JPH062423B2 - サ−マルヘツドおよびその製造方法 - Google Patents
サ−マルヘツドおよびその製造方法Info
- Publication number
- JPH062423B2 JPH062423B2 JP31329286A JP31329286A JPH062423B2 JP H062423 B2 JPH062423 B2 JP H062423B2 JP 31329286 A JP31329286 A JP 31329286A JP 31329286 A JP31329286 A JP 31329286A JP H062423 B2 JPH062423 B2 JP H062423B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- glaze layer
- recording dots
- thermal head
- width
- recording
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Lifetime
Links
Classifications
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B41—PRINTING; LINING MACHINES; TYPEWRITERS; STAMPS
- B41J—TYPEWRITERS; SELECTIVE PRINTING MECHANISMS, i.e. MECHANISMS PRINTING OTHERWISE THAN FROM A FORME; CORRECTION OF TYPOGRAPHICAL ERRORS
- B41J2/00—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed
- B41J2/315—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed characterised by selective application of heat to a heat sensitive printing or impression-transfer material
- B41J2/32—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed characterised by selective application of heat to a heat sensitive printing or impression-transfer material using thermal heads
- B41J2/335—Structure of thermal heads
Landscapes
- Electronic Switches (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】 （産業上の利用分野） 本発明は、サーマルヘッドおよびその製造方法に関する
ものである。
ものである。
（従来の技術） 一般に、サーマルヘッドの基板としては、アルミナ基板
などの放熱性の高い絶縁基板の上にガラスなどの蓄熱性
の優れたグレーズ層が被着されたものが用いられてい
る。
などの放熱性の高い絶縁基板の上にガラスなどの蓄熱性
の優れたグレーズ層が被着されたものが用いられてい
る。
ところで、グレーズ層の膜厚を均一にすることは困難で
あり、例えば５０μｍの膜厚仕様に対して±３μｍ程度
のバラツキが発生することは避けられない。
あり、例えば５０μｍの膜厚仕様に対して±３μｍ程度
のバラツキが発生することは避けられない。
ところが、従来のサーマルヘッドでは、このようなグレ
ーズ層の膜厚のバラツキとは無関係に、一定の面積を有
する記録ドットを形成することが行われている。
ーズ層の膜厚のバラツキとは無関係に、一定の面積を有
する記録ドットを形成することが行われている。
（発明が解決しようとする問題点） この結果、各記録ドットを同一条件で駆動発熱させた場
合、グレーズ層の膜厚に応じて発熱温度にバラツキを生
じることになる。
合、グレーズ層の膜厚に応じて発熱温度にバラツキを生
じることになる。
また、このようなグレーズ層の膜厚のバラツキは、記録
