JPS63168370A - サ−マルヘツドおよびその製造方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 （産業上の利用分野） 本発明は、サーマルヘッドおよびその製造方法に関する
ものである。

（従来の技術） 一般に、サーマルヘッドの基板としては、アルミナ基板
などの放熱性の高い絶縁基板の上にガラスなどの蓄熱性
の優れたグレーズ層が被着されたものが用いられている
。

ところで、グレーズ層の膜厚を均一にすることは困難で
あり、例えば５０μｍの膜厚仕様に対して±３μｍ程度
のバラツキが発生することは避けられない。

ところが、従来のサーマルヘッドでは、このようなグレ
ーズ層の膜厚のバラツキとは無関係に、一定の面積を有
する記録ドツトを形成することが行われている。

（発明が解決しようとする問題点） この結果、各記録ドツトを同一条件で駆動発熱させた場
合、グレーズ層の膜厚に応じて発熱温度にバラツキを生
じることになる。

また、このようなグレーズ層の膜厚のバラツキは、記録
紙に対するナーマルヘッドの接触圧のバラツキをも生じ
させることになり、記録紙の記録濃度ムラを引き起こす
ことになる。

このようなグレーズ層の膜厚のバラツキに起因する不都
合は、複数の記録ドツトがライン状に形成されたサーマ
ルヘッドを用いてｌ！ｌ！ｉ調記録を行う場合に顕著に
現れることになる。

本発明は、このような点に着目したものであって、その
目的は、グレーズ層の膜厚のバラツキによる記録濃度ム
ラを生じないサーマルヘッドおよびその製造方法を提供
することにある。

（問題点を解決するための手段） 本発明のサーマルヘッドは、各記録ドツトの面積がグレ
ーズ層の厚さに応じて異なることを特徴とする。

また、このようなサーマルヘッドのグレーズ層上に被着
された発熱抵抗体層をフォトリソ技術により複数の記録
ドツトとして離散的に形成するのにあたって、記録ドツ
トを形成するためにフォトレジストを感光させる光とし
て基板に対して斜めの成分を含むものを入射させ、各記
録ドツトの面積をグレーズ層の厚さに応じて異ならせた
ことを特徴とする。

（実施例） 以下、図面を用いて本発明の実施例を詳細に説明する。

第１図は、本発明の一実施例の要部を示す拡大断面図で
ある。第１図において、１は絶縁基板であり、表面には
膜厚が不均一のグレーズ層２が被着されている。３はグ
レーズ層２の表面に離散的に形成された発熱抵抗体層よ
りなる複数の記録ドツトであり、グレーズ層２の膜厚が
厚い部分に形成された記録ドツト３１の幅Ｗａはグレー
ズ層２の膜厚が薄い部分に形成された記録ドツト３２の
幅ｗｂよりも短く形成されている。従って、これら各記
録ドツト３の長さが等しいものとすると、記録ドツト３
１の面積は記録ドツト３２の面積よりも小さくなる。

実験によれば、グレーズ層２の膜厚が５０μｍのサーマ
ルヘッドとグレーズ層２の膜厚が４５μｍのサーマルヘ
ッドを用いて同程度の記録濃度を得るためには、後者の
印加電力を前者の印加電力よりも約６％増加させる必要
がある。すなわら、記録ドツト３１が形成された部分の
グレーズ層２の膜厚を５０μｍとして記録ドツト３２が
形成された部分のグレーズｍ２の膜厚を４５μｍとし、
それらの長さは等しいものとすると、記録ドツト３２の
幅ｗｂを記録ドツト３１の幅Ｗａよりも約６％広くすれ
ばよいことになる。

第２図は、このようなサーマルヘッドの製造工程の一実
施例を示す工程説明図である。

工程（ａ）において、グレーズ層２の表面全体に発熱抵
抗体層３が被着され、発熱抵抗体層３の全面には電極層
４が積層被着され、さらに電極層４の表面には例えば光
定着形のフォトレジスト５が全面被着されている。

工１！？　（ｂ）において、６はフォトレジスト５を選
択的に感光するための所定のマスクパターンが形成され
たフォトマスクであり、フォトレジスト５の表面に重ね
合わされている。この状態で、記録ドツトを形成するた
めに７オトレジスト５を感光させる光（本実施例では紫
外光）として基板１に対して斜めの成分を含むものを入
射する。

第３図は、このような斜めの成分を含む光の照射による
フォトレジスタ５の感光説明図である。

すなわち、グレーズ層２の膜厚が均一でないことから、
フォトレジスタ５とフォトマスク６との間には隙間が生
じる。前述のように、グレーズ層２の膜厚の厚い部分が
５０μｍで薄い部分が４５μｍの場合には５μｍの隙間
が生じることになる。

従って、フォトマスク６のパターン幅を１００μｍとす
ると、フォトレジスタ５に１０６μｍのパターン幅が感
光されればよく、平行光に対して約３０度の広がりを持
つ光を照射すればよい。このような基板１に対して斜め
の成分を持つ光は、平行光を任意の角度で拡散させるこ
とができるレンズ光学系を用いることにより、容易に得
ることができる。なお、このような拡散角度の光を照射
することにより、グレーズ！ｍ２の膜厚が４５μｍの場
合には約１０３μｍのパターン幅を感光させることがで
きる。

再び第２図において、工程（Ｃ）は、このようにして感
光されたフォトレジスト５を現像した状態を示している
。

工程（ｄ）において、現像されたフォトレジスト５をガ
ードにして電極層４および発熱抵抗体層３をエツチング
により選択的に除去される。

その後、はぼ同様な工程で電極層３が選択的に除去され
ることにより、サーマルヘッドが作られる。

このようにして構成されるサーマルヘッドの記録ドツト
の面積はグレーズ１ｉＩ２の膜厚が薄い部分では厚い部
分よりも広くなって発熱聞が増大することになり、グレ
ーズ層２の膜厚のバラツキに起因する記録濃度ムラを改
善することができる。

なお、上記実施例では、ネガ形のフォトレジストを用い
る例について説明したが、ポジ形のフォトレジストとり
フトオフ法とを組み合わせるようにしてもよい。

また、上記実施例では、基板の表面は平坦なものとした
例について説明したが、基板の表面に凹凸があって記録
濃度ムラを生じるような場合にも有効である。

（発明の効果） 以上説明したように、本発明によれば、グレーズ層の膜
厚のバラツキによる記録濃度ムラを生じないサーマルヘ
ッドおよびその製造方法が実現でき、実用上の効果は大
きい。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の一実施例の要部を示す拡大断面図、第
２図は第１図の製造工程の一実施例を示す工程図、第３
図は感光状態の説明図である。 １・・・絶縁基板、２・・・グレーズ層、３・・・発熱
抵抗体層、４・・・電極層、５・・・フォトレジスト、
６・・・フォトマスク。 第２図 （ａ） ＣＣ） 第１図 〜

Claims (2)

【特許請求の範囲】
1. （１）グレーズ層上に被着された発熱抵抗体層が複数の
   記録ドットとして離散的に形成されたサーマルヘッドに
   おいて、各記録ドットの面積がグレーズ層の厚さに応じ
   て異なることを特徴とするサーマルヘッド。
2. （２）グレーズ層上に被着された発熱抵抗体層をフォト
   リソ技術により複数の記録ドットとして離散的に形成す
   るのにあたって、フォトレジストを感光させて記録ドッ
   トを形成するために基板に対して斜めの成分を含む光を
   入射させ、各記録ドットの面積をグレーズ層の厚さに応
   じて異ならせたことを特徴とするサーマルヘッドの製造
   方法。