JPS6096467A - サ−マルヘツドの製造方法 - Google Patents
サ−マルヘツドの製造方法Info
- Publication number
- JPS6096467A JPS6096467A JP58203729A JP20372983A JPS6096467A JP S6096467 A JPS6096467 A JP S6096467A JP 58203729 A JP58203729 A JP 58203729A JP 20372983 A JP20372983 A JP 20372983A JP S6096467 A JPS6096467 A JP S6096467A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- electrodes
- storage layer
- heat storage
- top surface
- layer
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10N—ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10N97/00—Electric solid-state thin-film or thick-film devices, not otherwise provided for
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
- Electronic Switches (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は記録ヘッドとして用いられるサーマルヘッドの
製造方法に関する。
製造方法に関する。
サーマルヘッドは感熱記録や熱転写記録を行うプリンタ
やファクシミリ装置に広く用いられている。。
やファクシミリ装置に広く用いられている。。
第１図は従来のこのようなサーマルヘッドの一例を表わ
したものである。このサーマルヘッドでは、アルミナ等
からなる基板１の上面に、ガラスペーストをスクリーン
印刷して焼成することにより、厚さが３０〜４０μｍ程
度の蓄熱層２が設けられている。蓄熱層２．の上面には
、ΔＵ等の導体を全面的にスクリーン印刷して焼成した
後、フォトレジストを塗布し所定のパターンで露光して
現像し、次いでエツチングしてから残留するフォトレジ
ストを除去することにより、厚さが３〜６μｍ程度の電
極３．４が千鳥状で交互に設けられている。電極３．４
の各一端および蓄熱層２の上面には、ＲｕＯ□等の厚膜
抵抗体材料をスクリーン印刷して焼成することにより、
厚さが１０〜１５μｍ程度の発熱抵抗体５が直線状に設
けられている。発熱抵抗体５および電極３．４の各一端
等の上面には、耐摩耗性ガラスペーストをスクリーン印
刷して焼成することにより、発熱抵抗体５上における厚
さが６〜１０μｍ程度の耐摩耗層６が設けられている。
したものである。このサーマルヘッドでは、アルミナ等
からなる基板１の上面に、ガラスペーストをスクリーン
印刷して焼成することにより、厚さが３０〜４０μｍ程
度の蓄熱層２が設けられている。蓄熱層２．の上面には
、ΔＵ等の導体を全面的にスクリーン印刷して焼成した
後、フォトレジストを塗布し所定のパターンで露光して
現像し、次いでエツチングしてから残留するフォトレジ
ストを除去することにより、厚さが３〜６μｍ程度の電
極３．４が千鳥状で交互に設けられている。電極３．４
の各一端および蓄熱層２の上面には、ＲｕＯ□等の厚膜
抵抗体材料をスクリーン印刷して焼成することにより、
厚さが１０〜１５μｍ程度の発熱抵抗体５が直線状に設
けられている。発熱抵抗体５および電極３．４の各一端
等の上面には、耐摩耗性ガラスペーストをスクリーン印
刷して焼成することにより、発熱抵抗体５上における厚
さが６〜１０μｍ程度の耐摩耗層６が設けられている。
このサーマルヘッドでは、一方の電極３とこれに隣接す
る他方の電極４に電圧が印加されると、この間の発熱抵
抗体５が発熱するようになっている。そこで感熱紙ある
いはインクドナーシートおよびこれに重ね合わされた普
通紙を発熱抵抗体５上の耐摩耗層６に圧接させ、画情報
に応じて両電極３．４間の発熱抵抗体５を選択的に発熱
させると、画情報の記録が行われる。
る他方の電極４に電圧が印加されると、この間の発熱抵
抗体５が発熱するようになっている。そこで感熱紙ある
いはインクドナーシートおよびこれに重ね合わされた普