紙に対するサーマルヘッドの接触圧のバラツキをも生じ
させることになり、記録紙の記録濃度ムラを引き起こす
ことになる。
紙に対するサーマルヘッドの接触圧のバラツキをも生じ
させることになり、記録紙の記録濃度ムラを引き起こす
ことになる。
このようなグレーズ層の膜厚のバラツキに起因する不都
合は、複数の記録ドットがライン状に形成されたサーマ
ルヘッドを用いて階調記録を行う場合に顯著に現れるこ
とになる。
合は、複数の記録ドットがライン状に形成されたサーマ
ルヘッドを用いて階調記録を行う場合に顯著に現れるこ
とになる。
本発明は、このような点に着目したものであって、その
目的は、グレーズ層の膜厚のバラツキにる記録濃度ムラ
を生じないサーマルヘッドおよびその製造方法を提供す
ることにある。
目的は、グレーズ層の膜厚のバラツキにる記録濃度ムラ
を生じないサーマルヘッドおよびその製造方法を提供す
ることにある。
（問題点を解決するための手段） 本発明のサーマルヘッドは、グレーズ層上に被着された
発熱抵抗体層が複数の記録ドットとしてライン状に離散
的に形成されたサーマルヘッドにおいて、 各記録ドットの配列方向に沿った長さは等しく形成さ
れ、グレーズ層の膜厚の厚い部分に形成された記録ドッ
トの幅はグレーズ層の膜厚の薄い部分に形成された記録
ドットの幅よりも短く形成されたことを特徴とする。
発熱抵抗体層が複数の記録ドットとしてライン状に離散
的に形成されたサーマルヘッドにおいて、 各記録ドットの配列方向に沿った長さは等しく形成さ
れ、グレーズ層の膜厚の厚い部分に形成された記録ドッ
トの幅はグレーズ層の膜厚の薄い部分に形成された記録
ドットの幅よりも短く形成されたことを特徴とする。
また、グレーズ層上に被着された発熱抵抗体層をフォト
リソ技術により複数の記録ドットとしてライン状に離散
的に形成するのにあたって、 フォトレジストを感光させて記録ドットを形成するため
に平行光を所望の角度で拡散させるレンズ光学系を介し
て入射させ、 各記録ドットの配列方向に沿った長さは等しく形成し、
グレーズ層の膜厚の厚い部分に形成された記録ドットの
幅はグレーズ層の膜厚の薄い部分に形成された記録ドッ
トの幅よりも短く形成することを特徴とする。
リソ技術により複数の記録ドットとしてライン状に離散
的に形成するのにあたって、 フォトレジストを感光させて記録ドットを形成するため
に平行光を所望の角度で拡散させるレンズ光学系を介し
て入射させ、 各記録ドットの配列方向に沿った長さは等しく形成し、
グレーズ層の膜厚の厚い部分に形成された記録ドットの
幅はグレーズ層の膜厚の薄い部分に形成された記録ドッ
トの幅よりも短く形成することを特徴とする。
（実施例） 以下、図面を用いて本発明の実施例を詳細に説明する。
第１図は、本発明の一実施例の要部を示す拡大断面図で
ある。第１図において、１は絶縁基板であり、表面には
膜厚が不均一のグレーズ層２が被着されている。３はグ
レーズ層２の表面に離散的に形成された発熱抵抗体層よ
りなる複数の記録ドットであり、グレーズ層２の膜厚が
厚い部分に形成された記録ドット３１の幅Ｗａはグレー
ズ層２の膜厚が薄い部分に形成された記録ドット３２の
幅Ｗｂよりも短く形成されている。従って、これら各記
録ドット３の長さが等しいものとすると、記録ドット３
１の面積は記録ドット３２の面積よりも小さくなる。
ある。第１図において、１は絶縁基板であり、表面には
膜厚が不均一のグレーズ層２が被着されている。３はグ
レーズ層２の表面に離散的に形成された発熱抵抗体層よ
りなる複数の記録ドットであり、グレーズ層２の膜厚が
厚い部分に形成された記録ドット３１の幅Ｗａはグレー
ズ層２の膜厚が薄い部分に形成された記録ドット３２の
幅Ｗｂよりも短く形成されている。従って、これら各記
録ドット３の長さが等しいものとすると、記録ドット３
１の面積は記録ドット３２の面積よりも小さくなる。
実験によれば、グレーズ層２の膜厚が５０μｍのサーマ
ルヘッドとグレーズ層２の膜厚が４５μｍのサーマルヘ
ッドを用いて同程度の記録濃度を得るためには、後者の
印加電力を前者の印加電力よりも約６％増加させる必要
がある。すなわち、記録ドット３１が形成された部分の
グレーズ層２の膜厚を５０μｍとして記録ドット３２が
形成された部分のグレーズ層２の膜厚を４５μｍとし、
それらの長さは等しいものとすると、記録ドット３２の
幅Ｗｂを記録ドット３１の幅Ｗａよりも約６％広くすれ
