終端それぞれに吸引口(
    17、18、20)を設けたこと、およびキャッチャー
    にコントロール手段(4a、8a、8b、11a)を設
    け、1個または複数個のキャッチャーエレメントと負圧
    接続部(3)との間の連通パス(4b、8c)を、該コ
    ントロール手段で開閉させることを特徴とする装置。 2)キャッチャーに、キャッチャー・ベースエレメント
    (2)と、該ベースエレメントに対して同心に配置しか
    つ軸方向に移動自在に装着したキャッチャーエレメント
    (4、8、11)とを設けたことを特徴とする特許請求
    の範囲第1項記載の装置。 3)負圧接続部(3)を、キャッチャー・ベースエレメ
    ント(2)に位置させたことを特徴とする特許請求の範
    囲第2項記載の装置。 4)キャッチャー・ベースエレメント(2)を中空円筒
    状に形成するとともに、これに、少なくとも1個の中空
    円筒状のキャッチングエレメント(4)を、軸方向に移
    動自在に収容させたこと、およびこのキャッチングエレ
    メント(4)に第2のキャッチングエレメント(8)を
    、軸方向に移動自在に収容させたことを特徴とする特許
    請求の範囲第3項記載の装置。 5)第2のキャッチングエレメント(8)に、第3のキ
    ャッチングエレメント(11)を、軸方向に移動自在に
    収容させたことを特徴とする特許請求の範囲第4項記載
    の装置。 6)コントロール手段が、キャッチングエレメント(4
    、8、11)の放射方向孔(7、15、16)、吸引口
    (17、18、20)を負圧接続部(3)に連通させる
    パス(4a、8c)、およびキャッチャーの相関位置に
    対応してパス(4a、4c)を開閉させるためにキャッ
    チングエレメント(4、8、11)に形成したコントロ
    ールエッジ(4a、8a、8b、11a)、をそれぞれ
    備えたことを特徴とする特許請求の範囲前記各項の何れ
    かに記載の装置。 7)キャッチャー(1)を上下に移動自在に装着すると
    ともに、これに、上下調整駆動装置(21)とプログラ
    マブル上下コントロール装置(22)とを設けたこと、
    および上下コントロール装置(22)に、キャッチング
    エレメントのテレスコープ機構(1a)の所定の上下位
    置ないし移動位置(I、II、III)に対応した多数
    の制御命令を格納する命令記憶装置(23)を設けたこ
    とを特徴とする特許請求の範囲前記各項の何れかに記載
    の装置。 8)キャッチングエレメント・テレスコープ機構(1a
    )をさまざまな部品表面に対応して移動させるための制
    御命令を格納する命令記憶装置(23)を備えたことを
    特徴とする特許請求の範囲第7項記載の装置。 9)キャッチャー(1)を、上下方向に段付の内面輪郭
    (25a)を備えてキャッチャーと同心配置された少な
    くとも1対の部品センタリングジョー(25)と組み合
    わせたこと、およびキャッチャー(1)を、センタリン
    グジョー(25)に対して上下方向に相対移動自在に構
    成したことを特徴とする特許請求の範囲前記各項の何れ
    かに記載の装置。 10)センタリングジョーの各ステップの内法寸法を、
    上方に向かうにつれ、各ステップごとに大きくしたこと
    を特徴とする特許請求の範囲第9項記載の装置。 11)センタリングジョー(25)の、対を成すジョー
    対向面の横断幅を、ジョーの下端から上方に向うにつれ
    大きくしたことを特徴とする特許請求の範囲第9または
    第10項記載の装置。 12)センタリングジョー(25)の対向間隔を、上に
    向かって段階的に大きくしたことを特徴とする特許請求
    の範囲第11項記載の装置。 13)ジョー間隔各ステップの、縦方向に測った高さを
    、ジョーの内面輪郭の、それぞれ同じ高さに位置したス
    テップのそれにほぼ匹敵したサイズとしたことを特徴と
    する特許請求の範囲第11項記載の装置。 14)それ自体は公知な方法で、キャッチャー(1)に
    対して十文字かつ同心に配置した2対のセンタリングジ
    ョー(25、26)を備えるとともに、第1の対を成す
    センタリングジョー(25)の内面輪郭を段付とし、か
    つその幅を下から上に向うにつれ大きくして、第2対を
    成すセンタリングジョー(26)間の下部エンドセクシ
    ョン(25b)にかん合させることを特徴とする特許請
    求の範囲第11ないし第13項の何れかに記載の装置。
JP61270820A 1985-11-12 1986-11-12 部品取上げ・運搬装置 Pending JPS6316928A (ja)

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CH4831/85-4 1985-11-12
CH4831/85A CH668023A5 (de) 1985-11-12 1985-11-12 Vorrichtung zur aufnahme und zum transport von bauteilen.