通紙を発熱抵抗体５上の耐摩耗層６に圧接させ、画情報
に応じて両電極３．４間の発熱抵抗体５を選択的に発熱
させると、画情報の記録が行われる。
ところでこのようなサーマルヘッドでは、両電極３．４
を発熱抵抗体５の両側に交互に配置しているので、配線
密度が発熱密度に対して半分になり、高密度化すること
ができるという利点を有する。例えば配線密度が４本／
ｍｍで発熱密度が８ドツ）／ｍｍのものが実用化され
ている。しかしながらこのようなサーマルヘッドでは、
発熱抵抗体５をスクリーン印刷によって形成しているの
で、その幅Ｄ１ をある程度以上に小さくするとその抵
抗値のバラツキが大きくなってしまう。このため発熱抵
抗体５０幅Ｄ１ は１００μｍ程度が限度であり、前述
の実用化されているものでは通常２００μｍ程度となっ
ている。従ってこの〜ようなサーマルヘッドでは、発熱
ドツトの副走査方向の大きさが比較的大きくなってしま
い、副走査方向の記録密度を高めることができないとい
う欠点があった。
を発熱抵抗体５の両側に交互に配置しているので、配線
密度が発熱密度に対して半分になり、高密度化すること
ができるという利点を有する。例えば配線密度が４本／
ｍｍで発熱密度が８ドツ）／ｍｍのものが実用化され
ている。しかしながらこのようなサーマルヘッドでは、
発熱抵抗体５をスクリーン印刷によって形成しているの
で、その幅Ｄ１ をある程度以上に小さくするとその抵
抗値のバラツキが大きくなってしまう。このため発熱抵
抗体５０幅Ｄ１ は１００μｍ程度が限度であり、前述
の実用化されているものでは通常２００μｍ程度となっ
ている。従ってこの〜ようなサーマルヘッドでは、発熱
ドツトの副走査方向の大きさが比較的大きくなってしま
い、副走査方向の記録密度を高めることができないとい
う欠点があった。
本発明はこのような事情に鑑みてなされたもので、発熱
抵抗体の幅を小さくすることのできるサーマルヘッドの
製造方法を提供することを目的とする。
抵抗体の幅を小さくすることのできるサーマルヘッドの
製造方法を提供することを目的とする。
本発明では、基板の上面に蓄熱層を形成し、この蓄熱層
の上面に導体を真空蒸着して焼成することにより、薄膜
からなる一方の電極と他方の電極を千鳥状で交互に形成
し、これらの電極および前記蓄熱層の」二面にフォトレ
ジストを塗布し所定のパターンで露光して現像すること
により、前記両電極の各一端の上部に直線状の凹部から
なるレジスト像を形成すると共にこれを介して前記両電
極の各一端を露出させ、前記凹部に厚膜抵抗体材料を埋
設して焼成することにより、発熱抵抗体を形成すると共
に前記フォトレジストを除去して前記両電極を露出させ
、これらの電極および前記発熱抵抗体等の上面に耐摩耗
層を形成し、これによりサーマルヘッドを製造するよう
にしたものである。
の上面に導体を真空蒸着して焼成することにより、薄膜
からなる一方の電極と他方の電極を千鳥状で交互に形成
し、これらの電極および前記蓄熱層の」二面にフォトレ
ジストを塗布し所定のパターンで露光して現像すること
により、前記両電極の各一端の上部に直線状の凹部から
なるレジスト像を形成すると共にこれを介して前記両電
極の各一端を露出させ、前記凹部に厚膜抵抗体材料を埋
設して焼成することにより、発熱抵抗体を形成すると共
に前記フォトレジストを除去して前記両電極を露出させ
、これらの電極および前記発熱抵抗体等の上面に耐摩耗
層を形成し、これによりサーマルヘッドを製造するよう
にしたものである。
すなわち本発明では、電極を焼成に耐えることのできる
薄膜によって形成することにより、これの上面に微細な
レジスト像の形成を可能とし、これにより幅の小さい発
熱抵抗体を形成するようにしたものである。
薄膜によって形成することにより、これの上面に微細な
レジスト像の形成を可能とし、これにより幅の小さい発
熱抵抗体を形成するようにしたものである。
以下実施例につき本発明の詳細な説明する。
本実施例において勺−マルヘッドを製造する場合には、
まず第２図に示すように、アルミナ等からなる基板１１
の上面に、ガラスペーストをスクリーン印刷して焼成す
ることにより、厚さが３０〜４０μｍ程度の蓄熱層１２
を形成する。次に蓄熱層１２の上面に、所定のパターン
のマスクを用いてＡｕおよびＣｕ等の導体を真空蒸着し
、次いで９００°程度の高温で焼成することにより、厚
さが０．１〜２μｍ程度の電極１３．１４を千鳥状で交
互に形成する。このようにして形成された電極１３．１
４は比較的薄く、また９００℃程度の焼成にも耐えるこ
とができる。