ばよいことになる。
ルヘッドとグレーズ層２の膜厚が４５μｍのサーマルヘ
ッドを用いて同程度の記録濃度を得るためには、後者の
印加電力を前者の印加電力よりも約６％増加させる必要
がある。すなわち、記録ドット３１が形成された部分の
グレーズ層２の膜厚を５０μｍとして記録ドット３２が
形成された部分のグレーズ層２の膜厚を４５μｍとし、
それらの長さは等しいものとすると、記録ドット３２の
幅Ｗｂを記録ドット３１の幅Ｗａよりも約６％広くすれ
ばよいことになる。
第２図は、このようなサーマルヘッドの製造工程の一実
施例を示す工程説明図である。
施例を示す工程説明図である。
工程（ａ）において、グレーズ層２の表面全体に発熱抵
抗体層３が被着され、発熱抵抗体層３の全面には電極層
４が積層被着され、さらに電極層４の表面には例えば光
定着形のフォトレジスト５が全面被着されている。
抗体層３が被着され、発熱抵抗体層３の全面には電極層
４が積層被着され、さらに電極層４の表面には例えば光
定着形のフォトレジスト５が全面被着されている。
工程（ｂ）において、６はフォトレジスト５を選択的に
感光するための所定のマスクパターンが形成されたフォ
トマスクであり、フォトレジスト５の表面に重ね合わさ
れている。この状態で、記録ドットを形成するためにフ
ォトレジスト５を感光させる光（本実施例では紫外光）
として基板１に対して斜めの成分を含むものを入射す
る。
感光するための所定のマスクパターンが形成されたフォ
トマスクであり、フォトレジスト５の表面に重ね合わさ
れている。この状態で、記録ドットを形成するためにフ
ォトレジスト５を感光させる光（本実施例では紫外光）
として基板１に対して斜めの成分を含むものを入射す
る。
第３図は、このような斜めの成分を含む光の照射による
フォトレジスタ５の感光説明図である。すなわち、グレ
ーズ層２の膜厚が均一でないことから、フォトレジスタ
５とフォトマスク６との間には隙間が生じる。前述のよ
うに、グレーズ層２の膜厚の厚い部分が５０μｍで薄い
部分が４５μｍの場合には５μｍの隙間が生じることに
なる。従って、フォトマスク６のパターン幅を１００μ
ｍとすると、フォトレジスタ５に１０６μｍのパターン
幅が感光されればよく、平行光に対して約３０度の広が
りを持つ光を照射すればよい。このような基板１に対し
て斜めの成分を持つ光は、平行光を任意の角度で拡散さ
せることができるレンズ光学系を用いることにより、容
易に得ることができる。なお、このような拡散角度の光
を照射することにより、グレーズ層２の膜厚が４５μｍ
の場合には約１０３μｍのパターン幅を感光させること
ができる。
フォトレジスタ５の感光説明図である。すなわち、グレ
ーズ層２の膜厚が均一でないことから、フォトレジスタ
５とフォトマスク６との間には隙間が生じる。前述のよ
うに、グレーズ層２の膜厚の厚い部分が５０μｍで薄い
部分が４５μｍの場合には５μｍの隙間が生じることに
なる。従って、フォトマスク６のパターン幅を１００μ
ｍとすると、フォトレジスタ５に１０６μｍのパターン
幅が感光されればよく、平行光に対して約３０度の広が
りを持つ光を照射すればよい。このような基板１に対し
て斜めの成分を持つ光は、平行光を任意の角度で拡散さ
せることができるレンズ光学系を用いることにより、容
易に得ることができる。なお、このような拡散角度の光
を照射することにより、グレーズ層２の膜厚が４５μｍ
の場合には約１０３μｍのパターン幅を感光させること
ができる。
再び第２図において、工程（ｃ）は、このようにして感
光されたフォトレジスト５を現像した状態を示してい
る。
光されたフォトレジスト５を現像した状態を示してい
る。
工程（ｄ）において、現像されたフォトレジスト５をガ
ードにして電極層４および発熱抵抗体層３をエッチング
により選択的に除去される。
ードにして電極層４および発熱抵抗体層３をエッチング
により選択的に除去される。
その後、ほぼ同様な工程で電極層３が選択的に除去され
ることにより、サーマルヘッドが作られる。
ることにより、サーマルヘッドが作られる。
このようにして構成されるサーマルヘッドの記録ドット
の面積はグレーズ層２の膜厚が薄い部分では厚い部分よ
りも広くなって発熱量が増大することになり、グレーズ
層２の膜厚のバラツキに起因する記録濃度ムラを改善す
ることができる。
の面積はグレーズ層２の膜厚が薄い部分では厚い部分よ