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JPS6316928A true JPS6316928A (ja) 1988-01-23

Family

ID=4283304

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Application Number Title Priority Date Filing Date
JP61270820A Pending JPS6316928A (ja) 1985-11-12 1986-11-12 部品取上げ・運搬装置

Country Status (6)

Country Link
US (1) US4762354A (ja)
EP (1) EP0226033B1 (ja)
JP (1) JPS6316928A (ja)
AT (1) ATE46488T1 (ja)
CH (1) CH668023A5 (ja)
DE (1) DE3665699D1 (ja)

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH01292898A (ja) * 1988-05-20 1989-11-27 Sony Corp 部品吸着装置
JPH0285583U (ja) * 1988-12-23 1990-07-05
JPH06216577A (ja) * 1993-01-18 1994-08-05 Tenryu Technic:Kk 部品吸着固定装置

Families Citing this family (19)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
GB8702618D0 (en) * 1987-02-05 1987-03-11 Dynapert Precima Ltd Suction pick-up apparatus
GB8714175D0 (en) * 1987-06-17 1987-07-22 Dynapert Precima Ltd Suction pick-up apparatus
US4887351A (en) * 1988-09-09 1989-12-19 Universal Instruments Corporation Pick and place nozzle with concentric grooves
US5113578A (en) * 1990-11-29 1992-05-19 Emhart Inc. Tool tip assembly for surface mount machine
US5161301A (en) * 1991-07-01 1992-11-10 Mcdonnell Douglas Corporation Double-barrelled contact tool and method of using same
GB2266508A (en) * 1992-04-29 1993-11-03 Guinness Brewing Worldwide Placing an insert in a beverage can
US5374091A (en) * 1993-12-06 1994-12-20 Motorola, Inc. Vacuum gripper assembly for a robotic device
FR2782313B1 (fr) * 1998-08-13 2000-11-24 Opema Dispositif de prehension
US6079091A (en) * 1998-10-19 2000-06-27 Ford Global Technologies, Inc. Valve assembly tool
KR100394224B1 (ko) * 2001-06-12 2003-08-09 미래산업 주식회사 비접촉 실링구조를 갖는 부품흡착헤드
US6866417B2 (en) * 2002-08-05 2005-03-15 Fmc Technologies, Inc. Automatically measuring the temperature of food
US7309089B2 (en) * 2004-02-04 2007-12-18 Delaware Capital Formation, Inc. Vacuum cup
US7540309B2 (en) 2005-07-11 2009-06-02 Delaware Capital Formation, Inc. Auto-release vacuum device
DE102006006901A1 (de) * 2006-02-11 2007-09-06 Nordischer Maschinenbau Rud. Baader Gmbh + Co. Kg Vorrichtung und Verfahren zum Vereinzeln von Produkten
US20100150743A1 (en) * 2008-12-12 2010-06-17 Norgren Automotive, Inc. Single Line Venturi Apparatus
JP6093429B1 (ja) * 2015-12-17 2017-03-08 株式会社カイジョー キャピラリ搬送装置、キャピラリ取り付け装置、キャピラリ交換装置、キャピラリ搬送方法、キャピラリ取り付け方法及びキャピラリ交換方法
CN110723487A (zh) * 2019-10-18 2020-01-24 深圳高飞翔塑胶五金制品有限公司 输送结构和电镀设备
CN113043304B (zh) * 2021-04-15 2022-12-27 北京京东乾石科技有限公司 端拾器、机械手和机器人
CN117602368A (zh) * 2023-12-28 2024-02-27 重庆市祥和大宇包装有限公司 一种瓦楞纸板分拣机器人

Family Cites Families (12)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE850797C (de) * 1951-09-01 1952-09-29 Benno Schilde Maschb Ag Auflegevorrichtung fuer nasse Faserplatten
GB1193921A (en) * 1968-01-17 1970-06-03 Strachan & Henshaw Ltd A Suction Cup Assembly for Laminate and Plate Handling
US3637074A (en) * 1970-03-31 1972-01-25 Owens Illinois Inc Container handling apparatus
CH538412A (de) * 1971-05-13 1973-06-30 Laessig Foerdertech Hamburg Vorrichtung zum Umlagern von Fördergut
US3751095A (en) * 1971-09-30 1973-08-07 Alvey Inc Universal suction head conveyor
JPS5413165A (en) * 1977-06-30 1979-01-31 Matsushita Electric Works Ltd Attracting device
DE3102206A1 (de) * 1981-01-23 1982-08-19 Siemens AG, 1000 Berlin und 8000 München Montagekopf zum montieren von elektronischen bauteilen
SU1055567A1 (ru) * 1982-04-26 1983-11-23 Всесоюзный заочный машиностроительный институт Держатель с форсированным усилием
US4559718A (en) * 1983-08-02 1985-12-24 Oki Electric Industry Co., Ltd. Method and apparatus for drying semiconductor wafers
JPS60131129A (ja) * 1983-12-20 1985-07-12 Matsushita Electric Ind Co Ltd 部品吸着装置
WO1985003404A1 (en) * 1984-01-23 1985-08-01 Dyna/Pert - Precima Limited Head for handling electrical components
GB8406129D0 (en) * 1984-03-08 1984-04-11 Dyna Pert Precima Ltd Orienting electrical components

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH01292898A (ja) * 1988-05-20 1989-11-27 Sony Corp 部品吸着装置
JPH0285583U (ja) * 1988-12-23 1990-07-05
JPH06216577A (ja) * 1993-01-18 1994-08-05 Tenryu Technic:Kk 部品吸着固定装置

Also Published As

Publication number Publication date
EP0226033B1 (de) 1989-09-20
DE3665699D1 (en) 1989-10-26
EP0226033A1 (de) 1987-06-24
CH668023A5 (de) 1988-11-30
US4762354A (en) 1988-08-09
ATE46488T1 (de) 1989-10-15

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