まず第２図に示すように、アルミナ等からなる基板１１
の上面に、ガラスペーストをスクリーン印刷して焼成す
ることにより、厚さが３０〜４０μｍ程度の蓄熱層１２
を形成する。次に蓄熱層１２の上面に、所定のパターン
のマスクを用いてＡｕおよびＣｕ等の導体を真空蒸着し
、次いで９００°程度の高温で焼成することにより、厚
さが０．１〜２μｍ程度の電極１３．１４を千鳥状で交
互に形成する。このようにして形成された電極１３．１
４は比較的薄く、また９００℃程度の焼成にも耐えるこ
とができる。
次に電極１３．１４および蓄熱層１２の上面に、フォト
レジストを塗布して乾燥することにより、厚さが２０〜
４０μｍ程度のフォトレジスト層１５を形成する。この
後これを所定のパターンで露光し現像することにより、
第３図に示すように、電極１３．１４の各一端の上部に
直線状の凹部１６からなるレジスト像を形成すると共に
、これを介して電極１３．１４の各一端を露出させる。
レジストを塗布して乾燥することにより、厚さが２０〜
４０μｍ程度のフォトレジスト層１５を形成する。この
後これを所定のパターンで露光し現像することにより、
第３図に示すように、電極１３．１４の各一端の上部に
直線状の凹部１６からなるレジスト像を形成すると共に
、これを介して電極１３．１４の各一端を露出させる。
次に第４図に示すように、凹部１６に、ＲｕＯ２等の厚
膜抵抗体材料１７を図示しないスキージを用いて塗り込
める。
膜抵抗体材料１７を図示しないスキージを用いて塗り込
める。
次にこのようにして得られたものを乾燥した後９００℃
程度の温度で焼成すると、第５図に示すように、焼成収
縮により厚さが１０〜１５μｍ程度の発熱抵抗体１８が
形成されると共に、フォトレジスト層１５が焼けて除去
され、電極１３．１４および蓄熱層１２が露出される。
程度の温度で焼成すると、第５図に示すように、焼成収
縮により厚さが１０〜１５μｍ程度の発熱抵抗体１８が
形成されると共に、フォトレジスト層１５が焼けて除去
され、電極１３．１４および蓄熱層１２が露出される。
次に第６図に示すように、発熱抵抗体１８、電極１３．
１４および蓄熱層１２の上面に、耐摩耗層ガラスペース
トをスクリーン印刷して焼成することにより、発熱抵抗
体１８上における厚さが６〜１０μｍ程度の耐摩耗層１
９を形成する。かくしてサーマルヘッドの製造が完了す
る。
１４および蓄熱層１２の上面に、耐摩耗層ガラスペース
トをスクリーン印刷して焼成することにより、発熱抵抗
体１８上における厚さが６〜１０μｍ程度の耐摩耗層１
９を形成する。かくしてサーマルヘッドの製造が完了す
る。
このサーマルヘッドでは、レジスト像を形成した後に発
熱抵抗体１８を形成しているので、その輻Ｄ２ を数ｌ
Ｏμｍとすることができる。そこでこの幅Ｄ２ を例え
ば２０〜５０μｍ程度とすれば、前述した従来の実用化
されているものに比べて１０分の１〜４分の工程度と小
さくすることができる。またこのサーマルヘッドでは、
発熱抵抗体１８の断面形状が方形状となるので、その上
面が平坦となる。
熱抵抗体１８を形成しているので、その輻Ｄ２ を数ｌ
Ｏμｍとすることができる。そこでこの幅Ｄ２ を例え
ば２０〜５０μｍ程度とすれば、前述した従来の実用化
されているものに比べて１０分の１〜４分の工程度と小
さくすることができる。またこのサーマルヘッドでは、
発熱抵抗体１８の断面形状が方形状となるので、その上
面が平坦となる。
以上説明したように本発明によれば、発熱抵抗体の幅を
小さくすることができるので、副走査方向の記録密度を
高めることができ、印字品質が向上する。また発熱抵抗
体の上面を平坦とすることができるので、°副走査方向
の発熱分布が均一となり、感熱紙等に対する熱伝達効率
が向上し、これによっても印字品質の向上を図ることが
できる。
小さくすることができるので、副走査方向の記録密度を
高めることができ、印字品質が向上する。また発熱抵抗
体の上面を平坦とすることができるので、°副走査方向
の発熱分布が均一となり、感熱紙等に対する熱伝達効率
が向上し、これによっても印字品質の向上を図ることが
できる。
更に発熱抵抗体の幅が小さいと、印加電圧を小さくする
ことができ、消費電力を減少することができる。加えて
発熱抵抗体の幅が小さいと、中間調記録を良好に行うこ
ともできる。
ことができ、消費電力を減少することができる。加えて
発熱抵抗体の幅が小さいと、中間調記録を良好に行うこ
ともできる。
第１図は従来のサーマルヘッドの一例を示す一部の断面
図、第２図〜第６図は本発明の一実施例を説明するため