りも広くなって発熱量が増大することになり、グレーズ
層２の膜厚のバラツキに起因する記録濃度ムラを改善す
ることができる。
なお、上記実施例では、ネガ形のフォトレジストを用い
る例について説明したが、ポジ形のフォトレジストとリ
フトオフ法とを組み合わせるようにしてもよい。
る例について説明したが、ポジ形のフォトレジストとリ
フトオフ法とを組み合わせるようにしてもよい。
また、上記実施例では、基板の表面は平坦なものとした
例について説明したが、基板の表面に凹凸があって記録
濃度ムラを生じるような場合にも有効である。
例について説明したが、基板の表面に凹凸があって記録
濃度ムラを生じるような場合にも有効である。
（発明の効果） 以上説明したように、本発明によれば、グレーズ層の膜
厚のバラツキによる記録濃度ムラを生じないサーマルヘ
ッドおよびその製造方法が実現でき、実用上の効果は大
きい。
厚のバラツキによる記録濃度ムラを生じないサーマルヘ
ッドおよびその製造方法が実現でき、実用上の効果は大
きい。
第１図は本発明の一実施例の要部を示す拡大断面図、第
２図は第１図の製造工程の一実施例を示す工程図、第３
図は感光状態の説明図である。 １…絶縁基板、２…グレーズ層、３…発熱抵抗体層、４
…電極層、５…フォトレジスト、６…フォトマスク。
２図は第１図の製造工程の一実施例を示す工程図、第３
図は感光状態の説明図である。 １…絶縁基板、２…グレーズ層、３…発熱抵抗体層、４
…電極層、５…フォトレジスト、６…フォトマスク。
Claims (2)
- 【請求項１】グレーズ層上に被着された発熱抵抗体層が
複数の記録ドットとしてライン状に離散的に形成された
サーマルヘッドにおいて、 各記録ドットの配列方向に沿った長さは等しく形成さ
れ、グレーズ層の膜厚の厚い部分に形成された記録ドッ
トの幅はグレーズ層の膜厚の薄い部分に形成された記録
ドットの幅よりも短く形成されたことを特徴とするサー
マルヘッド。 - 【請求項２】グレーズ層上に被着された発熱抵抗体層を
フォトリソ技術により複数の記録ドットとしてライン状
に離散的に形成するのにあたって、 フォトレジストを感光させて記録ドットを形成するため
に平行光を所望の角度で拡散させるレンズ光学系を介し
て入射させ、 各記録ドットの配列方向に沿った長さは等しく形成し、
グレーズ層の膜厚の厚い部分に形成された記録ドットの
幅はグレーズ層の膜厚の薄い部分に形成された記録ドッ
トの幅よりも短く形成することを特徴とするサーマルヘ
ッドの製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP31329286A JPH062423B2 (ja) | 1986-12-29 | 1986-12-29 | サ−マルヘツドおよびその製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP31329286A JPH062423B2 (ja) | 1986-12-29 | 1986-12-29 | サ−マルヘツドおよびその製造方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS63168370A JPS63168370A (ja) | 1988-07-12 |
| JPH062423B2 true JPH062423B2 (ja) | 1994-01-12 |
Family
ID=18039462
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP31329286A Expired - Lifetime JPH062423B2 (ja) | 1986-12-29 | 1986-12-29 | サ−マルヘツドおよびその製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH062423B2 (ja) |
-
1986
- 1986-12-29 JP JP31329286A patent/JPH062423B2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS63168370A (ja) | 1988-07-12 |
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