に示す各工程における一部の断面図である。 １１・・・・・・基板、 １２・・・・・・蓄熱層、 １３．１４・・・・・・電極、 １５・・・・・・フォトレジスト層、 １６・・・・・・凹部、 １８・・・・・・発熱抵抗体、 １９・・・・・・耐摩耗層。 出 願 人 富士ゼロックス株式会社 代 理 人 弁理士 山 内 梅 雄 第 １ 図 第３開 第 ４ 図 第 ５ 図 ８
図、第２図〜第６図は本発明の一実施例を説明するため
に示す各工程における一部の断面図である。 １１・・・・・・基板、 １２・・・・・・蓄熱層、 １３．１４・・・・・・電極、 １５・・・・・・フォトレジスト層、 １６・・・・・・凹部、 １８・・・・・・発熱抵抗体、 １９・・・・・・耐摩耗層。 出 願 人 富士ゼロックス株式会社 代 理 人 弁理士 山 内 梅 雄 第 １ 図 第３開 第 ４ 図 第 ５ 図 ８
Claims (1)
- 基板の上面に蓄熱層を形成し、この蓄熱層の上面に導体
を真空蒸着して焼成することにより、薄膜からなる一方
の電極と他方の電極を千鳥状で交互に形成し、これらの
電極および前記蓄熱層の上面に７オトレジストを塗布し
所定のパターンで露光して現像することにより、前記両
電極の各一端の上部に直線状の凹部からなるレジスト像
を形成すると共にこれを介して前記両電極の各一端を露
出させ、前記凹部に厚膜抵抗体材料を埋設して焼成する
ことにより、発熱抵抗体を形成すると共に前記フォトレ
ジストを除去して前記両電極を露出させ、これらの電極
および前記発熱抵抗体等の上面に耐摩耗層をＪｆ９成す
ることを特徴とするサーマルヘッドの製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP58203729A JPS6096467A (ja) | 1983-11-01 | 1983-11-01 | サ−マルヘツドの製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP58203729A JPS6096467A (ja) | 1983-11-01 | 1983-11-01 | サ−マルヘツドの製造方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6096467A true JPS6096467A (ja) | 1985-05-30 |
Family
ID=16478882
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP58203729A Pending JPS6096467A (ja) | 1983-11-01 | 1983-11-01 | サ−マルヘツドの製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6096467A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH01123756A (ja) * | 1987-11-09 | 1989-05-16 | Fuji Xerox Co Ltd | 厚膜型サーマルヘッド |
| JPH0226760A (ja) * | 1988-07-18 | 1990-01-29 | Fuji Xerox Co Ltd | サーマルヘッドの発熱抵抗体形成方法 |
| JPH0229350A (ja) * | 1988-07-19 | 1990-01-31 | Fuji Xerox Co Ltd | 厚膜型サーマルヘッドおよびその製造方法 |
-
1983
- 1983-11-01 JP JP58203729A patent/JPS6096467A/ja active Pending
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH01123756A (ja) * | 1987-11-09 | 1989-05-16 | Fuji Xerox Co Ltd | 厚膜型サーマルヘッド |
| JPH0226760A (ja) * | 1988-07-18 | 1990-01-29 | Fuji Xerox Co Ltd | サーマルヘッドの発熱抵抗体形成方法 |
| JPH0229350A (ja) * | 1988-07-19 | 1990-01-31 | Fuji Xerox Co Ltd | 厚膜型サーマルヘッドおよびその製造方法 |
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